IO-Link対応小形流量コントローララピフローFCMシリーズ

New Products 新商品 IO-Link対応 小形流量コントローラ ラピフローⓇ FCMシリーズ SMALL SIZE FLOW CONTROLLER RAPIFLOW® FCM SERIES IO-Linkが実現する！ 流量コントローラからの予知保全 CC-1465

IoT時代に応える！ 予知保全機能搭載流量コントローラ システム異常検知（予知保全）[システム異常警告機能] IO-Link フィルタ センサ・電磁比例弁の劣化を検知 圧力低下 Master 目詰まり 高速応答のマイクロ加工 センサチップ搭載 する自己検知に加え周辺システム ステンレスボディ も含めた異常を検知。 FCM フィルタ [適用流体・流量] IO-Linkで警告信号を出力します。 AIR N2 0.015〜50L/min Ar レギュレータ 0.015〜50L/min O2 13A CH4 C3H8 0.015〜10L/min H2 He 0.06〜20L/min 質量／約480g IO-Link対応により従来機能をパワーアップ 樹脂ボディ ●各種設定をキー操作でも遠隔でも設定可能。 [適用流体・流量] ・入力方法切替 遠隔操作 AIR N2 ・プリセットメモリ値入力 低圧損・再現性を向上した 0.015〜100L/min ・流量制御／強制OFF状態切替 整流機構 質量／約200g ●プ リセットメモリ点数が4点（従来タイプ） IO-Linkモデル登場 ➡8点に増加。●ス イッチ出力を4種同時に設定・出力可能。 IO-Linkは工場現場のセンサ・アクチュエータ用デジタル通信規格です。（IEC61131-9） ●積算流量値を直接出力。 アナログ通信では伝送できなかったパラメータやイベントデータを伝送することが可能です。 キー操作 IO-Linkの特長 クラウド デジタル信号 デジタルデータによる常時監視が可能です。 パラメータ遠隔操作 工場 パラメータをネットワークから設定、 各種流体に対応 Ethernet 変更できるため、装置の遠隔操作が可能です。 各種ガスに対応。多彩な用途にご利用できます。 筐体識別 形番、シリアルNo.などがネットワーク上で さらに低差圧モデルをラインナップ。 PLC 確認できます。 バーナーの火力制御などの供給圧力の低い燃料ガスの流量制御が可能です。 データストレージ マスターから設定コピーができるため、 メンテナンス時の煩わしいパラメータ再設定が 生産 IO-Link 筐体識別 常時監視 不要です。 Master パラメータ変更 アラーム通知 適用流体現場 異常通知 デバイスの故障、断線を確認できます。 空気 窒素 アルゴン 酸素 メタン I/O フィールドバスへの接続 イーサネット系ネットワークにも変換して プロパン 都市ガス 水素 ヘリウム etc. 接続することができ、装置のIoT化が可能です。

用途例 ラピフローⓇFCMシリーズ体系 多様な分野で活躍 適用流体・流量制御範囲 ラピフローは機械、自動車、精密機器等の分野、半導体、バイオ等の先端分野、 流量制御範囲（L／min）形　番 適用流体 ボディ材質 接続口径 0.01 0.1 1 10 100 医療、食品分野など多様な用途で利用が可能です。 FCM-9500 AI 0.015〜0.5 樹脂 樹脂 流量 0.1 1 10 100 FCM-0001 AI 0.03〜1 φ6ワンタッチ 適 (L/min) エ FCM-0002 AI 0.06〜2 φ8ワンタッチ 用 AIRア タ FCM-0005 AI 空気 0.15〜5 流 体 半導体 ワイヤーボンディング イ FCM-0010 AI N2 0.3〜10 SUS SUS プ FCM-0020 AI 窒素 0.6〜20 Rc1/4 高い精度が要求される、 ワイヤーボンディングの FCM-0050 AI 1.5〜50 9/16-18UNF テンションコントロールに最適です。 FCM-0100 AI (樹脂タイプのみ） 3〜100 FCM-9500 AR 0.015〜0.5 SUS Dry FCM-0001 AR 0.03〜1 air ガ 0.06〜2ス FCM-0002 AR タ FCM-0005 AR Ar 0.15〜5 Rc1/4 イ アルゴン 9/16-18UNF プ FCM-0010 AR 0.3〜10 FCM-0020 AR 0.6〜20 FCM-0050 AR 1.5〜50 液　晶 ガラス浮上搬送 FCM-9500 O2/LN/C1/C3 O2 0.015〜0.5 SUS 大型FPDガラス等の浮上 酸素 (非接触)搬送に最適です。 ガ FCM-0001 O2/LN/C1/C3 13A 0.03〜1 ス タ 都市ガス Rc1/4N2 FCM-0002 O2/LN/C1/C3 0.06〜2イ CH4 9/16-18UNF 液　晶 イオナイザのパージガス の流量管理 プ FCM-0005 O2/LN/C1/C3 メタン 0.15〜5 豊富な流量レンジで対応。 C3H8 エアの流量コントロールができます。 FCM-0010 O2/LN/C1/C3 プロパン 0.3〜10 ガ FCM-0002 H2/HE 0.06〜2 SUS Rc1/4 H2 ス 9/16-18UNF タ FCM-0005 H2/HE 水素 0.15〜5 1/4インチ イ FCM-0010 H2/HE He 0.3〜10 2重くい込み継手 プ FCM-0020 H2/HE ヘリウム 1/4インチ 0.6〜20 JXRオス継手 通信仕様 項目 詳細 項目 詳細 通信プロトコル IO-Link プロセスデータ長（出力） 4byte 食　品 充填包装 レーザー発振器、半導体製造装置でのN2ガス管理 通信プロトコルバージョン V1.1 最少サイクルタイム 2ms 食品包装等の不活性ガス充填に最適です。 半導体 パージガスの流量管理 伝送速度 COM3(230.4kbps) データストレージ 1kbyte 豊富な流量レンジで対応。 ポートタイプ A SIOモードサポート なし パージガス等の流量コントロールができます。 プロセスデータ長（入力） 10byte Ar 自動車,他 溶接用アルゴンガスの流量管理 豊富な流量レンジで対応。溶接用アルゴンガスの 流量コントロールができます。 O2 燃料 ガス ガラス加工 バーナー火力制御管理 低圧ガス供給を可能にし、 バーナー等の火力制御に最適です。 H2

