基板クリーナ

UVオゾン洗浄表面改質装置　ASM401n

高出力の低圧水銀ランプを使用、O2供給なく、高密度の照度を実現したコンパクトなUV...

エレクトロニクス製品の高精細化に適合した、UVエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。オゾン分解ユニット付き（オプション）もご選択可能で、実験室など排気設...