純水・薬液用機器　「ウェットファイン機器総合カタログ」

純水・薬液用機器 純水・薬液用機器 ウェットファイン機器総合 純 ウェットファイン機器総合 水 ・ 薬 液 用 機 器 　ウ ェ ッ ト フ ァ イ ン 機 器 総 合 Chemiiicalll Processes Componenttts ＜Weebebsbsistietiete＞ h h thtptptsps:s/:/:w/w/wwwww.c.c.kckdkd.dc.c.oco.oj.pj.pj/p// ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●SSSppepececicfiificifciacataitoitoinonsns sa a rarere es s usububjbejejcectct to tot oc c hchahanangngege e w wwitihtihtohououtut nt n onotoitcitciece.e.. C○CCCCCKKKDDD C CCooorrprppooorraraattiotioionnn 2 22000222333 A AAll l cl cocoopppyy y r rirgigighhhttsts s r rereesseseerrvrveveeddd... 22020202323.37.7..7D.D.DAAACCC CB--0-00333111111666

プロセス制御の未来をW拓eく。t Fi ne純水 、薬C液などoを使用nする半t導体r・液o晶製l造プ ロウェットファインシステム。 Sセスに最適な ystem Ultra Fine思想がコンセプト 高清浄度を確保する、部品・製品を含めた一貫品質管理体制。 設計から、評価、工法、製造までの 社内生産体制 製品開発に欠かせない重要ファクターのすべてに 加工から組立、検査、包装までのあらゆる生産工程において、製品はもちろんのこと、部品レベルまでの完全一貫品質管理体制を構築。 徹底したクリーン化を導入する 品質の重要ポイントである清浄度については、薬液残渣、有機炭素量、特定油分などの不純物別の量的規定の社内基準を設けて、 というCKD独自の思想を基本コンセプトに、 ゆるぎないクオリティを確立しています。 製品の万全な清浄度管理を行っています。 生産工程例 クリーンルーム 多種多様な継手バリエーション 二次包装 素材購入 成形 部品加工 部品検査 精密洗浄 組立 製品検査 一次包装 （梱包） 様々な装置、用途に合わせて、4メーカー6機種の各種継手を一体形で揃えています。 フ ィ ッ テ ィ スーパータイプ スーパー300タイプ LOCK60シリーズ ファイナルロック フレアテック ン ピラーフィッティング ピラーフィッティング F-LOCK20Aシリーズ F- グ Pシリーズ フィッティング フィッティング フィッティング フィッティング 体 系 メ ー カ 日本ピラー工業（株） 日本ピラー工業（株） （株）フロウエル （株）フロウエル 倉敷紡績（株） Entegris,Inc. ー 名

巻頭3

INDEX 掲載ページ シリーズ体系表 巻頭5 使用上の注意事項 巻頭7 　形　番 掲載ページ AMD※※3R　（ ２ポート） 2 Part3Rシリーズ AMG※※3R 　（３ポート） 10 GAMD※※3R 　（マニホールド） 14 AMD※※2　（ ２ポート） 20 AMG※※2 （ ３ポート） 48 Part2シリーズ GAMD※※2 　（マニホールド） 56 AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2　（高圧仕様） 64 エアオペレイトバルブ Part1シリーズ AMDZ※、AMD0※（ ２ポート） 66 （小形タイプ） AMGZ0、AMG00（３ポート） 72 高圧 AMD※1H 76 メタルレス AMD※1M 82 大口径 LYX-1380 86 PVC AMD※1L 88 排液用 LYX-0877～0880 96 LYX-1451～1454 MMD※03RN （ ２ポート） 104 Part3RNシリーズ GMMD※03RN　（マニホールド） 112 MMD※02 （ ２ポート） 116 マニュアルバルブ Part2シリーズ GMMD※02　（マニホールド） 130 高圧 MMD※0H 138 メタルレス MMD※0M 142 大口径 LYX-1381 146 サックバックバルブ 単体タイプ AMS 150 エアオペ一体タイプ AMDS 154 レギュレータ パイロット式 PMP 160 マニュアル式 PYM・PMM 166 電動式 MNV 174 流量調整バルブ マニュアル式 FMD 176 マニュアル式 LYX-0961 微少流量タイプ LYX-0965 180 KML703 184 KML60 188 ファインレベルスイッチ MXKML KML50 192 MKML MN3E・MN4E 操作用電磁弁 3QRA/B 198 MN4GA/B R EVS2 関連機 電空レギュレータ MEVT 199 器 EVR クリーンレギュレータ RC2000 流量センサ FSM3 200 補助機器 エアファイバ FCS 201 システムラインアップ 202 巻頭4