小形流量コントローラ ラピフロー FCM Series IO-Linkタイプ ● 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用（流量範囲：0.5〜100L/min） ● 水素、ヘリウム用（流量範囲：0〜20L/min） ■ 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用 FCMシリーズ 仕様 形　番 項　目 FCM－[＊1][＊2]－[＊3]C バルブ駆動方式 比例ソレノイドバルブ　非通電時：閉 フルスケール流量 A（I 空気、窒素）AR（アルゴン） O2（酸素）LN（都市ガス）C1（メタン）C3（プロパン） 9500 500mL/min ● ● ● ● ● ● 0001 1L/min ● ● ● ● ● ● 標 0002 2L/min ● ● ● ● ● ● 準 0005 5L/min ● ● ● ● ● ● タ イ 0010 10L/min ● ● ● ● ● ● プ 0020 20L/min ● ● 流量レンジ 注1 ＊1 0050 50L/min ● ● 0100 100L/min（樹脂タイプのみ） ● （ 低ス L9500 500mL/min ● ● ● ● ● 差テ ン L0001 1L/min ● ● ● ● ●圧 タレ L0002 2L/min ● ● ● ● ●ス イの L0005 5L/min ● ● ● ● ● プみ ） L0010 10L/min ● ● ● ● ● AI 圧縮空気、窒素 ● AR アルゴン ● 適用流体 O2 酸素（禁油仕様） ● 注2 ＊2 LN 都市ガス（13A） 注3 ● C1 メタン（CH4　100%） ● C3 プロパン（C3H8　100%） ● H6 Φ6ワンタッチ、樹脂（50、100L/minは除く） ● 接続口径、 H8 Φ8ワンタッチ、樹脂 ● ボディ材質 ＊3 8A RC1/4、ステンレス ● ● ● ● ● ● UF 9/16-18UNF、ステンレス ● ● ● ● ● ● 制御範囲 3～100%F.S. 9500～0020 設定±5%F.S.に0.5sec以内（TYP） 応答時間 ＊1 0050～0100 設定±5%F.S.に1sec以内（TYP） 制御 精度 ±3%F.S.以内 繰返し精度 ±1%F.S.以内 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内（25℃基準） 圧力特性 98kPaあたり±1%F.S.以内（標準差圧基準） 標準差圧 注4 別表参照 作動圧力差 注5 別表参照 圧力 最高使用圧力 注5 別表参照 H6/H8 490kPa 耐圧力 ＊2 8A/UF 980kPa 使用周囲温度、使用周囲湿度 0～50℃、90%RH以下（結露無きこと） 入出力 入力信号 C IO-Link 流量 表示方法 7セグメントLED 3桁、表示精度：制御精度±1digit 表示 表示範囲、表示分解能 別表参照 積算機能 別表参照 電源電圧 DC24V±10%（リップル率1%以下の安定化電源） 電源 消費電流 注6 200mA以下(ポートタイプA) 取付姿勢 縦・横自在 H6／H8 ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、半導体シリコン、半田 接ガス部材 ＊3 8A／UF ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 H6／H8 約200g 質量 ＊3 8A／UF 約480g 保護構造 IEC規格　IP40相当 保護回路 注7 電源逆接保護 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 1

