超絶縁計 SM7110, SM7120, SM7420

超絶縁計 SM7110, SM7120, SM7420 SUPER MEGOHM METER SM7110, SM7120, SM7420 耐ノイズ性能 300 倍 最 高 2 × 1019 Ω表示 最 小 0.1 fA 分 解 能 最 速 6.4 ms 計 測 最 大 2000 V 出 力 超 絶 縁 計 SM7120 使 い 方 自 由 自 在 エレクトロメータ ピコアンメータ 最大 1000 V 出力 ＩＲメータ SM7110 4 チャネル 微少電流測定 SM7420

2 ノイズに強い高安定測定 OUTPUT SM7120 : 2000 V 出力 高電圧出力 LED INPUT SM7110 : 1000 V 出力 30 V 以上出力時点灯 トライアキシャル BNC SM7420： 電圧出力無し (SM7110/SM7120) 高抵抗測定に不可欠な安定度を徹底追及 ばらつき1/60、耐ノイズ性能 300 倍 6.0% 進化した２ kVフローティング回路 ノイズ 0V 5.26% 5.0% ノイズ混入 50V 新しくなった SM フローティング回路とト ライアキシャルコネクタの組合せにより電 ノイズを注入した 4.0% 源ノイズや外来ノイズに対する安定度（繰 悪条件下 約1/300減少！ り返し精度）が大きく向上しました。 3.0% 通常時の 通常の使用環境のばらつきは 0.007%（代 ばらつき 表値）と従来機種に対し 1/60 に減少し、 2.0% 約1/60に減少！ さらに 50 V のバーストノイズを注入した条 1.0% 件下では 1/300 ※にまで減少しています。 0.426% 0.016% 0.007% ※従来機種 DSM-8104 との比較 0.0% DSM SM DSM SM ノイズ環境下の繰り返し精度 [ 1 V 印加、SLOW2時 ] DSM：DSM-8104, SM：SM7120 GROUND 16 mm大口径トライアキシャルコネクタ GUARD 電流入力端子に新しく採用された大口径トライアキ INPUT ３重同軸の安全構造 シャルコネクタは、内部シールドを GUARD（COM) ラインに、外部シールドを GROUND に接続した３重 同軸構造になっています。ノイズに対する安定性と、 高電圧検査時の安全性を両立します。 10 pA 測定時の繰り返し精度 CV 値

3 ダイレクト設定キー 3 〜 6 桁表示選択　 グラフィカル LCD 高耐圧化が進む部品に対応 2000V / 2 × 1019 Ω測定 ※ SM7120 EVなど高電圧化に適合 形名 測定チャネル 最大出力電圧 近年の車載部品やウェアラブル機 SM7110 １ch 1000 V 器に代表される高効率化の要求 SM7120 １ch 2000 V に、部品の高耐圧化や絶縁性能の SM7420 ４ch ----- 向上は欠かせません。SM7120 は外部電源を使わずに 2000 V の出力 が可能なので、今後の検査要求の拡張にも安心してお使いいただけます。 ※ 2 × 1019 Ω＝ 20,000 P(peta) Ω 1600 個／分の量産に対応 最速 6.4 ms の高速検査 6.4 ms = 計測4.1 ms +コンタクトチェック 2.3 ms 量産検査に不可欠なコンタクトチェックを含めた検査時間（TRIG 入力 から INDEX 出力まで）が 6.4 ms 、コンパレータ計測を含めても 7.0 ms の高速測定を実現しました。 ※ SM7110 プリチャージ機能によるMLCCの高速検査 SM7120 2000 V/ 1.8 mA (SM7120 のみ）と 1000 V/ 10 mA の大容量に なり試料の充電時間を短くすることができます。 [ チャージ端子を標準装備 ] 最大 50 mA/ 250 V のプリチャージ機能が MLCC 量産検査の高スループットを実現します。

4 新素材評価に最適なユーティリティ 測定電極 変換アダプタ SM9001 Z5010 半導体や新素材の評価 [ 温湿度同時測定 ] 湿度 絶縁抵抗は温湿度の変化に敏感に反応するため、温湿度の同時管理が必要です。 温湿度要因 温度 素材要因 温度± 0.5℃、湿度± 5％ RH の高確度温湿度測定を搭載して、新素材の測定管理にお使 抵抗 いいただけます。 （オプション温湿度センサ Z2011 使用時　温度 -40℃〜 80℃、湿度 20％〜 80％） 真の要因を掴む [ シーケンス制御 ]　[D/A出力 ] 放電 充電 測定 放電 シーケンスモードでは、「放電」-「充電」-「測定」-「放電」の時間（最大 999.9s）を設 電圧 定して、パソコンなど使わずに繰り返し測定が可能です。測定中の電流変動も D/A 出力か 電流 DA 出力 ら記録計に保存できます。 ※シーケンス制御は SM7110/SM7120 のみ使用可能 さらに精密な評価を行う時は、USB などの外部制御により半導体の耐圧試験や新素材の電 シーケンス制御 圧依存性の確認などにお使いいただけます。 イレギュラーな入力をキャンセルする自動アベレージ [ 自動アベレージ ] SM シリーズの自動アベレージは電流の変動を監視しアベレージの最適化を自動で行う機 能で、測定結果を見ながら設定変更する作業がありません。