フライングプローブテスタ FA1817, FA1283, FA1816, プロセスアナライザー Pro UA1801

フライングプローブテスタ FA1817, FA1283, FA1816 プロセスアナライザー Pro UA1801 FLYING PROBE TESTER FA1817, FA1283, FA1816 Process Analyzer Pro UA1801 高密度プリント配線板の潜在不良を逃さず検出 高精度測定が可能な、縦型・両面検査の FA1817 高精度測定が可能な、水平型・両面検査の FA1283 高速検査が可能な、静電容量測定方式の FA1816 検査を Passした基板に潜む潜在不良を検出 最新の AI 技術を用いた統計解析で、潜在不良の原因となりうる「特異点」を検出 UA1801 NEW ■ プロセスアナライザー Pro (UA1801) による基板品質の向上 Pro NEW ■ プロセスアナライザー Client (E4781) による潜在不良の検出 Client ■ プロセスアナライザー ( 無償ソフト ) による検査結果の解析 ■ 低抵抗から高絶縁抵抗まで幅広い測定に対応 ■ 打痕深さ1/2、高精度プロービング ■ 部品内蔵基板の測定に対応（ FA1817・FA1283 オプション） ■ 検査時の基板たわみに強い縦型検査機 (FA1817) ■ 検査基板の自動搬送が容易な水平検査機 (FA1283)

2 高機能基板の電気検査を、用途に応じて３機種から 1. 低抵抗・高絶縁抵抗測定で潜在不良を発見 4端子抵抗測定機能 200 mA導通検査 ケルビンプローブを使用して、IVH（インナービアホール）や 一般的な微細パターンの定格電流に近い200 mA までの スルーホールの微小抵抗を抜群の安定性で正確に測定します。 高電流印加により、パターンの信頼性も確保できます。 大径 via 電源ネットパターン マイクロショート 高抵抗ショート 大面積パターン 信号パターン 印刷抵抗 FA1817, FA1283の検査範囲（ 40.00 μΩレンジ〜） FA1816の検査範囲（ 40.00 μΩレンジ〜） 一般的なフライングプローブテスタの検査範囲 1 μΩ 1 mΩ 1 Ω 1 kΩ 低抵抗検査の重要性 パターンのニアオープン不良検出 ・ 4端子低抵抗測定方式 を実現する 専用プローブと専用測定ボードによ ・ 瞬時的な高電流印加（最大 200 mA）により、パターンの切 り、オープンビアの微小な抵抗値を「 正確かつ高速」に検出します。 れかかりを検出します。 ・ オープンビアがあると抵抗値とインダクタンスが増加し信号伝達に支障 ・ 最大 200 mA の大電流導通検査は実動作に近い環境での抵抗 を与えます。 測定のため、パターンやビアの接続信頼性の確認に最適です。 高分解能かつ高精度の計測器を用いた 4 端子法による低抵抗検査は、 すばやくビアの接続状態が把握できます。 高圧電流により 切れかかりを確実 に切断 正常なビア オープンビア パターンの亀裂など 検出 潜在的パターン欠陥の検出 高電圧による検査 絶縁検査PASS マイクロショート検査 = 検査信頼性の向上 絶縁検査の前にパターン間に発生した微細なショートをあらかじめ 設定された低電圧印加により検出する機能 マイクロショート 高電圧検査により 不良検出が ショートを破壊 不可能になる 2. LCR測定とは一線を画す「内蔵部品測定」（ FA1817, FA1283 オプション） 実装電子部品の計測技術を集約 自動保護付き安心絶縁検査 0.1 V 印加のローパワー LCR 測定 ・ 部品が接続されたネットの絶縁検査を自動で分離 ・ LSI 等の半導体を動作させずに正確な測定 ・ 高電圧が部品に印加されない安心設計 ・ 部品にダメージを与えない低電圧での測定 JIS 規格に沿った MLCC 計測機能搭載 LCR 複合回路から個別部品だけを位相分離計測 ・ 容量値に電圧依存性のある MLCC（積層セラミックコンデンサ） ・ 抵抗成分と容量成分を交流信号の位相差により正確に分離計 を所定の周波数と電圧で測定 測。最小 0.1 pF までの検査が可能

