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このカタログについて
| ドキュメント名 | 半導体製造装置向けの、機械要素部品の選定ポイントは? |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ホワイトペーパー |
| ファイルサイズ | 995.9Kb |
| 取り扱い企業 | 日本トムソン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド 1
ベ ア リ ン グ
Product Information No.70
◆教えて!イコボ(IKOBO)! 第21回
半導体製造装置向けの、機械要素部品の選定ポイントは?
ポイントは、特殊環境に適した潤滑剤の使用と
高剛性・優れた振動特性 の2つです!
イコボ
(IKOBO)
今回は…半導体製造装置に最適なIKO製品をご紹介していきます!
半導体製造装置向け 機械要素部品の選定ポイント
➊ 特殊環境に適した潤滑剤の使用 ❷ 高剛性・優れた振動特性
〈 使用される特殊環境 〉
真空・クリーン・高温
半導体の 半導体市場の
高性能化 急激な拡大
えられる原因
従来、特殊環境用の潤滑剤として 上記のような市場背景から…
フッ素系グリースやMAC系グリース使用 〈 半導体製造装置に求められていること 〉
→ △安全性・潤滑性能・耐熱性に課題 高タクト運転・微細化への対応
「多くの要求を同時に満足する潤滑剤」 「高速・高加減速な動作」と、
が求められています。 「精密な位置決め」の両立が不可欠です。
IKOがご提案する製品は…
リニアローラウェイ
液晶潤滑 シリーズ スーパーX シリーズ
えられる原因
低発塵 環境配慮 高剛性
低蒸発 長寿命 優れた振動特性
くわしくは次ページでご紹介!
テ 解先S直半本1かE:ら2説日前導編M0始動開の体はICまブ、O画催製りーNま「さ造ス 半JすれAキス 装に導!たPて置A体ぜ、N向ひ 製2けご0ト 造に2覧4装、く機置だ械さ向い要け!素 機部械品要選素定部を品す選る定際の2ポつイのンポトイ2ンつトを」ご紹介!
自動的に生成された説明
解説動画「半導体製造装置向け 機械要素部品選定の2つのポイント」
先日開催されたSEMICON JAPAN 2024直前のブースにて、
半導体製造装置向けに、機械要素部品選定をする際のポイント2つをご紹介!
本編は、1:20から始まります!ぜひご覧ください!
さ※本(~)部1っ:編分2そ0かく!ら再動生画しをま観すて。みる!
さっそく!動画を観てみる!※本編(1:20~)部分から再生します。
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スライド 2
半導体製造装置向けにご提案する IKO製品
液晶潤滑 シリーズ リニアローラウェイスーパーX シリーズ
液晶潤滑剤は、基油と増ちょう リニアローラウェイスーパーX
剤からなる通常のグリースとは は、ローラの優れた特性を最大
異なり、固体と液体の中間の性 限に生かし、滑らかな走行と高
質をもつ液晶化合物のみで潤滑 信頼性、高剛性と高精度を実現
機能を実現した世界初の軸受用 した直動案内機器です。
潤滑剤です。 詳しくはこちら!
詳しくはこちら!
■高剛性
鋼球と比べて荷重に対
する弾性変形量が小さ
い円筒ころをスライド
えられる原因 ユニットの中に数多く えられる原因
組み込むことにより、
高い剛性を実現してい
ます。
■優れた振動特性
剛性が高いので、繰返
し変動荷重に対する変
形量が小さく、固有振
動数が高くなり、振動
他の潤滑剤と比較した実験データをまとめるとその他の潤滑剤と
減衰時間も短くなりま
比べて、特殊環境下においてとてもバランスが良く、高いレベル
す。
の性能を有しています。さらに、有機ふっ素化合物(PFAS)を含有せ
ず、ハロゲンフリー対応しています。また、燃焼時でも有毒ガス
は発生しません。
解先S直半本1かE:ら2説日前導編M0始動開の体はICまブ、O画催製りーNま「さ造ス 半JすれA装に導!たPて置A体ぜ、N向ひ 製2けご0テキスト 造に2覧4装、く機置だ械さ向い要け!素 機部械品要選素定部を品す選る定際の2ポつイのンポトイ2ンつトを」ご紹介!
自動的に生成された説明
解説動画「半導体製造装置向け 機械要素部品選定の2つのポイント」
先日開催されたSEMICON JAPAN 2024直前のブースにて、
半導体製造装置向けに、機械要素部品選定をする際のポイント2つをご紹介!
本編は、1:20から始まります!ぜひご覧ください!
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