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アライメントステージSA SA…DE/T(無限回転仕様) (2025年8月発行)

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ドキュメント名 アライメントステージSA SA…DE/T(無限回転仕様) (2025年8月発行)
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 日本トムソン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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New アライメントス ー SA...テ ジ 支社 DE/T 東 部 支 社:〒108-8586 東京都港区高輪2-19-19 Tel. 03-3448-5931 Fax. 03-3449-4589 中 部 支 社:〒454-0004 名古屋市中川区西日置2-3-5 Tel. 052-331-7261 Fax. 052-332-3783 無限回転仕様の登場 西 部 支 社:〒550-0013 大阪市西区新町3-11-3 Tel. 06-6532-6341 Fax. 06-6543-1797 東 北 支 社:〒982-0031 仙台市太白区泉崎2-22-22 Tel. 022-307-1415 Fax. 022-743-5341 東 関 東 支 社:〒312-0053 茨城県ひたちなか市外野2-31-13 Tel. 029-275-1356 Fax. 029-275-1422 北 関 東 支 社:〒360-0018 熊谷市中央1-143 Tel. 048-528-5851 Fax. 048-525-8911 南 関 東 支 社:〒243-0014 厚木市旭町1-8-6 Tel. 046-228-6011 Fax. 046-228-6068 浜 松 支 社:〒435-0028 浜松市中央区飯田町335 Tel. 053-462-7111 Fax. 053-461-3041 豊 田 支 社:〒472-0005 知立市新池3-62 Tel. 0566-82-6201 Fax. 0566-82-8181 広 島 支 社:〒733-0003 広島市西区三篠町2-4-22 Tel. 082-237-6101 Fax. 082-237-6102 九 州 支 社:〒812-0016 福岡市博多区博多駅南4-19-1 Tel. 092-471-7971 Fax. 092-472-0079 海外部門 東 京:〒108-8586 東京都港区高輪2-19-19 Tel. 03-3448-5850 Fax. 03-3447-7637 営業所 つくば営業所:Tel. 029-895-0585 Fax. 029-895-0586 金 沢 営 業 所:Tel. 076-240-1115 Fax. 076-240-0059 長 岡 営 業 所:Tel. 0258-33-0823 Fax. 0258-35-5036 滋 賀 営 業 所:Tel. 077-567-1655 Fax. 077-567-1701 宇都宮営業所:Tel. 028-651-6633 Fax. 028-651-6744 明 石 営 業 所:Tel. 078-275-2058 Fax. 078-913-8555 西東京営業所:Tel. 042-584-6051 Fax. 042-584-6052 熊 本 営 業 所:Tel. 096-373-0040 Fax. 096-366-7577 松 本 営 業 所:Tel. 0263-27-1422 Fax. 0263-27-0797 海外事務所 IKO INTERNATIONAL, INC(. 米国) IKO-THOMPSON(SHANGHAI)LTD(. 中国) ニュージャージー Tel. 1-(973)402-0254 Fax. 1-(973)402-0441 上海 Tel. 86-21-3250-5525 Fax. 86-21-3250-5526 イリノイ Tel. 1-(630)766-6464 Fax. 1-(630)766-6869 北京 Tel. 86-10-6515-7681 Fax. 86-10-6515-7689 カリフォルニア Tel. 1-(562)941-1019 Fax. 1-(562)941-4027 広州 Tel. 86-20-8384-0797 Fax. 86-20-8381-2863  サンタクララ(シリコンバレー)Tel. 1-(408)492-0240 Fax. 1-(408)492-0245 武漢 Tel. 86-27-8556-1610 Fax. 86-27-8556-1630 ジョージア Tel. 1-(770)418-1904 Fax. 1-(770)418-9403 深圳 Tel. 86-(755)2265-0553 Fax. 86-(755)2298-0665 テキサス Tel. 1-(972)925-0444 Fax. 1-(972)707-0385 西安 Tel. 86-29-8323-5915 青島 Tel. 86-(532)8670-2246 Fax. 86-(532)8670-2242 IKO THOMPSON BEARINGS CANADA, INC.