FCM Series 仕様 圧力 標準差圧、作動圧力差 注4、5 （標準モデル） 流量範囲 ＊1 9500 0001 0002 0005 0010 0020 0050 0100 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 150 200 300 AI 作動圧力差(kPa) 20～150 50～200 50～250 50～250 50～250 100～300 150～300 250～350 最高使用圧力(kPa) 150 200 250 250 250 300 300 350 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 150 200 AR 作動圧力差(kPa) 20～150 50～200 50～250 50～250 50～250 100～300 150～300 適 最高使用圧力(kPa) 150 200 250 250 250 300 300 用 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 流 体O2 作動圧力差(kPa) 20～150 50～200 50～250 50～250 50～250 最高使用圧力(kPa) 150 200 250 250 250 ＊2 標準差圧(kPa) 50 50 50 50 50 LN/C1 作動圧力差(kPa) 20～150 20～150 20～150 20～150 30～150 最高使用圧力(kPa) 150 150 150 150 150 標準差圧(kPa) 50 50 50 50 50 C3 作動圧力差(kPa) 20～150 20～150 20～150 20～150 30～150 最高使用圧力(kPa) 150 150 150 150 150 （低差圧モデル） 流量範囲 ＊1 L9500 L0001 L0002 L0005 L0010 適 用AI/O2 標準差圧(kPa) 20 20 20 20 20 流 体 LN/C1 作動圧力差(kPa) 5～50 5～50 5～50 5～50 10～50 C3 ＊2 注8 最高使用圧力(kPa) 50 50 50 50 50 表示、積算機能 流量範囲 ＊1 9500 0001 0002 0005 0010 0020 0050 0100 L9500 L0001 L0002 L0005 L0010 表示範囲 0～500mL/min 0.00～1.00L/min 0.00～2.00L/min 0.00～5.00L/min 0.0～10.0L/min 0.0～20.0L/min 0.0～50.0L/min 0～100L/min 流量表示 表示分解能 1mL/min 0.01L/min 0.01L/min 0.01L/min 0.1L/min 0.1L/min 0.1L/min 1L/min 表示範囲 999999mL 9999.99L 9999.99L 9999.99L 99999.9L 99999.9L 99999.9L 999999L 積算機能 注9 表示分解能 1mL 0.01L 0.01L 0.01L 0.1L 0.1L 0.1L 1L パルス出力レート 5mL 0.01L 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）相対湿度65％）での体積流量に換算。また、フルスケールとは流量レンジの最大流量を指します。 注2：塩 素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。 圧縮空気をご使用の場合は、JIS B8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）［1：1：1～1：6：2］の清浄空気をご使用ください。コンプレッサから の圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ （最低圧力露点10°C以下）およびオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。 ＜推奨回路＞ オイルミストフィルタ フィルタ （マイクロエレッサ） 空気圧源 エアドライヤ レギュレータ FCMシリーズ ＜推奨機器＞ エアフィルタ：Fシリーズ オイルミストフィルタ：Mシリーズ 注3：都市ガス13AはLNGから生成されたメタン（CH4）88％ガスに対しての値です。 注4：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放） 注5： 作動圧力差は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適用流体によって異なりますのでご注意ください。 作動圧力差の最小値は、2次側大気開放においてフルスケール流量を流すのに必要な差圧です。 最高使用圧力（作動圧力差の最大値）は、一次側圧力の最大値です。これ以上の圧力がかかった場合、制御が不安定になったり、最大流量が制御できなく なります。 注6：IO-Linkマスタの１ポート当たりの電流供給能力が十分にあるものをご使用ください。 注7：本製品の保護回路は特定の誤接続に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注8：都市ガスの低圧ライン（1～2.5kPa）では作動圧力差の範囲外となります。 注9：積算流量は参考値です。また、電源を切るとリセットされます。 注10：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。 2

FCM Series ■ 水素、ヘリウム用 FCMシリーズ 仕様 形　番 項　目 FCM－[＊1][＊2]－[＊3]C バルブ駆動方式 比例ソレノイドバルブ　非通電時：閉 フルスケール流量 H2（水素） HE（ヘリウム） 0002 2L/min ● ● 流量レンジ 0005 5L/min ● ● 注1 ＊1 0010 10L/min ● ● 0020 20L/min ● ● 適用流体 H2 水素 ● 注2 ＊2 HE ヘリウム ● 8A RC1/4(ステンレス) ● ● UF 9/16-18UNF(ステンレス) ● ● 接続口径 ＊3 4S 1/4インチ二重くい込み継手（ステンレス） ● ● 4RM 1/4インチJXRオス継手(ステンレス) ● ● 制御範囲 3～100%F.S. 応答時間 設定±5%F.S.に0.5sec以内（TYP） 精度 ±3%F.S.以内 制御 繰返し精度 ±1%F.S.以内 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内（25℃基準） 圧力特性 98kPaあたり±1%F.S.以内（標準差圧基準） 標準差圧 注3 別表参照 作動圧力差 注4 別表参照 圧力 最高使用圧力 注4 別表参照 耐圧力 980kPa 使用周囲温度、使用周囲湿度 0～50℃、90%RH以下（結露無きこと） 外部漏れ 1×10-6Pa･m3/s（ﾍﾘｳﾑﾘｰｸﾚｰﾄ）以下 入出力 入力信号 C IO-Link 流量 表示方法 7セグメントLED 3桁、表示精度：制御精度±1digit 表示 表示範囲、表示分解能 別表参照 積算機能 別表参照 電源電圧 DC24V±10%（リップル率1%以下の安定化電源） 電源 消費電流 注5 220mA以下(ポートタイプA) 取付姿勢 縦・横自在 接ガス部材 ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 8A／UF 約480g 質量 ＊3 4S／4RM 約560g 保護構造 IEC規格　IP40相当 保護回路 注6 電源逆接保護 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 3

