小形流量センサ ラピフロー(R)FSM3シリーズ

1台で5種類のガスを測定可能 小形流量センサ ラピフロー® FSM3シリーズ COMPACT FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM3 SERIES Dive多rs様ifiにed High　 P高e性r能foにrmance User　-f　r使ieいnやdlすyく 対応 CC-1393 3

多様に Diversified 1台で5種類のガスを測定可能 IO-Linkモデル登場 ガス種切替機能（ LCD表示タイプ、IO-Linkタイプ（）フルスケール流量200L/min以下のモデル） IO-Linkは工場現場のセンサ・アクチュエータ用デジタル通信規格です。（IEC61131-9） 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（混合比Ar：CO（８：２））を1台の流量センサで対応可能。 アナログ通信では伝送できなかったパラメータやイベントデータを伝送することが可能です。 2 本体のボタン操作でガス種の切替ができます。 IO-Link仕様では、上位コントローラから遠隔でガス種変更が可能です。 IO-Linkの特長 クラウド デジタル信号 ※混合比のご希望がありましたら、弊社営業担当者までお問い合わせください。 デジタルデータによる常時監視が可能です。 本体のボタン操作で 専用モデル パラメータ遠隔操作 工場 パラメータをネットワークから設定、 酸素 変更できるため、装置の遠隔操作が可能です。 Ethernet 筐体識別 禁油仕様の酸素専用 形番、シリアルNo.などがネットワーク上で モデルも準備しています PLC 確認できます。 プラグ＆プレイ マスターから設定コピーができるため、 ガス種 筐体識別 常時監視 メンテナンス時の煩わしいパラメータ再設定が 切替 生産 パラメータ変更 アラーム通知 不要です。 現場 異常通知 デバイスの故障、断線を確認できます。 空気 窒素 アルゴン 炭酸ガス 混合ガス I/O フィールドバスへの接続 イーサネット系ネットワークにも変換して （アルゴン＋炭酸ガス） 接続することができ、装置のIoT化が可能です。 高性能に　High Performance 使いやすく　User-friendly 高精度・高応答 回転表示できる液晶ディスプレイ 豊富な継手バリエーション 繰返精度：±1％F.S.以内 表示の上下反転が可能 樹脂ボディ 表示精度：±3％F.S.以内 応答時間：50msec MEMS 圧力損失の低減 MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で半導体集積回路の製造に用 いられる微細加工技術を応用した超小型デバイスの事です。 流路再設計により最大50%低減 ワンタッチ式 ワンタッチ式 ねじ込み式 ねじ込み式 エルボ ストレート エルボ ストレート クリーン仕様 双方向での流体計測が可能 かんたん取付け（オプション） ステンレスボディ 発塵防止包装（P70）、禁油仕様（P80）を標準でライン タクトタイムの短縮に貢献 DINレール取付け パネルマウント アップ 流れ方向を任意に測定できます。 装置のグレードに合わせた使い分けが可能です。 アウトガス対応 JXR継手タイプ 二重くい込み継手タイプ ねじ込みタイプ ステンレスボディタイプは、流路に樹脂を使用していないため、 アウトガスを嫌う工程に最適です。 双方向（順方向設定） 双方向 双方向（逆方向設定）

ソリューション事例 漏れ検査 生化学培養装置 飲料水用容器に気体を充填し、漏れの有無 CO2の流量を計測し、生物の光合成を促 デジタル圧力センサ 小形流量センサ を検出します。 進します。 FSM3 フィルタユニット デジタル圧力センサ インライン形クリーンフィルタ デジタル圧力センサ フィルタユニット 2ポート電磁弁 小形流量センサ 小形流量センサ 小形流量センサ FSM3 2ポート電磁弁 エア消費量の管理 アーク溶接 エア機器を使用する設備のエア消費量を アルゴン、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） モニタします。 デジタル圧力センサ などのシールドガスの流量管理をします。 フィルタユニット デジタル圧力センサ ロータリクランプシリンダ ガイド付シリンダ 小形流量センサ コネクタ付シリンダスイッチ 小形流量センサ（IO-Linkモデル） フィルタユニット 小形流量センサ （IO-Linkモデル） 小形流量センサ FSM3 FSM3 塗装エアの流量管理 電子部品の実装 塗装吹き付け時のエア圧力を電空レギュ 電子部品を実装する金線のテンションを レータにより可変し流量を制御します。 コントロールします。 デジタル圧力センサ フィルタユニット 電空レギュレータ 小形流量センサ インライン形クリーンフィルタ デジタル圧力センサ FSM3 小形流量センサ FSM3 インライン形クリーンフィルタ 小形流量センサ 小形流量センサ 電空レギュレータ フィルタユニット

体系表 小形流量センサ ラピフロー FSM3シリーズ L C D 表 示 バ 樹ー 脂表 ーン仕様 最大流量（L/min） ボ示 外　観 適用流体 流量調整弁 EXA連結継手 クリ 注2 注3 接続口径 記載 P70 P80 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 ページ デ ィ タ I O ● ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● イ― プ L i n ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● k 内 LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　 IO-Linkタイプ ● ● φ8 ● ● ● 部 構 ● ● φ10 ● ● 造 図 ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● L C ● ● φ3/8” ● ● D 表 樹 空気 ・ LCD表示 示 脂 窒素 ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 　1ページ ボ 炭酸ガス（注1） スバ デ ィ アルゴン ● ● ● ● Rc1/4 ● ● ● ・ バー表示※ テー 　9ページ ン表 タ 混合ガス レ ス示 イ （アルゴン＋ ● ● Rc1/2 ●※ ●※ ・ IO-Link プ ボ 炭酸ガス） 　15ページ デ I ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ィ O タ― L イ i ● ● ● NPT1/4 ● ● ● プ n k ● ● NPT1/2 ●※ ●※ 内 部 構 ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● 造 図 ● ● ● G1/4 ● ● ● 分 離 ● ● G1/2 ●※ ●※ 表 示 ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 器 LCD表示タイプ　　　　バー表示タイプ　　　　IO-Linkタイプ ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 技 術 資 ● ● Rc1/2 ●※ ●※ 料 ス ①空気 ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● テ 操 　窒素 ・ LCD表示 作 ン レ 　炭酸ガス（注1） ● ● ● G1/4 ● ● ● 　23ページ 方 ス 　アルゴン 法 ボ 　混合ガス ● ● G1/2 ●※ ● ・ バー表示※ ※ 　31ページ オ デ ィ 　（アルゴン＋ プ タ 　炭酸ガス） ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● シ ・ IO-Link ョ イ 　37ページ ン プ ②酸素 ● ● ● NPT1/4 ● ● ● 品 注使 ● ● NPT1/2 ●※ ●※ 意用 事上 ● ● ● 1/4インチ2重くい込み継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 項の ● ● ● 1/4インチJXRオス継手 ● ● ● ● ● ● ● ● ● 関 連 注1：ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。 ※適用流体は空気、窒素のみです。 商 注2：LCD表示タイプに対応 品 注3：LCD表示タイプ、バー表示タイプに対応 巻頭1 巻頭2

