小形流量センサ ラピフロー(R)FSM3シリーズ

1台で5種類のガスを測定可能 小形流量センサ ラピフロー® FSM3シリーズ COMPACT FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM3 SERIES Dive多rs様ifにied High　 P高e性r能foにrmance User　-f　r使ieいnやdlすyく 対応 CC-1393 4

小形流量センサ ラピフロー® FSM3シリーズ IO-Linkモデル登場 IO-Linkは工場現場のセンサ・アクチュエータ用デジタル通信規格です。（IEC61131-9） アナログ通信では伝送できなかったパラメータやイベントデータを伝送することが可能です。 多様に IO-Linkの特長 クラウド デジタル信号 デジタルデータによる常時監視が可能です。 Diversified パラメータ遠隔操作 工場 パラメータをネットワークから設定、 変更できるため、装置の遠隔操作が可能です。 Ethernet 筐体識別 形番、シリアルNo.などがネットワーク上で 1台で5種類のガスを測定可能 PLC 確認できます。 ガス種切替機能 プラグ＆プレイ 本体のボタン操作で マスターから設定コピーができるため、 （LCD表示タイプ、IO-Linkタイプ） 専用モデル 筐体識別 常時監視 メンテナンス時の煩わしいパラメータ再設定が （フルスケール流量200L/min以下のモデル） 酸素 不要です。 生産 パラメータ変更 アラーム通知 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（混合比 禁油仕様の酸素専用 現場 異常通知 モデルも準備しています Ar：CO2（８：２））を1台の流量センサで対応可能。 デバイスの故障、断線を確認できます。 本体のボタン操作でガス種の切替ができます。 ガス種 I/O IO-Link仕様では、上位コントローラから遠隔でガス フィールドバスへの接続 切替 イーサネット系ネットワークにも変換して 種変更が可能です。 接続することができ、装置のIoT化が可能です。 ※ 混合比のご希望がありましたら、当社営業担当者までお問い 空気 窒素 アルゴン 炭酸ガス 混合ガス （アルゴン＋炭酸ガス） 合わせください。 高性能に　High Performance 使いやすく　User-friendly 高精度・高応答 回転表示できる液晶ディスプレイ 豊富な継手バリエーション 繰返し精度： ±1％F.S.以内 表示の上下反転が可能 樹脂ボディ 表示精度： ±3％F.S.以内 MEMS 応答時間： 50msec MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で半導体 集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用した超小型デ 圧力損失の低減 ワンタッチ式 ワンタッチ式 ねじ込み式 ねじ込み式 バイスの事です。 流路再設計により最大50%低減 エルボ ストレート エルボ ストレート クリーン仕様（オプション） 発塵防止包装（P70）、禁油仕様（P80）を 双方向での流体計測が可能 かんたん取付け（オプション） ステンレスボディ ラインアップ タクトタイムの短縮に貢献 DINレール取付け パネルマウント 装置のグレードに合わせた使い分けが可能です。 流れ方向を任意に測定できます。 ※詳細はカタログNo.CB-033Sをご覧ください。 アウトガス対応 JXR 二重くい込み ねじ込み ねじ込み 継手タイプ 継手タイプ タイプ タイプ ステンレスボディタイプは、流路に樹脂を使用して Gねじ(ISO) いないため、アウトガスを嫌う工程に最適です。 双方向（順方向設定） 双方向 双方向（逆方向設定）

ソリューション事例 漏れ検査 生化学培養装置 飲料水用容器に気体を充填し、漏れの有無 CO2の流量を計測し、生物の光合成を促進 デジタル圧力センサ 小形流量センサ を検出します。 します。 FSM3 フィルタユニット デジタル圧力センサ インライン形クリーンフィルタ デジタル圧力センサ フィルタユニット 2ポート電磁弁 小形流量センサ 小形流量センサ 小形流量センサ FSM3 2ポート電磁弁 エア消費量の管理 アーク溶接 エア機器を使用する設備のエア消費量を アルゴン、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） モニタします。 デジタル圧力センサ などのシールドガスの流量管理をします。 フィルタユニット デジタル圧力センサ ロータリクランプシリンダ ガイド付シリンダ 小形流量センサ コネクタ付シリンダスイッチ 小形流量センサ（IO-Linkモデル） フィルタユニット 小形流量センサ （IO-Linkモデル） 小形流量センサ FSM3 FSM3 塗装エアの流量管理 電子部品の実装 塗装吹き付け時のエア圧力を電空レギュ 電子部品を実装する金線のテンションを レータにより可変し流量を制御します。 コントロールします。 デジタル圧力センサ フィルタユニット 電空レギュレータ 小形流量センサ インライン形クリーンフィルタ デジタル圧力センサ FSM3 小形流量センサ FSM3 インライン形クリーンフィルタ 小形流量センサ 小形流量センサ 電空レギュレータ フィルタユニット

小形流量センサ FSMシリーズの計測原理 FSMシリーズでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップを採用しております。センサ部は、シリコン基 板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。 センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化 する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れのない場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流 れを受けた場合は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度 差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差） が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適 しています。 〈流れなし〉 〈流れあり〉 温度センサ① 温度センサ② FLOW ヒータ R1 Rh R2 R1 Rh R2 温度 温度分布対称 温度 温度分布の対称崩れる 抵抗値 抵抗値 R1 R2 R1 R2 V V 電圧 電圧 R1 R1 V out V out 1/2V 1/2V R2 R2 V out V out