シリーズ体系表 主要シリーズの特徴 ※使用流体と製品材料の適合性および使用条件等を十分考慮し、お客様にて使用の可否をご判断ください。 ～高清浄度、高耐久にこだわった流体制御機器～ 個別の商品の使用材料詳細と仕様につきましては、各ページの情報をご確認ください。 主な採用事例 (半導体・FPD) 構成材料 接続サイズ(チューブ外径) 接続 接液 非接液 呼び径（ユニオン・フランジ接続） 掲 載 カテゴリー 写真 機種 特徴 ボディ ペ アクチュ ー ジ (※ダイアフラム エータ はPTFEを採用) AMD※※3R 幅広い流体・圧力・温度条件に対応する新 型スタンダードモデル Part3R(N) (エアオペレイト式) ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 2 PTFE シリーズ マニュアル式は締付防止機構・誤作動防 /PFA PVDF MMD※03RN 止ロックリングなどの新機構で信頼性向上 (マニュアル式) ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 104 （MMD※03RN） PPS AMD※※2 ● ● ● /PP (エアオペレイト式) /アルミニウム ● ● ● ● ● ● 20 Part2 高温流体対応が可能（AMD※※2 ） PTFE シリーズ 接続オプションを豊富にラインナップ /PFA 合金 ● ● ● ● ● ● ● ● ● /ステンレス鋼 MMD※02 PP (マニュアル式) ● ● /アルミニウム ● ● ● ● 116 合金 Part1 AMD※※ 小形・省スペースで小流量制御ラインに最 PTFE シリーズ (エアオペレイト式) 適 ● /PFA PPS ● ● ● ● ● ● ● ● ● 66 /ステンレス鋼 開閉 AMD※1H バルブ (エアオペレイト式) 76 半導体製造工場の薬液供給設備などで 高圧 高圧・高背圧・大流量に対応し安全な薬液 ● PFA PP ● ● ● ● ● ● ● MMD※0H 送液運用が可能 (マニュアル式) 138 AMD※1M (エアオペレイト式) 82 半導体製造工場の薬液供給設備などで メタルレス 高濃度・かつ腐食性の強い強酸(塩酸・フッ ● ● PFA PVDF ● ● ● ● ● MMD※0M 酸・硝酸)ラインに対応 (マニュアル式) 142 LYX-1380 (エアオペレイト式) 86 大口径 接続口径1.5インチで大流量送液に対応 ● PTFE PP ● ● LYX-1381 (マニュアル式) 146 PVC AMD※1L ウォーターハンマ低減構造を採用 (エアオペレイト式) 配管接続にPVCユニオン継手を標準装備 ● ● PVC PPS ● ● ● ● ● ● ● 88 高精度な液切れ、サックバック制御で吐出 不良を防止 サックバック バルブ AMS、AMDS 流体粘度に応じた最適化特注設計対応も PTFE 可能 ● /PFA PPS ● ● ● ● ● ● ● ● ● 150 単体タイプ（AMS）・エアオペレイトバル /ステンレス鋼 ブ一体タイプ（AMDS） パイロットエアによる遠隔操作で圧力制御 PMP と流量制御が可能 (パイロット式) 省スペース性と圧力安定性を高次元にバ ● ● PTFE PFA PVDF ● ● ● ● ● ● ● 160 ランス レギュレータ PYM ステンレスボディを採用 (マニュアル式) （空気・N2ガス・純水用） ● ステンレス鋼 ステンレス鋼 ● ● ● 166 PMM フッ素樹脂ボディを採用 （純水用） ● PTFE (マニュアル式) /PFA PP ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 168 MNV 遠隔操作によって設定流量を高精度に (電動式) 可変 ● PTFE PPS ● ● 174 ニードルバルブ FMD (マニュアル式) 腐食性の高い流体の流量調整が可能 ● PTFE /PFA PVDF ● ● ● 176 LYX-0961、 微少流量の調整が可能 LYX-0965 単体タイプ（LYX-0965）、エアオペレイ ● ● PTFE PPS ● ● ● ● ● ● 180 (マニュアル式) トバルブ一体タイプ（LYX-0961） 巻頭5 巻頭6 コーター ・デベロッパー 洗浄 薬液供給装置 1/8" 3mm 1/4" 6mm 8mm 3/8" 10mm 1/2" 12mm 3/4" 16mm 1" 25mm 1 1/4" 1 1/2" 16mm 20mm 25mm 30mm 40mm 50mm スーパータイプ スーパー300タイプ F-LOCK20 F-LOCK60 ファイナルロック フレアテック Rcネジ ステンレスチューブ 二重食い込み PVCユニオン 溶着用PFAパイプ出し PVDVユニオン継手 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・