充電電流の過渡応答時や、接 リセット中 触が不安定でばらつきが大きいなどの想定外の測定変動を自動で排除するため、安定した 大きな変動時にリセット 測定結果を得る事ができます。 （測定条件を一定にする回数指定のアベレージも可能です。） [ ５段階の測定スピード ] アベレージ計算中 環境に応じて FAST,FAST2,MID,SLOW,SLOW2 のスピード切り替えがあり、内部積分 AUTOアベレージイメージ 時間を ½PLC にした FAST2 など環境に合わせた設定が可能です。 豊富な電極バリエーションと設定の一括保存 [ 電極プリセット ] 電極や遮蔽箱は素材に合わせ多数取り揃えております。 抵抗率測定は使用する電極名の入力だけで電極定数が自動でセットされるため簡単に正確 に検査を始めることができます。 [ パネルセーブ・ロード ] 電極名や、シーケンス制御の 60 秒設定など各種設定はパネルデータとして一括保存でき るので、素材の切り替えはパネルデータの読み込みだけですばやく対応できます。 電極・遮蔽箱と SM7110/SM7120 の接続には、変換アダプタ Z5010 またはコネクタの変更が必要になります。

5 量産ラインの実用性を徹底追及 ピコアンモード（外部電源）でも使える高機能コンタクトチェック [ 低容量コンタクトチェック ] 外部機器 数 pF の低容量コンデンサや容量成分の小さな測定物でも判別可能なコンタクト チェックを搭載しました。 SM （判定基準値 0.1 pF 〜 99.99 pF） ））） [ ２band 選択 ] バッテリ生産ラインのように、多くの測定器が並ぶ現場で微少なチェック信号が混 V 外部電源 線しないように、コンタクトチェック周波数を選択できるようになっています。））） この２つのコンタクトチェックは外部電源を使ったピコアンメータモードでも利用 可能です。外部機器の影響による不要なリトライや過剰検出を防ぎ、タクト低下や 歩留まりの悪化を防ぐ高機能コンタクトチェックです。 [CH独立コンタクトチェック ] 外部電源専用の SM7420 は、計測チャネルごとにチェック周波数とディレイ設定 ↑確実なエラー検出 が変更できるため、ライン設計に合わせた細かい設定が可能です。 ライン構築もスピードアップ [ 外部インタフェース ] 外部とのインタフェースには GP-IB,RS-232C,USB の３種類と、プログラマブル コントローラと連携しやすい EXT I/O が標準装備されています。 [ 通信モニタ ][EXT IO テスト ] EXT I/Oテスト 全てのインタフェースは、通信モニタと EXT I/O テスト機能で把握できるため、ラ イン構築時に必要なリアルタイムの動作状況を見ながら作業が可能です。 段取り変更に柔軟に対応 [ ケーブル長補正 ] 無調整で測定ケーブルの入れ替えが可能で、ケーブル長を登録するだけの簡単設定 です。（登録可能ケーブル長　0.5 m 〜 3.0 m) 一般的なエレクトロメータやピコアンメータに装備される静電容量方式のコンタク トチェック機能は、ケーブル長が変わるとインピーダンスマッチングの再設定を行 います。　SM シリーズは無調整で交換可能です。 [ ジグ容量オープン補正 ] ジグの切り替え用にはオープン補正も完備しているため、SM シリーズは煩わしい 簡単段取り 調整が不要でライン構成の変更にも柔軟に対応します。 高速微少電流測定と大容量出力が MLCC 量産ラインに最適 電 理想状態 [ 入力インピーダンス１ k Ω ] 流 充電電流 SM7120 全ての電流レンジ・スピード設定で１k Ωの低入力インピーダンスになっているた め、「セトリング時間」による遅延がありません。 吸収電流 レンジ切り替えによるスピードの低下がないため量産ラインに最適です。 充電時間 検査までを短縮 [ 最大 50 mA /250 V、1.8 mA /2000 V の大容量出力、低ノイズ ] MLCC のような容量性試料の絶縁抵抗測定には、検査スピードだけでなく電圧印加 漏洩電流 時の充電時間も重要になり、この充電時間の短縮により検査タクトを短くすること 電圧印加時間 ができます。SM シリーズは大容量、低ノイズ電源を内蔵していますので、MLCC 充電時間の短縮と検査タクトの短縮 の更なる高性能化にも安心してお使いいただけます。

6 素材や用途に合わせた豊富な電極ラインナップ 表面 /体積抵抗測定用電極 SM9001 シート・フィルム・板状の生産品・素材・静電気防止床材を、そのままの形状で測定 ● 規格準拠  試料を切らずに、そのまま測定 JIS C2170、IEC61340-2-3 「静電気電荷蓄積を防止する固体平面材料の抵抗および抵抗率試験方法」 ●規格準拠の電極形状 リング電極 対電極面 100 内径：φ57 mm 電極部寸法： 外径：φ63 mm 100 × 100 mm 主電極 φ30.5 mm 本体電極 支持台一体型対電極 （SM9001 本体下面） （SM9001 付属品） 本体電極は規格に基づいた寸法の導電性ゴムを使用し、 2.5kg の荷重により、試料や測定箇所に載せるだけで安定 した測定が可能です。さらに1000V までの測定電圧に対 応し、高確度測定を実現します。 ●表面抵抗測定用点検治具 　SM9002（オプション）で使用前点検 表面抵抗測定用点検治具 SM9002（オ プション）を使用して、電極の動作確 認が可能です。