小形流量センサ　ラピフロー FSM3 Series L C LCD表示タイプ D 表 ●樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） 示 バ ー 表樹 示脂 ボ LCD表示タイプ仕様 デ I ィ FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[ 　] O タ ―イ 項　目 [ロ] L i プ n 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 k U 片方向 流れ方向 [ハ] 内 B 双方向 部 構 測定流量 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 造 レンジ U 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L 図 （□/min） [ハ] 500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、 注1 B - 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L L C 表示の種類 4桁+4桁　2色LCD D 表 流量表示範囲 U -49〜 -99〜 -0.19〜 -0.49〜 -0.99〜 -1.9〜 -4.9〜 -9.9〜 -19〜 -49〜 -99〜 示 （□/min） [ハ] 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L 注2 B -549〜 -1099〜 -2.19〜 -5.49〜 -10.99〜 -21.9〜 -54.9〜 -109.9〜 -219〜 -549〜 -1099〜 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L バス 表示範囲 0〜±9999999mL 0.00〜±99999.99L 0.0〜±999999.9L 0〜±9999999L ーテ 表ン 積算表示　注3 パルス出力 示レ レート 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L 5L 10L ス ボ 適用流体 清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2）、窒素ガス I デ O 注4 アルゴン、炭酸ガス（注5）、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） − ―ィ L タ 使用条件 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） i イ n k プ 圧力範囲 -0.09〜0.75MPa 耐圧力 1MPa 内 部 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 構 造 保存温度 -10〜60℃ 図 精度　注7 ±3%F.S.以内（2次側大気開放）　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） 分 精度　注6 繰り返し精度 放） 離 表 （流体：乾燥空気 注8 ±1%F.S.以内（2次側大気開 示 にて） 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内 　（15〜35℃、25℃基準） 器 圧力特性 ±5%F.S.以内　（-0.09〜0.7MPa、2次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （-0.09〜0.7MPa、0.35MPa基準） 技 応答時間 注9 50msec　以下（応答時間設定OFF時） 術 A、B、E、F NPNオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） 資 スイッチ出力 料 C、D、G、H PNPオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） アナログ出力 A、B、C、D 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス50kΩ以上） 操 注10 [ト] E、F、G、H 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0〜300Ω） 作 方 電源電圧 A、B、C、D DC12〜24V（10.8〜26.4V）　リップル率1%以下 法 注11 E、F、G、H DC24V（21.6〜26.4V）　リップル率1%以下 オ 消費電流 注12 45mA以下 プ シ リード線 φ3.7　AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 ョ ン 保有機能 注13 1 ガス種切替、2 設定コピー機能、3 流量積算、4 ピークホールド、他 品 保護構造 IP40相当（IEC規格） 注使 保護回路 注14 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護 意用 耐振動 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 事上 項の EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 取付姿勢 注15 縦・横自在 取付 関 直管導入部 注16 不要 連 商 品 1

FSM3 Series 仕様 注1：標準状態（20℃、1気圧（101kPa）、65％RH）での体積流量に換算。 （空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、0％RH） L C 注2：各流量における表示は以下の様になります。 D 「Lo」表示 「０」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 表 示 片方向タイプ −10 −1 0 1 3 100% 110% バ 樹ー 「Lo」表示 測定流量範囲 範囲 「H 脂表 「０」表示 測定流量 i」表示 ボ示 双方向タイプ デ ィ −110%−100% −3 −1 0 1 3 100% 110% タ I O イ― 注3： 積算流量は計算（参考）値です。積算値保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えな プ L い様にご注意ください（。各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。） i n 使用時間 k 保存回数 ＝　　5　分　　＜100万回 内 瞬時流量が1％以下の時は、積算流量としてカウントされません。 部 注4： 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご 構 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ 造 ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ 図 （最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（72ページの推奨 L 回路を参照してください。） C 注5： ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。また、アナログ出力は出力タイプを選 D 択することができます。 表 示 測定流量範囲（□/min） ガス種 流れ方向 005 010 020 100 200 500 101 201 スバ 片方向 15〜250mL 30〜500mL 0.06〜1.00L 0.30〜5.00L 0.6〜10.0L 1.5〜25.0L 3.0〜50.0L 6〜100L テー 炭酸ガス -250〜-15mL -500〜-30mL -1.00〜0.06L -5.00〜0.30L -10.0〜-0.6L -25.0〜-1.5L -50.0〜-3.0L -100〜-6L ン表 双方向 レ 15〜250mL 30〜500mL 0.06〜1.00L 0.30〜5.00L 0.6〜10.0L 1.5〜25.0L 3.0〜50.0L 6〜100L ス示 ボ アナログ出力 デ I ガス種 流れ方向 出力タイプA 出力タイプB ィ O タ― 電圧 電流 電圧 電流 L イ i 片方向 1〜3V 4〜12mA 1〜5V 4〜20mA プ n 炭酸ガス k 双方向 2〜4V 8〜16mA 1〜5V 4〜20mA 注6：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。 内 注7：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 部 構 なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 造 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 図 注8：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） 注9：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。 分 注10： アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくな 離 表 ります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 示 注11：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 器 注12：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 注13： ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80％＋炭酸ガス20％に切り替えることができます。（500L/min、1000L/min 技 モデルはガス種切替機能がありませんのでご注意ください。） 術 炭酸ガスについては注5をご参照ください。 資 料 測定流量範囲（□/min） ガス種 流れ方向 005 010 020 100 200 500 101 201 ・空気 片方向 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 操 ・窒素 作 ・アルゴン -500〜-15mL -1000〜-30mL -2.00〜-0.06L -10.00〜-0.30L -20.0〜-0.6L -50.0〜-1.5L -100.0〜-3.0L -200〜-6L 方 ・ア ルゴン80％+ 双方向 法 炭酸ガス20％ 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 「設定コピー機能」の有無は「ト 出力仕様」で選択します。 オ プ 「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。 シ 注14：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 ョ 注15： 本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 ン 品 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注16： 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 注使 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 意用 注17：質量については、58ページをご参照ください。 事上 項の 関 連 商 品 2