3 「検査」と「計測」、「選別」と「解析」 単純な導通・絶縁検査から、部品パラメータ検査までご提供します 潜在欠陥の検出 100 GΩ/250 V 高速な高絶縁検査 マイクロショート検査や豊富な絶縁検査モードの活用で、従来の検査 FA1817は専用の計測器に匹敵する100 GΩ/250 Vの高絶縁検査 だけでは見逃してしまう潜在不良を検出します。 が可能です。（FA1816： 500MΩ/250Vまで） 亜酸化物などの導電性不純物 吸湿した埃 オーガニック良品 エッチング液残渣 表面の汚染 絶縁物中の不純物 セラミック良品 FA1817, FA1283の強力な絶縁検査能力（ 〜100.0 GΩ) FA1816の絶縁検査能力（ 〜500.0 MΩ) 一般的なフライングプローブテスタの検査範囲 10 kΩ 10 MΩ 500 MΩ 10 GΩ 100 GΩ パターン内の絶縁欠陥の検出 ・ 専用開発した 100 GΩ/250 V の高絶縁抵抗計測ボードにより、高電圧印加によるストレスを最小限に抑えながら、「やさしくかつ高速」に 検出します。（FA1817 のみ） ・ パターン形状異常やパターン間に存在する不純物や、ボイドによる絶縁不良を検出できます。 パターン形状異常 ボイド ボイド 不純物 検査時の高電圧印加 絶縁検査PASS ARC 検出 = 長期信頼性の向上 絶縁検査中に発生した ARC 放電現象を検出 パターンの微小 検査中に放電が 放電により突起が 出荷後にリークな な突起など 起きる なくなり絶縁は確保 どの不具合が発生 ガーディング機能 ・ 回路網を回り込む測定信号をブロックする ICT 機能 ・ ガード電位は部品接続情報から自動的に設定可能 LSI 接続信頼性検査 LSI 内蔵基板を検査する専用モードを実装（FA1817 のみ） 1. 試験電圧による内蔵部品へのストレス ローパワーモード（0.1 V 計測） 2. ベアチップの初期不良と応力破壊 LSI の消費電流検査 3. ダイオード特性検査の通電電流 1 mA 以下の微小電流レンジによりダイオード特性検査の負荷を低減

4 FA1817 被検査基板のたわみが生じにくい 省設置スペースの縦型・両面検査機 前面 2 アーム , 背面 2 アームの計 4 アームで両面同時検査が可能 Max. 67 points/sec. で高速検査 総合プロービング精度 □ 20μ m * * 検査条件に制約があります。 オプション 静電容量測定用吸着プレート 背面安全カバー E4701 E4711 抵抗測定に加え、片面での容量測定 庫内照明付きで、背面 ができます。 からのメンテナンスが簡 薄物基板や異形基板などさまざまな形 単です。 状の基板の検査ができます。 ( オープン状態 ) エアー式基板固定 オフセットステーション E4706 E4715 〜 E4718 基板をワンタッチで固定できます。 基板をセットしたままプ カメラ画像を見ながら基板固定幅 ローブのオフセット取得 を調整できます。 ができます。

5 必要な機能を標準搭載 安定性に優れた高速低抵抗測定、高絶縁測定機能を標準搭載 しました。 さらに正確なプロービングのために、位置補正カメラを全アー ムに標準搭載し、レーザ基板厚補正も標準搭載しました。 検査データ作成ではワークフローメニューを取り入れて、より シンプルな操作性を実現しました。 正確なプロービングのために 基板位置補正には、高画素数のカメラと高倍率レンズ ( 光学 1 倍 ) を採用し、レーザ基板厚補正機能を 搭載したことにより、基板への正確なプロービングと最適なコンタクトを実現しました。 オプションの 2 倍率レンズでさらに位置補正精度が向上します。 総合プロービング精度 FL アーム X 誤差 [ μ m] レーザ基板厚補正機能 青線は総合プロービング精度検査の判定基準、プロット レーザを使った非接触の基板厚補正機能で、適正 は各アームのプロービング位置を示します。* なストローク量で基板へのコンタクトが可能です。 打痕深さ1/2 を実現（ FA1817, FA1816 共通） 独自開発のプローブにより、速度を落とさずに打痕を抑えて 検査ができます。 従来プローブ CP プローブ 省スペース化を実現 設置面積の比較従来機 1271 比：78% FA1817 従来製品 1271 従来製品 1271 と同じサイズの 基板 (610 mm × 510 mm) を検査 できる上、機器の設置面積は従来 機種より小さくなり、省スペース を実現しました。 800 mm 床面積 (1,188,000 mm 床面2) 積 (1,513,600 mm 2 14 )85 mm 1760 mm Y 誤差 [ μ m] 860 mm

