薬液用マニュアルバルブ MMDパート3RNシリーズ

New Products 新商品 薬液用マニュアルバルブ MMDパート3RNシリーズ MANUAL VALVE FOR CHEMICAL LIQUIDS 進化を遂げた マニュアルバルブ！ CC-1397 1

選びやすさと使いやすさを追求！ シール部破損防止 新構造 誤作動防止 従来機種（MMD※※2）から「使用圧力範囲「」使用流体「」流体温度」の 締め付け防止機構付きハンドル ロックリングシールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰 振動などにより、意図せずハンドルが開閉することを防止します。 カバー範囲を標準で拡大。 締め付けを防止します。 CKDオリジナルの締め付け防止機構により安全性を追加！ インジケータ カチ カチ 締め付け防止 機構付き 薬液用マニュアルバルブ ハンドル ロックリング 弁の開閉を視認 3種類の取付方法 インジケータ 従来のフランジ取付、底面取付に加え、4点フランジ取付を追加。 弁の状態（開or閉）を確認できます。 開 閉 フランジ取付 4点フランジ取付 底面取付 誤操作防止 誤操作防止カバー 操作部（ハンドル・ロックリング）を覆い 隠すことにより、誤操作を防ぎ、うっかり ミスやコミュニケーション不足などの 使用圧力範囲を拡大 標準で様々な液体に対応 ヒューマンエラーや災害、事故を防ぎます。 ※誤操作防止カバーはGMMDシリーズには使用できま 従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。 耐薬品性に優れたフッ素 せん。一般・ A、Bポートの使用圧力を共通化しました。 樹脂「PVDF」をア クチュ 液　体 その他 フッ酸 エータに採用することで、 使用圧力範囲 酸・アルカリ問わず、標準 従来品（Part 2） U仕様 P仕様 カバーを被せ、押込むことでカバー カギや警告タグなどを取付けられ で幅広く対応できます。 を固定 ます。 0.5 MMD※03RN UP! （ ） 標準仕様 サイズバリエーションPart 3RN 0.4 3/8̋ 1/2̋ 3/4̋ 1̋ B ポ チューブ接続 10mm 12mm 25mm ー 0.3 標準品の流体温度を拡大 ト 側 圧 MMD303RN 力 0.2 MMD※03RN ［MPa］ 従来品 （Part 3RN）120℃ MMD403RN 0.1 GMMDシリーズ MMD503RN マニホールド化でコンパクト。 0 従来品 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 90℃ GMMD※03RN ※詳細はお問合せください。（Part 2） Aポート側圧力［MPa］

薬液用マニュアルバルブ MMD※03RN Series ●接続チューブサイズ：φ10、φ12、φ25、 3/8˝、1/2˝、3/4˝、1˝ 輸出貿易管理令該当品 ※対象：MMD403RN、MMD503RN 仕様 項　目 MMD303RN MMD403RN MMD503RN 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス（ 注1） 流体温度 ℃ 5〜120（ 注2、注3） 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0（ ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ10・φ12チューブ接続（フィッティング一体形）OD3/8"・1/2"チューブ接続（フィッティング一体形） OD3/4"チューブ接続（フィッティング一体形） ODφ25チューブ接続（フィッティング一体形） OD1"チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 φ6 φ7 φ8 φ9 φ10 φ15 φ16 φ20 Cv値 0.7 1 1.25 1.6 1.8 4.5 5 8 質量 kg 0.22 0.44 0.87 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト16ページをご参照ください。） 注2：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注4：流量特性については、4ページをご参照ください。 構造図および部品リスト 使用圧力 誤操作防止カバー B→A（Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 B A 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 Bポート Aポート 部品名称 材　質 アクチュエータ PVDF、PP 他 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 取付板 PVDF 誤操作防止カバー PP 1

MMD※03RN Series 形番表示方法 形番表示方法 ● 本体 MMD303RN 15BUP F 機種形番 イ 接続方式 ロ 取付方法 MMD303RN MMD403RN MMD503RN イ 接続方式（注1） 10UP 10BUP 12UP 15BUP 10UR 10BUR 12UR 15BUR 20BUP 20BUR 25UP 25BUP 25UR 25BUR スーパー スーパー スーパー300タイプ F-LOCK 300タイプ F-LOCK 300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ ピラーフィッ 60シリーズ ピラーフィッ 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ティング フィッティング ティング フィッティング Pシリーズ 一体形 Pシリーズ 一体形 一体形 一体形 φ10 3/8" φ12 1/2" φ10 3/8" φ12 1/2" 3/4" 3/4" φ25 1" φ25 1" × × × × × × × × × × × × × × φ8 1/4" φ10 3/8" φ8 1/4" φ10 3/8" 5/8" 5/8" φ22 7/8" φ22 7/8" チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ8 φ10 φ7 φ6 φ9 φ16 φ15 φ20 ボディ材質 PFA PTFE PFA PTFE PFA PTFE ロ 取付方法　（注2） F フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● H 4点フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● X 底面取付 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1：ボ ディ材質がPTFEの場合は受注生産品となります。 1/4"、φ6チューブ接続をご希望の際はご相談ください。 注2：取付板は外形寸法図をご参照ください。 ●誤操作防止カバー MMD303RN-C MMD403RN-C MMD503RN-C 2

