薬液用電動ニードルバルブ MNVシリーズ

※ ※弊社実験方法による

薬液用電動ニードルバルブ MNV Series 仕様 1.バルブ・本体 5.ケーブル 項目 MNV00-10BUP-1-G 導体断面積 AWG#24、約0.2[mm2] 使用流体 薬液・純水　（注1） 導体材質 スズめっき軟銅線 流体温度 ℃ 20～195 リード線被覆外径 約1.14[mm] 耐圧力 MPa 0.5 リード線絶縁材質 ETFE 使用圧力（A→B） MPa 0～0.2 ケーブル仕上り外径 約4.4[mm] 流体差圧 kPa 5～200　（A、Bポート間の差圧） 外皮シース材質 FEP、黒色 0～600ｓｔｐ　（モータ駆動ステップ） ケーブル長さ 3m 設定範囲 ・0step弁開側　原点センサ検知 ・600step弁閉側　ストッパ有 使用周囲温度 ℃ 20～100 6.配線 使用周囲湿度 ％RH 20～85　（結露なきこと） 保存周囲温度 ℃ 0～60 製品内部 保存周囲温度 ％RH 20～85　（結露なきこと） モータ A相 取付姿勢 自在 A−相 スーパー300タイプピラーフィッティング 接続方式 Pシリーズ一体形 B相 3/8"×1/4"　PFAチューブ用フィッティング B−相 オリフィス径 mm φ3.4 保護構造 防水（IP65相当） 原点センサ 電源＋ 注1：製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。 硝酸、塩酸、フッ酸、オゾン、有機系流体には使用できません。 負荷出力信号 2.モータ 電源− タイプ 2相ステッピングモータ　（バイポーラ） 駆動方式 フルステップ　（ステップ角1.8°） 配線図 定格駆動電流 mA/相 350 駆動速度 pps 650 絶縁体色 接続先 緑 モータ　A相 黄 モータ　A-相 3.センサ 白 モータ　B相 電源電圧 DC24V±10%　リップル（P-P）10[%]以下 赤 モータ　B-相 消費電流 50mA以下 橙 原点センサ　電源+ 制御出力 NPNオープンコレクタ出力　40mA以下 青 原点センサ　電源- 動作モード 原点位置より弁開側の開度時に出力ON 灰 原点センサ　出力信号 応答周波数 1kHz以上 黒 N.C. 4.パージ　（注3） パージ流量 L/min 15～30 内部圧力 kPa 0～100 流体温度 ℃ 10～30 接続口径 INポート：Rc1/8、EXHポート：Rc1/8 パージ供給流体 清浄圧縮空気　JIS等級2.6.1相当(JIS B 8392-1:2003) 注3：パージは必ず実施ください。また、流量は供給側にスピコンを設け、指定流量に調整ください。 1 主回路 ステッピングモータ ドライバ回路

MNV Series 形番表示方法・外形寸法図 形番表示方法 流量特性 MNV00 10BUP 1 G 流量特性（参考値）　流体：純水、23℃4000 ニ 流体温度 イ 機種形番 ロ 接続方式 ハ オリフィス径 3500 ⊿P＝100kPa 記号 内　容 3000 イ 機種形番 MNV00 2500 ⊿P＝50kPa ロ 接続方式 2000 スーパー300タイプピラーフィッティング 10BUP Pシリーズ一体形 ⊿P＝20kPa 3/8"×1/4" 1500 チューブ接続 ⊿P＝10kPa ハ オリフィス径 1000 1 φ3.4 500 ニ 流体温度 G 20～195℃ 0 0 200 400 600 設定値[step] ※上記特性は参考値となります。実際の流量特性には個体差があります。 外形寸法図 （63） 22 34 φ27 パージEXHポート Rc1/8 高温用 For High Temp パージINポート Rc1/8 2-M6深5.5 Bポート 呼吸穴 32 32 （25） 2-3/8inch×1/4inch PFAチューブ用フィッティング 日本ピラー工業（株）製 スーパー300タイプピラーフィッティング Pシリーズ 2 16.7 20 41 Aポート 流量[mL/min] 5 13 65 48 （20） （25） 125 （90） 0 R4 IN M

(器)和中ﾓ非該(15.5.31)H-23.ai MNV Series 使用上の注意事項 本製品を安全にご使用いただくために、ご使用前に最新の取扱説明書、仕様図・仕様書および「ウェットファイン機器総合」（カタログＮo.CB-031）の「使用上の注意事項」を必ずお読みいただき、仕様の範囲内でご使用ください。 警告 ■取付・据付・調整・使用時 　●高温条件下で使用した場合、製品表面温度が高温となりますのでご注意ください。直接触れると火傷などの危険性があります。 　●バルブの動作により、カバー側面にある呼吸穴からわずかではありますが薬液の透過ガスが放出されます。 　　 呼吸穴付近には顔や手を近づけないようにしてください。バルブを触る際は、耐食性のある手袋を使用し素手では触らな いでください。 注意 ■取付・据付・調整時 　●分解しないでください。 　●落下させるなどの強い衝撃を与えないでください。製品破損や故障の原因となります。 関連商品 薬液用エアオペレイトバルブ カタログNo.CC-1177 AMD/AMG/GAMD Part3Rシリーズ 半導体およびLCD製造等のクリーンな薬液（純水を含む） を流す装置内において、液のON・OFFに使用されるエア オペレイトバルブ ■様々な仕様に対応するオールインワンモデルとして 　Part3Rシリーズをリリース ・1/4”、3/8”、1/2”、3/4”、1インチサイズ ・様々な薬液に対応 ・仕様圧力0.5MPa ・使用流体温度120℃ ・インジケータ標準、センサ付をオプション準備（1/4”除く） ・マニホールド、切削対応可能 ファインレギュレータ カタログNo.CB-031 PYM10/PMM20/PMP202/402シリーズ 半導体およびLCD製造等のクリーンな薬液（純水を含む） を使用する装置内において、薬液の圧力制御をするため のレギュレータ ■優れた圧力および流量特性 フッ素樹脂製ダイアフラム採用により、金属製ダイアフラムに比べ、圧 力および流量特性が優れている ■パイロットレギュレータ パイロットエアコントロールにより安定した圧力に調圧できるよう設計 されたレギュレータ 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and their replicas, or the technology and software in this catalog are to be exported, laws require the exporter to make sure they will never be used for the development or the manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 営業本部 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1303 FAX(0568)77-3410 Overseas Sales Administration Dept. 2-250 Ouji Komaki, Aichi 485-8551, Japan TEL(0568)74-1338 FAX(0568)77-3461 ＜Website＞ 東京支店 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 http://www.ckd.co.jp/ 名古屋支店 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1356 FAX(0568)75-1692 大阪支店 〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL(06)6459-5770 FAX(06)6446-1945 ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 0120-771060お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2015 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2015.8.C