6 FA1283 被検査基板の自動搬送に対応可能な 水平型・両面検査機 上面 2 アーム , 下面 2 アームの計 4 アームで両面同時検査が可能 Max. 100 points/sec. で高速検査 総合プロービング精度 □ 15μ m * *FA1971-01 実装時 たわみを抑えるテンションクランプを標準装備 テンションクランプにより基板厚 0.16mm のストリップ基板でもす ぐに検査可能です。 水平搬送のため周辺装置に市販品を選択できるため、ローコスト で簡単に自動化ラインを構築できます。 オフラインモデル（自動基板搬送機能なし）：FA1283-01 自動搬送モデル（自動基板搬送機能あり）：FA1283-11 自動搬送モデル　FA1283-11

7 高精度プロービング機能 FA1971-01（ オプション） 総合プロービング精度 FL アーム 補正カメラの光軸とプローブのストロークのずれを X 誤差 [ μ m] 極限までゼロに近づけるための専用ステージ 静電容量測定用吸着ステージ（ オプション） 基板形状に影響されない静電容量方式 O/S 検査を行う ためのバキューム吸着ステージ E4001 基板外形や基板厚に左右されない安定した検査が可能 静電容量測定用吸着ステージ E4001 レーザ基板厚補正ユニット（ 標準装備） 検査面の位置をレーザで測長してコンタクトストロークを 調整、プローブ加重を一定に保つサポート機能 検査スピードを落とさずに打痕の小形化を実現 検査結果を、プロセスアナライザー / プロセスアナライザー Proで解析可能 （プロセスアナライザーは web からダウンロード可能です） 結果 .CSV 不良基板を解析し、基板設計や製造工程にフィード FA1283 の検査データ 各検査ステップの結果をヒストグラム、 バックすることで、歩留まりの良い基板生産を目指 分布図などの形で表示。 します。 Y 誤差 [ μ m]

8 FA1816 静電容量測定による高速検査 水平型・片面検査機 従来の抵抗検査に比べて、最少ステップ数で検査が可能 Max. 100 points/sec. で高速検査 総合プロービング精度 □ 16μ m * * 検査条件に制約があります。 静電容量測定方式 基板上のパターンは、電気的に絶縁された検査用電極との 間に、そのパターン面積に比例して一定の容量を持ちます。 断線箇所 パターンに短絡・断線などがあるとパターン面積が変化し、 この容量値も変化します。その値を良品データと比較するこ パターン とで、パターンの短絡・断線を検出します。 Cx 検査用電極 Cx1 Cx2 検査ステップの比較（ ネット数100、全ノード数500の場合） 導通検査方式 容量測定方式 断線検査 同一ネット内の全ノード 500 - 100 = 400 全ノードの容量測定を行い 断線がない場合の容量値　Cx = Cx1 + Cx2 断線・短絡検出 断線がある場合の容量値　Cx = Cx1 短絡検査 nCr = 100C2 500100×（100 - 1）/2 = 4950 断線の場合： 良品に対して低い容量値が検出されます。 検査ステップ 5350 500 短絡の場合： ほかのパターンの容量が加えられ、高くなります。 容量測定方式では、各パターンの端点のみの検査で断線と短絡 さらに絶縁測定機能を標準搭載し、容量測定による絶縁保証か 検査ができます。 ら絶縁測定による絶縁保証を実現します。

9 格段に向上した操作性（ FA1817, FA1816 共通） 従来のオペレーションを刷新！ 新データ作成方式により、1 枚目から検査ができます。 検査データ作成ではワークフローメニューを取り入れて、よりシンプルな操作性を実現しました。 基本吸収、良品判断、追加ステップの個別の操作が、ワンボタンで簡単に自動で作成できます。 データ作成など基本作業はワークフローに従うだけの簡単操作 マスター作成は手間いらずの全自動 正確なプロービングのために 基板位置補正には、高画素数のカメラと高倍率レンズ ( 光学 1 倍 ) を採用し、より正確なプロービングを 実現しました。オプションの 2 倍率レンズでさらに位置補正精度が向上します。 総合プロービング精度 L アーム X 誤差 [ μ m] 青線は総合プロービング精度検査の判定基準、プロットは 高精度な基板位置補正 各アームのプロービング位置を示します。* オプション レーザ基板厚補正機能 E4601 ドットマーキング機能 E4603 レーザを使った基板厚補正機能で、適正なストローク量 市販の油性ペンを使用したドットマーキング で基板へのコンタクトが可能です。 Y 誤差 [ μ m]

10 基板の異常が一目でわかる プロセスアナライザー Pro (UA1801) Pro 検査結果をプロセスアナライザー Proで解析 結果 .CSV 対応製品 1116 1117 各検査ステップの結果をヒストグラム、 1270 1271 分布図などの形で表示。 FA1116 FA1283 FA1811 FA1816 FA1817 色で抵抗値を可視化（ Pro 機能） 色で抵抗値を表現 高 標準 低 複数基板の同時表示で個体差を確認 選択した箇所の配線パターンを確認