測定結果の信頼性向上 につながります。 表面抵抗測定用点検治具 SM9002 表面抵抗測定用点検治具 SM9002 使用時 ●本体 ●オプション 表面／体積抵抗測定用電極 SM9001 表面抵抗測定用点検治具 SM9002 （低抵抗検査面（500 k Ω）、高抵抗検査面（1 T Ω）、一体型） （低抵抗検査面（500 k Ω）、高抵抗検査面（1 T Ω）、一体型） ￥390,000（税込￥429,000）　　 ￥190,000（税込￥209,000）　　 電極・遮蔽箱とSM7110, SM7120の接続には、変換アダプタZ5010（特注品）またはコネクタの変更が必要になります。詳しくはお問合せください。 ●抵抗率の測定 ガ電 主 絶縁材料の良否を判定する場合、抵抗率（固有抵抗）を用いま ー　 電ド極 極 す。この抵抗率はさらに体積抵抗率と表面抵抗率に分けられ、 前者は１㎤の立方体に相対する二面間の抵抗、後者は1㎠の平 対 電 面に相対する抵抗をもって表します。 極 超絶縁計SMシリーズには、試料の素材や状態が変わっても簡 体積抵抗測定 単に測定ができるよう数多くの電極を取り揃えております。 対 主 電 電 極 極 ガ電 ー　 ド極 表面抵抗測定 平板材料 ロール試料 抵抗率測定原理 100

7 電極／遮蔽箱の選定マップ 特殊材料電子部品用材料 プリント基板 セラミック基板 高絶縁の測定 チップコンデンサ用電極 SME-8360 フィルムコンデンサ セラミックコンデンサ 液体試料用電極 SME-8330 絶縁油 品質の監視 機械油 遮蔽箱 SME-8350 イソプロピルアルコール 電線 分銅電極 SME-8320 ケーブル 品質の検査 ハーネス 表面 / 体積抵抗測定用電極 SM9001 塗料 床材 帯 電 防 止 表面抵抗測定用電極 SME-8301 カーペット IC用トレイ 表面抵抗測定用電極 SME-8302 布、紙 丸薬（粉体） 水 分 監 視 平板試料用電極 SME-8310 ダイナマイト 食品、医薬向け樹脂 平板試料用電極 SME-8311 電気製品 法定安全性の確保 電子部品 電極は　　　　　 です。 電極不要 その他 電極・遮蔽箱とSM7110, SM7120の接続には、変換アダプタZ5010（特注品）またはコネクタの変更が必要になります。詳しくはお問合せください。 遮蔽箱 SME-8350 CE 非対応 高絶縁抵抗の試料や、誘導性または容量性の試料 の測定時に試料収納箱として用い電磁遮蔽を行い カーペット ます。分銅電極SME-8320と組み合わせ使用時電子部品 には、対電極またはガード電極ともなる電極があり ます。コンデンサやトランス等の電子部品測定時 にも外部からの雑音、漏洩電流などを防止して安定 した測定が可能。※SM7110, SM7120, DSM-8104 と組み合わせて使用する場合は別途インターロック接続 液体 ゴム加工品 ケーブル DSM8104Fが必要です。寸法: 250W × 100H × 200D mm ￥80,000（税込￥88,000） リード長: 80 cm 付属品: ゴムシート チップコンデンサ用電極 SME-8360 ※SM7110, SM7120接続オプション インターロック接続ケーブルDSM8104F ￥5,000（税込￥5,500） CE 非対応 チップコンデンサの絶縁抵抗測定用電極。 治具は0 mmから11 mmまで任意調整でき 各種チップコンデンサの測定が可能。イン 分銅電極 SME-8320 ターロック接続ケーブルで本体と接続する CE 非対応 遮蔽箱(SME-8350)と組み合わせて使用する平 と、蓋が開放状態では測定電圧は「OFF」とな 板試料用の電極。 ります。 カーペットなどの粗い面の試料でも、表面抵抗及び ※SM-8220sで使用する場合はインターロック接続ケーブルの 体積抵抗の測定が簡単におこなえます。主電極は 改造が必要です。 ￥200,000（税込￥220,000） 直径50 mm, ガード電極は内径70 mm, 外形80 寸法: 200W × 52H × 150D mm, リード長: 85 cm mmで両電極の同心円を構築する治具付き。 写真は遮蔽箱 (SME-8350)との ¥30,000（税込￥33,000） 液体試料用電極 SME-8330 組み合わせです 付属品 : バナナプラグ 2 個 JIS C 2101準拠 , 液体試料用の電極 CE 非対応 で、電極にはガードが施してあります。 平板試料用電極 SME-8311 総容量: 25 mL CE 非対応 主電極・対電極間容量: 約45 pF 平板試料の固有抵抗測定用電極。試料のサイズは40 電極定数: 約500 cm mm角から100 mm角、厚さ8 mmまでの測定が可 両電極間間隔: 1 mm 能。主電極は直径19.6 mm, ガード電極は内径24.1 19 mm, 外形28.8 mmです。 付属品: 接続ケーブル (長さ約60 cm) 10 Ω・cm (1,000V 時 )まで測定が 外観及び使用方法は、SME-8310と同じ。※SM7110, （赤）0GA00029 ×1本 可能です。 SM7120, DSM-8104と組み合わせて使用する場合は別途 （黒）0GA00030 ×1本 ￥100,000（税込￥110,000） インターロック接続ケーブル DSM8104Fが必要です。 