小形流量センサ L C D 表 示 ラピフロー R　 FSM3 バ ー ■ 流量センサ 表 示 樹 I 脂 O ボ ― L デ i ィ n タ k イ オプ プ シ ョ ン 品 特 性 グ ラ フ L C D 表 示 バ ー 表 C O N T E N T S 示ス テ I ン 体系表 2 O レ ―ス ● 樹脂ボディタイプ L ボ i n デ 　LCD表示タイプ 4 k ィ タ 　バー表示タイプ 14 オイ ププ 　IO-Linkタイプ 22 シ ョ ン ● ステンレスボディタイプ 品 　LCD表示タイプ 40 特 性 　バー表示タイプ 50 グ ラ 　IO-Linkタイプ 58 フ ● 分離表示器　FSM2-D 84 技 使用上の注意事項 93 術 資 料 分 離 表 示 器 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 1

体系表 小形流量センサ ラピフロー FSM3シリーズ L C D 表 示 バ ー 表 示 外　観 適用流体 流量調整弁 EXA連結継手 最大流量（L/min） 樹 注2 注3 接続口径 記載ページ 脂 I 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 ボ O デ― ● φ4 ● ● ● ● ● ● ィ L タ i n イ k ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● プオ プ LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　 IO-Linkタイプ ● φ8 ● ● ● シ ョ ン ● φ10 ● ● 品 特 ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● 性 グ ラ ● φ3/8” ● ● フ 樹 空気 ・ LCD表示 脂 窒素 ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 　4ページ L ボ C 炭酸ガス（注1） デ ィ アルゴン ● ● Rc1/4 ● ● ● ・ バー表示※ D 表 　14ページ タ 混合ガス 示 イ （アルゴン＋ Rc1/2 ●※ ●※ ・ IO-Link プ 炭酸ガス） 　22ページ バ ー ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● 表 ス示 ● NPT1/4 ● ● ● テ ン レ I NPT1/2 ●※ ●※ ス O ― ボ L デ i ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● ィ n タ k イ ● G1/4 ● ● ● プオ プ シ ョ G1/2 ●※ ●※ ン 品 ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 特 性 LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　　IO-Linkタイプ ● Rc1/4 ● ● ● グ ラ フ Rc1/2 ●※ ●※ 技 ス ①空気 ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● 術 テ 　窒素 ・ LCD表示 資 ン ● G1/4 ● ● ● 　40ページ 料 レ 　炭酸ガス（注1） ス 　アルゴン G1/2 ●※ ● ・ バー表示※ 分 ボ 　混合ガス ※ 　50ページ 離 デ ィ 　（アルゴン＋ 表 タ 　炭酸ガス） ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● 示 ・ IO-Link 器 イ 　58ページ プ ②酸素 ● NPT1/4 ● ● ● 注使 意用 NPT1/2 ●※ ●※ 事上 項の ● 1/4インチ2重くい込み継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 関 ● 1/4インチJXRオス継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 連 商 注1：ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。 品 注2：LCD表示タイプに対応。 注3：LCD表示タイプ、バー表示タイプに対応。 2

L C D 表 示 バ ー 表 示 外　観 適用流体 流量調整弁 EXA連結継手 最大流量（L/min） 注2 注3 接続口径 記載ページ 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 樹 I 脂 O ボ ● φ4 ● ● ● ● ● ● ― L デ i ィ n タ ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● k イ オプ LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　 IO-Linkタイプ ● φ8 ● ● ● プ シ ョ ● φ10 ● ● ン 品 ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● 特 性 ● φ3/8” ● ● グ ラ 樹 空気 ・ LCD表示 フ 脂 窒素 ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 　4ページ ボ 炭酸ガス（注1） L デ C ィ アルゴン ● ● Rc1/4 ● ● ● ・ バー表示※ 　14ページ D タ 混合ガス 表 イ （アルゴン＋ Rc1/2 ●※ ●※ 示 ・ IO-Link プ 炭酸ガス） 　22ページ ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● バ ー 表 ● NPT1/4 ● ● ● 示ス テ NPT1/2 ●※ ●※ I ン O レ ―ス L ボ ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● i n デ k ィ タ ● G1/4 ● ● ● オイ ププ G1/2 ●※ ●※ シ ョ ン ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 品 LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　　IO-Linkタイプ 特 ● Rc1/4 ● ● ● 性 グ ラ Rc1/2 ●※ ●※ フ ス ①空気 ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● テ 技 　窒素 ・ LCD表示 術 ン レ 　炭酸ガス（注1） ● G1/4 ● ● ● 　40ページ 資 料 ス 　アルゴン ボ 　混合ガス G1/2 ● ・ バー表示※ ※ ●※ デ 　50ページ 分 ィ 　（アルゴン＋ 離 タ 　炭酸ガス） ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ・ IO-Link 表 示 イ 　58ページ 器 プ ②酸素 ● NPT1/4 ● ● ● 注使 NPT1/2 ●※ ●※ 意用 事上 ● 1/4インチ2重くい込み継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 項の ● 1/4インチJXRオス継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 関 連 注1：ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。 ※適用流体は空気、窒素のみです。 商 注2：LCD表示タイプに対応。 品 注3：LCD表示タイプ、バー表示タイプに対応。 3