FSM3 Series L 形番表示方法 C D 表 FSM3 L 005 U 1 BH 1 A 1 N B M R P80 記号 内　容 イ 表示 示 L 液晶表示 ロ 流量レンジ（フルスケール流量） バ ロ 機種形番 流量レンジ 005 500mL/min 500 50L/min ー樹 　（ フルスケール流量） 表 010 1000mL/min 101 100L/min 示脂 イ 表示 020 2L/min 201 200L/min ボ デ 050 5L/min 501 500L/min I ィ 100 10L/min 102 1000L/min O タ 200 20L/min ―イ L i プ ハ 流れ方向 注2 ハ n 流れ方向 U 片方向 k B 双方向 内 ニ ボディ材質・適用流体 部 ニ ボディ材質・適用流体 ボディ材質 適用流体 構 1 樹脂 エア（ガス種切替可能） 造 図 ホ 接続口径 ホ 接続口径 BH ワンタッチ（φ4mmチューブ用） AF G1/8 注3 L CH ワンタッチ（φ6mmチューブ用） BF G1/4 注3 C DH ワンタッチ（φ8mmチューブ用） CF G1/2 注3 D EH ワンタッチ（φ10mmチューブ用） AB G1/8 注4 表 示 HH ワンタッチ（φ1/4インチチューブ用） BB G1/4 注4 JH ワンタッチ（φ3/8インチチューブ用） CB G1/2 注4 AA Rc1/8 AC NPT1/8 バス BA Rc1/4 BC NPT1/4 ーテ 表ン 示レ〈形番表示例〉 CA Rc1/2 CC NPT1/2 ス FSM3-L005U1BH1A1N-BMR-P80 ヘ 配管方向 ヘ 配管方向 ボ 1 ストレート I デ 機種名：ラピフローFSM3シリーズ 2 エルボ 注5 O ―ィ イ 表示 L ：液晶表示 L タ ロ 流量レンジ 005：500mL/min ト 出力仕様 i イ ト 出力仕様 n k プ ハ 流れ方向 U ：片方向 アナログ出力 スイッチ出力 設定コピー機能 ニ ボディ材質・適用流体 1 ：樹脂・エア A 1点 1点（NPN） あり B （電圧出力） 2点（NPN） − ホ 接続口径 BH：ワンタッチ 内 C 1-5V 1点（PNP） あり 部 （φ4mmチューブ用） D 2点（PNP） 構 ヘ 配管方向 1 ：ストレート E 1点 1点（NPN） あり 造 ト 出力仕様 A ：アナログ電圧出力X1、 F （電流出力） 2点（NPN） − 図 NPNスイッチ出力Ｘ1、 G 4-20mA 1点（PNP） あり 設定コピー機能あり 分 H 2点（PNP） − チ 単位仕様 1 ：SI単位系のみ 離 表 リ バルブオプション N ：なし チ 単位仕様 チ 単位仕様 1 SI単位系のみ 示 ヌリード線 B ：5芯3m 器 ル 取付アタッチメント M ：DINレール取付 2 単位切替機能付（海外向けのみ） 注6 ヲ 添付書類 R ：検査成績書 リ バルブオプション 注2 リ ワ クリーン仕様 P80：禁油処理 バルブ 技 N なし オプション 術 T ニードル弁付（200L以下のモデルのみ） 資 E EXA接続継手（EXAは別売） 注7、注8、注9 料 形番選定にあたっての注意事項 ヌ リード線 注1：選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 ヌ リード線 無記号 なし 操 注2：流れ方向が「B：双方向」のモデルは、　リ バルブオプション A 5芯1m 作 は「N：なし」のみとなります。「T： ニードル弁付」と「E： B 5芯3m 方 EXA接続継手」は選択できませんのでご注意ください。 法 注3：Gねじ接続形状はISO16030に準拠。 ル 取付アタッチメント 注10、注11 ル 取付アタッチ 注4：選定時にGねじの接続形状を外形寸法図（5ページ〜7ペー 無記号 なし メント オ ジ）でご確認ください。（Gねじ接続形状はJIS B 2351-1 H ブラケット1（200L以下モデル用） プ O型に準拠） J ブラケット2（500L、1000Lモデル用） シ 注5：エルボ継手は上向きに取付けるとコネクタと、下向きに取付 K パネル取付（200L以下モデルのセンサ単品用） ョ けるとDINレール取付と、干渉しますのでご注意ください。 ン L パネル取付（200L以下モデルのニードル弁付用） 注6：単位切り替え付モデルは国内では販売できません。 品 M DINレール取付（200L以下モデル用） 注7：専用継手で電磁弁(EXAシリーズ）と連結できます。 67ページをご参照ください。 ヲ 添付書類 注使 注8：EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。 ヲ 添付書類 無記号 なし 意用 EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。 R 検査成績書 事上 DIN端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。 項の S 検査成績書＋校正証明書＋トレーサビリティ体系図 接続後に必ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 注9： ワ クリーン仕様“P70“”P80”は選定できません。 ワ クリーン仕様 注10： ブラケットは取付位置によってエルボタイプの継手と干渉す ワ クリーン 無記号 なし 関 るおそれがありますのでご注意ください。 仕様 P70 発塵防止 注12 連 注11：オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 商 P80 禁油処理 注13 品 注12： 包装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ（クラス1000 以上）内で、帯電防止袋にヒートシール包装します。 注13：P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 3