C_01_kyotu_PL_Wet_Fine.indd C_01_kyotu_PL_Wet_Fine.indd 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社ウェットファイン機器製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気 圧制御回路または水制御回路とこれらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの 安全性が確保できる事をチェックして安全な装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全 管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるように お願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外（屋外仕様製品を除き ます。）での使用、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりま すが、万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急 遮断回路･プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に 行わないでください。 ❶機械･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行って ください。 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、シ ステム内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保 されているか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険「」警告「」注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、 （DANGER） かつ危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される （WARNING）場合。 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生 （CAUTION）じることが想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 1巻頭7

C_01_kyotu_PL_Wet_Fine.indd C_C0_10_1k_ykoytout_uP_LP_LW_eWte_Ft_inFein.ien.dinddd 保証について 本製品を安全にご使用いただくために 1 保証期間 注 ご使用になる前に必ずお読みください 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 意 2 保証範囲 事 当社ウェットファイン機器製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気 項 圧制御回路または水制御回路とこれらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品 安全性が確保できる事をチェックして安全な装置を製作する義務があります。 の無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 管理が重要です。 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるように ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 お願い申し上げます。 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 警告 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 3 適合性の確認 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 輸出に際しての注意事項 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外（屋外仕様製品を除き 1 安全保障輸出管理について ます。）での使用、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 　本カタログに記載の製品または関連技術の輸出、提供に際して、事前に許可が必要な場合があります。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりま 　国際的な平和・安全の維持を確保する目的で、製品または関連技術の輸出先または提供先により、事前に外 すが、万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） 国為替及び外国貿易法による許可を得ておくことが必要となる場合があります。 ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急 　許可が必要となる製品または関連技術の範囲は「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に 遮断回路･プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 列記されています。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 この「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」は、下記の2種類から構成されています。 x 項目ごとに1の項から15の項までにそれぞれ示されている「リスト規制」 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 x 項目ごとの仕様を定めずに用途により規制する「キャッチオール規制」（16の項） ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 1の項から15の項までに示されている「リスト規制」 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に列記 許可が必要となる製品 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に または、 行わないでください。 関連技術の範囲 ❶機械･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行って 用途により規制する「キャッチオール規制」（16の項） ください。 「輸出貿易管理令　別表第1」または「外国為替令　別表」に列記 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、シ ステム内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 許可の申請手続は、 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保 製品または関連技術と輸出先または提供先の組み合わせ内容により、経済産業省安全保障貿易審査 されているか確認し、注意して行ってください。 課または各地の経済産業局で受付けています。 2 本カタログに掲載の製品または関連技術について 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 　本カタログに記載の製品または関連技術には、外国為替及び外国貿易法のリスト規制の対象となるものが含 まれています。 　外国為替及び外国貿易法のリスト規制の対象となる製品または関連技術については、対象であることを、該 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険「」警告「」注意」として区別してあります。 当する製品のページに記載しております。 　よって、リスト規制に該当する製品または関連技術を輸出または提供される場合は、外国為替及び外国貿易 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、 法に基づく輸出許可を取得されますようお願いいたします。 （DANGER） かつ危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 　あわせて、本カタログに記載の製品または関連技術を輸出または提供される場合は、兵器・武器関連用途に 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される 使用されるおそれのないよう、十分にご留意ください。 （WARNING）場合。 3 お問合せ先 　本カタログに記載の製品または関連技術の安全保障輸出管理についてのお問い合わせは、最寄りの営業所 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生 へお願いいたします。 （CAUTION）じることが想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 1 巻頭82