11 検査機による、高精度な計測結果データ ステップ1 プロセスアナライザー を解析するツールです。 無償ソフト ・ 結果の統計解析を当たり前の作業に 蓄積した検査結果を元に統計解析を行い、基板の NEW ステップ2 プロセスアナライザー Pro 抵抗計測のみでは検出できなかった潜在不良を検 有償ソフト ・ 基板の異常が一目で分かる 出し、お客様の生産工程や設計工程での品質改善 に貢献します。 NEW ステップ3 プロセスアナライザー Client 有償ソフト ・ リアルタイムに統計的異常監視 （検査装置にモデルをフィードバック） AI を用いた特異点検出（ Pro 機能） 結果 .CSV 結果 結果 .CSV AI .CSV AI が検査結果を学習＆検索、PASS 基板の中から 統計的に特異点を含む基板を識別。 スルーホールのキズなど 実基板での特異点検出事例（ Pro 機能） 検出事例 1 結果番号 : 72 特異点が検出された基板と検 比 較 用 出されない基板について、該 当箇所を特定し X 線 CT 解析 を行った。 内層パターンの細りが確認された。 検出事例 2 結果番号 : 31 比 較 用 推定断面積：0.0466mm2 推定断面積：0.0461mm2 特異点が検出された基板と検 出されない基板について、ス ルーホール部分を X 線 CT 解 析を行った。 推定体積：0.0507mm3 推定体積：0.0402mm3 スルーホール径はほとんど違いがみられないが、 厚みと体積の違いが発見された。

12 リアルタイム異常監視 プロセスアナライザー Client (E4781) Client プロセスアナライザー Pro の特異点検出機能を検査装置に追加 通常の検査と同時に、リアルタイムで潜在不良を検出します 対応製品 FA18XX シリーズ AI 蓄積された検査結果データ リアルタイムに特異度判定 リテスト機能で虚報を防ぐ 潜在不良を検出 不良解析ソフト（ 無償版） プロセスアナライザー 検査結果をプロセスアナライザーで可視化 （プロセスアナライザーは web からダウンロード可能です） https://www.hioki.co.jp/j/lp/2018fa1817_pa/ 結果 .CSV 不良基板を解析し、基板設計や製造工程にフィード HIOKI 製フライングプローブ 各検査ステップの結果をヒストグラム、 バックすることで、歩留まりの良い基板生産を目指 テスターで検査結果を出力 分布図などの形で表示。 します。 折れ線グラフ ヒストグラム 判定マップ 分布図 管理図 棒グラフ