FCM Series 仕様 圧力 標準差圧、作動圧力差 流量範囲 ＊1 0002 0005 0010 0020 標準差圧(kPa) 20 50 50 50 適H2 作動圧力差(kPa) 10～50 30～80 30～80 30～80 用 流 最高使用圧力(kPa) 50 80 80 80 体 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 ＊2 HE 作動圧力差(kPa) 20～100 50～150 50～150 50～150 最高使用圧力(kPa) 100 150 150 150 表示、積算機能 流量範囲 ＊1 0002 0005 0010 0020 表示範囲 0.00～2.00L/min 0.00～5.00L/min 0.0～10.0L/min 0.0～20.0L/min 流量表示 表示分解能 0.01L/min 0.01L/min 0.1L/min 0.1L/min 表示範囲 9999.99L 9999.99L 99999.9L 99999.9L 積算機能 注7 表示分解能 0.01L 0.01L 0.1L 0.1L パルス出力レート 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 注1： 20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。また、フルスケールとは流量レンジの最大流量を示します。 注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。 注3：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放） 注4： 作動圧力差は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適用流体によって異なりますのでご注意ください。 作動圧力差の最小値は、2次側大気開放において、フルスケール流量を流すのに必要な差圧です。 最高使用圧力（作動圧力差の最大値）は、一次側圧力の最大値です。これ以上の圧力がかかった場合、制御が不安定になったり、最大流量が制御できなく なります。 注5：IO-Linkマスタの１ポート当たりの電流供給能力が十分にあるものをご使用ください。 注6：本製品の保護回路は特定の誤接続に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注7：積算流量は参考値です。また、電源を切るとリセットされます。 注8：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。 4

FCM Series ■ 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用 形番表示方法 FCM 9500 AI H6 C R S B T 機種形番 記号 内 容 イ 流量範囲 イ 流量範囲 適用流体 AI AR O2 LN C1 C3 9500 0～0.5 L/min ● ● ● ● ● ● 0001 0～1 L/min ● ● ● ● ● ● 0002 標 0～2 L/min ● ● ● ● ● ● 0005 準差 0～5 L/min ● ● ● ● ● ● 0010 圧 0～10 L/min ● ● ● ● ● ● 0020 モデ 0～20 L/min ● ● 0050 ル 0～50 L/min ● ● 0100 0～100 L/min（樹脂ボディのみ） ● L9500 （低 0～0.5 L/min ● ● ● ● ● ス L0001 差テ0～1 L/min ● ● ● ● ●ン L0002 圧モレ0～2 L/min ● ● ● ● ●ス L0005 デの0～5 L/min ● ● ● ● ● み L0010 ル）0～10 L/min ● ● ● ● ● ロ 適用流体 ロ 適用流体 AI 圧縮空気、窒素ガス AR アルゴン O2 酸素（禁油仕様） LN 都市ガス（13A） C1 メタン（CH4） C3 プロパン（C3H8) ハ 接続口径、ボディ材質 ハ 接続口径、ボディ材質 接続口径、ボディ材質 AI AR O2 LN C1 C3 ワンタッチ(φ6)、樹脂ボディ H6 ● (流量範囲50、100L/min は除く) H8 ワンタッチ(φ8）、樹脂ボディ ● 8A Ｒc1/4、ステンレスボディ ● ● ● ● ● ● UF 注1 9/16-18 UNF、ステンレスボディ ● ● ● ● ● ● ニ 入力信号 ニ 入力信号 C IO-Link 〈形番表示例〉 ホ 表示方向 FCM-0001AI-H8CRSBK ホ 表示方向 無記号 正方向 ●イ 流量範囲 ：0～1L/min R 逆方向 ●ロ 適用流体 ：圧縮空気、窒素 ヘ ● ケーブル　注2ハ 接続口径、ボディ材質：ワンタッチ（φ8）、樹脂ボディ ヘ ケーブル ●ニ 入力信号 ：IO−Link 無記号 無し ●ホ 表示方向 ：逆方向 S ストレート(メス)/ストレート(オス) 3m ●ヘ ケーブル ：ストレート(メス)/ストレート(オス)3m L L形(メス)/ストレート(オス) 3m ●ト ブラケット ：ブラケット M 片側ストレート(メス) 3m ●チ トレーサビリティ ：検査成績書 ト ブラケット　注2 ト ブラケット 無記号 無し オプション単品形番 B ブラケット FCM MS3 チ トレーサビリティ　注2 チ トレーサビリティ 記 号 内容 無記号 無し MS3 ストレート(メス)/ストレート(オス) 3m T トレーサビリティ証明書、体系図、検査成績書 ML3 L形(メス)/ストレート(オス) 3m K 検査成績書 MM3 片側ストレート(メス) 3m 注1： 9/16-18UNFねじの形状については、7ページの外形寸法図を LB1 ブラケット 参照してください。注2：( ヘ)(ト)(チ)を選択時は、製品に添付して納入します。 5