FSM3 Series 形番表示方法 流量レンジと接続口径、ニードル弁オプション、EXA連結継手の対応表 L ホ 接続口径　 ヘ 配管方向 C D BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 表 005 ● ● ● ● ● ● ● ● 示 010 ● ● ● ● ● ● ● ● バ 020 ● ● ● ● ● ● ● ● 樹ー 050 ● ● ● ● ● ● ● ● 脂表 ボ示 100 ● ● ● ● ● ● ● ● デ 200 ● ● ● ● ● ● ● ● ィ タ I 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ★ ● O イ― プ L 101 ● ● ● ● ● ● ● ★ i n 201 ● ● ● ● ● ● ● ★ k ロ 501 ● 内 流 102 ● 部 量 レ BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 構 造 ン 005 ● ● ● ● ● ● 図 ジ 010 ● ● ● ● ● ● L 020 ● ● ● ● ● ● C 050 ● ● ● ● ● ● D 表 100 ● ● ● ● ● ● 示 200 ● ● ● ● ● ● 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● スバ テ 101 ● ● ● ● ● ● ● ー ン表 201 ● ● ● ● ● ● ● レ ス示 501 ● ● ● ボ デ I 102 ● ● ● ィ O タ― ●：接続口径対応　　　 ：ニードル弁オプション対応　　　★：EXA連結接手対応 L イ i プ n k 内 部 接続口径とクリーン仕様の対応表 構 造 ホ 接続口径　 ヘ 配管方向 図 BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 分 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 離 ワ P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 表 ク 示 リ P80 ● ● ● ● ● ● ● ● 器 ー BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 ン 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 技 仕 様 P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 術 資 P80 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 料 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 4

FSM3 Series L 外形寸法図（LCD表示タイプ） C D 接続口径：ストレートタイプ φ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 表 示 ●FSM3−Lロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AF1/AB1/AC1(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） Rc1/8,NPT1/8,G1/8（AB1） Gねじ形状（AB） バ G1/8 （10） ー 表樹 2+0.4 0 示脂 ボ デ I ィ O タ ―イ L i プ 端面 n 14 k 15 55 15°の面がシール面となります。 17 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 内 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 部 G1/8（AF1） 構 造 図 L C D 2-φ3.4貫通 27 表 示 （A） 17 バス 形　番 継手 (A)寸法 ーテ 表ン FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm （65） 示レ FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm （67.2） ス FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ （70.4） ボ I デ 2-M3深さ5 15.5 FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 （75） O ―ィ FSM3-L□□1AF1 G1/8 （87） L タ i イ FSM3-L□□1AB1 G1/8 （87） n k プ FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 （75） 内 部 接続口径：ストレートタイプ φ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 構 ●FSM3−Lロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BF1/BB1/BC1(フルスケール流量：50,100,200L/min） 造 図 　※EXA接続タイプは、2次側（下図右側）が専用アダプタとなります。接続時の外形寸法図は67ページを参照してください。 Rc1/4,NPT1/4,G1/4（BB1） Gねじ形状（BB） 分 （14） G1/4 離 2.5+0.4 0 表 示 55 器 17 技 術 端面 資 料 17 15°の面がシール面となります。 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 操 G1/4（BF1） 作 方 2-φ3.4貫通 27 法 （A） オ プ シ ョ ン 品 21 注使 意用 形　番 継手 (A)寸法 事上 項の 2-M3深さ5 15.5 FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm （70.6） FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm （82.1） FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ （83.4） 関 FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 （75） 連 商 FSM3-L□□1BF1 G1/4 （89） 品 FSM3-L□□1BB1 G1/4 （89） FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 （75） 5 （30.2） （24.2） 13 8.5 9.5 3.6 9.5 3.6 37 43 1.5 1.5 φ15.6+0.1 0 φ11.6+0.1 φ11.7 0 φ8.7 15˚ 45˚ 1 5˚ 45˚

FSM3 Series 外形寸法図 外形寸法図（LCD表示タイプ） L C 接続口径：ストレートタイプ Ｒc1/2、Ｇ1/2、NPT1/2 D 表 ●FSM3−Lロハ1/CA1/CF1/CB1/CC1(フルスケール流量：500、1000L/min） 示 Gねじ形状（CB） バ （17） 樹ー 2.5+0.4 脂表 17 15 55 0 G1/2 ボ示 デ ィ タ I O イ― プ L i n k 内 端面 部 15°の面がシール面となります。 構 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 造 30 （A） 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 図 Gねじ形状（CF） G1/2 シール面 L C （φ24.3） D 表 示 φ21+0.4 0 スバ テー 端面シール （9.5） ■面がシール面となります。 ン表 レ ス示 2-M3深さ3 30 形　番 継手 (A)寸法 ボ デ I FSM3-L□□1CA1 Rc1/2 （80） ィ O FSM3-L□□1CF1 G1/2 （80） タ― L イ i FSM3-L□□1CB1 G1/2 （95.4） プ n k FSM3-L□□1CC1 NPTG1/2 （80） 内 部 接続口径：エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 構 ●FSM3−Lロハ1/BH2/CH2/HH2/AA2/AF2/AB2/AC2(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） 造 図 17 15 55 分 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 離 表 形　番 継手 (A)寸法 示 FSM3-L□□1BH2 ワンタッチφ4mm （9.5） 器 FSM3-L□□1CH2 ワンタッチφ6mm （10.6） FSM3-L□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ （12.2） 技 術 FSM3-L□□1AA2 Rc1/8 （14.5） 資 27 FSM3-L□□1AF2 G1/8　　　※ （20.5） 料 71.3 FSM3-L□□1AB2 G1/8　　　※ （20.5） 2-φ3.4貫通 （87） FSM3-L□□1AC2 NPT1/8 （14.5） 操 ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 作 方 接続口径：エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 法 ●FSM3−Lロハ1/DH2/EH2/JH2/BA2/BF2/BB2/BC2(フルスケール流量：50,100,200L/min） オ プ 17 15 55 シ ョ ン 品 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 形　番 継手 (A)寸法 注使 FSM3-L□□1DH2 ワンタッチφ8mm （13.6） 意用 事上 FSM3-L□□1EH2 ワンタッチφ10mm （19.3） 項の FSM3-L□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ （20.0） FSM3-L□□1BA2 Rc1/4 （15.8） 27 FSM3-L□□1BF2 G1/4　　※ （22.8） 関 連 75.3 FSM3-L□□1BB2 G1/4　　※ （22.8） 商 2-φ3.4貫通 （95） FSM3-L□□1BC2 NPT1/4 （15.8） 品 ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 6 （24.2） （37.2） 3.6 15 （30.2） 3.6 1.5 （A）8.5 37 1.5 13 30 （A） 13 50 1.5 43 φ21+0.4 0 φ19 90˚ φ22.6+0.1 0 φ19 15˚ 45˚