13 フライングプローブテスタ FA1817 ■ 概略仕様 ア ー ム 数 4 ( 前面 ×2, 背面 ×2) 取 付 可 能 プ ロ ーブ 1172 シリーズ , CP1072 シリーズ 検 査 ス テ ッ プ 数 999,999 ステップ 抵抗測定： 40.00 μΩ ～ 40.00 MΩ 絶縁測定： 1.000 kΩ ～ 100.0 GΩ 容量測定： 100.0 fF ～ 10.00 μF 漏れ電流測定： 1.000 μA ～ 10.00 mA 検査項目・測定範囲 高電圧抵抗測定： 1.000 kΩ ～ 100.0 GΩ キャパシタ絶縁測定： 1.000 kΩ ～ 10.00 MΩ オープン測定： 4.000 Ω ～ 4.000 MΩ ショート測定： 400.0 mΩ ～ 40.00 kΩ 判 定 範 囲 -99.9% ～ +999.9%, または絶対値 □ 20 μm（検査条件に制約あり） 総合プロービング精度※ ※□ 25 mm のエリア内で 3 点位置補正を実施し, その範囲内へのプロー ビングを行ったときの精度 (1172-82 プローブ使用 , 高精度モード時 ) 最小プローブ間ピッチ 50 μm（検査条件に制約あり） 測 定 ス ピ ー ド Max. 67 points/s (0.15 mm 移動・4 アーム同時プロービング, 容量測定時 ) 標準仕様 : 50W × 50H ～ 610W × 510H mm, 厚さ1.0 ～ 3.2 mm 検 査 可 能 基 板 エアー式基板固定 ( オプション ): 50W × 70H ～ 610W × 510H mm, 厚さ：0.6 ～ 6.0 mm 最大検査可能エリア 604W × 504H mm 電 源 AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 単相 ( 発注時指定 ) 50Hz/ 60 Hz, 最大消費電力 : 3 kVA 寸 法 ・ 質 量 1485W × 1950H × 800D mm (突起物除く), 1070 kg 設置面積：FA1817は従来機種 1271と同じサイズの基板 (610×510mm)を検査できますが、 機器の設置面積は従来機種 1270 ( 検査基板サイズが 1271 より小さい ) よりも更に小さく なっていますので、省スペース化に貢献できます。また、オプションで背面扉を用意しており、 メンテナンス性にも貢献できます。 ● プローブ移動の最適化で 最大20％ の検査時間短縮 ● 最新プローブとの組み合わせで 打痕低減 ● 新開発「プロセスアナライザー」による不良解析 生産性向上設備投資促進税制　対応製品 形名（発注コード）（仕様） 価 格 FA1817 （縦型両面） ...................................... お見積り 外観寸法（参考図） FA1817 用オプション 1485 mm 800 mm※ プ ローブオプションは共通です。最終ページをご覧ください。 形名 形名 （発注コード） 品名 備考 （発注コード） 品名 備考 工場出荷オプション その他オプション E4700 サーマルミニプリンタ 1134-02 打痕シート 2 シート 176 枚 , 販売単位 1 箱 E4701 静電容量測定用吸着 1350-02 オフセット基板（両面） 両面 , t = 2 mmプレート 1330-03 計測部校正ユニット R：100 M Ωまで , C, L：すべて E4702 カメラ高さ調整機能 FL, FR アームのみ 1330-06 計測部校正ユニット R：200 M Ω～ 100 G Ω E4703 ドットマーキング機能 ノック式油性ペン 1355-01 バキュームポンプ E4701 用 E4704 部品内蔵基板検査機能 AC LowPower, MLCC 測定 , LSI 1949-10 無停電電源ユニット接続信頼性検査 FA1350-05 オフセット基板 両面 , t = 1 mm E4705 マイクロ ARC 検出機能 ソフトウェア E4706 エアー式基板固定 標準基板固定と同時選択不可 E4710 オフラインソフト FA1817 他用 E4708 カメラレンズ 4 アーム分 , 2 倍率 UA1781 FEB-LINE 検査データ E4711 背面安全カバー 背面庫内照明付 作成システム 永年ライセンス版 E4712 同軸落射照明 4 アーム分 , 赤色 UA1782 FAIL VIEWER UA1780 データベース入力 E4715 オフセットステーション UA1782-01 FAIL VIEWER IPC-D-356 フォーマット入力 E4716 オフセットステーション E4706 選択時 UA1782-02 FAIL VIEWER CAN, ADR フォーマット入力 E4717 オフセットステーション E4708 選択時 , UA1801-01 データ解析ソフト 期限付ライセンス 1 年検査基板厚さ：0.6 mm ～ 3.6 mm UA1801-02 データ解析ソフト 無期限ライセンス E4718 オフセットステーション E4708 選択時 , E4781-01 データ解析ソフト 期限付ライセンス 1 年検査基板厚さ：3.6 mm ～ 6.0 mm E4781-02 データ解析ソフト 無期限ライセンス E4720 薄物基板固定 250 mm × 180 mm E4721 薄物基板固定 500 mm × 300 mm E4722 薄物基板固定 510 mm × 365 mm FA1395 リカバリーディスク 1950 mm