寸法: φ 36 × 140 mm ※検査成績表付属 ￥180,000（税込￥198,000） 寸法: 215W × 78H × 165D mm 表面抵抗測定用電極 SME-8301 ※SM7110, SM7120接続オプションリード長: 75 cm インターロック接続ケーブルDSM8104F 電極先端を試料に押し付けるだけで、簡単に ￥5,000（税込￥5,500） 表面抵抗を測定。 主にSM-8213と組み合わせて、静電対策 平板試料用電極 SME-8310 品関連試料の表面抵抗の測定に用います。 CE 非対応 1011 Ωまでの抵抗測定が可能。 平板試料の固有抵抗測定用電極。試料のサイズはCE 非対応 寸法: 60 50 mm, リード長: 1 m 最大100 mm角, 厚さ8 mmまでの測定が可能。φ × ￥100,000（税込￥110,000） 主電極は直径50 mm, ガード電極は内径70 mm, 外形80 mmです。 表面抵抗測定用電極 SME-8302 インターロック接続ケーブルで本体と接続すると、蓋が開放状態では測定電圧は「OFF」となります。 樹脂の成形品、ゴムの加工品等のように形状が 体積抵抗と表面抵抗の切換えはサイドスイッチでお 曲面である場合や試料が小さい場合に使用で こなえます。※SM7110, SM7120, DSM-8104と組み きる表面抵抗測定用電極。 合わせて使用する場合は別途インターロック接続ケーブル 電極先端を試料に押し付けるだけで、簡単に表 DSM8104Fが必要です。 CE 非対応 面抵抗の測定が可能。電極間隔は10 mmで 寸法: 215W × 78H × 165D mm JIS K6911に準拠 1011 Ωまでの抵抗測定が可能。 リード長: 75 cm ￥150,000（税込￥165,000） 寸法: φ 40 × 115 mm, リード長: 1 m ※SM7110, SM7120接続オプション インターロック接続ケーブルDSM8104F ￥80,000（税込￥88,000） ￥5,000（税込￥5,500）

8 一般仕様 基本仕様 使用場所 屋内使用 , 汚染度 2, 高度 2000 m まで 使用温湿度範囲 0℃〜40℃、 80% RH 以下、 結露しないこと 保存温湿度範囲 -10℃〜50℃、 80% RH 以下、 結露しないこと 電源 / 最大定格電力 AC100 V 〜 240 V (50 Hz/60 Hz) : 45 VA 耐電圧 AC 4,000 V, 感度電流 10 mA[ 電源端子一括 ] ― [ 保護接地 , インタフェース , 測定端子 ] 間 適合規格 EMC：EN61326安全性：EN61010 寸法 / 質量 SM7110/SM7120 : 330W×80H×450D mm, 5.9 kg SM7420 : 330W×80H×450D mm, 6.5 kg 電源コード×1、取扱説明書×1、CDーR（通信コマンド取扱説明書、USBドライバ） 付属品 EXT I/O用オスコネクタ×1 SM7110/SM7120 :ショートプラグ×1 測定仕様 項目 SM7110 / SM7120 SM7420 測定チャネル １CH ４CH 測定項目 直流電流、直流電圧、温度、湿度 直流電流、温度、湿度 印加電圧 SM7110：0.1 V 〜 1000.0 VSM7120：0.1 V 〜 2000.0 V ----- 測定方式 被測定物への定電圧印加による電流測定方式 電流計 警告表示 電圧出力値　約 30 V 以上で赤色 LED 点灯 ----- 電流入力端子 トライアキシャルBNCコネクタ トライアキシャルBNCコネクタ 電圧出力端子 バナナ端子 ----- COM 端子 ----- バナナ端子 チャージ電圧出力端子 バナナ端子 ----- GUARD 端子 バナナ端子 ----- インターロック入力端子 BNC端子 ----- 対地間最大定格電圧 DC 2000 V 電流計入力抵抗 1 kΩ±10％ 表示更新速度 200 ms ± 5 ms（ 測定中描画更新 ON/OFF 可能） 表示ユニット モノクログラフィック LCD 確度保証温湿度範囲 23℃± 5℃、80% RH 以下 ウォームアップ時間 30 分以上 確度保証条件 電源周波数範囲 50 Hz/60 Hz ± 2 Hz 温度係数 0 〜 18℃、28 〜 40℃では± ( 測定確度× 1/10)/℃を加算 機能仕様 項目 SM7110 / SM7120 SM7420 表示 1：抵抗 / 電流 / 表面抵抗率ΩRS / 体積抵抗率ΩRV / 液体体積抵抗率ΩRL から１項目選択 ○ 測定値表示モード 表示 2：測定電圧（電圧モニタ） × 表示方式　EXP（指数表示）または UNIT（単位表示）、有効桁数３桁〜６桁 ○ 電圧出力機能 シンク / ソース（充電及び放電に対応）出力 OFF 時選択　放電 / ハイインピーダンス（Hi-Z） × 抵抗演算用電圧 V.MONI（電圧測定値）/ MES.V（電圧設定値）/ EXT.V（演算用電圧設定値）から選択 EXT.V のみ ディレイ機能 トリガ入力から測定開始までの時間設定 全 CH 共通 測定値の平均化（OFF / ON / AUTO) アベレージ機能 ON 2 〜 255 全 CH 共通 AUTO 測定値の変化量に応じて平均回数を自動的に変更 セルフキャリブレーション 設定時間　1 s 〜 600 s 　※電源投入時は自動実行 ○ ケーブル長補正機能 補正範囲　0.5 m 〜 3.0 m 各 CH 治具容量 表示範囲　　　　0.00 pF 〜 99.99 pF オープン補正機能 容量測定確度　　±（　20％ rdg. ± 0.1 pF　） 各 CH 高周波信号による静電容量測定方式 コンタクトチェック機能 表示範囲　　　　0.000 pF 〜 99.999 pF 各 CH 測定周波数　　　300 kHz / 245 kHz コンパレータ機能 dgt. 