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 設計・選定時 1.仕様の確認 „ Rcねじタイプは、後頁（1）“Rcねじ部の場合”に従 い配管していただきますが、熱サイクルによりねじ 警告 込み部から漏れが発生する場合がありますので、 そのような条件下でお使いの場合は、フィッティン „ 緊急遮断弁などには使用できません。 本カタログに記載しているバルブは、緊急遮断弁などの安全 グ一体形タイプを選定してください。 確保用バルブとして設計されておりません。そのようなシス テムの場合は、別の確実に安全確保できる手段を講じた上 3.センサ付オプション で、ご使用ください。 警告 „ 誤った機器選定および取扱いは、本製品のトラブル のみならずお客様のシステムトラブルの発生原因と „ 仕様範囲外の用途、負荷電流、電圧、温度、衝撃、 なります。機器選定および取扱いは、本製品の仕 環境等では、破壊や作動不良の原因となりますので、 様および、お客様のシステムとの適合性をお客様 仕様範囲内で正しく使用ください。 の責任におきまして、ご確認の上、ご使用ください。 „ 爆発性ガス雰囲気中では、絶対に使用しないでく ださい。センサ付オプションは、防爆構造になって „ 使用流体について おりません。爆発性ガス雰囲気中で使用した場合 使用流体と製品材料との適合性を科学的専門知識 は、爆発災害を引起こす可能性もありますので、絶 のある方においてご確認の上、お客様にて使用の 対に使用しないでください。 可否をご判断ください。 „ 蒸気、ホコリ等の多い所や水、薬品等が直接かかる ステンレス製ボディの場合は酸性流体には使用で 所、腐食性ガス等の雰囲気では使用できません。 きません。 ■ イ ンターロック回路に使用する場合にご注意ください。 „ 流体温度について 高い信頼性が必要なインターロック信号にセンサ付オプショ 仕様にある使用流体温度範囲でご使用ください。 ンを使用する場合は、故障に備えて機械式の保護機能を設 „ 流体圧力範囲 けるか、他のセンサを併用するなどの2重インターロック方 カタログ記載の仕様にある流体圧力範囲内でご使 式にしてください。 また、定期的に点検し、正常に作動することの確認を行って 用ください。 ください。 „ 周囲環境について ■ 接点容量にご注意ください。 ①製品構成材料と周囲雰囲気との適合性をご確認の上、ご センサの最大接点容量を超える負荷を使用しないでくださ 使用ください。（腐食性雰囲気や爆発性雰囲気では使用し い。故障の原因となります。 ないでください。） ■ ②製品本体には、流体が付着しないようにしてください。 保護回路にご注意ください。 ③周囲温度の範囲内でご使用ください。 ● 誘導性負荷(リレー、電磁弁)を接続使用する場合には、セ ④振動、衝撃の発生する場所、熱源のある周辺および屋外 ンサOFF時にサージ電圧が発生しますので、保護回路を では使用しないでください。 必ず設けてください。 ● 容量性負荷(コンデンサ)を接続使用する場合には、センサ 2.設計 ON時に突入電流が発生しますので、保護回路を必ず設け てください。 警告 ● 配線が長くなるとその布線容量になり、突入電流が発生し センサの破損または寿命の低下が発生しますので、保護 „ 人体に危険を及ぼす恐れのある流体の場合には、 回路を設けてください。 バルブを隔離し人が近づくことができないようにし ■ サージ発生源がある場所では使用しないでください。 てください。 センサの周辺に、大きなサージを発生させる装置機器(電磁 „ 液封について 式のリフター・高周波誘導炉・モータなど)がある場合、セン バルブが開閉動作する際にダイアフラムが上下動 サ内部回路素子の劣化または破損を招く恐れがありますの し、その分バルブ内の流路容積が変化します。従っ で、発生源のサージ対策を考慮ください。 て、流体が非圧縮性（液体）であるためバルブに流 注意 体が密封される条件（液封）での動作はバルブに異 ■ 直列接続による内部降下電圧にご注意ください。 常な圧力が生じます。このような場合はバルブの ● センサを複数直列接続して使用する場合、センサでの電圧 1次側または2次側に逃し弁を設け、液封の回路に 降下は、接続したすべてのセンサの電圧降下の和となりま ならないようにしてください。 す。センサの最大負荷電流を越えないよう、負荷の仕様 を確認の上、接続個数を決めてください。 „ メンテナンススペースの確保 保守点検に必要なスペースを確保してください。 巻頭9