14 フライングプローブテスタ FA1283 ■ 概略仕様 ア ー ム 数 4 ( 上面 2, 下面 2) 取付可能プローブ 1172 シリーズ 検 査 ス テ ッ プ 数 最大 900,000 ステップ 抵抗測定： 40.00 μΩ ～ 100.0 MΩ 容量測定： 10.00 fF ～ 40.00 mF インダクタンス測定： 10.00 μH ～ 100.0 mH ダイオード VZ 測定： 0.000 V ～ 25.00 V 絶縁測定： 200.0 Ω ～ 100.0 GΩ コンデンサ絶縁測定： 200.0 Ω ～ 10.00 MΩ 高電圧抵抗測定： 200.0 Ω ～ 25.00 GΩ 高電圧ショート測定： 400.0 mΩ ～ 400.0 kΩ 検査項目・測定範囲 漏れ電流測定： 100.0 nA ～ 10.00 mA ツェナーダイオード VZ 測定： 0.000 V ～ 25.00 V デジタルトランジスタ測定： 0.000 V ～ 25.00 V フォトカプラ測定： 0.000 V ～ 25.00 V 導通検査： 400 mΩ ～ 1.000 kΩ オープン測定： 4.000 Ω ～ 4.000 MΩ ショート測定： 400.0 mΩ ～ 40.00 kΩ 直流電圧測定： 40.00 mV ～ 25.00 V 判 定 範 囲 -99.9% ～ +999.9%, または絶対値 総合プロービング精度 □ 20 μm / □ 15 μm（FA1971-01 使用時） 測 定 ス ピ ー ド Max. 100 points/s (0.1 mm 移動・2 アーム同時プロービング, 容量測定時 ) 検 査 可 能 基 板 厚さ: 0.1 ～ 2.5 mm, 外形 : 50W × 50D ～ 400W × 330D mm 最大検査可能エリア 400W × 324D mm 基 板 固 定 基板２辺チャック方式 ( テンション機構付き) 電 源 AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 単相 ( 発注時指定 ) 50/60 Hz, 5 kVA ● スクエア15μm高精度コンタクトと高速プロービングを実現 寸 法 ・ 質 量 1360W × 1200H × 1280D mm (突起物除く), 1100 kg ● Max.100points/secの高速検査 ● 一般ベアボードからフレキ基板、CSPなどの微細、高密度基板まで検査可能 ● 静電容量測定に加え、ダイオードなど部品内蔵基板用の計測機能も充実 形名（発注コード）（仕様） 価 格 FA1283-01 （搬送なし） ....................................... お見積り FA1283-11 （搬送あり） ....................................... お見積り 外観寸法（参考図） FA1283 用オプション ※ プローブオプションは共通です。最終ページをご覧ください。 形名 形名 （発注コード） 品名 備考 （発注コード） 品名 備考 工場出荷オプション その他オプション AC-LowPower（測定電圧 0.1 V） 1330-03 計測部校正ユニット R：500 M Ωまで , C, L：すべて FA1937-50 部品内蔵基板検査機能 LSI 検査 1330-06 計測部校正ユニット R：200 M Ω～ 100 G ΩMLCC 計測 インピーダンス検査 FA1350-05 オフセット基板 両面 , t = 1 mm FA1395 リカバリーディスク FA1938-22 マイクロ ARC 検出機能 1μ s 以上の ARC を検出（標準仕様では 1 ms 以上） 1944-03 拡張 I/O ボード E4001 静電容量測定用吸着プレート ソフトウェア FA1971-01 高精度プロービング機能 1139-09 1281データ作成ソフト FA1283, 1281 用 CP1072-01 プローブ 打痕低減タイプ UA1781 FEB-LINE 検査データ 永年ライセンス版 FA1945-68 同軸落射照明ユニット 4 アーム分 作成システム FA1945-69 斜照明ユニット 4 アーム分 UA1782 FAIL VIEWER UA1780 データベース入力 UA1782-01 FAIL VIEWER IPC-D-356 フォーマット入力 UA1782-02 FAIL VIEWER CAN, ADR フォーマット入力 UA1801-01 データ解析ソフト 期限付ライセンス 1 年 UA1801-02 データ解析ソフト 無期限ライセンス