FSM3 Series L ニードル弁付外形寸法図 C D 接続口径：ストレートタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 表 示 ●FSM3−Lロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AF1/AB1/AC1/トチT(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） バ 17 Gねじ形状（AB） ー 表樹 55 G1/8 （10） ※ 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じ 示脂 2+0.4 ボ 0 です。 デ I ィ 形　番 継手 (A)寸法 O タ FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm （90） ―イ L FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm（92.2） i プ n 端面 FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ（95.4） k FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 （100） 15°の面がシール面となります。 FSM3-L□□1AF1 G1/8 （112） 内 27 部 2-φ3.4貫通 端面シールではありませんのでご注意 FSM3-L□□1AB1 G1/8 （112） 構 （A） ください。また、継手のねじ深さも合 わせてご確認の上ご使用ください。 FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 （100） 造 図 接続口径：ストレートタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 L ●FSM3−Lロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BF1/BB1/BC1/トチT(フルスケール流量：50,100,200L/min） C D Gねじ形状（BB） 表 示 17 （14） G1/4 2.5+0.4 0 55 ※ 本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じ バス です。 ーテ 表ン 形　番 継手 (A)寸法 示レ FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm（101.6） ス ボ FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm（113.1） I デ 端面 FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ（114.4） O ―ィ L タ FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 （106） i イ 15°の面がシール面となります。 FSM3-L□□1BF1 G1/4 （120） n k プ 27 端面シールではありませんのでご注意 ください。また、継手のねじ深さも合 FSM3-L□□1BB1 G1/4 （120） 2-φ3.4貫通 （A） わせてご確認の上ご使用ください。 FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 （106） 内 部 構 接続口径：エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 造 図 ●FSM3−Lロハ1/BH2/CH2/HH2/AA2/AF2/AB2/AC2(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） 分 17 離 55 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 表 示 形　番 継手 (A)寸法 器 FSM3-L□□1BH2 ワンタッチφ4mm （9.5） FSM3-L□□1CH2 ワンタッチφ6mm （10.6） 技 FSM3-L□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ （12.2） 術 資 FSM3-L□□1AA2 Rc1/8 （14.5） 料 FSM3-L□□1AF2 G1/8　　　※ （20.5） 27 FSM3-L□□1AB2 G1/8　　　※ （20.5） 96.3 操 FSM3-L□□1AC2 NPT1/8 （14.5） 作 2-φ3.4貫通 （112） ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 方 法 接続口径：エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 ●FSM3−Lロハ1/DH2/EH2/JH2/BA2/BF2/BB2/BC2(フルスケール流量：50,100,200L/min） オ プ シ 17 ョ 55 ン 品 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 注使 形　番 継手 (A)寸法 意用 事 FSM3-L□□1DH2 ワンタッチφ8mm （13.6） 上 項の FSM3-L□□1EH2 ワンタッチφ10mm （19.3） FSM3-L□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ （20.0） FSM3-L□□1BA2 Rc1/4 （15.8） 関 連 27 FSM3-L□□1BF2 G1/4　　※ （22.8） 商 110.3 FSM3-L□□1BB2 G1/4　　※ （22.8） 品 FSM3-L□□1BC2 NPT1/4 （15.8） 2-φ3.4貫通 （126） ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 7 （30.2） （24.2） 3.6 （A） 3.6 （24.2） （30.2） （A） 13 1.5 3.6 1.5 3.6 13 43 8.5 1.5 （53.5〜62） 37 （47.5〜56） 1.5 37 （47.5〜56） φ15.6+0.1 φ11.6+0.1 0 0 φ11.7 φ8.7 43 （53.5〜62） 15˚ 15˚ 45˚ 45˚

MEMO L C D 表 示 バ 樹ー 脂表 ボ示 デ ィ タ I O イ― プ L i n k 内 部 構 造 図 L C D 表 示 スバ テー ン表 レ ス示 ボ デ I ィ O タ― L イ i プ n k 内 部 構 造 図 分 離 表 示 器 技 術 資 料 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 8

小形流量センサ　ラピフロー FSM3 Series L C バー表示タイプ D 表 ●樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） 示 バ ー 表樹 示脂 ボ バー表示タイプ仕様 デ I ィ FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[　 ] O タ ―イ 項　目 [ロ] L i プ n 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 k U 片方向 流れ方向 [ハ] 内 B 双方向 部 構 測定流量 5 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 造 レンジ U 1 [ハ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L 図 （□/min） 0〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、 注1 B -50 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L L C 表示の種類 LEDバー表示 D 適用流体 表 注2 清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2）、窒素ガス 示 使用流体 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） バス 圧力範囲 -0.09〜0.75MPa ーテ 耐圧力 1MPa 表ン 示レ 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 ス ボ 保存温度 -10〜60℃ I デ O 精度　注3 ±3%F.S.以内（2次側大気開放） 　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） ―ィ L タ 繰り返し精度 i イ n k プ 精度 注4 ±1%F.S.以内（2次側大気開放） 温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内 　（15〜35℃、25℃基準） 内 部 圧力特性 ±5%F.S.以内　（-0.09〜0.7MPa、2次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （-0.09〜0.7MPa、0.35MPa基準） 構 造 応答時間 注5 50msec　以下 図 アナログ出力 J 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス=50kΩ以上） 分 注6 K 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0〜300Ω） 離 [ト] 表 電源電圧 J DC12〜24V（10.8〜26.4V）　リップル率1%以下 示 注7 K DC24V（21.6〜26.4V）　リップル率1%以下 器 消費電流 注8 45mA以下 技 リード線 φ3.7　AWG26相当×4芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 術 資 保護構造 IP40相当（IEC規格） 料 保護回路 注9 電源逆接続保護 耐振動 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 操 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8 作 方 取付姿勢 注10 縦・横自在 法 取付 直管導入部 注11 不要 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 9