(カナダ) 瀋陽 Tel. 86-(24)2334-2662 Fax. 86-(24)2334-2442 トロント Tel. 1-(647)931-3933  寧波 Tel. 86-(574)8718-9535 Fax. 86-(574)8718-9533 IKO BRASIL SERVIÇOS EMPRESARIAIS LTDA(. ブラジル) NIPPON THOMPSON EUROPE B.V(. 欧州) サンパウロ Tel. 55-(11) 2366-3033 オランダ Tel. 31-(10)462 68 68 IKO THOMPSON KOREA CO., LTD(. 韓国) ドイツ  デュッセルドルフ Tel. 49-(211)41 40 61 Fax. 49-(211)42 76 93 ソウル Tel. 82-2-6337-5851 Fax. 82-2-6337-5852  レーゲンスブルク Tel. 49-(941)20 60 70 Fax. 49-(941)20 60 719 IKO THOMPSON ASIA CO.,LTD(. タイ) イギリス Tel. 44-(1908)566144 バンコク Tel. 66-(2637)-5115 Fax. 66-(2637)-5116 スペイン Tel. 34-(949)26 33 90 Fax. 34-(949)26 31 13 フランス Tel. 33-(1)48 16 57 39 Fax. 33-(1)48 16 57 46 IKOウェブサイト メカトロ専用サイト https://www.ikont.co.jp https://www.me-iko.com/ mecha-tool/index.php https://www.ikont.co.jp/ ● 製品の外観・仕様などは、改良のため予告なしに変更することがあります。● 本製品を輸出する際は、仕向国及び用途・需要者を確認いただき、客観要件に該当する場合は、輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。 ● 本カタログは正確を期して制作しておりますが、誤字・脱字等に起因する損害には責任を負いかねます。● 無断転載、転用を禁止します。 CAT-2997 Printed in Japan ©2025.08( AK) SA…DE/T
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SA・・・DE/Tの構造 ■ 呼び番号 SA 120 DE / 5 XYS R 4 配列例 テーブル 1 2 1 3 4 5 6 アライメントステージSA・・・DEは、ダイレクト ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプ(SA・・・DE/S)は、回転動作 1 形式記号 4 軸構成 角に制限がありましたが、新たにラインナップし 形式記号 軸構成 た無限回転タイプ(SA・・・DE/T)は360度を SA…DE アライメントステージSA…DE X X軸のみ クロスローラ 超える動作角や、連続回転動作に対応します。 固定子コイル ベアリング S θ軸のみ(有限動作角仕様) 2 大きさ ベッド 可動子マグネット NEW T θ軸のみ(無限回転仕様) テーブルの大きさ[mm] XY XYの2軸構成 65 φ65 XS Xθの2軸構成(θ軸 有限動作角仕様) 120 φ120 NEW XT Xθの2軸構成(θ軸 無限回転仕様) 200 φ200 XYS XYθの3軸構成(θ軸 有限動作角仕様) SA・・・DE/Tの特長 NEW XYT XYθの3軸構成(θ軸 無限回転仕様) 3 分解能 5 表面処理※ 分解能 1 XYθ軸の組合せが自由に 1 0.1μm 表面処理 5 0.5μm 無記号 無電解ニッケルめっき 直線移動用のXテーブルである、 X軸またはXY軸のエンコーダ分解能を指定します。 SA・・・DE/Xと組み合わせること ❹で S:θ軸または T:θ軸のみを選択する場合は、分解能は無記号とし R 黒色クロム皮膜処理 てください。 軸構成に T(無限回転仕様)を含む場合は、黒色クロム皮膜処理は適用でき によって、XYθ軸方向に稼働する ません。 ※表面処理はテーブルとベッドの表面に施します。 極めてコンパクトなアライメント ステージを簡単に構築することが 6 仕様番号 できます。 