注 意 事 項 取付・据付・調整時 1.取付 AMG、GAMD、GMMDについては隣接するフィッ ティングとの距離が短く、一般の工具では施行し 警告 にくい場合がありますのでご注意ください。また フィッティングメーカーの専用施工治具が使用でき „ 誤った取付・配管は、本製品のトラブルのみならず ない場合がありますのでお問い合せください。 お客様のシステムトラブルの発生原因、さらには使 用者が死亡または重傷を負う危険が生じることが „ ユニオン継手の施工時は、ユニオンナットをOリン 想定されるため、お客様の責任におきまして、シス グがボディの溝に入っていることを確認し、Oリン テム・流体の特性・流体と関連機器との適合性など グが潰れるまで確実に締め上げてください。確実 安全性に関する注意事項をよく理解した人が取扱 に締め付けられていない場合、流体が外部へ漏れ 説明書をよく読んだ上で作業してください。 る可能性があり危険です。 注意 „ 溶着用PFAパイプ出しの溶着施工を行う際はPFA パイプ溶着の専門知識のある方が施工してください。 „ 取付け後、配管漏れの有無を確認して、正しい取 付けがなされているかをご確認ください。 „ 配管を行う際には、バルブ本体に曲げ・引張り・圧 縮等の応力が加わらないようにしてください。ま た、バルブに配管荷重が加わらないように、管の支 2.配管 持位置と方法を検討してください。 警告 „ バルブを設置する際には継手のみで支持せず、取 付板と装置を固定してください。 „ バルブ取付け前には必ず配管内をフラッシングして ください。 „ Rcねじ部の施工については、下記の手順に従って 流体中のゴミ、異物の混入は、バルブの正常な機 ください。 能を妨げます。混入のある場合は、ご利用回路に 合わせて、バルブ一次側にフィルタを設置してくだ （1）Rcねじ部の場合 さい。 ① JIS B 0203の管用テーパねじに適合した継手にPTFE シールテープを3～4周巻いてください。 „ 矢印が表示されている製品は、必ず流体の流れを ② 下記の締め付けトルクにて締め付けてください。 矢印方向となるよう配管してください。 接続口径 PFA製継手 PVC製継手 Rc1/8 0.5～0.8 — „ 配管による引張・圧縮・曲げ等の力がバルブボディ Rc3/8 1.0～1.5 — に加わらないよう配管してください。 Rc1/2 1.5～2.0 2.0～2.5 Rc3/4 2.0～2.5 2.5～3.0 „ NC形・NO形の場合、操作圧を加圧しないポート Rc1 2.5～3.5 3.0～4.0 は大気開放とし、周囲雰囲気やゴミの飛散の問題 （Ｎ･ｍ） でバルブより直接、吸・排気させたくないときは、 止めねじを外し配管を設置し、問題とならない場所 （2）操作ポート で吸・排気を行ってください。 ポート割れおよびねじ破損の恐れがありますので、0.4～ „ 駆動部に接続される駆動用電磁弁は、仕様および 0.6N・mで締め付けてください。 AMD3/4/5※2、AMG3/4/502、GAMD3/4/5※2 用途に合わせて使用してください。 は、金属およびPPS製継手を使用される場合には補強リ ング付（各機種のページを参照ください）を選定してくださ 注意 い。 AMD4/5/61H、AMD3/51Mでは、金属継手は使用し „ PFAチューブ用フィッティングについては、各フィッ ないでください。 ティングメーカーより発行されている最新の取扱 説明書を参照して、必ずその内容に従って施工し てください。 フィッティングの施工には専用の施工治具が必要で すので、別途フィッティングメーカーにお問い合せ ください。 巻頭10

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 取付・据付・調整時 3.センサ付オプション ■ 必ず設定範囲（0～600step）を守ってご使用く ださい。 注意 ■ 作動不良や故障の原因となりますので、モータが ■ 落としたり、打ち当てたりしないでください。 脱調し続けるような使いかたはしないでください。 取扱いの際、落としたり、打ち当てたり、過大な衝撃を加え また、フィードバック制御でご使用の場合、条件に ないでください。本体が破損しなくてもセンサ内部が破損し より耐久性に影響する可能性があります。実機にて 誤作動する可能性があります。 動作確認の上、ご使用ください。 ■ セ ンサのリード線でバルブ本体を運ばないでください。 リード線断線の原因だけでなく応力がセンサ内部に加わるた め、センサ内部素子が破損する可能性がありますので、絶対 に行わないでください。 ■ 動力線・高圧線との同一配線はしないでください。 動力線･高圧線との並行配線や同一配線管の使用は避けて、 配線にしてください。センサを含む制御回路が、ノイズによ り誤作動する可能性があります。 ■ 負荷は短絡させないでください。 負荷短絡の状態でONさせると過電流が流れ、センサが破損 します。 ■ リード線の接続にご注意ください。 接続側電気回路の装置の電源を切って配線作業を行なって ください。電源を入れた状態で作業をすると感電や予測し ない作動による事故の発生原因となります。 ■ 電源入力は、定格を超えないよう電源変動をご確認 ください。 ■ 電源に市販のスイッチングレギュレータをご使用にな る場合には、必ず電源のフレームグランド（F.G.）端子 を接地してください。 ■ セ ンサ周辺にノイズ発生源となる機器（スイッチング レギュレータ、インバータモータなど）をご使用の場 合は、機器のフレームグランド（F.G.）端子を必ず接地 してください。 4.電動ニードルバルブMNVシリーズ 警告 ■ 高温条件下で使用した場合、製品表面温度が高温と なりますのでご注意ください。直接触れると火傷など の危険性があります。 ■ バ ルブの動作により、カバー側面にある呼吸穴からわ ずかではありますが薬液の透過ガスが放出されます。 呼吸穴付近には顔や手を近づけないようにしてくだ さい。バルブを触る際は、耐食性のある手袋を使用 し素手では触らないでください。 巻頭11