MMD※03RN Series 外形寸法図 ・MMD※03RN B A MMD303RN ※1（接続方式） D 10UP 86 10BUP 86 12UP 94 15BUP 94 10UR 110 10BUR 114 12UR 110 15BUR 114 MMD403RN ※1（接続方式） D 20BUP 118 20BUR 134 MMD503RN ※1（接続方式） D 25UP 146 25BUP 146 B A 25UR 159 Bポート Aポート 25BUR 162 （D） ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ・MMD303RN-※-F ・MMD403RN-※-F I ・MMD503RN-※-F O H H N S G S G U M 4-フルR 4-フルR 8-フルR 形番 A B C E F G H I J K L M N O P Q R S T U MMD303RN 36 39 36 21 116 22 36 50 36 50 62 22 36 50 50 62 2-7 2-8 4-7 4-8 MMD403RN 46 51 46 27 144 28 46 66 46 64 82 28 46 66 64 82 2-9 2-11 4-9 4-11 MMD503RN 60 65 60 35 184 40 61 61 61 78 97 40 61 78 78 97 2-9 2-3 4-9 4-11 ● X 底面取付 V W 形番 V W X MMD303RN 36 22±0.3 4-M6 深9 MMD304RN 46 28±0.3 4-M8 深10 MMD503RN 61 40±0.3 4-M8 深13 X 3 R J K W L V R C J K L E T F P Q

MMD※03RN Series 外形寸法図・流量特性 外形寸法図 ● 誤操作防止カバー ・MMD303RN-C ・MMD403RN-C ・MMD503RN-C H I J K L φ5.5 ※誤操作防止カバーの取付について 　どの方向（4方向）でも取付け可能です。 形番 A B C D E F G H I J K L M MMD303RN-C 166 112 54 51 25 13 5 78 55 23 40 10 40 MMD403RN-C 203 139 64 60 31 15 5 99 68 31 51 11 51 MMD503RN-C 254 179 75 71 38 17 5.5 125 83 71 65 12 65 MMD303RN〜MMD503RN 流量特性 ●流量特性（水） 　差圧ー流量（　）内：Cv値 1000 [ℓ/min] 流 　 量 MMD503RN（8） MMD403RN（5） 100 MMD303RN（1.8） MMD303RN（1.25） 10 0.05 0.1 0.5 差圧[MPa] 4 M A B C D G F E

薬液用マニュアルバルブ（マニホールド・分岐弁） 受注生産品 GMMD※03RN Series ●接続チューブサイズ：φ 10、φ12、φ25、 3/8˝、1/2˝、3/4˝、1˝ 輸出貿易管理令該当品 ※対象：GMMD403RN、GMMD503RN 仕様 項　目 GMMD303RN GMMD403RN GMMD503RN 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス（ 注1） 流体温度 ℃ 5〜120（ 注2、注3） 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0（ ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 取付姿勢 自在 ODφ10・φ12チューブ接続 ODφ25チューブ接続 接続方式 （フィッティング一体形） OD3/4"チューブ接続 （フィッティング一体形） OD3/8"・1/2""チューブ接続 （フィッティング一体形） OD1"チューブ接続 （フィッティング一体形） （フィッティング一体形） オリフィス径 φ6〜φ10 φ15〜φ16 φ20 1連 0.27 0.5 1.2 2連 0.54 1.0 2.4 質量 kg 3連 0.81 1.5 3.8 4連 1.0 1.9 5.0 5連 1.4 2.4 - 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト16ページをご参照ください。） 注2：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A（Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 部品名称 材　質 アクチュエータ PVDF、PP 他 ダイアフラム PTFE ボディ PTFE 取付板 PVDF 5