FCM Series 形番表示方法 ■ 水素、ヘリウム用 形番表示方法 FCM 0002 H2 8A C R S B T 機種形番 記号 内 容 イ 流量範囲 イ 流量範囲 適用流体 H2 HE 0002 0～2 L/min ● ● 0005 0～5 L/min ● ● 0010 0～10 L/min ● ● 0020 0～20 L/min ● ● ロ 適用流体 ロ 適用流体 H2 水素 HE ヘリウム ハ 接続口径 ハ 接続口径 接続口径 H2 HE 8A Rc1/4 ● ● UF 9/16-18UNF ● ● 4S 1/4インチ2重くい込み継手 ● ● 4RM 1/4インチJXRオス継手 ● ● ニ 入力信号 ニ 入力信号 C IO-Link ホ 表示方向 ホ 表示方向 無記号 正方向 R 逆方向 ヘ ケーブル　注2 ヘ ケーブル 無記号 無し S ストレート(メス)/ストレート(オス) 3m L L形(メス)/ストレート(オス) 3m M 片側ストレート(メス) 3m ト ブラケット　注2 ト ブラケット 無記号 無し B ブラケット チ トレーサビリティ　注2 〈形番表示例〉 チ トレーサビリティ 無記号 無し FCM-0002H2-8ACRSBK T トレーサビリティ証明書、体系図、検査成績書 ●イ 流量範囲 ：0～2L/min K 検査成績書 ●ロ 適用流体 ：水素 注1：9 /16-18UNFねじの形状については、7ページの外形寸法図を ●ハ 接続口径 ：Rc1/4 参照してください。 ● 入力信号 ：IO-Link 注2： (ヘ)(ト)(チ)を選択時は、製品に添付して納入します。ニ ●ホ 表示方向 ：逆方向 ●ヘ ケーブル ：ストレート(メス)/ストレート(オス)3m ●ト ブラケット ：ブラケット ●チ トレーサビリティ：検査成績書 オプション単品形番 FCM MS3 記 号 内容 MS3 ストレート(メス)/ストレート(オス) 3m ML3 L形(メス)/ストレート(オス) 3m MM3 片側ストレート(メス) 3m LB1 ブラケット 6

FCM Series 外形寸法図 形番：FCM-□-H6C/H8C□ 接続口径：ワンタッチ(φ6)または(φ8) FCM-ML3(オプション) 注：ケーブル取出し方向は図の向きで固定となります。 FCM-□-□CR□は、表示方向が逆になります。 (31) 16 (41) M12,4ピンコネクタ FCM-MS3,MM3 (オプション) 30 11 70 接続口径 (A) 2-φ6ワンタッチ継手 または 30 2-φ8ワンタッチ継手 形番 継手 (A)寸法 FCM-□-H6C□ ワンタッチφ6 84 2-M3 深さ5 FCM-□-H8C□ ワンタッチφ8 85 形番：FCM-□-8AC/UFC□ 接続口径：Rc1/4または9/16-18UNF FCM-ML3(オプション) 注：ケーブル取出し方向は図の向きで固定となります。 FCM-□-□CR□は、表示方向が逆になります。 (31) 16 (41) M12,4ピンコネクタ FCM-MS3,MM3 (オプション) 30 11 70 接続口径 9/16-18UNF 2-Rc1/4 2.5 30 または2-9/16-18UNF シール面 メッシュフィルタ 11.5 9/16-18UNF 2-M3 深さ5 15.25 有効ねじ深さ11.5 7 45° φ15.6 24.5 12° 24.5 1 1 15 45.9 15 45.9 70 70 12 12

FCM Series 外形寸法図 外形寸法図 形番：FCM-□-4SC 接続口径：1/4インチ2重くい込み継手 FCM-ML3(オプション) 注：ケーブル取出し方向は図の向きで固定となります。 FCM-□-□CR□は、表示方向が逆になります。 (31) 16 (41) M12,4ピンコネクタ FCM-MS3,MM3 (オプション) 30 11 70 接続口径 (121.4) 2-1/4インチ 2重くい込み継手 30 2-M3 深さ5 形番：FCM-□-4RMC 接続口径：1/4インチJXRオス継手 FCM-ML3(オプション) 注：ケーブル取出し方向は図の向きで固定となります。 FCM-□-□CR□は、表示方向が逆になります。 (31) 16 (41) M12,4ピンコネクタ FCM-MS3,MM3 (オプション) 30 11 70 接続口径 (117.8) 2-1/4インチ JXRオス継手 30 2-M3 深さ5 8 24.5 24.5 15 145.9 15 45.9 1 70 70 12 12

FCM Series 専用ブラケット（床面据付タイプ） 単品形番：FCM-LB1 65 4-R 30 53 .5 4-6 83 -R1 1 材質：鋼 4-φ .75 質量：28g ケーブルオプション外形寸法図 ● ケーブルオプション(M12 ストレート(メス)/M12 ストレート(オス)) 単品形番：FCM-MS3 3000 ● ケーブルオプション(M12 L形(メス)/M12 ストレート(オス)) 単品形番：FCM-ML3 3000 ● ケーブルオプション(M12 片側ストレート(メス)) 単品形番：FCM-MM3 3000 ケーブル色 用途 茶 L+(DC24) 白 N.C. ※ 青 L-(GND) 黒 C(IO-Link) ※他の線と接触しないように絶縁処理してください。 9 50 40 15 φ6 φ4 φ6 4-3.5 13 30

FCM Series 配線方法 配線方法 配線方法 注意 誤配線にご注意ください。 ③(青) ①Ｌ+(DC24V)茶 ②N.C.　白 ②(白) 主 ①(茶) 回 路 ③L-(GND)　青 ④(黒) ④C(IO-Link)黒 FCM（デバイス） IO-Linkマスタ 端子 オプション No. ケーブル色 名称 ① 茶 L＋（DC24V） ② 白 N.C. ③ 青 L−（GND） ④ 黒 C（IO-Link） 10