注 意 事 項 使用・メンテナンス時 1.ご使用にあたって „ お客様では絶対に分解されないようお願いします。 高荷重のスプリングが内蔵されている製品もあり、 警告 大変危険です。 „ 製品本体に流体が付着しないようにしてください。 „ 最高使用圧力および最高作動圧力範囲でご使用く ださい。 ■ 帯電について フッ素樹脂は非常に帯電しやすく、気体や液体を流すことに 注意 よりさらに帯電します。静電気による外部漏れや発火の恐れ があるため、必要に応じて除電対策を施してください。 „ 分解しないでください。 „ 落下させるなどの強い衝撃を与えないでください。 2.センサ付オプション 製品破損や故障の原因となります。 „ 使用流体と製品材料との適合性を化学的専門知識 警告 のある方においてご確認の上、お客様にて使用の ■ 過電流を流さないでください。 可否をご判断ください。 負荷短絡などにより、センサに過電流が流れると、センサの ●スラリーやUV硬化剤などのように粒子を含んでいたり固 破損のみにとどまらず、発火する危険性があります。 形化・ゲル化する恐れのある流体の場合、性能に影響を及 必要に応じて、出力線・電源線にヒューズなどの過電流保護 ぼす可能性があります。 回路を設けてください。 ●界面活性剤を含んだ流体や剥離液などのように浸透性が 高い流体の場合、流体が部品を浸透する可能性がありま 注意 す。 定期的に点検を行い、異常がある場合は交換する ■ 断線・配線抵抗による逆流電流にご注意ください。 などの処置をしてください。 ● センサと同じ電源にセンサを含めた他の機器が接続され ている場合、制御盤の入力装置の作動を確認するため、 „ N2ガス・空気等の気体の場合は、最大で1cm3/min 出力線と電源線－側を短絡させたり、または電源線－側 （空気圧にて）の弁座漏れが発生する可能性があり が断線するとセンサの出力回路に逆流電流が流れ破損す ます。 る場合があります。 „ 急激な流体温度の変化によって、弁座が不均一に センサ 逆流防止用ダイオード 制御盤 歪み弁座漏れが発生する場合がありますのでご注 Ｐ 意ください。 他 主 Ｌ の 回 Ｃ „ 操作用のエアは、ろ過度5μm以上の性能を有する 入 機 路 力 フィルタを通った空気または不活性ガスをご使用く 器 ださい。 „ クリーンルーム内での設置を想定し精密洗浄を施 他の機器 テストSW からの電流 断線 しクリーンパックしてお届けしますので、取扱いに または、短絡 は注意してください。 ●逆流電流による破損を防止するには、下記のような対策を „ 流量調整用・バイパス調整用つまみを締め過ぎな 行ってください。 いでください。 ①電源線、特に－側の電源線への電流の集中を避けるととも に、配線を極力太くしてください。 „ バルブ等を足場にしたり、重量物を乗せたりしない ②センサと同じ電源に接続する機器を制限してください。 でください。 ③センサ出力線に直列にダイオードを入れ、電流の逆流を防 „ 長期間未使用の場合、始業前に試運転を行ってく 止してください。 ださい。 ④センサの電源線－側に直列にダイオードを入れ、電流の逆 流を防止してください。 „ 操作エアの配管条件や圧力条件、動作間隔等によ り、バルブの動作時間が変化する可能性がありま す。必ず実機搭載後、問題なきことを確認の上、 ご使用ください。 „ バルブの2次側は乱流が発生します。 流量計等で、流体の流れが層流状態である必要が ある機器をバルブの2次側に設置する場合は、バ ルブによる乱流の影響を受けない程度距離を置い て設置してください。 巻頭12