GMMD※03RN Series 形番表示方法 形番表示方法 GMMD303RN 15BUP 5 W 機種形番 イ 接続方式 ロ 連数 ハ Aポート位置 GMMD303RN GMMD403RN GMMD503RN イ 接続方式 10UP 10BUP 12UP 15BUP 10UR 10BUR 12UR 15BUR 20BUP 20BUR 25UP 25BUP 25UR 25BUR スーパー スーパー スーパー300タイプ F-LOCK 300タイプ F-LOCK 300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ ピラーフィッ 60シリーズ ピラーフィッ 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ティング フィッティング ティング フィッティング Pシリーズ 一体形 Pシリーズ 一体形 一体形 一体形 φ10 3/8" φ12 1/2" φ10 3/8" φ12 1/2" 3/4" 3/4" φ25 1" φ25 1" × × × × × × × × × × × × × × φ8 1/4" φ10 3/8" φ8 1/4" φ10 3/8" 5/8" 5/8" φ22 7/8" φ22 7/8" チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ チ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 接 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ8 φ10 φ7 φ6 φ9 φ16 φ15 φ20 ボディ材質 PTFE PTFE PTFE ロ 連数（注1） 1 1連 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 2 2連 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 3 3連 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 4 4連 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 5 5連 ● ● ● ● ● ● ハ Aポート位置（注1） L 左側 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● R 右側 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● W 両側 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1：連数、Aポート位置は外形寸法図をご参照ください。 注2：GMMD※03RNシリーズは誤操作防止カバーの使用ができません。 注３：1/4"、φ6チューブ接続をご希望の際はご相談ください。 6

GMMD※03RN Series 外形寸法図 ・GMMD303RN- ※1 ・GMMD403RN- ※1 Aポート位置：L Aポート位置：R Aポート位置：W A A A A ・GMMD503RN- ※1 B B B B B B B B B Aポート Aポート D E D （I） F （I） J 4-L 7 Bポート Bポート Bポート A K C H B （I） G

GMMD※03RN Series 外形寸法図 形番 A B C D E G H K L GMMD303RN 21 35 128 18 38 36 39 22±0.3 M6 深9 GMMD403RN 27 46 160 23 48 46 51 28±0.3 M8 深10 GMMD503RN 35 60 199 30 62 60 65 40±0.3 M8 深13 連数 形番 F J GMMD303RN 36 - 1 GMMD403RN 46 - GMMD503RN 60 - GMMD303RN 74 38±0.3 2 GMMD403RN 94 48±0.4 GMMD503RN 122 62±0.4 GMMD303RN 112 76±0.4 3 GMMD403RN 142 96±0.5 GMMD503RN 184 124±0.5 GMMD303RN 150 114±0.5 4 GMMD403RN 190 144±0.5 GMMD503RN 246 186±0.7 GMMD303RN 188 152±0.7 5 GMMD403RN 238 192±0.7 GMMD303RN（10mm・3/8"） GMMD303RN（12mm・1/2"） GMMD403RN GMMD503RN ※1（接続方式） I ※1（接続方式） I ※1（接続方式） I ※1（接続方式） I 10UP 25 12UP 29 20BUP 36 25UP 43 10BUP 25 15BUP 29 20BUR 44 25BUP 43 10UR 37 12UR 37 25UR 49.5 10BUR 39 15BUR 39 25BUR 51 注：GMMD※03RNシリーズは誤操作防止カバーの使用ができません。 8

関連商品 ①薬液用エアオペレイトバルブ AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3Rシリーズ カタログNo.CB-031 薬液用エアオペレイトバルブの新形スタンダードタイプ。 幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。 今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。 【使用圧力の範囲を拡大】 新シール構造により、使用圧力範囲を拡大。Ａ・Ｂポートの使用圧力を共通化。 【酸・アルカリ問わず対応可能】 耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用することで、 酸・アルカリ問わず、標準で幅広く対応可能。 【流体温度を拡大】 標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大（Max.120℃）。 ②電動流量調整バルブ　MNVシリーズ カタログNo.CB-031 電動式の流量調整弁(ニードルバルブ)。遠隔操作によって 設定流量の変更が可能です。 【幅広い対応流体温度】 20℃から195℃までの流体温度に対応。 お客様の温度にあわせて機種選定する工数削減。 【ニードル破損防止】 メカストッパにより、完全に弁が閉じることなく、ニードルの破損を防止。 エアで内部機構を冷却し、高温時の安定性が向上。 ③薬液用レギュレータ　PMP・PYM・PMMシリーズ カタログNo.CB-031 PMPシリーズ 薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールに より安定化できるレギュレータです。 電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も 可能です。 PYMシリーズ　PMMシリーズ 純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。 9

関連商品 ④薬液用エアオペレイトバルブ(給液用) MMD※0Hシリーズ カタログNo.CB-031 半導体製造工場における薬液供給設備などでの高圧・高背圧に 対応できるよう設計されたバルブです。 ⑤薬液用マニュアルバルブ(メタルレス) MMD※0Mシリーズ カタログNo.CB-031 半導体製造工場における薬液供給設備などでの強酸 (塩酸・フッ酸・硝酸)ラインに対応できるよう設計されたバルブ です。 ⑥PLC対応形ブロックマニホールド カタログNo.CB-023S カセットタイプで、さらに小形化（高さ39.5mm）を実現した 高性能3・4ポートブロックマニホールドです。 【薄形、省スペース】 MN3/4E00シリーズは、最薄7mmで省スペース化に貢献。 MN3/4E0シリーズは、10mmで、省スペースに貢献するだけでなく、 応答性に優れた高性能ブロックマニホールド。 （N3E0シリーズ3ポート弁2個内蔵形：A.Bポートとも12ms） 10