小形流量センサ　ラピフロー FSM3 Series L C LCD表示タイプ D 表 ●樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） 示 バ 適合詳細形番については、当社ホームページをご覧ください。 ー 表 示 形番表示方法 樹 脂 I ボ O デ― FSM3 L 005 U 1 BH 1 A 1 N B M R ィ L タ i n イ k 機種形番 表示： 2 流れ方向 3 接続口径 5 出力仕様 7 バルブ 9 取 付アタッ プオ LCD表示 オプション チメント プ シ 1 流 量レンジ ボディ材質：樹脂 4 配管方向 6 単位仕様 8 リード線 10 添付書類 ョ ン （フルスケール 適用流体：エア 品 流量） 特 性 1 流量レンジ（フルスケール流量） 2 流れ方向 グ ラ 記号 内容 記号 内容 記号 内容 フ 005 500mL/min 500 50L/min U 片方向 L 010 1000mL/min 101 100L/min B 双方向 C 020 2L/min 201 200L/min 注：流れ方向が「B」双方向のモデルは、　7バ D 050 5L/min 501 500L/min ルブオプションは「N」なしのみとなります。 表 「T」ニードル弁付と「E」EXA接続継手 示 100 10L/min 102 1000L/min は選択できませんのでご注意ください。 200 20L/min バ ー 注：流量レンジと接続口径の組合せは下の対応表でご確 表 認ください。 ス示 テ ン 3 接続口径 4 配管方向 レ I ス O 内容 記号 記号 内容 ― ボ L φ4mmチューブ用 BH デ i ィ n φ6mmチューブ用 CH 1 ストレート タ k φ8mmチューブ用 DH イ プオ ワンタッチ φ10mmチューブ用 EH 2 エルボ プ シ  φ1/4インチチューブ用 HH ョ 注：エルボ継手は上向きに取付けるとコネク ン φ3/8インチチューブ用 JH 品 タと、下向きに取付けるとDINレール取付 Rc1/8 AA と、干渉しますのでご注意ください。 特 Rcねじ Rc1/4 BA 性 流量レンジと接続口径、ニードル弁オプション、EXA連結継手の対応表 グ Rc1/2 CA 3 ラ 接続口径　 4 配管方向 Gねじ G1/8 AF フ BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 ISO G1/4 BF 005 ● ● ● ● ● ● ● ● 16030 G1/2 CF 010 ● ● ● ● ● ● ● ● 技 020 ● ● ● ● ● ● ● ● 術 Gねじ G1/8 AB 050 ● ● ● ● ● ● ● ● 資 JISB 2351-1 G1/4 BB 100 ● ● ● ● ● ● ● ● 料 200 ● ● ● ● ● ● ● ● O型（注1）G1/2 CB 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ★ ● 分 NPT1/8 AC 101 ● ● ● ● ● ● ● 離 NPTねじ NPT1/4 BC 表 ★ 1 流201 ● ● ● ● ● ● ● 示 NPT1/2 CC 器 ★ 注1：選定時にGねじの接続形状を外形寸法図（9ページ 量501 ● ～11ページ）でご確認ください。 レ102 ● 注使 （Gねじ接続形状はJISB2351-1O型に準拠） ン BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 意用 注2：流量レンジと接続口径の組合せは右の対応表でご ジ005 ● ● ● ● ● ● 事上 確認ください。 010 ● ● ● ● ● ● 項の 020 ● ● ● ● ● ● 050 ● ● ● ● ● ● 100 ● ● ● ● ● ● 関 200 ● ● ● ● ● ● 連 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 商 101 ● ● ● ● ● ● ● 品 201 ● ● ● ● ● ● ● 501 ● ● ● 102 ● ● ● 4 ●：接続口径対応　　　 ：ニードル弁オプション対応　　　★：EXA連結継手対応

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示）形番表示方法 L 5 出力仕様 6 単位仕様 C D 内容 記号 内容 表 記号 アナログ出力 スイッチ出力 設定コピー機能 1 SI単位系のみ 示 A 1点（NPN） あり 2 単位切替機能付（海外向けのみ） B 1点 バ 2点（NPN） ― 注：「2」単位切替機能付モデルは国内では販売できません。 ー （電圧出力） C 1-5V 1点（PNP） あり 表 示 D 2点（PNP） ― 樹 E 1点（NPN） あり I 脂 O F 1点 2点（NPN） ― ボ ― （電流出力） L デ G 4-20mA 1点（PNP） あり i ィ n タ H 2点（PNP） ― k イ オプ プ 7 バルブオプション 8 リード線 シ ョ 記号 内容 記号 内容 ン N なし 無記号 なし 品 特 T ニードル弁付（200L以下のモデルのみ） A 5芯1m 性 グ ラ 注1 注2 E EXA接続継手（EXAは別売） B 5芯3m フ L 注1：専用継手で電磁弁(EXAシリーズ）と連結できます。 C 35ページをご参照ください。 D 注2：EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。 表 EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。DIN 示 端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。接続後に必 ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 バ ー 表 9 取付アタッチメント 注1、注2 10 添付書類 示ス 記号 内容 記号 内容 テ I ン 無記号 なし 無記号 なし O レ ―ス R 検査成績書 L ボ H ブラケット1（200L以下モデル用） S 検査成績書＋校正証明書＋トレーサビリティ体系図 i n デ k ィ タ J ブラケット2（500L、1000Lモデル用） オイ ププ シ ョ K パネル取付（200L以下モデルのセンサ単品用） ン 品 L パネル取付（200L以下モデルのニードル弁付用） 特 性 グ ラ M DINレール取付（200L以下モデル用） クリーン仕様 （カタログNo.CB-033S） フ 注1：ブラケットは取付位置によってエルボタイプの継手と干渉するおそ れがありますのでご注意ください。 FSM3 ・・・・ P70 技 術 注2：オプション部品は製品に添付されます。 資 料 FSM3 ・・・・ P80 分 離 表 示 オプション形番表示方法 1 オプション 器 記号 内容 注使 FSM3 K A 5芯リード線1m（LCD表示タイプ用） 意用 事上 B 5芯リード線3m（LCD表示タイプ用） 項の 1 オプション H ブラケット1（流量レンジ200L/min以下のモデル用） J ブラケット2（流量レンジ500L/min、1000L/minモデル用） 関 K パネル取付キット1（流量レンジ200L/min以下のセンサ単品モデル用） 連 L パネル取付キット2（流量レンジ200L/min以下のニードル弁一体型モデル用） 商 品 注：外形寸法図は30ページをご参照ください。 M DINレール取付キット（流量レンジ200L/min以下のモデル用） 5