FSM3 Series 仕様 L C D 表 示 バ 樹ー 脂表 ボ示 注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65％RH）での体積流量に換算 デ ィ 注2： 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご タ I O イ― 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ プ L ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ i n （最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（72ページの推奨 k 回路を参照してください。） 内 注3：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 部 構 なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 造 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 図 注4：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） L 注5：実際の応答時間は配管条件によって変わります。 C 注6： アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きく D なります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 表 示 注7：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 注8：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 スバ 注9：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 テー ン 注10：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 表 レ ス示 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 ボ 注11： 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 デ I 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 ィ O タ― L 注12：質量については、58ページをご参照ください。 イ i プ n k 内 部 構 造 図 分 離 表 示 器 技 術 資 料 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 10

FSM3 Series L 形番表示方法 C D 表 FSM3 B 005 U 1 BH 1 J 1 N D H S P70 記号 内　容 イ 表示 示 B バー表示 バ ロ 流量レンジ（フルスケール流量） ー 表樹 機種形番 ロ 流量レンジ 005 500mL/min 500 50L/min 示脂 　（ フルスケール流量） イ 表示 010 1000mL/min 101 100L/min ボ デ 020 2L/min 201 200L/min I ィ 050 5L/min 501 500L/min O タ 100 10L/min 102 1000L/min ―イ L i プ 200 20L/min n k ハ 流れ方向 注3 ハ 流れ方向 U 片方向 内 B 双方向 部 構 ニ ボディ材質・適用流体 造 ニ ボディ材質・適用流体 図 ボディ材質 適用流体 1 樹脂 エア L ホ C 接続口径 ホ 接続口径 D BH ワンタッチ（φ4mmチューブ用） AF G1/8 注4 表 CH ワンタッチ（φ6mmチューブ用） BF G1/4 注4 示 DH ワンタッチ（φ8mmチューブ用） CF G1/2 注4 EH ワンタッチ（φ10mmチューブ用） AB G1/8 注5 バス ーテ HH ワンタッチ（φ1/4インチチューブ用） BB G1/4 注5 表ン JH ワンタッチ（φ3/8インチチューブ用） CB G1/2 注5 示レ〈形番表示例〉 ス AA Rc1/8 AC NPT1/8 ボ FSM3-B005U1BH1J1N-DHS-P70 BA Rc1/4 BC NPT1/4 I デ 機種名：ラピフローFSM3シリーズ CA Rc1/2 CC NPT1/2 O ―ィ L タ イ 表示 B ：バー表示 ヘ ロ 流量レンジ 005：500mL/min 配管方向 i イ ヘ 配管方向 n k プ ハ 流れ方向 U ：片方向 1 ストレート ニ ボディ材質・適用流体 1 ：樹脂・エア 2 エルボ 注6 内 ホ 接続口径 BH：ワンタッチ ト 出力仕様 注2 部 （φ4mmチューブ用） ト 出力仕様 構 J アナログ電圧出力ｘ1点 ヘ 配管方向 1 ：ストレート 造 K アナログ電流出力ｘ1点 図 ト 出力仕様 J ：アナログ電圧出力X1 チ 単位仕様 1 ：SI単位系のみ チ 単位仕様 チ 単位仕様 分 リ バルブオプション N ：なし 1 SI単位系のみ 離 ヌリード線 D ：4芯3m 表 リ バルブオプション 注3 ル 取付アタッチメント H ：ブラケット リ 示 バルブ 器 ヲ 添付書類 S ：検査成績書+トレーサビリティ証明書 オプション N なし E EXA接続継手（EXAは別売） 注7、注8、注9 ワ クリーン仕様 P70：発塵防止 ヌ リード線 技 形番選定にあたっての注意事項 ヌ リード線 術 無記号 なし 資 C 4芯1m 料 注1：選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 注2：分離表示器（FSM2-D）と組合せて使用する場合は、 D 4芯3m 「”J”：アナログ電圧出力x1点」を選択してください。 ル 取付アタッチメント 注10、注11 操 注3：流れ方向が「B：双方向」のモデルは、　リ バルブオプションは ル 取付アタッチ 「N：なし」のみとなります。「E：EXA接続継手」は選択できま メント 無記号 なし 作 方 せんのでご注意ください。 H ブラケット1（200L以下モデル用） 法 注4：Gねじ接続形状はISO16030に準拠。 J ブラケット2（500L、1000Lモデル用） 注5：選定時にGねじの接続形状を外形寸法図（13ページ、14ペー M DINレール取付（200L以下モデル用） オ ジ）でご確認ください。（Gねじ接続形状はJIS B 2351-1 O プ 型に準拠） ヲ 添付書類 シ 注6：エルボ継手は上向きに取付けるとコネクタと、下向きに取付け ヲ 添付書類 無記号 なし ョ るとDINレール取付と、干渉しますのでご注意ください。 ン 注7：専用継手で電磁弁(EXAシリーズ）と連結できます。 R 検査成績書 品 67ページ参照ください。 S 検査成績書+校正証明書＋トレーサビリティ体系図 注8：EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。 ワ 注使 EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。 クリーン仕様 ワ 意 クリーン 用 DIN端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。 仕様 無記号 なし 事上 接続後に必ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 P70 発塵防止 注12 項の 注9： ワ クリーン仕様“P70“”P80”は選定できません。 P80 禁油処理 注13 注10：「パネル取付」のオプションは選択できません。 ブラケットは取付位置によってエルボ継手と干渉するおそれ 関 がありますのでご注意ください。 連 注11： オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 商 品 注12： 包装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ（クラス1000以 上）内で、帯電防止袋にヒートシールを包装します。 注13：P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 11