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または 水制御回路とこれらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保 できる事をチェックして安全な装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全 管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、 装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるように お願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外（屋外仕様製品を除き ます）での使用、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりま すが、万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急 遮断回路･プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧－システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に 行わないでください。 ❶機 械･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行って ください。 ❷運 転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、シ ステム内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保 されているか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、 （DANGER） かつ危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される （WARNING）場合。 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生 （CAUTION）じることが想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 11

ご注文に際しての注意事項 1 保証期間 当社製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品 の無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログまたは仕様書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②故障の原因が本製品以外の事由による場合 ③製品本来の使い方以外の使用による場合 ④当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑤納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑥天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 輸出に際しての注意事項 1 安全保障輸出管理について 　本カタログに記載の製品または関連技術の輸出、提供に際して、事前に許可が必要な場合があります。 　国際的な平和・安全の維持を確保する目的で、製品または関連技術の輸出先または提供先により、事前に外国 為替及び外国貿易法による許可を得ておくことが必要となる場合があります。 　許可が必要となる製品または関連技術の範囲は「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に 列記されています。 この「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」は、下記の2種類から構成されています。 ・項目ごとに1の項から15の項までにそれぞれ示されている「リスト規制」 ・項目ごとの仕様を定めずに用途により規制する「キャッチオール規制」（16の項） 1の項から15の項までに示されている「リスト規制」 「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に列記 許可が必要となる製品 または、 関連技術の範囲 用途により規制する「キャッチオール規制」（16の項） 「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に列記 許可の申請手続は、 製品または関連技術と輸出先または提供先の組み合わせ内容により、経済産業省安全保障貿易審査課 または各地の経済産業局で受付けています。 2 本カタログに掲載の製品または関連技術について 　本カタログに記載の製品または関連技術には、外国為替及び外国貿易法のリスト規制の対象となるものが含 まれています。 　外国為替及び外国貿易法のリスト規制の対象となる製品または関連技術については、対象であることを、該当 する製品のページに記載しております。 　よって、リスト規制に該当する製品または関連技術を輸出または提供される場合は、外国為替及び外国貿易法 に基づく輸出許可を取得されますようお願いいたします。 　あわせて、本カタログに記載の製品または関連技術を輸出または提供される場合は、兵器・武器関連用途に使 用されるおそれのないよう、十分にご留意ください。 3 お問合せ先 　本カタログに記載の製品または関連技術の安全保障輸出管理についてのお問い合わせは、最寄りの営業所へ お願いいたします。 12

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 設計・選定時 取付・据付・調整時 1.仕様の確認 1.取付 警告 警告 ■ 緊急遮断弁などには使用できません。 ■ 誤った取付・配管は、本製品のトラブルのみならず 本カタログに記載しているバルブは、緊急遮断弁などの安全 お客様のシステムトラブルの発生原因、さらには使 確保用バルブとして設計されておりません。そのようなシス 用者が死亡または重傷を負う危険が生じることが テムの場合は、別の確実に安全確保できる手段を講じた上 想定されるため、お客様の責任におきまして、シス で、ご使用ください。 テム・流体の特性・流体と関連機器との適合性など ■ 誤った機器選定および取扱いは、本製品のトラブル 安全性に関する注意事項をよく理解した人が取扱 のみならずお客様のシステムトラブルの発生原因 説明書をよく読んだ上で作業してください。 となります。機器選定および取扱いは、本製品の 仕様及び、お客様のシステムとの適合性をお客様の 注意 責任におきまして、ご確認の上、ご使用ください。 ■ 取 付後、配管漏れの有無を確認して、正しい取付 ■ 使 用流体について けがなされているかをご確認ください。 製品構成材料と使用流体・周囲雰囲気との適合性 については、16ページの適合性チェックリストを 2.配管 基本とし、ご確認の上ご使用ください。 ただし、 チェックリスト以外の流体、新規使用する流体（濃 警告 度の違いも含めて）等については、事前にご確認・ 相談ください。 ■ バルブ取付前には必ず配管内をフラッシングして ください。 ■ 流 体温度について 流体中のゴミ、異物の混入は、バルブの正常な機 仕様にある流体温度の範囲内でご使用ください。 能を妨げます。混入のある場合は、ご利用回路に ■ 使用圧力について 合わせて、バルブ一次側にフィルタを設置してくだ カタログ記載の仕様にある使用圧力の範囲内でご さい。 使用ください。 ■ 矢 印が表示されている製品は、必ず流体の流れを ■ 周 囲環境について 矢印方向となるよう配管してください。 ①製品構成材料と周囲雰囲気との適合性をご確認の上、ご ■ 配管による引張・圧縮・曲げ等の力がバルブボディ 使用ください。（腐食性雰囲気や爆発性雰囲気では使用し ないでください。） に加わらないよう配管してください。 ②製品本体には、流体が付着しないようにしてください。 ③周囲温度の範囲内でご使用ください。 注意 ④振動、衝撃の発生する場所、熱源のある周辺および屋外 では使用しないでください。 ■ PFAチューブ用フィッティングについては、各フィッ ティングメーカーより発行されている最新の取扱説 2.設計 明書を参照して、必ずその内容に従って施工してください。 警告 フィッティングの施工には専用の施工治具が必要で すので、別途フィッティングメーカーにお問い合せ ■ 人体に危険を及ぼす恐れのある流体の場合には、 ください。 バルブを隔離し人が近づくことができないようにし ■ GMMDについては隣接するフィッティングとの距離 てください。 が短く、一般の工具では施行しにくい場合がありま ■ 液封について すのでご注意ください。またフィッティングメーカー バルブが開閉動作する際にダイアフラムが上下動 の専用施工治具が使用できない場合がありますの し、その分バルブ内の流路容積が変化します。従っ でお問い合せください。（スーパー300タイプピラー て、流体が非圧縮性（液体）であるためバルブに流 フィッティング） 体が密封される条件（液封）での動作はバルブに異 ■ 配管を行う際には、バルブ本体に曲げ・引張り・圧 常な圧力が生じます。このような場合はバルブの 縮等の応力が加わらないようにしてください。ま 1次側または2次側に逃し弁を設け、液封の回路に た、バルブに配管荷重が加わらないように、管の支 ならないようにしてください。 持位置と方法を検討してください。 ■ メンテナンススペースの確保 ■ バルブを設置する際には継手のみで支持せず、取 保守点検に必要なスペースを確保してください。 付板と装置を固定してください。 13

