アライメントステージSA…DEは、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなX Y Θ 運動を実現するアライメントステージです。
従来の回転タイプ(SA…DE/S)は、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインナップした無限回転タイプ(SA…DE/T)は360度を超える動作角や連続回転動作に対応します。
このカタログについて
| ドキュメント名 | アライメントステージ SA…DE/T |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ホワイトペーパー |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日本トムソン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド 1
ベ ア リ ン グ
Product Information No.79
新製品の魅力を、 アライメントステージ
徹底分析！ 2025.09
新発売! SA…DE/T
アライメントステージSA…DEは、ダイレクトドライブ方式を
採用した、低断面でコンパクトなXYΘ運動を実現する
アライメントステージです。従来の回転タイプ(SA…DE/S)は、
回転動作角に制限がありましたが、新たにラインナップした
無限回転タイプ(SA…DE/T)は360度を超える動作角や連続
回転動作に対応します。ご興味をお持ちの方は、お気軽に
お問い合わせください。当社営業担当よりさらに詳しくご案内
いたします。
製品カタログ はこちらからダウンロード！
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従来品との性能比較
SA65DE/S SA65DE/T SA120DE/S SA120DE/T SA200DE/S SA200DE/T
(従来品) (従来品) (従来品)
断面形状
最大トルク N・ｍ 0.5 2.0 8.0(6.0)
最大トルク N・ｍ 0.06 0.4 2.0
最大可搬質量 kg 2.2 6.8 21.2(17.1)
動作角度 度 50 無限回転! 60 無限回転! 280 無限回転!
備考 ()内の値は、ADVA-R5MLドライバまたはAD7A-R5MVドライバを組み合わせた場合の数値です。詳細は製品カタログを参照ください。
SA…DEの特長
1. 直線移動用のXテーブルである、SA…DE/Xと組み
合わせることによって、XYΘ軸方向に稼働する極めて
XYΘ軸の
コンパクトなアライメントステージを簡単に構築すること
組合せが自由に ができます。
2. ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラ
ベアリングを採用。極めて低い断面高さを実現しています。
薄形、コンパクト
高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式の
3.
ステージをフルクローズドループ制御することにより、
高分解能・高応答 高分解能と高精度を実現しています。
【測定条件】 形番:SA120DE/T 搭載質量:1000ｇ 送り指令:3.6秒
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動画でわかる！
「半導体製造装置のピック＆プレイス機構における
アライメントステージSA…DE」 動画内で紹介している 課題解決事例
装置：フリップチップボンダー(P＆Pヘッド)
課題：ヘッドの設置スペース不足・チップ搭載時の角度ずれ
要望：アライメント機構の小型化・高精度化
コンパクトで、高精度な位置決めが可能な
アライメントステージ SA…DEによって解決します！
動画再生はこちらから！
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当社コンテンツのご紹介
日本トムソン株式会社ってどんな会社？
1950年創業のベアリングメーカーである日本トムソンを紹介いたします。
「そもそも…日本トムソン株式会社ってどんな
会社？」そんな問いに応える動画をご紹介いたし
ます。これまでの当社の歴史や、当社が永年多くの
お客様に評価いただけている
理由がわかる動画に
なっています。
再生時間は6分程度です。
お気軽にご覧ください。
IKOのキャラクター
日本トムソン株式会社ってどんな会社？
イコボ(IKOBO) 日本トムソン株式会社ってどんな会社？
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