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示） L 仕様 C D FSM3-L[ 1 ][ 2 ][ 3 ][ 4 ][ 5 ][ 6 ][ 7 ]-[ 　] 表 項　目 [ 1 ]流量レンジ（フルスケール流量）記号 示 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 バ U 片方向 ー 流れ方向 [ 2 ] 表 B 双方向 示 測定流量 0 0.6 1.5 3.0 6 15 30 樹 レンジ U 15 30 0.06 0.15 0.3 1000mL ～2.00L ～5.00L ～10.00L ～20.0L ～50.0L ～100.0L ～200L ～500L ～1000L 脂 I （□/min） [ 2 ] ～500mL ～ -500～-15、 -1000～-30、 -2.00～-0.06、 -5.00～-0.15、 -10.00～-0.30、 -20.0～-0.6、 -50.0～-1.5、 -100.0～-3.0、 -200～-6、 -500～-15、-1000～-30、 ボ O 　　注1 B 15～500mL 30～1000mL 0.06～2.00L 0.15～5.00L 0.30～10.00L 0.6～20.0L 1.5～50.0L 3.0～100.0L 6～200L 15～500L 30～1000L デ― ィ L 表示の種類 4桁+4桁　2色LCD タ i n イ k 流量表示範囲 U -49～ -99～ -0.19～ -0.49～ -0.99～ -1.9～ -4.9～ -9.9～ -19～ -49～ -99～ プオ （□/min） [ 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L 2 ] プ 　　注2 B -549～ -1099～ -2.19～ -5.49～ -10.99～ -21.9～ -54.9～ -109.9～ -219～ -549～ -1099～ シ 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L ョ ン 表示範囲 0～±9999999mL 0.00～±99999.99L 0.0～±999999.9L 0～±9999999L 品 積算表示　注3 パルス出力 レート 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L 5L 10L 特 性 適用流体 清浄空気（ISO8573-120101.1.1～5.6.2）、圧縮空気（ISO8573-120101.1.1～1.6.2）、窒素ガス グ 　　注4 ラ アルゴン、炭酸ガス（注5）、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） − フ 使用条件 温度範囲 0～50℃（結露なきこと） L 圧力範囲 -0.09～0.75MPa C 耐圧力 1MPa D 表 使用周囲温度・湿度 0～50℃、90%RH以下 示 保存温度 -10～60℃ バ 精度　注7 ±3%F.S.以内（二次側大気開放）　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） ー 精度　注6 繰返し精度 表 （流体：乾燥空気 　　　注8 ±1%F.S.以内（二次側大気開放） ス示 テ にて） 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内　（15～35℃、25℃基準） ン レ I 圧力特性 ±5%F.S.以内　（-0.09～0.7MPa、二次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 ス O （-0.09～0.7MPa、0.35MPa基準） ― ボ L 応答時間 注9 50msec　以下（応答時間設定OFF時） デ i ィ n A、B、E、F NPNオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） タ k スイッチ出力 イ C、D、G、H PNPオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） プオ プ シ アナログ出力 A、B、C、D 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス50kΩ以上） ョ 　　注10 [5 ] ン E、F、G、H 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0～300Ω） 品 電源電圧 A、B、C、D DC12～24V（10.8～26.4V）　リップル率1%以下 特 　　注11 E、F、G、H DC24V（21.6～26.4V）　リップル率1%以下 性 グ 消費電流 注12 45mA以下 ラ リード線 φ3.7　AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 フ 保有機能 注13 1ガス種切替、2設定コピー機能、3流量積算、4ピークホールド、他 技 保護構造 IP40相当（IEC規格） 術 資 保護回路 注14 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護 料 耐振動 10～150Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 分 離 取付姿勢注15 縦・横自在 表 取付 示 直管導入部注16 不要 器 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 6

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示）仕様 L 注1：標準状態（20℃、1気圧（101kPa）、65％RH）での体積流量に換算。 C （空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、0％RH） D 注2：各流量における表示は以下のようになります。 表 示 「Lo」表示 「０」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 片方向タイプ バ −10 −1 0 1 3 100% 110% ー 表 示 「Lo」表示 測定流量範囲 「０」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 樹 I 脂 双方向タイプ O ボ ― −110%−100% −3 −1 0 1 3 100% 110% L デ i ィ 注3：積算流量は計算（参考）値です。積算値保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えな n タ いようにご注意ください（。各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。） k イ プ 使用時間 オ 保存回数＝　　5　分　　＜100万回 プ シ  瞬時流量が1％以下の時は、積算流量としてカウントされません。 ョ ン 注4：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご 品 使用の場合は、ISO8573-1 2010 等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ 特 （最低圧力露点10℃以下）およびオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（94ページの推 性 グ 奨回路をご参照ください。） ラ 注5：ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。また、アナログ出力は出力タイプを選 フ 択することができます。 測定流量範囲（□/min） L ガス種 流れ方向 C 005 010 020 100 200 500 101 201 D 片方向 15～250mL 30～500mL 0.06～1.00L 0.30～5.00L 0.6～10.0L 1.5～25.0L 3.0～50.0L 6～100L 表 炭酸ガス -250～-15mL -500～-30mL -1.00～0.06L -5.00～0.30L -10.0～-0.6L -25.0～-1.5L -50.0～-3.0L -100～-6L 示 双方向 15～250mL 30～500mL 0.06～1.00L 0.30～5.00L 0.6～10.0L 1.5～25.0L 3.0～50.0L 6～100L バ アナログ出力 ー ガス種 流れ方向 出力タイプA 出力タイプB 表 示ス 電圧 電流 電圧 電流 テ 片方向 1～3V 4～12mA 1～5V 4～20mA I ン 炭酸ガス 双方向 2～4V 8～16mA 1～5V 4～20mA O レ ―ス 注6：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。 L ボ i 注7：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 n デ k ィ なお、精度±3%F.S.には、繰返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 タ 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 オイ 注8：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） ププ 注9：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。 シ ョ 注10：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくな ン ります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 品 注11：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 特 注12：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 性 注13：ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80％＋炭酸ガス20％に切り替えることができます。（500L/min、1000L/min グ モデルはガス種切替機能がありませんのでご注意ください。）  ラフ 炭酸ガスについては注5をご参照ください。 測定流量範囲（□/min） ガス種 流れ方向 技 005 010 020 100 200 500 101 201 術 ・空気 片方向 15～500mL 30～1000mL 0.06～2.00L 0.30～10.00L 0.6～20.0L 1.5～50.0L 3.0～100.0L 6～200L 資 ・窒素 料 ・アルゴン -500～-15mL -1000～-30mL -2.00～-0.06L -10.00～-0.30L -20.0～-0.6L -50.0～-1.5L -100.0～-3.0L -200～-6L ・ア ルゴン80％+ 双方向 炭酸ガス20％ 15～500mL 30～1000mL 0.06～2.00L 0.30～10.00L 0.6～20.0L 1.5～50.0L 3.0～100.0L 6～200L 分 離 「設定コピー機能」の有無は「❺出力仕様」で選択します。 表 「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。 示 注14：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 器 注15：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注使 注16：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 意用 事上 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 項の 注17：質量については、13ページをご参照ください。 関 連 商 品 7