仕様番号 4 仕様番号4 (仕様番号は4のみとなります) アライメントステージ 2 薄形、コンパクト ■ SA スペック一覧 ダイレクトドライブ方式の回転案 SA65DE/X SA120DE/X SA200DE/X SA65DE/S SA120DE/S SA200DE/S SA65DE/T SA120DE/T SA200DE/T 内にはIKOクロスローラベアリン 形式と 大きさ グを採用。極めて低い断面高さを 実現しています。 断面形状 65 120 200 65 120 200 最大推力 N 25 70 400 (250) 最大トルク 最大トルク 最大トルク 0.5N·m 2.0N·m 8.0 (6.0)N·m 定格推力 N 3.5 15 70 定格トルク 定格トルク 定格トルク 3 高分解能・高応答 18 0.06N·m 0.4N·m 2.0N·m 14.4 最大可搬質量 高分解能エンコーダを内蔵した 10.8 kg 2.4 5.9 30.0 (20.0) 2.2 6.8 21.2 (17.1) ダイレクトドライブ方式のステージ 7.2 有効ストローク長さ mm 10 20 20 /S 50度 /S 60度 /S 280度 または動作角度 度 /T 無限回転 /T 無限回転 /T 無限回転 をフルクローズドループ制御する 3.6 0 /S 0.64秒 /S 0.36秒 /S 0.25秒 ことにより、高分解能と高精度を 分解能   5625pulse/度   10000pulse/度   14400pulse/度 -3.6 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5 実現しています。 0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 μm /T 0.63秒 /T 0.36秒 /T 0.50秒 【測定条件】 形番:SA120DE/T 搭載質量:1000g 送り指令:3.6秒 移動時間 秒   5700pulse/度   10000pulse/度   7200pulse/度 最高速度 /S 400度/s /S 270度/s mm/s 270 500 270 800 270 800 720度/s /T 720度/s /T 720度/s 繰返し位置決め精度 /S ±0.5秒 μm ±0.5 ±0.5 ±0.5 ±1.3秒 ±0.8秒 /T ±1.0秒 備考 ( ) 内の値は ADVA-R5MLドライバまたはAD7A-R5MVドライバと組み合わせた場合の数値です。 1 2 移動量 秒 6 22 15 25 30 22 25 30
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■ 仕様・性能 ■ センサ仕様  呼び番号 項目 SA65DE/S SA65DE/T SA120DE/S SA120DE/T SA200DE/S(7) SA200DE/T(8) ● SA・・・DE/T(無限回転仕様)の原点信号位置 最大トルク(1) N・m 0.5 2.0 8.0(6.0) SA・・・DE/Tはテーブル上面に原点信号の検出位置を示すマークが刻印されており(下図の赤線部)、テーブルが図示の位置のときに、原点信号を検出し 定格トルク(2) N・m 0.06 0.4 2.0 ます。 最大可搬質量 kg 2.2 6.8 21.2(17.1) SA・・・DE/Tはリミットセンサ、原点前センサを内蔵しません。ストローク範囲を制限して使用される場合は、必要に応じてセンサ、ストッパ等を外部に設置 有効動作角度 度 50 無限回転 60 無限回転 280 無限回転 してご使用ください。 秒 0.64 0.63 0.36 0.25 0.50 分解能 pulse/度 5625 5700 10000 14400 7200 最高速度(3()4) 度/s 720 400 720 270 720 SA65DE/T SA120DE/T SA200DE/T 繰返し位置決め精度(5) 秒 ±1.3 ±0.8 ±0.5 ±1.0 可動部慣性モーメント kg・m2 0.00012 0.002 0.013 総質量(6) kg 0.5 2 6 使用周囲温度・湿度 0~40℃・20~80%RH(結露しないこと) 5° 5° 注( 1)最大トルクの持続時間は最大1秒です。 (2)周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3)表示の速度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。 (4)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。 (5)製品本体の温度が一定の場合です。 (6)コードの質量は含んでいません。 (7)( )内の値はADVA-R5MLドライバ(100V)と組み合わせた場合です。 (8)( )内の値はAD7A-R5MVドライバ(100V)と組み合わせた場合です。 ● 動的可搬質量 〈X(Y)軸〉 〈θ軸〉 SA200DE/X(200V) SA200DE/Sまたは/T(200V) 10 10 原点信号位置マーク 原点信号位置マーク 原点信号位置マーク SA200DE/Sまたは/T(100V) (テーブル上面) (テーブル上面) (テーブル上面) SA200DE/X(100V) 1 1 SA120DE/X SA120DE/Sまたは/T SA65DE/X SA65DE/Sまたは/T 0.1 0.1 ■ システム構成 0.01 0.01 アライメントステージSAは専用ドライバとしてADVA、AD7A、MR-J4の3シリーズが用意されており、使用するドライバによってシステム構成は異なり 1 10 100 1 10 100 ます。表1にアライメントステージSA・・・DEとドライバ種類の適合表を示します。表2にテーブルと適用するMR-J4の呼び番号を示します。 加速度 m/s2 外周の加速度 m/s2 備考 θ軸の動的可搬質量は鋼の立方体として計算した値です。また、加速度はステージ外周部の値として換算しています。 表1. SA…DE形式とドライバ種類の適合表 ドライバ 指令方式 SA…DE/S SA…DE/T (有限動作角) (無限回転) SA…DE/X EtherCAT ○ - ○ ■ 取付け ADVA パルス列指令 ○ - ○ AD7A(1) EtherCAT/パルス列指令 - ◇ - SA・・・DEを固定するための一般的な締付トルクを下表に示します。振動や衝撃がなく高い精度が必要なときは、表の値よりも小さなトルクで締め付け、 SSCNETⅢ/H ○ ○ ○ MR-J4 ねじの緩み止めのために接着剤を併用することを推奨します。 パルス列指令 ◇ ◇ ◇ 注( 1)AD7Aは指令方式(EtherCATまたはパルス列指令)をモード選択により切替可能です。 備考 ◇は個別対応となります。ご要望の時はIKOにお問合せください。 ● ねじの締付トルク  上記以外のドライバの使用も検討致します。ご要望の際はIKOにお問合せください。 単位N・m めねじ部材 表2. SA…DEと適用するMR-J4-10B-RJの呼び番号 ねじの呼び アルミニウム合金 テーブルの呼び番号 ドライバの呼び番号 銅 ねじインサート SA65DE /S MR-J4-10B-RJ /SA65DE -S M3×0.5 1.7 SA65DE /T MR-J4-10B-RJ /SA65DE -T M4×0.7 4.0 鋼の数値の約60% 鋼の数値の約80% SA65DE /X MR-J4-10B-RJ /SA65DE -X M6×1 13.3 SA120DE /S MR-J4-10B-RJ /SA120DE -S SA120DE /T MR-J4-10B-RJ /SA120DE -T SA120DE /X MR-J4-10B-RJ /SA120DE -X SA200DE /S MR-J4-10B-RJ/SA200DE -S2 SA200DE /T MR-J4-10B-RJ /SA200DE -T SA200DE /X MR-J4-10B-RJ /SA200DE -X 3 4 動的可搬質量 kg 動的可搬質量 kg
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■ システム構成 表3. ドライバAD7Aを使用したSA65DE/T、SA120DE/Tのシステム構成 表5. ドライバMR-J4-10Bを使用したSA65DE、SA120DEのシステム構成(SSCNETⅢ/H対応) ●❺セットアップソフトウェア No. 名称 呼び番号 ●❺セットアップソフトウェア No. 名称 呼び番号 ●❷ドライバ パソコン ●❷ ドライバ AD7A-01NV(200V仕様) ●❸ エンコーダ中継コード(2m)(1) TAE20V6-EC02 ❹ AD7A-R5MV(100V仕様) ●❷ドライバ ❹● ●❹ パソコン接続ケーブル(3m) MR-J3USBCBL3M ●❸ エンコーダ中継コード(2m)(1) TAE20V4-EC02 パソコン ●❺ セットアップソフトウェア SW1DNC-MRC2-J ❼ 10上位装置(EtherCAT対応機器) PLC、スイッチ、センサなど ●❹ パソコン中継ケーブル USBtype-Cケーブル お客様でご用意ください。 ●❻ 入出力接続用コネクタ MR-CCN1(2 11 ●❻ ) ●❽上位装置 ❾上位装置 ProDriveNext DC24V電源 ●❼ 電源コード PLC、スイッチ、センサなど ●❺ セットアップソフトウェア ㈱日立産機システムのwebサイト ●❾ SSCNETⅢ/H対応 ❻ よりダウンロードしてください。 モーションコントローラ ●❽ 上位装置(3) お客様でご用意ください。 ❶アライメントステージ ●❻ I/Oコネクタ TAE20R5-CN(2) 位置決めユニット ●❾ SSCNETⅢ/H接続ケーブル  SA65DE又はSA120DE ●❼ Ethernetケーブル(3 ●❶アライメントステージ ❸ ) ●❽ 電源コード ●❸  SA…DE ●❼ ❽ ●❾ 上位装置(EtherCAT対応機器)(3) お客様でご用意ください。 ● ● 上位装置 単相または三相 ● I/Oコネクタ接続ケーブル AC200V(50/60Hz) 注( 1)特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。 (2)I/OコネクタTAE20V5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10150-3000PE(コネクタ)と10350-52F0-008(カバー)の組合せです。 注( 1)特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。 (3)A D7AをEtherCAT指令モードで使用する場合にのみ必要となります。パルス列指令で使用する場合には必要ありません。 (2)入出力接続用コネクタMR-CCN1は、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE(コネクタ)と10320-52F0-008(カバー)の組合せです。 (AD7Aは指令方式[EtherCATまたはパルス列]をモード選択により切替可能です。) (3)上位装置は三菱電機㈱製SSCNETⅢ/H対応のモーションコントローラ、位置決めユニット、DC24V電源となります。 表4. ドライバAD7Aを使用したSA200DE/Tのシステム構成 表6. ドライバMR-J4-10Bを使用したSA200DEのシステム構成(SSCNETⅢ/H対応) ●❻セットアップソフトウェア No. 名称 呼び番号 ❼●セットアップソフトウェア No. 名称 呼び番号 ●❷ドライバ パソコン ●❷ ドライバ AD7A-01NV(200V仕様) ●❸ モータ中継コード(3m)(1) TAE20V3-AM03 ●❷ドライバ ❺ AD7A-R5MV(100V仕様) ●❻ ●❹ エンコーダ中継コード(2m)(1) TAE20V6-EC02 ●❸ モータ中継コード(3m)(1) TAE20V3-AM03 11上位装置(EtherCAT対応機器) パソコン ●❺ センサ中継コード(5) TAE10V8-LC□□ ❽ PLC、スイッチ、センサなど ●❹ エンコーダ中継コード(2m)(1) TAE20V4-EC02 10上位装置 ●❺ パソコン中継ケーブル USBtype-Cケーブル ❽● ●❻ パソコン接続ケーブル(3m) MR-J3USBCBL3M 10●上位装置 お客様でご用意ください。 12 DC24V電源 ●❼ セットアップソフトウェア SW1DNC-MRC2-J PLC、スイッチ、センサなど ProDriveNext 11● SSCNETⅢ/H対応 ❼ モーションコントローラ ●❽ 入出力接続用コネクタ MR-CCN1(3) ❶アライメントステージ ●❻ セットアップソフトウェア ㈱日立産機システムのwebサイト 位置決めユニット ●❾ 電源コード  SA200DE よりダウンロードしてください。 ❹ ●❼ I/Oコネクタ TAE20R5-CN(2) ●❺ ●❹  上位装置(4) お客様でご用意ください。 ●❽ Ethernetケーブル(3)  SSCNETⅢ/H接続ケーブル ●❾ ❾ ●❾ 電源コード ● ❸ ● 上位装置(EtherCAT対応機器)(3) お客様でご用意ください。 ●❸ ● 上位装置 単相または三相 ● I/Oコネクタ接続ケーブル AC200V(50/60Hz)● ❶アライメントステージ  SA200DE 注( 1)特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。 (2)I/OコネクタTAE20V5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10150-3000PE(コネクタ)と10350-52F0-008(カバー)の組合せです。 注( 1)特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。 (3)A D7AをEtherCAT指令モードで使用する場合にのみ必要となります。パルス列指令で使用する場合には必要ありません。 (2)センサ中継コード長さは、呼び番号末尾の□□にて3~10mまで1m単位で指定します。 (AD7Aは指令方式[EtherCATまたはパルス列]をモード選択により切替可能です。) (3)入出力接続用コネクタMR-CCN1は、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE(コネクタ)と10320-52F0-008(カバー)の組合せです。 (4)上位装置は三菱電機㈱製SSCNETⅢ/H対応のモーションコントローラ、位置決めユニット、DC24V電源となります。 (5)SA…DE/T では使用しません。 5 6