FSM3 Series 形番表示方法 流量レンジと接続口径、EXA連結継手の対応表 L ホ 接続口径　 ヘ 配管方向 C D BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 表 005 ● ● ● ● ● ● ● ● 示 010 ● ● ● ● ● ● ● ● バ 020 ● ● ● ● ● ● ● ● 樹ー 050 ● ● ● ● ● ● ● ● 脂表 ボ示 100 ● ● ● ● ● ● ● ● デ 200 ● ● ● ● ● ● ● ● ィ タ I 500 ● ● ● ● ● ● ● ●★ ● O イ― プ L 101 ● ● ● ● ● ● ●★ i n 201 ● ● ● ● ● ● ●★ k ロ 501 ● 内 流 102 ● 部 量 レ BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 構 造 ン 005 ● ● ● ● ● ● 図 ジ 010 ● ● ● ● ● ● L 020 ● ● ● ● ● ● C 050 ● ● ● ● ● ● D 表 100 ● ● ● ● ● ● 示 200 ● ● ● ● ● ● 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● スバ テ 101 ● ● ● ● ● ● ● ー ン表 201 ● ● ● ● ● ● ● レ ス示 501 ● ● ● ボ デ I 102 ● ● ● ィ O タ― ●：接続口径対応　　　★：EXA連結接手対応 L イ i プ n k 内 部 接続口径とクリーン仕様の対応表 構 造 ホ 接続口径　 ヘ 配管方向 図 BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 CA1 AA2 分 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 離 ワ P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 表 ク 示 リ P80 ● ● ● ● ● ● ● ● 器 ー BA2 AF1 BF1 CF1 AF2 BF2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 ン 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 技 仕 様 P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 術 資 P80 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 料 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 12

FSM3 Series L 外形寸法図（バー表示タイプ） C D 接続口径：ストレートタイプ φ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 表 示 ●FSM3−Bロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AF1/AB1/AC1(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） Rc1/8,NPT1/8,G1/8（AB1） Gねじ形状（AB） バ ー G1/8 （10） 表樹 2+0.4 0 示脂 ボ デ I ィ O タ ―イ L i プ 端面 n 17 15 55 14 k 15°の面がシール面となります。 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 内 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 部 構 G1/8（AF1） 造 図 L 2-φ3.4貫通 27 C （A） D 表 示 17 バス 形　番 継手 (A)寸法 ーテ FSM3-B□□1BH1 ワンタッチφ4mm （65） 表ン 2-M3深さ5 15.5 示レ FSM3-B□□1CH1 ワンタッチφ6mm （67.2） ス FSM3-B□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ （70.4） ボ I デ FSM3-B□□1AA1 Rc1/8 （75） O ―ィ FSM3-B□□1AF1 G1/8 （87） L タ i イ FSM3-B□□1AB1 G1/8 （87） n k プ FSM3-B□□1AC1 NPT1/8 （75） 内 部 接続口径：ストレートタイプ φ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 構 ●FSM3−Bロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BF1/BB1/BC1(フルスケール流量：50,100,200L/min） 造 図 　※EXA接続タイプは、2次側（下図右側）が専用アダプタとなります。接続時の外形寸法図は67ページを参照してください。 Rc1/4,NPT1/4,G1/4（BB1） Gねじ形状（BB） 分 （14） 離 G1/4 2.5+0.4 表 0 示 器 17 技 術 資 端面 料 17 15°の面がシール面となります。 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 操 継手のねじ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 作 方 G1/4（BF1） 法 2-φ3.4貫通 27 （A） オ プ シ ョ ン 品 21 注使 2-M3深さ5 15.5 意用 形　番 継手 (A)寸法 事上 FSM3-B□□1DH1 ワンタッチφ8mm （70.6） 項の FSM3-B□□1EH1 ワンタッチφ10mm （82.1） FSM3-B□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ （83.4） 関 FSM3-B□□1BA1 Rc1/4 （75） 連 商 FSM3-B□□1BF1 G1/4 （89） 品 FSM3-B□□1BB1 G1/4 （89） FSM3-B□□1BC1 NPT1/4 （75） 13 （30.2） （24.2） 13 8.5 9.5 3.6 9.5 3.6 29 35 φ15.6+0.1 0 φ11.7 φ11.6 +0.1 0 φ8.7 15˚ 45˚ 1 5˚ 45˚

FSM3 Series 外形寸法図 外形寸法図（バー表示タイプ） L C 接続口径：ストレートタイプ Ｒc1/2、Ｇ1/2、NPT1/2 D ●FSM3−Bロハ1/CA1/CF1/CB1/CC1(フルスケール流量：500、1000L/min） 表 示 Gねじ形状（CB） （17） バ 2.5+0.4 樹ー 17 15 55 0 G1/2 脂表 ボ示 デ ィ タ I O イ― プ L i 15°の面がシール面となります。 n 端面シールではありませんのでご注意 k ください。また、継手のねじ深さも合 端面 わせてご確認の上ご使用ください。 内 部 30 （A） Gねじ形状（CF） G1/2 シール面 構 造 （φ24.3） 図 L φ21+0.4 0 C D 表 示 端面シール （9.5） ■面がシール面となります。 2-M3深さ3 30 形　番 継手 (A)寸法 スバ テ FSM3-B□□1CA1 Rc1/2 （80） ー ン表 FSM3-B□□1CF1 G1/2 （80） レ ス示 FSM3-B□□1CB1 G1/2 （95.4） ボ FSM3-B□□1CC1 NPT1/2 （80） デ I ィ O タ― L 接続口径：エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Ｒc1/8、Ｇ1/8、NPT1/8 イ i プ n ●FSM3−Bロハ1/BH2/CH2/HH2/AA2/AF2/AB2/AC2(フルスケール流量：500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min） k 17 15 55 内 部 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 構 造 形　番 継手 (A)寸法 図 FSM3-B□□1BH2 ワンタッチφ4mm （9.5） FSM3-B□□1CH2 ワンタッチφ6mm （10.6） 分 離 FSM3-B□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ （12.2） 表 27 FSM3-B□□1AA2 Rc1/8 （14.5） 示 71.3 FSM3-B□□1AF2 G1/8　　　※ （20.5） 器 （87） FSM3-B□□1AB2 G1/8　　　※ （20.5） 2-φ3.4貫通 FSM3-B□□1AC2 NPT1/8 （14.5） 技 術 ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 資 接続口径：エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Ｒc1/4、Ｇ1/4、NPT1/4 料 ●FSM3−Bロハ1/DH2/EH2/JH2/BA2/BF2/BB2/BC2(フルスケール流量：50,100,200L/min） 17 15 55 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 ※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。 27 75.3 形　番 継手 (A)寸法 注使 （95） FSM3-B□□1DH2 ワンタッチφ8mm （13.6） 意用 事上 2-φ3.4貫通 FSM3-B□□1EH2 ワンタッチφ10mm （19.3） 項の FSM3-B□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ （20.0） FSM3-B□□1BA2 Rc1/4 （15.8） FSM3-B□□1BF2 G1/4　　　※ （22.8） 関 連 FSM3-B□□1BB2 G1/4　　　※ （22.8） 商 FSM3-B□□1BC2 NPT1/4 （15.8） 品 ※Gねじ形状はストレートタイプを参照ください。 14 （37.2） （24.2） 15 3.6 （30.2） 3.6 （A）8.5 13 30 29 42 （A） 13 35 φ21+0.4 0 φ22.6+0.1 0 φ19 φ19 90˚ 15˚ 45˚