値で判定（Hi,IN,Lo）　 ○ シーケンスプログラム 放電、充電、測定、放電のパターンを順番に実行　測定：1 ms 〜 999.9 s　、測定以外： 0 ms 〜 999.9 s × その他の機能 判定音設定機能、インターロック機能、リセット、セルフテスト ○インターロック無し

9 確度仕様 確度保証期間 1年, 調整後確度保証期間 1年　　　電極の耐圧は 1000 V になりますのでご注意ください 電流測定確度 電流測定確度（±％ rdg. ± dgt. ） レンジ 最大表示 分解能 FAST / FAST2 MED SLOW SLOW2 20 pA 19.9999 pA 0.1 fA － － 2.0 ＋ 450 2.0＋30 200 pA 199.999 pA 1 fA － 1.0 ＋ 600 1.0 ＋ 45 1.0＋30 2 nA 1.99999 nA 10 fA 0.5 ＋ 600 0.5 ＋ 40 0.5 ＋ 30 0.5＋20 20 nA 19.9999 nA 100 fA 0.5 ＋ 30 0.5 ＋ 20 0.5 ＋15 0.5＋10 200 nA 199.999 nA 1 pA 0.5 ＋ 30 0.5 ＋ 20 0.5 ＋15 0.5＋10 2 μ A 1.99999 μ A 10 pA 0.5 ＋ 30 0.5 ＋ 20 0.5 ＋15 0.5＋10 20 μ A 19.9999 μ A 100 pA 0.5 ＋ 30 0.5 ＋ 20 0.5 ＋15 0.5＋10 200 μ A 199.999 μ A 1 nA 0.5 ＋ 30 0.5 ＋ 20 0.5 ＋15 0.5＋10 2 mA 1.99999 mA 10 nA 0.5 ＋ 30 － － － 抵抗表示範囲例 測定値には入力抵抗 1 k Ω（± 10%）が含まれます 設定電圧による抵抗表示範囲例 レンジ 分解能 0.1 V 10 V 100 V 1000 V 2000 V (SM7120 専用レンジ ) 20 pA 0.1 fA 5E+9 Ω 〜 1E+15 Ω 500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω 5E+12 Ω 〜 1E+18 Ω 50E+12 Ω 〜 10E+18 Ω 100E+12 Ω 〜 20E+18 Ω 200 pA 1 fA 500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω 50E+9 Ω 〜 10E+15 Ω 500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω 5E+12 Ω 〜 1E+18 Ω 10E+12 Ω 〜 2E+18 Ω 2 nA 10 fA 50E+6 Ω 〜 10E+12 Ω 5E+9 Ω 〜 1E+15 Ω 50E+9 Ω 〜 10E+15 Ω 500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω 1E+12 Ω 〜 200E+15 Ω 20 nA 100 fA 5E+6 Ω 〜 1E+12 Ω 500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω 5E+9 Ω 〜 1E+15 Ω 50E+9 Ω 〜 10E+15 Ω 100E+9 Ω 〜 20E+15 Ω 200 nA 1 pA 500E+3 Ω 〜 100E+9 Ω 50E+6 Ω 〜 10E+12 Ω 500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω 5E+9 Ω 〜 1E+15 Ω 10E+9 Ω 〜 2E+15 Ω 2 μ A 10 pA 50E+3 Ω 〜 10E+9 Ω 5E+6 Ω 〜 1E+12 Ω 50E+6 Ω 〜 10E+12 Ω 500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω 1E+9 Ω 〜 200E+12 Ω 20 μ A 100 pA 5E+3 Ω 〜 1E+9 Ω 500E+3 Ω 〜 100E+9 Ω 5E+6 Ω 〜 1E+12 Ω 50E+6 Ω 〜 10E+12 Ω 100E+6 Ω 〜 20E+12 Ω 200 μ A 1 nA 1E+3 Ω 〜 100E+6 Ω 50E+3 Ω 〜 10E+9 Ω 500E+3 Ω 〜 100E+9 Ω 5E+6 Ω 〜 1E+12 Ω 10E+6 Ω 〜 2E+12 Ω 2 mA 10 nA 1E+3 Ω 〜 10E+6 Ω 5E+3 Ω 〜 1E+9 Ω 50E+3 Ω 〜 10E+9 Ω 500E+3 Ω 〜 100E+9 Ω 1E+6 Ω 〜 200E+9 Ω 電流測定確度＋電圧測定確度 温湿度測定確度 温湿度センサ Z2011 組合せ時 抵抗確度 抵抗値算出に電圧設定値を選択した場合、確度の保証はありません。 