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 使用・メンテナンス時 1.ご使用にあたって よる弁シートの劣化や製品が破損する可能性があります。 警告 ■ つ まみを空回りさせても、弁が閉じないまたは、弁 ■ 最 高使用圧力および最高操作圧力以下でご使用く が開かない場合は、つまみ側面の穴にドライバーな ださい。 どの工具を入れて、つまみを回してください。穴を 覗いて、内部にある緑色のインジケータが見える 注意 と、強制操作が可能な状態です。穴から緑色のイン ■ 製品構成材料と使用流体・周囲雰囲気との適合性に ジケータが見えない場合は、つまみを回して位置を ついては、16ページの適合性チェックリストを基 合わせてください。 本とし、ご確認の上ご使用ください。ただし、 ■ つまみの回転力によりシールする構造のため、長期 チェックリスト以外の流体、および、新規使用する 流体（濃度の違いも含めて）等については、事前にご 間弁閉のまま放置させる使い方をする場合は、弁座 確認・ご相談ください。 漏れを起こす可能性があります。温度変化がかか ●ス ラリーやUV硬化剤などのように粒子を含んでいたり固 る場合は、つまみを増し締めしてください。 形化・ゲル化する恐れのある流体の場合、性能に影響を 及ぼす可能性があります。 ■ つ まみは、全閉状態から1/2回転以上開けた設定で ●界 面活性剤を含んだ流体や剥離液などのように浸透性が高 ご使用ください。それ以下でのご使用は、使用条件 い流体の場合、流体が部品を浸透する可能性があります。 によってはバイブレーション、流量変動の発生等の 定期的に点検を行い、異常がある場合は交換する 可能性があります。また、操作後は、ロックリング などの処置をしてください。 を下げて、つまみを固定してください。固定しない ■ N ガス・空気等の気体の場合は、最大で1cm3/min 場合、つまみが回転し、流量が変動する可能性があ2 （空気圧にて）の弁座漏れが発生する可能性があり ります。 ます。 ■ 急激な流体温度の変化によって、弁座が不均一に 2.保守・点検 歪み弁座漏れが発生する場合がありますのでご注 意ください。 危険 ■ クリーンルーム内での設置を想定し精密洗浄を施 ■ バルブ交換時には、残留した薬液により周りの機器 しクリーンパックしてお届けしますので、取扱いに および人に影響のないように、純水、エア等で十分 は注意してください。 置換した上で作業してください。 また、ダイアフラムの上側は流体が接液しない部 ■ バルブ等を足場にしたり、重量物を乗せたりしない 分ですが、薄膜部からのガス透過により薬液雰囲 でください。 気となりますので、安全のために取扱い時には、以 ■ 長 期間未使用の場合、始業前に試運転を行ってく 下の注意をお願いします。①バルブの動作により呼吸孔から僅かではありますが透過し ださい。 たガスが放出されますので、バルブ動作中は呼吸孔付近 ■ バ ルブの2次側は乱流が発生します。 に人が近づかないようにしてください。 流量計等で、流体の流れが層流状態である必要が ②また、呼吸穴およびその周辺に結晶物が付着する場合が あります。 ある機器をバルブの2次側に設置する場合は、バ ③バルブを触る際は、耐食性のある手袋を使用し素手では ルブによる乱流の影響を受けない程度距離を置い 触らないでください。 て設置してください。 ■ 薬 液にご使用されましたバルブはアクチュエータと ■ お客様では絶対に分解されないようお願いします。 ダイアフラムの間に薬液雰囲気が残留している恐 ■ 製 品本体に流体が付着しないようにしてください。 れがあります。お客様では絶対に分解されないようお願いします。 ■ 帯電について 分解が必要な場合は、当社または代理店へご相談 フッ素樹脂は非常に帯電しやすく、気体や液体を流すことに ください。 よりさらに帯電します。静電気による外部漏れや発火の恐れ があるため、必要に応じて除電対策を施してください。 ■ バルブを最適機能でご使用いただくために1〜2回/年、 下記定期点検を行ってください。 ■ バ ルブを操作する際は、つまみが空回りするまで回 ①弁外部への漏れの有無の確認 してください（カチっと音がします）。ロックリン ②フィッティング部からの漏れの有無の確認 グを持って回すとつまみが空回りせず、締め過ぎに ③構成部品の変色、変形、腐食などの異常の有無の確認 14