FCM Series 小形流量コントローラ FCMシリーズの機能について 機能説明 機能 内容 瞬時流量表示 瞬時流量を表示します。また、瞬時流量値はProcess Data INに出力されます。 設定流量出力 Process Data INに現在の設定流量を出力します。 流量を積算します。積算流量表示の他に、下記の機能があります。 ・Process Data OUTで積算機能のスタート／ストップ、リセットの制御が可能 ・積算機能 ・積算流量値をProcess Data INに出力 ・積算流量自動遮断 ・設定積算流量で電磁弁を閉止する 　機能(F5) ・積算パルス出力（スイッチ出力3）・設定積算流量でスイッチＯＮ（スイッチ出力4） 積算値のリセット方法 ・Process Data OUT、キー入力 ノーマルモード 入力機能(F1) Process Data OUTで任意の流量を目標値に設定できます。 ダイレクト メモリ機能(F1) 目標値をキー入力できます。 プリセット 入力機能(F1) 任意の流量を8点指定し（IO-Linkパラメータ、キー入力）、Process Data OUTの3bitで流量を制御できます。 エラーの状態を表示できます。エラー表示の他に、下記の機能があります。 エラー表示 ・エラー時にProcess Data INにエラー信号を出力 機能 ・エラー時にProcess Data INにエラーコードを出力 ・エラー時に自動的に制御停止 正常動作出力 正常動作中（Errorでない状態）であることを示す信号をProcess Data INに出力します。 下記のスイッチ機能をそれぞれ設定できます。 ・スイッチ出力1（許容差モード）：制御目標値に対して、許容値以内（任意設定）でスイッチON ・スイッチ出力2（範囲指定モード）：指定流量範囲内で、スイッチをON ・スイッチ出力3（積算パルス）：積算時、積算パルスを出力 ・スイッチ出力4（設定積算以上ON）：設定積算流量でスイッチON また、各スイッチ出力に対してノーマルオープン(NO)／ノーマルクローズ(NC)を設定できます。 ＜スイッチ出力1：許容差モード＞ ＜スイッチ出力2：範囲指定モード＞ H（＋許容側） H（上限側） 入力信号設定値 L（−許容側） L（下限側） スイッチ 出力機能(F4) ON ON 出力 出力 OFF OFF ＜スイッチ出力3：積算パルス＞ ＜スイッチ出力4：設定積算以上ON＞ 約50msec ON ON OFF OFF 設定積算値 パルス出力レートについては、 P2、P4の表示、積算機能を参照してください。 ゼロ点調整(F7) 流量出力のゼロ点を調整します。 オート パワーオフ(F3) 約1分間キーが操作されない場合、流量表示は消灯します（オートパワーオフ機能では、制御は停止しません）。省エネ運転が可能です。 エラー自動遮断(F6) エラー時に制御を停止し、かつバルブを全閉し、エラー出力をＯＮにします。 キーロック 誤操作を防止するため、キー操作による設定変更をできなくします。 設定リセット 設定を工場出荷時に戻します。 制御エラー しきい値設定 制御エラー判定の閾値をIO-Linkパラメータで設定することができます。（デフォルト：±20%F.S.） 通信エラー時 通信エラーが発生した場合の製品の動作をHOLD（エラー発生前の設定値を保持）／CLEAR（バルブ全閉）／VALVE OPEN（バルブ 動作設定(F8) 全開）から設定できます。 起動時間出力 使用開始からの総起動時間を表示します。電源を落としても時間はリセットされません。（設定リセット時もリセットされません。） データストレージ機能 マスタへの設定値アップロード、マスタからの設定値ダウンロードが可能です。（同一形番でコピー可能です。） 　　　　　　　　　　　　　※入力信号ゼロ/スパン調整機能(F2)はIO-Linkタイプでは使用できません。 11

FCM Series 操作方法 表示・操作部の名称と機能 出力表示（赤色） 3桁数字LED表示（緑色） ● 機能設定確認時、「F」が表示されます。 ● RUNモード(瞬時流量表示)時、瞬時流量表示、機能設定 　 内容を表示します。 ● スイッチ出力ON時、「−」が点灯します。 　 ※機能設定内容表示時は、設定モード番号と設定内容を ※積算パルス出力では点滅しません。 　 　表示します。 ● 各データ設定時、数値などを表示します。 ● エラー表示時、エラーコードNo.を表示します。 ● エラー出力ON時、「E」が点灯します。 〈瞬時流量表示時〉 〈エラー出力時〉 ※ 機能設定で上下限がある場合、また積算流量表示の上位桁、 下位桁を示すときに、 や　　　　　　　　　　を表示します。 コードNo. 〈設定内容表示時〉 〈無効表示〉 設定内容 設定内容 設定モード番号 設定モード番号 流量110％F.S.以上：Hi UPキー（MODEキー） パワーランプ（赤ドット） ● 数値などのカウントアップに ● IO-Link通信中は点滅します。 　 使用します。 ● 通信エラー時は点灯します。 ● 設定モードの変更に使用します。 ● 設定項目の変更に使用します。 キー Shiftキー（OFFキー） ● 設定モードの確定に使用します。 ● 数値などの桁選択に使用します。 ● 設定項目の確定に使用します。 ● 強制OFF(制御停止)するとき、強制OFFから ● 積算表示に切替えるときに使用します。 　 復帰するときに使用します。 ＋ キー（ENTキー） ＋ キー（DOWNキー） ＋ キー ● 数値の確定に使用します。 ● 数値などのカウントダウンに使用します。 ● 設定リセット(初期化)するときに ● キーロック解除時に使用します。 ● キーロック時に使用します。 　 使用します。 ● 積算リセット時に使用します。 　 (積算流量表示時) 12