小形流量センサ　ラピフロー FSM3 Series L C IO-Link D 表 ●樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） 示 バ ー 表樹 示脂 ボ IO-Linkタイプ仕様 デ I ィ FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[　 ] O タ ―イ 項　目 [ロ] L i プ n 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 k U 片方向 流れ方向 [ハ] 内 B 双方向 部 構 測定流量 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 造 レンジ U [ハ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L 図 （□/min） -500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、 注1 B 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L L C 表示の種類 LED表示（powerランプ、statusランプ） D 適用流体 清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2）、窒素ガス 表 示 注2 アルゴン、炭酸ガス（注3）、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） − 使用流体 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） バス ーテ 圧力範囲 -0.09〜0.75MPa 表ン 耐圧力 1MPa 示レ ス 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 ボ I デ 保存温度 -10〜60℃ O ―ィ L タ 精度　注5 ±3%F.S.以内（2次側大気開放） 　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） i イ n 精度　注4 繰り返し精度 k プ （流体：乾燥空気 注6 ±1%F.S.以内（2次側大気開放） 内 にて） 温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内 　（15〜35℃、25℃基準） 部 構 圧力特性 ±5%F.S.以内　（-0.09〜0.7MPa、2次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （-0.09〜0.7MPa、0.35MPa基準） 造 図 応答時間 注7 50msec　以下（応答時間設定OFF時） 電源電圧 DC18〜30V　リップル率1%以下 分 離 消費電流 注8 45mA以下 表 リード線 注9 M12両側コネクタリード線（3m）　AWG＃23相当4芯 示 器 保有機能 注10 1 ガス種切替、2 流量積算、3 ピークホールド、他 保護構造 IP40相当（IEC規格） 技 術 保護回路 注11 電源逆接続保護 資 耐振動 注12 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 料 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8 操 取付姿勢 注13 縦・横自在 取付 作 直管導入部 注14 不要 方 法 ※通信仕様については、63ページをご参照ください。 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 15

FSM3 Series 仕様 L C D 表 示 バ 樹ー 脂表 ボ示 注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65％RH）での体積流量に換算 デ ィ （空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、0％RH） タ I O イ― 注2： 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご プ L 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ i n ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ k （最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（72ページの推奨 内 回路を参照してください。） 部 構 注3：ガス種切替機能により、炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。 造 ガス種 流れ方向 測定流量範囲（□/min） 図 005 010 020 100 200 500 101 201 L 片方向 15〜250mL 30〜500mL 0.06〜1.00L 0.30〜5.00L 0.6〜10.0L 1.5〜25.0L 3.0〜50.0L 6〜100L C 炭酸ガス 双方向 -250〜-15mL -500〜-30mL -1.00〜-0.06L -5.00〜-0.30L -10.0〜-0.6L -25.0〜-1.5L -50.0〜-3.0L -100〜-6L D 15〜250mL 30〜500mL 0.06〜1.00L 0.30〜5.00L 0.6〜10.0L 1.5〜25.0L 3.0〜50.0L 6〜100L 表 示 注4：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。 注5：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 スバ なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 テー ン表 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 レ ス示 注6：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） ボ 注7：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。 デ I ィ O 注8：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 タ― L 注9：オス側がストレートで、メス側がアングルとなっています。（65ページを参照してください。） イ i プ n M12コネクタは0.5N・m以下のトルクで締付けてください。 k 過大な力で締めると破損するおそれがありますのでご注意ください。 内 注10： ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80％＋炭酸ガス20％に切替える事ができます。 部 切替後の測定流量範囲は以下の様になります。（500L/min、1000L/minモデルはガス種切替機能がありませんのでご注意ください。） 構 造 炭酸ガスについては注3をご参照ください。 図 ガス種 流れ方向 測定流量範囲（□/min） 005 010 020 100 200 500 101 201 分 離 ・空気 片方向 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 表 ・窒素 示 ・アルゴン -500〜-15mL -1000〜-30mL -2.00〜-0.06L -10.00〜-0.30L -20.0〜-0.6L -50.0〜-1.5L -100.0〜-3.0L -200〜-6L 器 ・ア ルゴン80%＋ 双方向 炭酸ガス20% 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 技 術 積算流量は参考値です。 資 積算値保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない様にご注意ください。 料 （各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。） 使用時間 保存回数 ＝　　　　　＜100万回 操 5分 作 方 注11：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 法 注12：振動条件によっては通信エラーが発生するおそれがあります。できるだけ振動のない場所に設置してください。 注13：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 オ 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 プ シ 注14： 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 ョ ン 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 品 注15：質量については、58ページをご参照ください。 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 16