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 使用・メンテナンス時 ■ サージ電流の回り込みにご注意ください。 MMD※※2シリーズは全閉または全開の状態でご ●センサと電磁弁・リレーなどのサージを発生する誘導負 使用ください。中間位置では使用できません。 荷と電源を共有している場合、誘導負荷が作動した状態 MMD※※2シリーズのつまみは下表のトルク範囲 で回路が遮断されると、サージ吸収素子の取付位置に よっては、サージ電流が出力回路に回りこみ破損する場 内で締め付けてください。締め付けが緩いと、ポ 合があります。 ンプの振動などによりつまみが回転する可能性が あります。 断線または非常停止による回路遮断 形番 MMD302 MMD402 MMD502 サージ吸収素子（後付け） サージ吸収素子（内蔵） つまみ締め付け トルク 0.8～1.5 1.0～1.8 1.5～2.5 センサ リ （N・m） レ 電磁弁 ー 主 回 ON 4.薬液用エアオペレイト・バルブAMD・GAMDシリーズ 路 PC 注意 サージ電流 PLC出力 „ AMD･GAMDシリーズでは、流体圧力条件によっ ●サージ電流回り込みによる破損を防止するには下記のよ ては、ウォーターハンマや、バイブレーションが発 うな対策を行ってください。 生する可能性があります。ほとんどの場合スピード ①電磁弁・リレーなどの誘導負荷となる出力系とセンサな コントローラ等で開閉速度を調整することによって どの入力系の電源は分離させてください。 ②別電源とすることができない場合は、すべての誘導負荷 改善できます。もし、改善できない場合は、流体 に対して直接サージ吸収用の素子をお取付けください。 圧力･配管条件の見直しをしてください。 PLCなどに接続されているサージ吸収素子はその機器の みを保護するものであるとお考えください。 5.高圧用薬液エアオペレイト・マニュアルバルブAMD※1H・MMD※0Hシリーズ ③センサ出力線に直列にダイオードを入れ、電流の逆流を 防止してください。 薬液用エアオペレイト・マニュアルバルブAMD※1M・MMD※0Mシリーズ ④さらに、下図のように電源配線の各所にサージ吸収素子を接 続し、不特定箇所での断線に備えてください。 注意 „ 検出ポートは、ダイアフラムからの透過ガスの回収 入 出 入 力 力 力 または、漏洩の検出をする場合に止めねじを外し 機 機 機 器 器 器 て配管ポートとしてご使用ください。この時の配管 はフッ素樹脂を想定しているため0.4N・m以下で なお、機器類をコネクタに接続されている場合、 通電中にコネク 締め付けてください。 タを外すと上記現象により、出力回路が破損することもありま MMD※0H、MMD50Mシリーズは全閉または全 すので、コネクタの脱着は必ず電源を切ってから行ってくださ 開の状態でご使用ください。中間位置では使用で い。 きません。 3.薬液用エアオペレイト・マニュアルバルブAMD・MMDシリーズ 6.薬液用マニュアルバルブMMDパート3RN・GMMDパート3RNシリーズ 注意 注意 „ AMDシリーズおよびMMDシリーズの流量調整に „ バルブを操作する際は、つまみが空回りするまで回 ついて、流体温度、差圧、開度等の使用条件によっ してください（カチっと音がします）。ロックリング て、バイブレーション・流量変動が発生する可能性 を持って回すとつまみが空回りせず、締め過ぎによ があります。実使用条件にて問題ないことを確認 る弁シートの劣化や製品が破損する可能性があり 後、ご使用ください。 ます。 „ つ まみを空回りさせても、弁が閉じないまたは、弁 が開かない場合は、つまみ側面の穴にドライバー などの工具を入れて、つまみを回してください。 穴を覗いて、内部にある緑色のインジケータが見 えると、強制操作が可能な状態です。穴から緑色 のインジケータが見えない場合は、つまみを回し て位置を合わせてください。 巻頭13