15 フライングプローブテスタ FA1816 ■ 概略仕様 ア ー ム 数 2 ( 表面 ×2) 取 付 可 能 プ ロ ーブ 1172 シリーズ , CP1072 シリーズ 検 査 ス テ ッ プ 数 999,999 ステップ 抵抗測定： 40.00 μΩ ～ 40.00 MΩ 絶縁測定： 1.000 kΩ ～ 500.0 MΩ 容量測定： 100.0 fF ～ 10.00 μF 漏れ電流測定： 1.000 μA ～ 10.00 mA 検査項目・測定範囲 高電圧抵抗測定： 1.000 kΩ ～ 500.0 MΩ キャパシタ絶縁測定： 1.000 kΩ ～ 10.00 MΩ オープン測定： 4.000 Ω ～ 4.000 MΩ ショート測定： 400.0 mΩ ～ 40.00 kΩ 判 定 範 囲 -99.9% ～ +999.9%, または絶対値 □ 16 μm（検査条件に制約あり） 総合プロービング精度※ ※□ 25 mm のエリア内で 3 点位置補正を実施し, その範囲内へのプロー ビングを行ったときの精度 (CP1072-01 プローブ使用 , 高精度モード時 ) 最小プローブ間ピッチ 50 μm（検査条件に制約あり） 測 定 ス ピ ー ド Max. 100 points/s (0.1 mm 移動・2 アーム同時プロービング, 容量測定時 ) 検 査 可 能 基 板 50W × 50D ～ 610W × 510D mm, 厚さ0.1 mm ～ 3.2 mm 最大検査可能エリア 610W × 510D mm 電 源 AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 単相 ( 発注時指定 ) 50Hz/ 60Hz, 最大消費電力 : 3 kVA 寸 法 ・ 質 量 1303W × 1194H × 1167D mm (突起物除く), 900 kg ● 静電容量測定方式による高速パターン検査 ● 最新プローブとの組み合わせで打痕深さ1/2を実現 ● 格段に向上した操作性 生産性向上設備投資促進税制　対応製品 形名（発注コード）（仕様） 価 格 FA1816 （水平型片面） .................................. お見積り 外観寸法（参考図） 1303 mm 1167 mm FA1816 用オプション ※ プローブオプションは共通です。最終ページをご覧ください。 形名 （発注コード） 品名 備考 形名 （発注コード） 品名 備考 工場出荷オプション その他オプション E4600 サーマルミニプリンタ 1134-02 打痕シート 2 シート 176 枚 , 販売単位 1 箱 E4601 レーザ基板厚補正機能 1330-03 計測部校正ユニット R： 500 M Ωまで , C , L： すべて E4602 カメラ高さ調整機能 2 アーム分 1355-01 バキュームポンプ E4603 ドットマーキング機能 ノック式油性ペン FA1350-05 オフセット基板 両面 , t = 1 mm E4604 MLCC 計測機能 MLCC 測定 1350-02 オフセット基板（両面） 両面 , t = 2 mm E4605 マイクロ ARC 検出機能 ソフトウェア E4608 カメラレンズ 2 アーム分 , 2 倍率 E4610 オフラインソフト FA1816 用 E4612 同軸落射照明 2 アーム分 , 赤色 UA1781 FEB-LINE 検査データ 永年ライセンス版 E4613 同軸落射照明 2 アーム分 , 青色 作成システム FA1395 リカバリーディスク UA1782 FAIL VIEWER UA1780 データベース入力 UA1782-01 FAIL VIEWER IPC-D-356 フォーマット入力 UA1782-02 FAIL VIEWER CAN, ADR フォーマット入力 UA1801-01 データ解析ソフト 期限付ライセンス 1 年 UA1801-02 データ解析ソフト 無期限ライセンス E4781-01 データ解析ソフト 期限付ライセンス 1 年 E4781-02 データ解析ソフト 無期限ライセンス 1194 mm