温度確度範囲 -40.00℃〜 80.00℃ ± 0.5℃ 湿度確度範囲 20.0％ RH 〜 80.0％ RH ±５％ RH 測定時間：INDEX 時間（コンタクトチェック ON 時） 測定速度設定 電源周波数 （内部積分時間） PLC: Power Line Cycle 50 Hz 60 Hz FAST 2 ms 6.4 ms 6.4 ms FAST2 0.5PLC 16.0 ms 15.0 ms MED １PLC 26.0 ms 23.0 ms SLOW 4PLC 112.0 ms 96.0 ms SLOW2 13PLC 322.0 ms 322.0 ms 測定時間例 測定速度設定 ( 電源周波数） コンタクトチェック コンパレータ測定 ( 2.3 ms ) ( 0.2 ms ) FAST (50 Hz) FAST2 (60 Hz) INDEX EOM EOM(SM7420) INDEX EOM EOM(SM7420) OFF OFF 4.1 ms 4.5 ms 5.4 ms 12.7 ms 13.1 ms 14.0 ms OFF ON 4.1 ms 4.7 ms 5.6 ms 12.7 ms 13.3 ms 14.2 ms ON OFF 6.4 ms 6.8 ms 7.7 ms 15.0 ms 15.4 ms 16.3 ms ON ON 6.4 ms 7.0 ms 7.9 ms 15.0 ms 15.6 ms 16.5 ms INDEX 時間 ：コンタクトチェック時間 + ディレイ時間 + 測定時間 EOM 時間 ：INDEX ＋コンパレータ測定時間＋ 0.4 ms　※抵抗演算を電圧測定値から算出する場合は 1.0 ms 加算 EOM（SM7420） ：INDEX ＋コンパレータ測定時間＋ 1.3 ms SM7110/SM7120 電圧仕様 SM7420 に電圧の発生及び測定機能はありません。 電圧測定確度　 電圧発生確度　出力 OFF 時設定ー放電または Hi-Z レンジ 最大表示 分解能 電圧測定確度 電圧発生確度 START 信号から （ ± %rdg. ± dgt.） 設定電圧範囲 分解能 （ ± %setting. ±％ f.s.） 電圧出力までの時間 10 V 10.000 V 0.001 V 0.03 ＋ 2 0.1 V 〜 10.0 V 0.1 V 0.1 ＋ 0.05 0.1 ms max. 100 V 100.00 V 0.01 V 0.03 ＋ 2 10.1 V 〜 100.0 V 0.1 V 0.1 ＋ 0.05 0.1 ms max. 1000 V 1000.0 V 0.1 V 0.03 ＋ 2 100.1 V 〜 1000.0 V 0.1 V 0.1 ＋ 0.05 0.1 ms max. 2000 V ※ 2000.0 V 0.1 V 0.2 ＋ 2 1000.1 V 〜 2000.0 V ※ 0.1 V 0.2 ＋ 0.10 0.1 ms max. ※ SM7120 専用レンジ ※ SM7120 専用レンジ 電圧発生　電流リミッタ 電流値 充電設定 設定電圧範囲 設定値 トータル電流 測定系 充電系 50 mA 50 mA 5 mA 45 mA 0.1 V 〜 250.0 V 10 mA 10 mA 5 mA 5 mA 5 mA 5 mA 5 mA 0 mA ON 10 mA 10 mA 5 mA 5 mA 250.1 V 〜 1000.0 V 5 mA 5 mA 5 mA 0 mA 1000.1 V 〜 2000.0 V ※ 1.8 mA 1.8 mA 1.8 mA 0 mA 50 mA 50 mA 50 mA 0 mA 0.1 V 〜 250.0 V 10 mA 10 mA 10 mA 0 mA 5 mA 5 mA 5 mA 0 mA OFF 10 mA 10 mA 10 mA 0 mA 250.1 V 〜 1000.0 V 5 mA 5 mA 5 mA 0 mA 1000.1 V 〜 2000.0 V ※ 1.8 mA 1.8 mA 1.8 mA 0 mA ※ SM7120 専用レンジ

10 外部インタフェース　 インターロック入力端子 SM7110/SM7120 GP-IB D/A 出力端子 USB RS-232C EXT I/O NPN/PNP 切替 TEMP.SENSOR 端子 EXT I/O インタフェース ( テスト機能付き） SM7420 背面に外部電源との接続用 COM 端子（計測 GROUND) プログラマブルコントローラのコモンの極 性に合わせて、入力信号の極性を NPN タ イプ（シンク出力対応）とPNPタイプ（ソー ス出力対応）から、リアパネルの切り替え NPN/PNP SW により選択できます。 切り換え SW コネクタ 使用コネクタ（本体側）：D-SUB 37 ピン メス #4-40 インチネジ 適合コネクタ ：DC-37P-ULR（半田型）、DCSP-JB37PR（圧接型） 通信モニタ 日本航空電子工業社製 USB, RS-232C, GP-IB の送受信内容をパネルでモニタ可能です。 