ユニット化製品のご提案

口 CONTENTS 02-03 _ IKOのユニット化製品 04-05 _ユニット化のメリット 06-09 _ IKOの強み 10＿導入支援 11＿打合せ時の参考図 |ワンストップでの対応力と 1 多様な技術力 1 高精度を可能に I 1 豊富な実績 I ｀ 02 lnnovation,Know-how & Originality UNITIZED PRODUCTS 03 口 口

06-7 アライアンスパートナーとの連携による IKOの ユニット化製品の ワンストップでの対応力と 強み 1 テーブル、ベースなどの加工部品、架台、モータ、センサなどの電装系部品に加えて、 多様な技術力 製造設備全体の制御システムまでワンストップで対応します。 ユニット化製品の拠点となる土岐メカトロセンターは、最新鋭の設備と高品質製品 ユニット化製品 の生産体制を兼ね備えた次世代の生産工場です。 開発・設計・製造の三位一体の生産体制と最新クリーンルームなど、充実した設備で さまざまなご要望にお応えします。そして全国に広がるものづくりネットワークを駆使 して、あらゆる装置をワンストップ対応します。 モータ・センサ 駆動・案内部品 土岐メカトロセンター メカトロシリーズ ▶クリーンルーム ▶検査 加工部品 架台・石定盤 大型、最新のクリーンルームを完備!! 超精密装置の検査にも対応!! 約480㎡の大型最新クリーン 石定盤やレーザ測長検査システ ルームを完備し、クラス10000 ムを多数保有し、超精密な検査 （ISOクラス7）を実現しています。 にも対応しています。また、クリー 半導体や液晶関連製造装置な ンルーム内にも石定盤を完備し 制御システム ど、クリーン度が要求される大型 ており、クリーン度が要求される 装置の製作も対応可能です。 装置の検査も対応が可能です。 土岐メカトロセンターを中心としたモノづくりネットワーク 「IKOメカユニット」の認定制度 用途 組立および検査設備 主要部品 製造ノウハウ IKOが厳選したアライアンスパートナーを 認定する制度です。技術対応力・品質管理・ 半導体製造装置 クリーンルーム 軸受および直動案内機器 設計 環境対応面など独自の審査を行っています。 フラットパネル製造装置 恒温室 リニアモータ 加工品および市販品の調達 長年の歴史で築いた多様な技術を持ったパートナー企業と 電子部品製造装置 検査用石定盤 エアステージ 部品の精密洗浄 の強固な連携により、IKOの高性能部品と周辺部品や レーザ加工機 レーザ測定器 駆動部品 部品の精密手仕上げ テクノロジーを融合させたユニット化製品を提供します。 電池製造装置 オートコリメータ 石定盤 組立調整 その他、自動化・省力化装置 バーミラー・マイクロセンス 除振台 高精度な検査 製缶架台 制御盤・配線  Innovation,Know-how & Originality UNITIZED PRODUCTS

08-09 IKOの ベアリングのプロフェッショナルが IKOの お客様1社1社の高度な要求に応えた ユニット化製品の ユニット化製品の 強み 2 高精度を可能に 強み 3 豊富な実績 IKOは設立1950年（昭和25年）のベアリング（回転・直動）老舗メーカー。定評ある 高精度化、工数削減、生産効率の向上、高信頼性化などお客様の課題を背景とし ニードルシリーズ、直動シリーズ、メカトロシリーズなど70年の歴史を持つプロ たさまざまな要求仕様に対し、ユニット化製品によりソリューションを提供してき フェッショナルが、多様な部品の性能を最大限に引出し、設計、製作、組立まですべて ました。 をワンストップで行います。 IKO直動案内機器は、工作機械、半導体・液晶関連製造装置をはじめ、ロボット、測定機器など、幅広い産業機械の位置決め ガントリー 昇降テーブル エアステージ 除振台付き 精密石定盤 大型ワイド 要素部品として、数々の実績を誇ります。 低断面 コンパクト 高 速 高推力 高負荷 多様な ストローク 高精度 露光装置、ウェーハ検査装置、真空蒸着装置、リチウムイオン電池製造装置、 レーザ加工装置など多くのユニット化製品の実績。半導体や自動車など広範囲 な製造分野の組立装置、検査装置として、ユニット化製品が活躍しています。 IKOの技術・ノウハウを結集して極限まで低脈動を高めた「MX MASTER GRADE」 CルーブリニアローラウェイスーパーXの低脈動仕様MX「マスターグレード」は、ローラが走行する軌道面に精密な特殊加工 を施すことによって、標準の超ロングユニットの脈動を大幅に低減することが可能です。 脈 動 デ ー タ YZユニット搭載マルチリニアモータステージ 0.03 0.02 0.01 0 -0.01 走行振れ値は実測で 0.0090μm(9.0nm)以下 -0.02 -0.03 80 90 100 110 120 「MX MASTER GRADE」 距離 (mm) 昇降テーブル 高精度な製品の精度検査ノウハウを持つIKOが精度を保証 蓄積してきた精密加工技術とエレ 精度表の一例 クトロニクスを融合し、IKOが精度 1.テーブルの仕様 （精度の測定は、IKO評価方式によります。） X軸 Y軸 ストローク長さ 100mm 100mm を保証します。お客様自社組立によ 位置決め精度 0.007 mm 繰り返し位置決め精度 ±0.001 mm る精度のトラブルなど、製造工程内 バックラッシ 0.001 mm テーブル運動の平行度 A 0.008 mm での予期せぬ手戻りリスクを回避 姿勢精度（ピッチング、ヨーイング） 8 秒 真直度(H,V) 0.005 mm XY運動の直角度 0.005 mm できます。 ボールねじのリード 5 mm 大型アライメント　ステージ 除振台付きガントリーXYZステージ  Innovation,Know-how & Originality UNITIZED PRODUCTS  走行振れ（μm）