プローブオプション FA1817, FA1283, FA1816共通 検査基板に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。 形名 （発注コード） 品名 備考 1172-66 プローブ シングルニードル 4 端子測定用 1172-67 4 端子プローブ ケルビンニードル ケルビンプローブ CP1072-11：打痕低減タイプ 37 μ m ピッチ ケルビンプローブ CP1072-12：打痕低減タイプ 21 μ m ピッチ 1172-68 ブレードプローブ シングルブレード 1172-69 ブレード 4 端子プローブ ケルビンブレード 1172-74 校正プローブ 計測部校正ユニット専用 1172-81 プローブ 1172-82 プローブ 1172-83 4 端子プローブ 35 μ m ピッチ 微細パターン用 4 端子測定用 1172-84 プローブ 1172-82 垂直 プローブ CP1072-01： 4 端子プローブ 1172-83： 1172-92 プローブ 1172-66 SR30 打痕低減タイプ 35 μ m ピッチ 1172-93 プローブ 1172-81 SR30 1172-96 ブレードプローブ 1172-68 45 deg. 1172-99 ブレード 4 端子プローブ 1172-69 45 deg. CP1072-01 プローブ 打痕低減タイプ CP1072-11 ケルビンプローブ 打痕低減タイプ 37 μ m ピッチ 微細パターン用 VIA 評価用 CP1072-12 ケルビンプローブ 打痕低減タイプ 21 μ m ピッチ プローブ 1172-82 ブレード 4 端子プローブ 1172-69 ソフトウェア関連製品 検査をPassした基板に潜む潜在不良を検出, データ解析ソフト ■ 概略仕様 ライセンスキー (USB) のみ プロセスアナライザー Pro UA1801 ライセンス内容 ※注意：パソコン, モニタなどのハードウェアは別途お買い求め下さい , インストーラーと取扱説明は Web ページからダウンロード ● 最新の AI 技術を用いた統計解析 FA1817, FA1816, FA1811, FA1282-01, FA1282-11, FA1283-01, FA1283-11, 1281, 1281-11, 1281-12, 1281-50, FA1116-03, 1116, ● 潜在不良の原因となりうる「特異点」を検出 対 応 検 査 装 置 1116-01, 1116-02, 1116-12, 1116-21, 1116-22, 1116-23, 1116- ● お客様の基板生産工程や設計工程での品質改善に貢献 24, 1116-32, 1116-41, 1116-42, 1116-43, 1116-44, 1116-45, 1116-51, 1116-52, 1116-53, 1116-54, 1116-62, 1116-71, 1116-72, 形名（発注コード）（仕様） 価 格 1116-73, 1116-74, 1116-75, 1270, 1271 UA1801-01 （期限付ライセンス1年） ............................... お見積り OS: Windows 10 Pro 64bit, CPU: 1.0 GHz 以上 ( 推奨 2.0 GHz 以上 ) UA1801-02 （無期限ライセンス） ...................................... お見積り 動 作 PC 環 境 の x64 プロセッサー , メモリ: 2 GB ( 推奨 4 GB) 以上 , Microsoft .NET Framework 4.6 および実行環境に対応した言語パックがインストールされて 無償版プロセスアナライザーをダウンロードはこちら いること 注意：Pro 版と無償版は共通ファイルです。Pro 版の機能を使うには 対 応 言 語 英語 , 日本語 , 簡体中国語 , 繁体中国語 , 韓国語 ライセンスキーの購入が必要です (2020 年 3 月現在 ) https://www.hioki.co.jp/ j/ lp/2018fa1817_pa/ 使 用 可 能 製 フライングプローブ フライングプローブ フライングプローブ 品 テスタ テスタ テスタ FA1817 FA1283 FA1816 実装基板の検査結果も、ベアボードの検査結果もワンクリックでFAIL情報をビジュアル化！ FAIL VIEWER UA1782 ■ 簡単操作とアシスト機能でリペア作業をバックアップする ■ 概略仕様 HIOKI電気検査装置,データ作成システム専用ビューワソフト ライセンス内容 インストール CD, ライセンスキー (USB), 取扱説明 ・フライングプローブテスタの検査結果をビジュアル表示 ※注意：パソコン, モニタなどのハードウェアは別途お買い求め下さい ・検査結果ファイルから部品やパターンをピンポイント表示 デ ー タ ベ ー ス イ ン ポ ー ト UA1780, U-ART 系データベース読込み・ピンボードやテストヘッドのプローブ位置表示 ・部品内蔵ベアボードも対応した部品・ネット探索機能 対 応 O S Windows 10 Pro 64bit ネット強調表示 任意のネットの強調色で表示 , 表示層を全層か部品実装層で選択可能 形名（発注コード）（仕様） 価 格 FAILリスト読込み , 検査装置の検査結果出力フォルダを任意の時間間隔で監視し , 新 UA1782 （UA1780データベース入力） ....................... お見積り リアルタイム監視 規の検査データを自動読込み UA1782-01 （IPC-D-356フォーマット入力） .................. お見積り UA1782-02 （CAN, ADRフォーマット入力） ................... お見積り データ作成時間1/2の新プラットホーム,ベアボード検査専用「3 in 1」の編集ソフト FEB-LINE検査データ作成システム UA1781 ■ 概略仕様 ■ 基板検査のノウハウを集約したガーバー編集ソフト テクニック不要の時短コマンドを搭載 ライセンス内容 インストール CD, ライセンスキー (USB), 取扱説明※注意：パソコン, モニタなどのハードウェアは別途お買い求め下さい ・キャビティ構造も簡単ポイント生成 対 応 O S Windows 10 Pro 64bit ・ガラスITO基板など印刷基板の自動ネット生成(オプション E7001) データ入力機能 ガーバーファイル, アパーチャファイル, ドリルファイル, U-ART データベース , DXF ( オプション ) ・部品内蔵基板に標準で対応 ・不要なポイントのみを削除する高精度中継点削除機能 検 査 デ ー タ ネット情報生成 , 部品検査データ生成 , 検査ポイント生成 , 中継ポ生 成 機 能 イント削除 ・英語対応 検 査 デ ー タ 出 力フォーマット SFD, SFDX, NND, IND, CON, COT, COTX, PRTX, LAYOUT 形名（発注コード）（仕様） 価 格 UA1781 （永年ライセンス版） ...................................... お見積り お問い合わせは ... 本 社 〒386-1192 長野県上田市小泉81 製品に関するお問い合わせはこちら 本社 カスタマーサポート 0120-72-0560 （9:00 〜12:00, 13:00 〜17:00, 土・日・祝日を除く） 0268-28-0560　 info@hioki.co.jp 詳しい情報はWEBで検索 HIOKI ■本カタログの記載内容は 2021 年 1月 15 日現在のものです。 ■本カタログ記載の仕様、価格等はお断りなく改正・改訂することがあります。 ■本カタログで使用している会社名および製品名は、各社の登録商標もしくは商標です。 校正書類について 校正書類は別途ご発注をお願いします。海外へ持ち出しされる場合は注意事項があります。詳しくは弊社 HP をご確認ください。 販売店の皆様へ ご注文・修理・校正のご用命は本社受注センターまで。 TEL 0268-28-1688 FAX は弊社営業拠点と共有で受信できますので、担当営業拠点宛にお願いします。 FA1817_1816_1283_UA1801J6-11M