入力信号 入力形式 フォトカプラ絶縁　無電圧接点入力 GP-IB インタフェース （電流シンク出力対応）（負論理） IEEE-488.2 準拠 入力 ON 電圧 1 V 以下 方式 インタフェースファンクション 入力 OFF 電圧 OPEN（遮断電流 100 μ A 以下） SH1,AH1,T6,L4,SR1,RL1,PP0,DC1,DT1,C0 出力信号 出力形式 フォトカプラ絶縁 npn オープンドレイン出力 （無極性） アドレス 0 〜 30 最大負荷電圧 30 Ω V 最大出力電流 50 mA/ch RS-232C インタフェース 残留電圧 0.5 V（10 mA）、1.0 V（50 mA） コネクタ D-sub 9 ピンコネクタ　オス＃ 4-40 インチネジ 内蔵 出力電圧 シンク出力対応：+5.0 V ±10% 全二重，調歩同期方式，ストップビット 1（固定），デー 絶縁電源 ソース出力対応：-5.0 V ± 10% 通信方式 タ長 8（固定），パリティなし , 最大出力電流 100 mA フロー制御なし 外部電源入力 無し 通信速度 絶縁 保護接地電位および測定回路からフローティ (bps) 4800 / 9600 / 19200 / 38400 / 115200 ング 絶縁定格 対地間電圧 DC 50 V、AC 33 V rms、AC USB デバイス 46.7 V peak 以下 コネクタ シリーズ B レセプタクル 電気的仕様 USB2.0(Full-speed) タイミングチャート（電圧出力、外部トリガ測定） クラス CDC クラス（COM モード） t1 HID クラス（USB キーボードモード） START t2 D/A 出力 STOP 出力端子 BNC 端子 DC 0 V〜2 V：電流レンジのF.S.で2.0 V VON t4 t5 出力電圧 （SM7420は出力chを選択） 電圧出力 出力インピーダンス 1 kΩt3 t6 ※ SM7110/SM7120 インターロック入力 (SM7110/SM7120) BNC 端子 TRIG t7 入力端子t8 （EXT I/O 端子と並列） t9 t10 t11 設定有効時、Lo 入力または端子間ショートインターロック動作 でインターロック解除 INDEX コンタクト 測定 測定電圧の出力停止、測定停止チェック ディレイ 機能有効時動作 t12 キー、通信による測定不可 コンタクトチェックディレイ EOM ON OFF TEMP.SENSOR 端子 入力可能センサ 温湿度センサ　Z2011 t13 t1：0.1 ms 以上、t2：0.1 ms 以上、t7：0.1 ms 以上 t3,t6: ディレイ COM 端子（SM7420) t4（ t5）：電圧出力（停止）時間　0.1 ms 以内、t8：トリガ受付可能 0 s 以上 入力端子 バナナ端子 t9：INDEX,EOM 遅延時間、t10：INDEX 時間、t11：START セットアップ時間 4ms 以上 t12：TRIG セットアップ時間　表示 ON（40 ms 以上）　表示 OFF（1 ms 以上） t13：EOM 時間

11 製品名：  超絶縁計 SM7110     超絶縁計 SM7120     超絶縁計 SM7420 形名（発注コード） 測定チャネル 最大出力電圧 備考 価格 SM7110 １ch 1000 V ￥520,000（税込￥572,000） SM7120 １ch 2000 V ￥750,000（税込￥825,000） SM7420 ４ch ----- 微少電流測定専用 ￥800,000（税込￥880,000） 測定用プローブは本体に付属しておりません。　測定用途に応じてオプションのプローブをご購入ください。 オプション プローブ ピン形リード（赤）L2230 ピン形リード（黒）L2231 PIN TYPE LEAD(RED) PIN TYPE LEAD(BLACK) ケーブル長　1 m ケーブル長　1 m ￥60,000（税込￥66,000） ￥30,000（税込￥33,000） クリップ形リード（赤）L2232 クリップ形リード（黒）L2233 CLIP TYPE LEAD(RED) CLIP TYPE LEAD(BLACK) ケーブル長　1 m ケーブル長　1 m ￥40,000（税込￥44,000） ￥5,000（税込￥5,500） 片側開放リード（赤）L2234 片側開放リード（黒）L2235 OPEN LEAD(RED) OPEN LEAD(BLACK) ケーブル長　3 m ケーブル長　3 m ￥30,000（税込￥33,000） ￥5,000（税込￥5,500） 温湿度センサ Z2011 抵抗箱 SR-2 HUMIDITY SENSOR CE 非対応 ケーブル長　1.5 m ￥20,000（税込￥22,000） 超絶縁計用の校正抵抗箱。超絶縁計本体と Ｐ SM7110, SM7120 用 確実にガードが取れる構造を採用。 Ｃ コ インターロック接続ケーブル 最高使用電圧: DC1,000 V ミ DSM8104F ュ そ 長さ0.1 m 抵抗: 1 M〜10,000 MΩ (24点構成)ニ ケRS-232Cケーブル9637 GP-IB接続ケーブル9151-02 の 他￥5,000 （ 税込￥5,500） 変換アダプタ Z5010 ー PC接続用, 9pin − 9pin, ケーブル長 2 m 電極・遮蔽箱とSM7110, 寸法: 270W × 90H × 195D mm シ ョ クロス, 1.8 m ￥28,000（ 税込￥30,800） ※その他各種測定用 SM7120の接続 ン￥1,500（ 税込￥1,650） 電極をご用意 価格お見積り ¥220,000（税込￥242,000） ※検査成績表付属 変換アダプタ Z5010 の仕様はお問い合わせください。 