使用・メンテナンス時 警告 ■ 保守・メンテナンス時は取扱説明書をよく読んで内 容を理解した上で作業を行ってください。 ■ 保 守する前には必ず流体を抜いてください。 ■ 保守・メンテナンス・点検の際にはご使用の薬液の 安全データシート（SDS）をお読みになり必要な保 護具を着用した上作業を行ってください。 ■ 透過性の高い塩酸、フッ酸、硝酸などの薬液を長期 間使用する場合は、透過ガスにより接液部だけでな く接液部以外の部品も劣化して外部漏れなどの事 故に至る可能性があります。安全のため必ず定期 点検として構成部品の変色、変形、腐食などの異常 の有無の確認を1〜2回/年、行ってください。 注意 ■ 製品の交換の際には、必ず同形番の製品をご使用 ください。同一外観でも仕様が異なることがあり ます。 ■ 使用していない製品は直射日光を避け高温となら ない場所に保管してください。また取扱の際は投 出し・落下・引っかけ等による衝撃・傷等を与えな いでください。 ■ 誤 操作防止カバーの付いたバルブを持ち運びする 際は、誤操作防止カバーを持たず、バルブ本体を掴 み、持ち運びを行ってください。 ■ 誤操作防止カバーはロックリングが下がった状態 で装着ください。これにより、つまみの誤作動、誤 操作を防ぐことができます。 ■ 誤 操作防止カバーを装着してつまみを操作できな くする場合は、南京錠等を使ってロック状態を保持 してください。 ■ 誤操作防止カバーはGMMDシリーズには使用でき ませんので、注意してください。 15

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 製品と使用流体との適合性チェックリスト ※このチェックリストは、過去の評価や経験により作成されておりますが、性能を保証するものではありません。 ※使用流体が純水以外の場合は、使用流体と製品材料との適合性を化学的専門知識のある方においてご確認の上、お客様にて使用の可否を ご判断ください。 流体名 適合性 純水 ● 硫酸 ● 塩酸 ● 硝酸 ● フッ酸 ●(注1) リン酸 ● 酸化性流体 フッ化アンモニウム ●(注1) 過酸化水素水 ● オゾン水 硫酸＋過酸化水素水 ●(注2) 硫酸＋オゾン 水酸化ナトリウム ● 塩基性流体 水酸化カリウム ● アンモニア水 ● アセトン × 有機系流体 酢酸ブチル × イソプロピルアルコール ● シンナー × レジスト ●(注3) 現像液 ●(注3) その他・混合液 スラリー ●(注3) めっき液 ●(注3) 剥離液 ●(注3、4) 気体 空気・窒素ガス ●(注5) ● 使用可。（製品掲載ページにて、詳細を確認ください。） 判定 ご相談ください。（条件によっては対応できる場合がございます。） × 使用不可。 注1 ： フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、流体温度は 5〜80℃になります。 注2 ： 硫酸＋過酸化水素水を100℃以上でご使用の場合は、ご相談ください。 注3 ： さまざまな薬液の混合液であることが多いため、全ての影響を把握することができません。 製品構成材料と使用流体との適合性を十分確認し、使用の可否をご判断ください。 注4 ： アミン系剥離液を流体温度が80℃以上で使用する場合は、定期的な交換をしてください。 最低1回/1年を目安にお考えください。 注5 ： 気体の場合は、最大で1cm3/min(空気圧にて）の弁座漏れが発生する可能性があります。 ■ 安全、性能に関わる注意事項 ●オゾン有機溶剤系流体で使用される場合は、構成材料への影響が考えられるためお問合せください。 ●有機溶剤をフッ素樹脂配管で使用する場合は、帯電による発火防止処置を施してください。 ●スラリーやUV硬化剤などのように粒子を含んでいたり、固形化・ゲル化する恐れのある流体の場合、性能に影響を及ぼす可能性 があります。 ●界面活性剤を含んだ流体や剥離液などのように浸透性が高い流体の場合、流体が部品を浸透する可能性があります。 ●透過性の高い塩酸、フッ酸、硝酸などの薬液を長期間使用する場合は、透過ガスにより接液部以外の部品も劣化する可能性があ ります。 ●安全のため必ず定期点検として構成部品の変色、変形、腐食などの異常の有無の確認を1～2回/年行ってください。 16