FCM Series エラーコード表 エラーは基本的に自動復帰しますが、自動復帰しない場合は一度強制OFFをするか電源をOFFにし、 下表に従ってエラーの原因を確認、修正後、強制OFFを解除または電源を再度ONにしてください。 区分 エラーの表示 表示処理 制御処理（電磁弁動作） 処置 電源電圧が定格外で供給され Error ている。 F6の設定による。 ・ 電源電圧を定格範囲内にし、電源を再 検出レベル：19.5V以下 （注2） 投入してください。 入力信号が定格の範囲を超え Error て入力されている。 F6の設定による。（注2） ・入力信号を定格範囲内にしてください。検出レベル：110%F.S.以上 Error EEPROMの読込み、書込みにエラーが発生。 流量制御停止。 ・電源を再投入してください。 ・本体を交換してください。 Error メモリの読込み、書込みにエ 流量制御停止。 ・電源を再投入してください。ラーが発生。 ・本体を交換してください。 ・ 一次側の圧力をご確認の上、定格作動 流量が5秒以上連続して設定 圧力差内の圧力を供給し、電源を再投 Error 値に到達していない。 F6の設定による。 入してください。設定値に対して20%F.S.以上 （注2） ・配 管・継手・他の機器から漏れがない （注1）下回った場合 かご確認の上、正しく接続し、電源を 再投入してください。 ・本 機への流体の供給を止め、流量設定 Error センサに出力異常が発生 流量制御停止。 をゼロに設定し、本機の電源を再投入バルブ閉止。 してください。 ・本体を交換してください。 Error ゼロアジャスト時にバルブが強 流量制御は停止 ・バ ルブを強制OFFにしてから操作して (注3) 制ＯＦＦ状態になっていない しない。 ください。 Error 流量がゼロアジャスト可能な範 流量制御は停止 ・一 次側の圧力をご確認の上、定格作動 (注3) 囲を超えている。 しない。 圧力差内の圧力を供給し、電源を再投（流量≧±10%F.S.） 入してから実行してくだい。 ・ 一次側の圧力をご確認の上、定格作動 圧力差内の圧力を供給し、電源を再投 Warning 10秒以上連続して比例弁を 7セグ表示はしない。 流量制御は停止 入してから実行してください。 (注3) 限界値で使用している。 エラーコードは「E 10」 しない。 ・ 配管・継手・ほかの機器の目詰まり等 がないかご確認の上、電源を再投入し てください。 Warning (注3) IO-Linkドライバの温度が高い 7セグ表示はしない。 流量制御は停止 エラーコードは「E 11」 しない。 ・使用環境を確認してください。 注1：IO-Linkパラメータによりしきい値変更可能。 注2：「F6 エラー自動遮断設定」の設定内容により、動作が変わります。 注3：IO-Linkタイプでのみ発生するエラーです。 13

FCM Series 通信仕様 通信仕様 ■通信仕様 General 項目 詳細 項目 詳細 通信プロトコル IO-Link 最少サイクルタイム 2ms 通信プロトコル　バージョン V1.1 データストレージ 1kbyte 伝送速度 COM3(230.4kbps) SIOモードサポート なし ポートタイプ A デバイスID 下記の表を参照 プロセスデータ長（入力） 10byte ベンダID 855(10進数)/ 357(16進数) プロセスデータ長（出力） 4byte ■パラメータ デバイスID デバイスID Product ID 備考 0x216001 FCM-9500-C 500mL/minレンジ 0x216002 FCM-0001-C 1L/minレンジ 0x216003 FCM-0002-C 2L/minレンジ 0x216004 FCM-0005-C 5L/minレンジ 0x216005 FCM-0010-C 10L/minレンジ 0x216006 FCM-0020-C 20L/minレンジ 0x216007 FCM-0050-C 50L/minレンジ 0x216008 FCM-0100-C 100L/minレンジ 表１　機種毎の流量範囲 瞬時流量 積算流量 形番 表示範囲 表示値 ProcessData出力値 積算表示範囲 表示値 FCM-(L)9500*-*C 0～500.0 mL/min 0～500 0～5000 0～999999mL FCM-(L)0001*-*C 0.00～1.000 L/min 0～1.00 0～1000 FCM-(L)0002*-*C 0.00～2.000 L/min 0～2.00 0～2000 0～9999.99L FCM-(L)0005*-*C 0.00～5.000 L/min 0～5.00 0～5000 0～999999 FCM-(L)0010*-*C 0.0～10.00 L/min 0～10.0 0～1000 FCM-0020*-*C 0.0～20.00 L/min 0～20.0 0～2000 0～99999.9L FCM-0050*-*C 0.0～50.00 L/min 0～50.0 0～5000 FCM-0100*-*C 0～100.0 L/min 0～100 0～1000 0～999999L ※設定パラメータは取扱説明書SM-A19060を参照ください。 ※IO-Link設定ファイル（IODD）は当社ホームページ（https://www.ckd.co.jp/）からダウンロードしてください。 14