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示） L 内部構造図・材質 C D 表 示 ●FSM3-□005～201 ニードル弁付の場合 バ 15 16 17 ー 表 11 12 1 2 3 4 5 示 18 樹 脂 I 19 ボ O デ― ィ L タ i n イ k プオ ねじ込み継手の場合 プ シ ョ ン 6 7 8 9 10 24 23 22 21 20 品 13 12 特 性 グ ラ フ ●FSM3-□501～102 L C 1 2 3 4 5 D エルボ継手の場合 表 示 バ ー 表 ス示 テ ン レ I ス O ― ボ L デ i ィ n タ k 7 8 9 10 12 14 イ プオ プ シ 分解不可 ョ ン 品 特 品番 部品名称 材　　質 品番 部品名称 材　　質 性 1 センサカバー ステンレス 13 エルボアダプタ ポリアミド樹脂 グ 2 フィルタ ステンレス 14 継手 アルミ ラ フ 3 センサチップ 半導体シリコン 15 ニードル 黄銅/ニッケルメッキ 4 ガスケット フッ素ゴム 16 ニードルガイド 黄銅/ニッケルメッキ 技 5 センサ基板 ガラスエポキシ樹脂 17 Оリング フッ素ゴム 術 6 継手 − 18 Оリング フッ素ゴム 資 7 Оリング フッ素ゴム 19 Оリング フッ素ゴム 料 8 スペーサ アルミ 20 ニードル弁ボディ ポリアミド樹脂 9 フィルタ ステンレス 21 フィルタ ステンレス 分 離 10 センサボディ ポリアミド樹脂 22 Оリング フッ素ゴム 表 11 継手 アルミ 23 オリフィス 黄銅/ニッケルメッキ 示 12 Oリング フッ素ゴム 24 Оリング フッ素ゴム 器 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 8

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示）外形寸法図 外形寸法図（LCD表示タイプ） L C 接続口径：ストレートタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 D ●FSM3−L❶❷1/BH1/CH1/HH1/AA1/AF1/AB1/AC1(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） 表 示 Rc1/8,NPT1/8,G1/8（AB1） Gねじ形状（AB） バ G1/8 （10） 2+0.4 ー 0 表 示 樹 I 脂 O ボ ― 端面 L デ 14 i ィ 15 55 n タ 15°の面がシール面となります。 17 k イ 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 オプ G1/8（AF1） プ シ ョ ン 品 特 性 2-φ3.4貫通 27 グ （A） ラ 17 フ 形　番 継手 (A)寸法 L C FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm （65） D FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm （67.2） 表 FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ （70.4） 示 2-M3深さ5 15.5 FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 （75） FSM3-L□□1AF1 G1/8 （87） バ ー FSM3-L□□1AB1 G1/8 （87） 表 FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 （75） 示ス テ I ン 接続口径：ストレートタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 O レ ―ス ●FSM3−L❶❷1/DH1/EH1/JH1/BA1/BF1/BB1/BC1(フルスケール流量：50,100,200L/min） L ボ 　※EXA接続タイプは、二次側（下図右側）が専用アダプタとなります。接続時の外形寸法図は35ページをご参照ください。 i n デ ィ Rc1/4,NPT1/4,G1/4（BB1） Gねじ形状（BB） k タ （14） イ G1/4 オ 2.5+0.4 プ 0 プ シ ョ 55 ン 17 品 特 端面 性 グ 17 ラ 15°の面がシール面となります。 フ 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 G1/4（BF1） 技 術 2-φ3.4貫通 27 資 （A） 料 分 離 表 示 器 21 注使 形　番 継手 (A)寸法 意用 事上 2-M3深さ5 15.5 FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm （70.6） 項の FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm （82.1） FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ （83.4） FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 （75） 関 FSM3-L□□1BF1 G1/4 （89） 連 商 FSM3-L□□1BB1 G1/4 （89） 品 FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 （75） 9 （30.2） （24.2） 13 8.5 9.5 3.6 9.5 3.6 37 43 1.5 1.5 φ15.6+0.10 φ11.7 φ11.6 +0.1 0 φ8.7 15˚ 45˚ 1 5˚ 45˚

