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サーボステージ速度とピエゾステージ精度を合わせ持つ高精度リニアステージ
駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しています。
ガイドにはクロスローラガイドを採用。また、ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。
用途に応じて、柔軟に設計できる4機種の仕様をご紹介します。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高精度リニア単軸ステージ SCRナノポジショニングシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 480.1Kb |
| 取り扱い企業 | 日本パルスモーター株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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