FCM Series Process data IN PD PD0 PD1 Bit 79 78 77 76 75 74 73 72 71 70 69 68 67 66 65 64 MSB LSB データ名 積算流量上位バイト データ範囲 2byte フォーマット UInteger16 PD PD2 PD3 Bit 63 62 61 60 59 58 57 56 55 54 53 52 51 50 49 48 MSB LSB データ名 積算流量下位バイト データ範囲 2byte フォーマット UInteger16 PD PD4 PD5 Bit 47 46 45 44 43 42 41 40 39 38 37 36 35 34 33 32 MSB LSB データ名 設定流量　注1 データ範囲 2byte フォーマット UInteger16 PD PD6 PD7 Bit 31 30 29 28 27 26 25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 MSB LSB データ名 瞬時流量　注2 データ範囲 2byte フォーマット Integer16 PD PD8 PD9 Bit 15 14 13 12 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 0 スイッチ出力 注3 MSB LSB データ名 エラー 警告 正常 − 入力設定 積算自動遮断動作 起動/停止4 3 2 1 エラーコード 注4 発生中 データ範囲 True／False 0～15 0～2 True／False フォーマット Boolean UInteger4 UInteger2 Boolean 注1：現在の入力設定に応じた設定流量を表示します。 　　 「 9999」は「バルブ全開」を意味します。（Process data OUTの項目を参照ください。） 注2：瞬時流量では、マイナス側の値はゼロ点のズレを確認するものであり、逆流れの流量を表示するものではありません。 注3 注4 スイッチ出力 スイッチ機能 入力設定 入力モード 1 許容差モード 0 ノーマルモード（流量値） 2 範囲指定モード 1 プリセットモード(3bit) 3 積算パルス 2 ダイレクトメモリモード（キー操作） 4 設定積算以上ON 15

FCM Series 通信仕様 Process data OUT PD PD0 PD1 Bit 31 30 29 28 27 26 25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 　 MSB LSB データ名 設定流量　注1 データ範囲 2byte（機種による。P14　表１ ProcessData出力値参照) フォーマット UInteger16 PD PD2 PD3 Bit 15 14 13 12 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 0 プリセット　注2 積算 起動/ データ名 リセット 停止 3 2 1 リセット ストップ 注3 未使用 未使用 未使用 データ範囲 0～7 True/False True/False フォーマット UInteger3 Boolean Boolean 注1：「9999」に設定すると「バルブ全開」になります。 注2：プリセットメモリ番号とビットの組合せ Process Data OUT　プリセット プリセット ビット３ ビット２ ビット１ メモリ番号 0 0 0 P1 0 0 1 P2 0 1 0 P3 0 1 1 P4 1 0 0 P5 1 0 1 P6 1 1 0 P7 1 1 1 P8 　　　プリセットメモリ内容の設定はデバイス側のキー操作またはIO-Link通信のParameterで行ってください。 注3：IO-Link通信で制御を行う場合、このビットを1(True)にしてください。0(False)の場合、制御を行いません。 デバイス側のキー入力で流量制御/強制OFFを使用する場合は、下記に注意してください。 注意）Process Data OUTの“起動/停止”ビットはキー操作での“流量制御/強制OFF”の状態切り替えと同じ役割を持ちます。 しかし、“起動/停止”ビットが“1(起動)”の状態のときに、デバイス側のキー入力で流量制御⇒強制OFFにすると Process Data INの“起動/停止”ビットは“0(停止)”、製品は強制OFF状態になりますが、Process Data OUTの“起動/停止”ビットは “1(起動)”のままです。そのため、デバイスの“起動/停止”の状態確認は、必ずProcess Data INの“起動/停止”ビットで確認ください。 また、この状態でマスタ側から“起動（流量制御）”状態に切り替える場合、一度“0(停止)”にした後、再度“1(起動)”にしてください。 ＜参考＞ 積算流量の計算例 Bit 79 78 77 76 75 74 73 72 71 70 69 68 67 66 65 64 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 1 1 1 hex 000F データ名 積算流量上位バイト Bit 63 62 61 60 59 58 57 56 55 54 53 52 51 50 49 48 0 1 0 0 0 0 1 0 0 0 1 1 1 1 1 1 hex 423F データ名 積算流量下位バイト 000F 423F(hex) ⇒ 999999(dec) FCM-0005*-*Cの場合、P14 表1より、積算流量は99999.9Lとなります。 使用方法は取扱説明書SM-A19060を参照ください。 16

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外（屋外仕様製品を除きま す。）での使用、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万 一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原 子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JIS B 8370（空気圧システム通則） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法および その他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでくだ さい。 ❶機械 ･ 装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷運 転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸ 機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空 気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ （DANGER） 危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じる （CAUTION）ことが想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 ご注文に際しての注意事項 1 保証期間 当社製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログまたは仕様書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②故障の原因が本製品以外の事由による場合 ③製品本来の使い方以外の使用による場合 ④当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑤納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑥天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 17