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示） L 外形寸法図（LCD表示タイプ） C D 表 接続口径：ストレートタイプＲc1/2、Ｇ1/2、NPT1/2 示 ●FSM3−L❶❷1/CA1/CF1/CB1/CC1(フルスケール流量：500、1000L/min） Gねじ形状（CB） バ ー （17） 表 示 2.5+0.417 15 55 0 G1/2 樹 脂 I ボ O デ― ィ L タ i n イ k プオ プ 端面 シ ョ 15°の面がシール面となります。 ン 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 品 30 （A） 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 特 Gねじ形状（CF） 性 G1/2 シール面 グ （φ24.3） ラ フ φ21+0.40 L C D 表 端面シール （9.5） ■面がシール面となります。 示 2-M3深さ3 30 形　番 継手 (A)寸法 バ ー FSM3-L□□1CA1 Rc1/2 （80） 表 FSM3-L□□1CF1 G1/2 （80） ス示 FSM3-L□□1CB1 G1/2 （95.4） テ ン FSM3-L□□1CC1 NPTG1/2 （80） レ I ス O ― ボ L デ i 接続口径：エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 ィ n タ k ●FSM3−L❶❷1/BH2/CH2/HH2/AA2/AF2/AB2/AC2(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） イ プオ 17 プ 15 55 シ 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 ョ ン 形　番 継手 (A)寸法 品 FSM3-L□□1BH2 ワンタッチφ4mm （9.5） 特 FSM3-L□□1CH2 ワンタッチφ6mm （10.6） 性 FSM3-L□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ （12.2） グ ラ FSM3-L□□1AA2 Rc1/8 （14.5） フ 27 FSM3-L□□1AF2 G1/8　　　注 （20.5） 2-φ3.4貫通 71.3 FSM3-L□□1AB2 G1/8　　　注 （20.5） 技 （87） FSM3-L□□1AC2 NPT1/8 （14.5） 術 注：Gねじ形状はストレートタイプをご参照ください。 資 料 接続口径：エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 ●FSM3−L❶❷1/DH2/EH2/JH2/BA2/BF2/BB2/BC2(フルスケール流量：50,100,200L/min） 分 離 表 17 15 55 示 器 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 注使 形　番 継手 (A)寸法 意用 事 FSM3-L□□1DH2 ワンタッチφ8mm （13.6） 上 項の FSM3-L□□1EH2 ワンタッチφ10mm （19.3） FSM3-L□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ （20.0） FSM3-L□□1BA2 Rc1/4 （15.8） 関 27 連 FSM3-L□□1BF2 G1/4　　注 （22.8） 商 75.3 FSM3-L□□1BB2 G1/4　　注 （22.8） 品 （95） FSM3-L□□1BC2 NPT1/4 （15.8） 2-φ3.4貫通 注：Gねじ形状はストレートタイプをご参照ください。 10 （24.2） （37.2） 3.6 15 （30.2） 3.6 1.5 （A）8.5 37 1.5 13 30 （A） 13 50 1.5 43 φ21+0.40 φ19 90˚ φ22.6+0.10 φ19 15˚ 45˚

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示）外形寸法図 ニードル弁付外形寸法図 L C 接続口径：ストレートタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 D ●FSM3−L❶❷1/BH1/CH1/HH1/AA1/AF1/AB1/AC1/❻❼T(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） 表 示 17 Gねじ形状（AB） バ 55 （10） ー G1/8 表 2+0.4 示 0 樹 I 脂 O ボ ― L デ i ィ n タ k イ 端面 オプ プ シ ョ ン 27 15°の面がシール面となります。 品 2-φ3.4貫通 端面シールではありませんのでご注意 （A） ください。また、継手のねじ深さも合 わせてご確認の上ご使用ください。 特 性 グ 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 ラ フ 形　番 継手 (A)寸法 FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm （90） L C FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm （92.2） D FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ （95.4） 表 FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 （100） 示 FSM3-L□□1AF1 G1/8 （112） FSM3-L□□1AB1 G1/8 （112） バ ー FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 （100） 表 示ス テ I ン O レ ―ス L 接続口径：ストレートタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 ボ i n デ ●FSM3−L❶❷1/DH1/EH1/JH1/BA1/BF1/BB1/BC1/❻❼T(フルスケール流量：50,100,200L/min） k ィ タ イ Gねじ形状（BB） オ ププ （14） シ 17 G1/4 ョ 2.5+0.4 ン 0 55 品 特 性 グ ラ フ 端面 技 術 資 料 27 15°の面がシール面となります。 分 2-φ3.4貫通 端面シールではありませんのでご注意 離 （A） ください。また、継手のねじ深さも合 表 わせてご確認の上ご使用ください。 示 器 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 注使 形　番 継手 (A)寸法 意用 FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm （101.6） 事上 項の FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm （113.1） FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ （114.4） FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 （106） 関 FSM3-L□□1BF1 G1/4 （120） 連 商 FSM3-L□□1BB1 G1/4 （120） 品 FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 （106） 11 （24.2） （30.2） 3.6 3.6 1.5 1.5 13 8.5 43 37 （53.5～62） （47.5～56） φ15.6+0.10 φ11.7 φ11.6 +0.1 0 φ8.7 15˚ ˚ 45˚ 1 5 45˚