0201サイズ※ 対応　SMD試料用電極  SM9060　 中空保持構造で、ジグの表面抵抗を無視できる極小チップ専用電極 ※ EIA SIZE:008004 操作性 測定性能 0201サイズを簡単チャック 中空保持で正確に測定 × × 誘導溝で極小チップも簡単に固定、 検査中はステージが下がり、ジグの 専用のワイヤープローブで確実に試 表面抵抗が無視できるようになるた 料を保持します。 め、試料だけを正確に測定します。 電極と超絶縁計の接続にはコネクタの変更が必要になる場合がありますのでご注意ください。

MLCC専用漏れ電流検査システム 超絶縁計 SM7420（４CH） / SM7810（８CH）  電源ユニット SM7860 MLCC 検査で最大スループットを提供 MLCC漏れ電流検査システムの特徴 ４ch微少電流専用超絶縁計SM7420と外部電源の組合せや、漏れ電流検査専用に開発された８ch超絶縁計 SM7810と３２ch出力の電源ユニットSM7860を組み合わせた高速検査システムです。 自動機への搭載に最適で、最高速のMLCCの漏れ電流検査ラインを構築できます。 ● 超絶縁計SM7810で8ch同時測定、最速6.8 ms の業界最高速の MLCC の漏れ電流検査ラインを実 現し、自動機のタクトタイムを低減して、MLCC の 大量生産ラインのコスト削減に寄与します。 ● 電源ユニット SM7860 は最大印加電圧や機能に 応じて選択することで、充放電を含む各種の検査ラ インに対応できます。 ８CH 漏れ電流検査システム ■ SM7810 仕様 ■ SM7860 仕様 チ ャ ネ ル 数 8ch 入 出 力 端 子 電圧出力端子（背面：） 測 定 方 式 被測定対象に電圧を印加して電流を測定 丸型特殊コネクタ（8ch 対応） 印 加 電 圧 外部電源から供給（背面の電圧入力端子） 外部インタフェース GP-IB, RS-232C, EXT I/O 電流計入力抵抗 1 k Ω （条件設定、操作）（GP-IB アドレス設定を除いて、条件設定・操作はすべて外部インタ 外部インタフェース GP-IB, RS-232C, EXT I/O （GP-IB アドレス設定を除いて、 フェースより実行） （条件設定、操作）条件設定・操作はすべて外部インタフェースより実行） 対 応 機 種 超絶縁計 SM7810 測定値表示モード 抵抗／電流 機 能 電圧出力 測 定 速 度 FAST, MED, SLOW, SLOW2 動 作 方 式 シンク／ソース、充電および放電に対応 測 定 範 囲 電流：1 pA 〜1 mA、抵抗：1×102 Ω 〜 1×1015 Ω 発 生 制 御 EXT I/O の OUTPUT 信号が ON 時に出力 レ ン ジ 切 替 え HOLD / AUTO 出力 ON/OFF チャネルごとに設定可能 トリガディレイ 0 ms 〜 9999 ms（ 分解能 1 ms） 電 圧 異 常 モニタ電圧が設定した範囲外の時にアラームを発生、 平均化方法：移動平均、 ア ラ ー ム 設定可能範囲：± 2 〜± 19%（分解能 1%）平 均 化 機 能 OFF / ON（1 〜 255） / AUTO 電 流 制 限 制限方法：各チャネル独立で制限 測 定 電 圧 設 定 0.1 V 〜 1000.0 V（ 分解能 0.1 V） 電流制限方向：双方向で電流制限可能 測定値と基準値を比較 電 圧 モ ニ タ 各系統の出力電圧を測定して表示測 定 値 比 較・ 判 定 機 能 判定：HI,IN,LO 電圧印加対象：積層セラミックコンデンサ判定基準設定範囲：-9.9999E30 〜 9.9999E30 コンタクトチェック機能／治具容量オープン補正機能／ 制 約 事 項 充電チャネル数：8ch 以内 / 系統 機 能 動作条件：充電間隔の制約あり治具抵抗オープン補正機能 詳細な仕様は単品カタログ「超絶縁計 SM7810/ 電源ユニット SM7860」をご覧ください。 お問い合わせは ... 本 社 〒386-1192 長野県上田市小泉81 製品に関するお問い合わせはこちら 本社 カスタマーサポート 0120-72-0560 （9:00 〜12:00, 13:00 〜17:00, 土・日・祝日を除く） 0268-28-0560　 info@hioki.co.jp 詳しい情報はWEBで検索 HIOKI ■本カタログの記載内容は 2021 年 4 月 1日現在のものです。 ■本カタログ記載の仕様、価格等はお断りなく改正・改訂することがあります。 ■本カタログで使用している会社名および製品名は、各社の登録商標もしくは商標です。 校正書類について 校正書類は別途ご発注をお願いします。海外へ持ち出しされる場合は注意事項があります。詳しくは弊社 HP をご確認ください。 販売店の皆様へ ご注文・修理・校正のご用命は本社受注センターまで。 TEL 0268-28-1688 FAX は弊社営業拠点と共有で受信できますので、担当営業拠点宛にお願いします。 SM7110J14-14B