(器)和英モ(19.11)F-61.ai お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸 ・ 信 越 ●奈良営業所〒630-8115 奈良県奈良市大宮町7丁目1番33号（奈良センタービルディング3階） ●長岡営業所 TEL（0742）32-2511　FAX（0742）32-2512 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33（高野不動産ビル2階） ●神戸営業所 東　　　　北 TEL（0258）33-5446　FAX（0258）33-5381 〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8（西明石スポットビル3階） ●北上営業所 ●松本営業所 TEL（078）923-2121　FAX（078）923-0212 〒024-0061 岩手県北上市大通り2丁目3番8号（岩手地所北上駅前ビル4-1） 〒390-0852 長野県松本市大字島立399-1（滴水ビル4階） ●西日本支店 TEL（0197）63-4147　FAX（0197）63-4186 TEL（0263）40-0733　FAX（0263）40-0744 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 ●仙台営業所 ●富山営業所 TEL（06）6459-5770　FAX（06）6446-1945 〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央４丁目1-5（SAKAE泉中央ビル401） 〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 中 　 国 TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 TEL（076）421-7828　FAX（076）421-8402 ●山形営業所 ●金沢営業所 ●広島営業所 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 〒730-0029 広島県広島市中区三川町2番6号（くれしん広島ビル3階） TEL（023）644-6391　FAX（023）644-7273 TEL（076）262-8491　FAX（076）262-8493 TEL（082）545-5125　FAX（082）244-2010 ●郡山出張所 東 　 海 ●岡山営業所 〒963-8046 福島県郡山市町東一丁目35（メイプルコート1-A） 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号（朝日生命岡山柳町ビル10階） TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 ●名古屋営業所 TEL（086）224-7220　FAX（086）224-7221 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄一丁目12番17号 ●山口営業所 北　関　東 TEL（052）223-1121　FAX（ 052）223-1127 〒747-0801 山口県防府市駅南町6-25 ●さいたま営業所 ●小牧営業所 TEL（0835）38-3556　FAX（0835）22-6371 〒331-0812 埼玉県さいたま市北区宮原町3-297-2（杉ビル6 5階） 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 四 　 国 TEL（048）652-3811　FAX（048）652-3816 TEL（0568）73-9023　FAX（0568）75-1692 ●茨城営業所 ●豊田営業所 ●高松営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1（関鉄つくばビル4階C） 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10 TEL（029）841-7490　FAX（029）841-7495 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 TEL（087）869-2311　FAX（087）869-2318 ●宇都宮営業所 ●三河営業所 ●松山営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7（メットライフ宇都宮ビル1階） 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33（サンライト竹原1階） TEL（028）638-5770　FAX（028）638-5790 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 TEL（089）931-6135　FAX（089）931-6139 ●太田営業所 ●静岡営業所 〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2（大槻商事ビル1階） 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 九 　 州 TEL（0276）45-8935　FAX（0276）46-5628 TEL（054）237-4424　FAX（054）237-1945 ●福岡営業所●浜松営業所 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東1-10-27（アスティア博多ビル5階） 南　関　東 〒435-0016 静岡県浜松市東区和田町438 TEL（092）473-7136　FAX（092）473-5540 ●東京営業所 TEL（053）463-3021　FAX（053）463-4910 ●北九州営業所 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） ●四日市営業所 〒802-0081 福岡県北九州市小倉北区紺屋町12-4（大樹生命北九州小倉ビル8階） TEL（03）5402-3628　FAX（03）5402-0122 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 TEL（093）513-2331　FAX（093）513-2332 ●立川営業所 TEL（059）339-2140　FAX（059）339-2144 ●熊本営業所 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30（朝日生命立川錦町ビル3階） ●中日本支店 〒869-1103 熊本県菊池郡菊陽町久保田2799-13 TEL（042）527-3773　FAX（042）527-3782 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL（096）340-2580　FAX（096）340-2584 ●千葉営業所 TEL（0568）74-1356　FAX（0568）75-1692 本 　 社 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5（朝日生命津田沼ビル5階） 