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示） L ニードル弁付外形寸法図 C D 接続口径：エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 表 示 ●FSM3−L❶❷1/BH2/CH2/HH2/AA2/AF2/AB2/AC2(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） 17 バ 55 ー 表 示 樹 脂 I ボ O デ― ィ L タ i n イ k プオ プ シ 27 ョ ン 96.3 品 （112） 2-φ3.4貫通 特 性 グ ラ 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 フ 形　番 継手 (A)寸法 FSM3-L□□1BH2 ワンタッチφ4mm （9.5） L C FSM3-L□□1CH2 ワンタッチφ6mm （10.6） D FSM3-L□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ （12.2） 表 FSM3-L□□1AA2 Rc1/8 （14.5） 示 FSM3-L□□1AF2 G1/8　　　注 （20.5） バ FSM3-L□□1AB2 G1/8　　　注 （20.5） ー FSM3-L□□1AC2 NPT1/8 （14.5） 表 注：Gねじ形状はストレートタイプをご参照ください。 ス示 テ ン レ I ス O ― 接続口径：エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 ボ L デ i ●FSM3−L❶❷1/DH2/EH2/JH2/BA2/BF2/BB2/BC2(フルスケール流量：50,100,200L/min） ィ n タ k 17 イ 55 プオ プ シ ョ ン 品 特 性 グ ラ フ 技 術 資 27 料 分 2-φ3.4貫通 離 110.3 表 （126） 示 器 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 注使 形　番 継手 (A)寸法 意用 事 FSM3-L□□1DH2 ワンタッチφ8mm （13.6） 上 項の FSM3-L□□1EH2 ワンタッチφ10mm （19.3） FSM3-L□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ （20.0） FSM3-L□□1BA2 Rc1/4 （15.8） 関 連 FSM3-L□□1BF2 G1/4　　　注 （22.8） 商 FSM3-L□□1BB2 G1/4　　　注 （22.8） 品 FSM3-L□□1BC2 NPT1/4 （15.8） 注：Gねじ形状はストレートタイプをご参照ください。 12 （30.2） （24.2） （A） 13 （A） 8.5 3.6 3.6 1.5 1.5 37 （47.5～56） 43 （53.5～62）

FSM3 Series 樹脂ボディ（LCD表示）製品質量 製品質量 L C 【単位：g】 D 表 接続口径・配管方向 質量 示 記号[ 3 ][ 4 ] 内容 ニードル弁なし ニードル弁付 バ BH1 ワンタッチ（φ4mmストレート） 60 90 ー 表 CH1 ワンタッチ（φ6mmストレート） 50 80 示 樹 I DH1 ワンタッチ（φ8mmストレート） 80 120 脂 O ボ ― L デ EH1 ワンタッチ（φ10mmストレート） 80 120 i ィ n タ k イ HH1 ワンタッチ（φ1/4inchストレート） 60 90 オプ プ JH1 ワンタッチ（φ3/8inchストレート） 80 120 シ ョ ン AA1 Rc1/8ストレート 60 90 品 BA1 Rc1/4ストレート 60 100 特 性 CA1 Rc1/2ストレート 120 − グ ラ フ AF1 G1/8ストレート 70 100 L BF1 G1/4ストレート 85 125 C D 表 CF1 G1/2ストレート 120 − 示 AB1 G1/8ストレート 60 90 バ ー BB1 G1/4ストレート 70 110 表 示ス CB1 G1/2ストレート 140 − テ I ン O レ AC1 NPT1/8ストレート 50 80 ―ス L ボ i BC1 NPT1/4ストレート 60 100 n デ k ィ タ CC1 NPT1/2ストレート 120 − オイ ププ シ BH2 ワンタッチ（φ4mmエルボ） 70 100 ョ ン 品 CH2 ワンタッチ（φ6mmエルボ） 60 90 特 DH2 ワンタッチ（φ8mmエルボ） 100 140 性 グ ラ EH2 ワンタッチ（φ10mmエルボ） 100 140 フ HH2 ワンタッチ（φ1/4inchエルボ） 70 100 技 術 JH2 ワンタッチ（φ3/8inchエルボ） 100 140 資 料 AA2 Rc1/8エルボ 70 100 分 BA2 Rc1/4エルボ 80 120 離 表 AF2 G1/8エルボ 80 110 示 器 BF2 G1/4エルボ 105 145 注使 意用 AB2 G1/8エルボ 70 100 事上 項の BB2 G1/4エルボ 90 130 AC2 NPT1/8エルボ 70 100 関 連 商 BC2 NPT1/4エルボ 80 120 品 13

小形流量センサ　ラピフロー FSM3 Series L C バー表示タイプ D 表 ●樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） 示 バ 適合詳細形番については、当社ホームページをご覧ください。 ー 表 示 形番表示方法 樹 脂 I ボ O デ― FSM3 B 005 U 1 BH 1 J 1 N D H S ィ L タ i n イ k 機種形番 表示： 2 流れ方向 3 接続口径 5 出力仕様 6 バルブ 8 取 付アタッ プオ バー表示 オプション チメント プ シ 1 流 量レンジ ボディ材質：樹脂 4 配管方向 単位仕様： 7 リード線 9 添付書類 ョ ン （フルスケール 適用流体：エア SI単位系のみ 品 流量） 特 性 1 グ 流量レンジ（フルスケール流量） 2 流れ方向 ラ 記号 内容 記号 内容 記号 内容 フ 005 500mL/min 500 50L/min U 片方向 L 010 1000mL/min 101 100L/min B 双方向 C D 020 2L/min 201 200L/min 注：流れ方向が「B」双方向のモデルは、　6バ 表 050 5L/min 501 500L/min ルブオプションは「N」なしのみとなります。 示 「E」EXA接続継手は選択できませんの 100 10L/min 102 1000L/min でご注意ください。 200 20L/min バ ー 注：流量レンジと接続口径の組合せは下の対応表で 表 ご確認ください。 ス示 テ ン 3 接続口径 4 レ I 配管方向 ス O 内容 記号 記号 内容 ― ボ L デ i φ4mmチューブ用 BH ィ n 1 ストレート タ k φ6mmチューブ用 CH イ φ8mmチューブ用 DH プオ ワンタッチ プ φ10mmチューブ用 EH 2 エルボ シ ョ  φ1/4インチチューブ用 HH ン 注：エルボ継手は上向きに取付けるとコネク 品 φ3/8インチチューブ用 JH タと、下向きに取付けるとDINレール取 Rc1/8 AA 付と、干渉しますのでご注意ください。 特 Rcねじ Rc1/4 性 BA グ Rc1/2 CA ラ 流量レンジと接続口径、EXA連結継手の対応表 フ Gねじ G1/8 AF ISO G1/4 BF 3 接続口径　 4 配管方向 16030 技 G1/2 CF BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 術 005 ● ● ● ● ● ● ● ● Gねじ G1/8 AB 資 010 ● ● ● ● ● ● ● ● JISB 料 2351-1 G1/4 BB 020 ● ● ● ● ● ● ● ● 050 ● ● ● ● ● ● ● ● O型（注1）G1/2 CB 100 ● ● ● ● ● ● ● ● 分 NPT1/8 AC 200 ● ● ● ● ● ● ● ● 離 500 ● ● ● ● ● ● ● ●★ ● 表 NPTねじ NPT1/4 BC 101 ● ● ● ● ● ● ●★ 示 NPT1/2 CC 1 201 ● ● ● ● ● ● ●★ 器 501 ● 注1：選定時にGねじの接続形状を外形寸法図（19ペー 流102 ● ジ、20ページ）でご確認ください。（Gねじ接続形 量 状はJISB2351-1O型に準拠） レ BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 注使 ン005 ● ● ● ● ● ● 意用 注2：流量レンジと接続口径の組合せは右の対応表でご ジ010 ● ● ● ● ● ● 事上 確認ください。 020 ● ● ● ● ● ● 項の 050 ● ● ● ● ● ● 100 ● ● ● ● ● ● 200 ● ● ● ● ● ● 関 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 連 101 ● ● ● ● ● ● ● 商 201 ● ● ● ● ● ● ● 品 501 ● ● ● 102 ● ● ● ●：接続口径対応　　　★：EXA連結継手対応 14

