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このカタログについて
| ドキュメント名 | クリーン環境下で、清浄度を確保しながら使用できる製品ってある? |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ホワイトペーパー |
| ファイルサイズ | 1020.1Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日本トムソン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド 1
ベ ア リ ン グ
Product Information No.76
◆教えて!イコボ(IKOBO)! 第23回
クリーン環境下で、清浄度を確保しながら使用できる製品 ってある?
それなら…クリーン精密位置決めテーブルTC…EBが最適です!
テーブル内部の密閉性を高めた構造により
イコボ
清浄度クラス3を実現しています。 (IKOBO)
クリーン精密位置決めテーブル 軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、
ステンレスシート、サイドカバーにて、テーブル内部の密閉性を高めた構造で
TC…EB 清浄度クラス3に対応した位置決めテーブルです。
送り機構に精密ボールねじを採用しており、高精度な位置決めが可能です。
また、スライドテーブルと一体構造の直動案内部とボールねじに
潤滑部品Cルーブを内蔵することで、長期メンテナンスフリーを実現しています。
01.軽量・低断面・コンパクトなクリーンテーブル
軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、
テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブル。
直動案内機器とボールねじの最適設計により、高さ寸法は
TC50EBで50mmの低断面を実現しています。
センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に
直接取り付ける構造なので、
省スペースに貢献します。
03.清浄度クラス3※に対応
スライドテーブル内の樹脂製ローラでステンレスシートを
サイドカバーに押し付け、強力マグネットシートで確実に吸着し、
02.高耐食性 駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。
主要構成部品は、アルマイト処理を施した 密閉空間から空気を吸引することで周辺への発じんを防ぎ、
高強度アルミニウム合金とステンレス鋼 IKO測定方法による清浄度評価で、クラス3を実現しています。
(ステンレスシート)を使用しており、 スライドテーブル案内部とボールねじには、
耐食性に優れています。 クリーン環境用低発じんグリースCGLを封入し、発じんを抑制しています。
※清浄度クラスの判定はJIS B 9920:2002による。また、清浄度は使用環境及び運転条件により異なります。
メ「T」2ククCカ分リリートほーロンンどル専精のー用動ム密サで画位イのでト置使、 決本プ用めロ製にテモ最品ー適のブシ特ルなョン理長動や由画採な用ども事詳例しをくわごか紹り介やしすてくい解ま説すしのてでい、まごす興。味のある方はご覧ください。
メカトロ専用サイト プロモーション動画
「クリーン精密位置決めテーブルTC」
2分ほどの動画で、本製品の特長や採用事例をわかりやすく解説しています。
クリーンルームでの使用に最適な理由なども詳しくご紹介していますので、ご興味のある方はご覧ください。
まずは、動画で製品特長を観てみる!
まずは、動画で製品特長を観てみる!
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スライド 2
課題解決事例
装置:半導体製造装置(レチクル搬送)
課題:高い清浄度・メンテナンス工数削減
要望:クリーンテーブルによる清浄度の確保・
メンテナンスフリー
低発じん・メンテナンスフリーの特長を持つ、
TC…EBで解決!
低発じんのしくみ メンテナンスフリーのしくみ
◆直動案内機器とボールねじ
◆スライドテーブル案内部とボールねじには低発じんグリース ボールねじ
には、IKOオリジナルの
を封入することで発じん量を抑制
潤滑部品Cルーブを内蔵
◆ステンレスシートをマグネットシートにより吸着して
密閉し、テーブル内部空間の空気を吸引することで
周囲への発じんを防ぐ
IKO測定方法にて清浄度を評価した結果…
直動案内機器
給脂が困難なテーブル内部の
TC60EB、TC86EBでは清浄度クラス3相当、
直動案内機器・ボールねじ部のメンテナンスフリー
TC50EBでは清浄度クラス2相当を記録!
を実現!
メ「T」2ククCカ分リリートほーロンンどル専精のー用動ム密サで画位イのでト置使、 決本プ用めロ製にテモ最品ー適のブシ特ルなョン理長動や由画採な用ども事詳例しをくわごか紹り介やしすてくい解ま説すしのてでい、まごす興。味のある方はご覧ください。
メカトロ専用サイト プロモーション動画
「クリーン精密位置決めテーブルTC」
2分ほどの動画で、本製品の特長や採用事例をわかりやすく解説しています。
クリーンルームでの使用に最適な理由なども詳しくご紹介していますので、ご興味のある方はご覧ください。
まずは、動画で製品特長を観てみる!
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