関 　 西 TEL（047）470-5070　FAX（047）493-5190 ●本社・工場 ●横浜営業所 ●大阪営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-17-19（AR新横浜ビルディング4階） 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL（0568）77-1111　FAX（0568）77-1123 TEL（045）475-3471　FAX（045）475-3470 TEL（06）6459-5775　FAX（06）6446-1955 ●営業本部 ●厚木営業所 ●大阪東営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒243-0027 神奈川県厚木市愛甲東一丁目22番6号 〒570-0083 大阪府守口市京阪本通1-2-3（損保ジャパン守口ビル6階） TEL（0568）74-1303　FAX（0568）77-3410 TEL（046）226-5201　FAX（046）226-5208 TEL（06）4250-6333　FAX（06）6991-7477 ●海外営業統括部 ●甲府営業所 ●滋賀営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21（第2小島ビル4階） TEL（0568）74-1338　FAX（0568）77-3461 TEL（055）224-5256　FAX（055）224-3540 TEL（077）514-2650　FAX（077）583-4198 ●東日本支店 ●京都営業所 フリーアクセス 　0120-771060 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） 〒612-8414 京都府京都市伏見区竹田段川原町241 TEL（03）5402-3620　FAX（03）5402-0120 TEL（075）645-1130　FAX（075）645-4747 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 （土日、休日除く） □ 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan Website https://www.ckd.co.jp/ □ PHONE +81-568-74-1338 FAX +81-568-77-3461 ASIA PT CKD TRADING INDONESIA 台湾喜開理股　有限公司 喜開理（上海）機器有限公司 ●HEAD OFFICE TAIWAN CKD CORPORATION CKD(SHANGHAI)CORPORATION Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. Gatot Subroto Kav.71-73, Pancoran, Jakarta 12870, Indonesia ●HEADQUARTERS ●営業部 /上海浦西事務所（SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI PUXI OFFICE） PHONE +62-21-2938-6601 FAX +62-21-2906-9470 16F-3, No. 7, Sec. 3, New Taipei Blvd., Xinzhuang Dist., Room 601, 6th Floor, Yuanzhongkeyan Building, No. 1905 ・BEKASI OFFICE New Taipei City 242, Taiwan Hongmei Road, Xinhui District, Shanghai 200233, China ・KARAWANG OFFICE PHONE +886-2-8522-8198 FAX +886-2-8522-8128 PHONE +86-21-61911888 FAX +86-21-60905357 ・SURABAYA OFFICE ・新竹営業所（HSINCHU OFFICE） ・上海浦東事務所（SHANGHAI PUDONG OFFICE） ・台中営業所（TAICHUNG OFFICE） ・寧波事務所（NINGBO OFFICE） CKD KOREA CORPORATION ・台南営業所（TAINAN OFFICE） ・杭州事務所（HANGZHOU OFFICE） ●HEADQUARTERS ・高雄営業所（KAOHSIUNG OFFICE） ・無錫事務所（WUXI OFFICE） （3rd Floor）, 44, Sinsu-ro, Mapo-gu, Seoul 04088, Korea CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD. ・昆山事務所（KUNSHAN OFFICE） PHONE +82-2-783-5201～5203 FAX +82-2-783-5204 18th Floor, CMC Tower, Duy Tan Street, Cau Giay ・蘇州事務所（SUZHOU OFFICE） ・水原営業所（SUWON OFFICE） District, Hanoi, Vietnam ・南京事務所（NANJING OFFICE） ・天安営業所（CHEONAN OFFICE） ・合肥事務所（HEFEI OFFICE） PHONE +84-24-3795-7631 FAX +84-24-3795-7637・蔚山営業所（ULSAN OFFICE） ・成都事務所（CHENGDU OFFICE） ・HO CHI MINH CITY REPRESENTATIVE OFFICE ・武漢事務所（WUHAN OFFICE） M-CKD PRECISION SDN.BHD. EUROPE ・鄭州事務所（ZHENGZHOU OFFICE） ●HEAD OFFICE ・長沙事務所（CHANGSHA OFFICE） Lot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, CKD EUROPE B.V. ・重慶事務所（CHONGQING OFFICE） Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia ●HEADQUARTERS ・西安事務所（XIAN OFFICE） PHONE +60-3-5541-1468 FAX +60-3-5541-1533 Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, the Netherlands ・広州事務所（GUANGZHOU OFFICE） PHONE +31-23-554-1490 ・中山事務所（ZHONGSHAN OFFICE） ・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE ・PENANG BRANCH OFFICE ・GERMANY OFFICE ・深圳西事務所（WEST SHENZHEN OFFICE） ・CZECH.O.Z. ・深圳東事務所（EAST SHENZHEN OFFICE） CKD SINGAPORE PTE. 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