FSM3 Series 樹脂ボディ（バー表示）形番表示方法 L 5 出力仕様 6 バルブオプション C D 記号 内容 記号 内容 表 J アナログ電圧出力1点 N なし 示 K アナログ電流出力1点 注1 注：分離表示器（FSM2-D）と組合せて使用する場合は、「J」 注2 E EXA接続継手（EXAは別売） バ ー アナログ電圧出力1点を選択してください。 表 注1：専用継手で電磁弁（EXAシリーズ）と連結できます。 示 35ページをご参照ください。 注2：EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。  樹 EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。 I 脂 O DIN端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。 ボ ― 接続後に必ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 L デ i ィ n タ k イ オプ プ 7 リード線 8 取付アタッチメント 注1、注2 シ ョ 記号 内容 記号 内容 ン 品 無記号 なし 無記号 なし 特 C 4芯1m H ブラケット1（200L以下モデル用） 性 グ ラ D 4芯3m J ブラケット2（500L、1000Lモデル用） フ L M DINレール取付（200L以下モデル用） C D 表 注1：「パネル取付」のオプションは選択できません。  示 ブラケットは取付位置によってエルボ継手と干渉するおそれがあ りますのでご注意ください。 注2：オプション部品は製品に添付されます。 バ ー 表 示ス テ I ン O レ 9 添付書類 ―ス L ボ 記号 内容 i n デ 無記号 なし k ィ タ R 検査成績書 オイ ププ S 検査成績書＋校正証明書＋トレーサビリティ体系図 シ ョ ン 品 特 クリーン仕様 （カタログNo.CB-033S） 性 グ ラ フ FSM3 ・・・・ P70 技 FSM3 ・・・・ P80 術 資 料 分 離 表 オプション形番表示方法 示 器 FSM3 H 1 オプション 注使 記号 内容 意用 C 4芯リード線1m（バー表示タイプ用） 事上 1 オプション 項の D 4芯リード線3m（バー表示タイプ用） H ブラケット1（流量レンジ200L/min以下のモデル用） J ブラケット2（流量レンジ500L/min、1000L/minモデル用） 関 連 注：外形寸法図は30ページをご参照ください。 M DINレール取付キット（流量レンジ200L/min以下のモデル用） 商 品 15

FSM3 Series 樹脂ボディ（バー表示） L 仕様 C D FSM3-B[ 1 ][ 2 ][ 3 ][ 4 ][ 5 ][ 6 ]-[ 7 ]-[ 　] 表 項　目 [ 1 ]流量レンジ（フルスケール流量）記号 示 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 バ U 片方向 ー 流れ方向 [ 2 ] 表 B 双方向 示 測定流量 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 樹 レンジ U 脂 I [ 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L （□/min） 2 ] 500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、 ボ O 　　注1 B - 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L デ― ィ L 表示の種類 LEDバー表示 タ i n イ k 適用流体 プ 　　注2 清浄空気（ISO8573-120101.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（ISO8573-120101.1.1〜1.6.2）、窒素ガス オ プ 使用流体 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） シ ョ 圧力範囲 -0.09〜0.75MPa ン 品 耐圧力 1MPa 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 特 性 保存温度 -10〜60℃ グ ラ 精度　注3 ±3%F.S.以内（二次側大気開放）　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） フ 繰返し精度 L 精度 　　　注4 ±1%F.S.以内（二次側大気開放） C 温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内　（15〜35℃、25℃基準） D 表 圧力特性 ±5%F.S.以内　（-0.09〜0.7MPa、二次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （-0.09〜0.7MPa、0.35MPa基準） 示 応答時間　　　注5 50msec　以下 バ アナログ出力 J 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス=50kΩ以上） ー 　　　注6 K 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0〜300Ω） 表 [ 5 ] ス示 電源電圧 J DC12〜24V（10.8〜26.4V）　リップル率1%以下 テ ン 　　　注7 K DC24V（21.6〜26.4V）　リップル率1%以下 レ I ス O 消費電流　　　注8 45mA以下 ― ボ L リード線 φ3.7　AWG26相当×4芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 デ i ィ n 保護構造 IP40相当（IEC規格） タ k イ 保護回路　　　注9 電源逆接続保護 プオ プ シ 耐振動 10〜150Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 ョ ン EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8 品 取付姿勢注10 縦・横自在 取付 特 直管導入部注11 不要 性 グ ラ フ 技 術 資 料 分 離 表 示 器 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 16