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■ 製品寸法 ● SA65DE/S、SA65DE/T ● SA120DE/S、SA120DE/T コード長さ:(1450) エンコーダ エンコーダ ∅10 コード長さ:(1450) ccw cw 8-M3深4(1) (等分配置) コード長さ:(3000) 88 16 (150) (150) 4-M4用穴 ∅5 9 PORG リミット(2) ccw θ軸 cw PORG CWL リミット(2) CWL CCWL CCWL +24V S +24V S GND (3) GND (3) ∅1 F.G. 8 モータ F.G. U モータ V ∅120 U U V F.G. U (150) ∅ R0.3-4 36 F.G. R0.3-4 (150) 3 59 丸型圧着端子 4-M3用穴 (300) 丸型圧着端子 (300) 65 コード長さ:(3000) ∅ 8-M4深8(1) 90 (等分配置) 4 25 120 100 10 ● SA65DE/XS、SA65DE/XT ● SA65DE/XYS、SA65DE/XYT ● SA120DE/XS、SA120DE/XT ● SA120DE/XYS、SA120DE/XYT ∅10深20 8-M3深4(1) 88 16 (等分配置) ∅10深20 8-M3深4(1) 88 16 θ軸 (等分配置) θ軸 65 CCW CW CCW CW θ軸 CCWθ軸CCW CW CW 6 ∅120 ∅3 ∅120 深25 ∅36深25 ∅59 ∅59 8-M4深8(1) 8-M4深8(1) ∅ (等分配置) (等分配置) 90 ∅90 ∅18 ∅ - + - + 18 X軸 Y軸 120 120 - X軸 + - + Y軸 65 5 110 5 110 4-M4用穴 110 5 5 110 4-M4用穴 3 59 3 59 4-M3用穴 59 3 3 59 4-M3用穴 注( 1)取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 注( 1)取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2)SA65DE/T(無限回転仕様)にはリミットコードとメカストッパはありません。 (2)SA120DE/T(無限回転仕様)にはリミットコードとメカストッパはありません。 (3)SA65DE/S、SA65DE/Tいずれの仕様においても「S」の記号が入ります。 (3)SA120DE/S、SA120DE/Tいずれの仕様においても「S」の記号が入ります。 備考 ケーブル長さについてはSA65DE/XおよびSA65DE/Sの寸法表をご参照ください。 備考 モータ・リミットコードのマークチューブに記載されている文字の向きは、製品によって異なる場合があります。  θテーブルの中心穴は貫通しています。  θテーブルの中心穴は貫通しています。 7 8 SA65/Sのとき(77.5) SA65/Tのとき(81) 3.9 15 22 37 6 - + 22 3 59 X軸 SA65/Sのとき(77.5) SA65/Tのとき(81) SA65/Sのとき(77.5) SA65/Tのとき(81) 3.9 15 15 22 52 135 50 25 25 5 135 - + X軸 75 135 25 25 25 5 100 25
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■ 製品寸法 ● SA200DE/S、 SA200DE/T ● SA200DE/XYS、 SA200DE/XYT コード長さ(: 1400) 136 32 200 エンコーダ 136 32 θ軸 ccw cw θ軸 ccw cw コード長さ(: 250) S モータ (3) ∅200 0 リミット(2) ∅56 ∅ ∅20 56深30 8-M5深10(1) 8-M5深10(1∅ ) (等分配置) 14 ∅ 0 14 (等分配置) 0 4-M6用穴 - + 160 20 Y軸 200 120 40 182 9 4-M6用穴 注( 1)取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。 ● SA200DE/XS、 SA200DE/XT 200 136 32 θ軸 ccw cw ∅200 ∅56深30 8-M5深10(1) ∅14 (等分配置) 0 - + X軸 182 9 40 120 4-M6用穴 注( 1)取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2)SA200DE/T(無限回転仕様)にはリミットコードとメカストッパはありません。 (3)SA200DE/S、SA200DE/Tいずれの仕様においても「S」の記号が入ります。 備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。  θテーブルの中心穴は貫通しています。 9 10 60 30 30 4.5 220 5 160 40 30 220 - + 90 X軸 30 30 30 4.5 220