注 意 事 項 使用・メンテナンス時 „ つまみの回転力によりシールする構造のため、長 8.保守・点検 期間弁閉のまま放置させる使い方をする場合は、 弁座漏れを起こす可能性があります。温度変化が 危険 かかる場合は、つまみを増し締めしてください。 „ 流体温度、差圧、開度等の使用条件によって、バ „ バルブ交換時には、残留した薬液により周りの機器 イブレーション・流量変動が発生する可能性があり および人に影響のないように、純水、エア等で十 ます。実使用条件にて問題ないことを確認後、ご 分置換した上で作業してください。 使用ください。精密に流量調整する場合は、FMD また、ダイアフラムの上側（シリンダ側）は流体が シリーズや微小流調バルブ（LYX）を選定くださ 接液しない部分ですが、薄膜部からのガス透過に い。 より薬液雰囲気となりますので、安全のために取扱 „ 誤操作防止カバーの付いたバルブを持ち運びする い時には、以下の注意をお願いします。 際は、誤操作防止カバーを持たず、バルブ本体を ① バルブの動作によりシリンダ側面にある呼吸孔から僅かで 掴み、持ち運びを行ってください。 はありますが透過したガスが放出されますので、バルブ動 作中は呼吸孔付近に人が近づかないようにしてください。 „ 誤操作防止カバーはロックリングが下がった状態で ② また、呼吸穴およびその周辺に結晶物が付着する場合が 装着ください。これにより、つまみの誤作動、誤操 あります。 作を防ぐことができます。 ③ バルブを触る際は、耐食性のある手袋を使用し素手では „ 誤操作防止カバーを装着してつまみを操作できな 触らないでください。 くする場合は、南京錠等を使ってロック状態を保持 „ 薬液にご使用されましたバルブはアクチュエータと してください。 ダイアフラムの間に薬液雰囲気が残留している恐 „ 誤操作防止カバーはGMMDシリーズには使用でき れがあります。お客様では絶対に分解されないよ ませんので、注意してください。 うお願いします。 分解が必要な場合は、当社または代理店へご相談 ください。 7.ファインレギュレータPMM・PYM・PMPシリーズ „ バルブを最適機能でご使用いただくために1～2回/年、 下記定期点検を行ってください。 注意 ① 弁外部への漏れの有無の確認 ② フィッティング部からの漏れの有無の確認 „ PMM、PYM、PMPシリーズでは、流体圧力、流 ③ 構成部品の変色、変形、腐食などの異常の有無の確認 量、供給圧の変動、配管等の条件により、バイブ レーションが発生する可能性があり製品寿命に影 警告 響する場合があります。発生した場合は、流体圧 力、流量条件の見直しをしてください。 „ 保守・メンテナンス時は取扱説明書をよく読んで内 „ レギュレータは微少な開度で動作するため、異物 容を理解した上で作業を行ってください。 の混入した流体を流しますと、弁座が傷つき性能 „ 保守する前には必ず操作エアおよび流体を抜いて が低下する恐れがあります。異物が混入する恐れ ください。 がある場合は、レギュレータの1次側にフィルター „ 保守・メンテナンス・点検の際にはご使用の薬液の を取付けていただくことを推奨します。 製品安全データシート（SDS）をお読みになり必要 „ レギュレータの設定圧力を越えた出力圧が2次側 な保護具を着用した上作業を行ってください。 装置の破損や作動不良を招く場合には、必ず安全 „ 透過性の高い塩酸、フッ酸、硝酸などの薬液を長期 装置を付けてください。 間使用する場合は、透過ガスにより接液部だけでな „ PMPシリーズでは、パイロットエアがダイアフラム く接液部以外の部品も劣化して外部漏れなどの事 膜を透過することにより、液体内に気泡が発生する 故に至る可能性があります。安全のため必ず定期 場合があります。使用しない場合は、パイロットエ 点検として構成部品の変色、変形、腐食などの異 アを加圧し続けないことを推奨します。 常の有無の確認を1～2回/年、行ってください。 „ 流量調整する際は、レギュレータの2次側に、絞り やニードル弁等を設置してください。 注意 „ 製品の交換の際には、必ず同形番の製品をご使用く ださい。同一外観でも仕様が異なることがあります。 „ 使用していない製品は直射日光を避け高温となら ない場所に保管してください。また取扱の際は投 出し・落下・引っかけ等による衝撃・傷等を与えな いでください。 巻頭14

エアオペレイトバルブ Part3R Part2 Part1 選べる 操作ポート位置 エ ア オ高圧 ペ レ イ ト バ ルメタルレス ブ 大口径 豊富な 継手バリエーション PFA成形ボディ PVC 排液 使用上の注意事項 巻頭9 Part3Rシリーズ Part3RN AMD※※3R 2 AMG※03R 10 GAMD※※3R 14 Part2 Part2シリーズ マ ニ ュ AMD0※2 20 ア ル高圧 AMD3/4/5※2 24 バ ル ブ AMD3/4/5※2（ステンレスボディ） 36 AMG3/4/502 48 メタルレス GAMD3/4/5※2 56 AMD※※2・AMG※02・GAMD※※2　（高圧仕様） 64 大口径 Part1シリーズ（小形タイプ） AMDZ※、AMD0※ 66 サ ッ単体 AMGZ0、AMG00 72 ク バ 高圧 ッ ク バ AMD※1H 76 ルエアオペ ブ一体 メタルレス AMD※1M 82 レパイロット 大口径 ギ ュ LYX-1380 86 レ ー タ PVC マニュアル AMD※1L 88 排液用 電動 LYX-08※ 流 LYX-14※ 96 量 調 整マニュアル LYX-088※ バ ル ブ マニュアル 微少流量 ファインレベル スイッチ 関連機器 1

Part3R Part3R Part2 Part2 Part1 Part1 エ エ 高圧 ア ア オ オ高圧 ペ ペ レ レ イ イ ト ト メタルレス バ バ ル ルメタルレス ブ ブ 大口径 大口径 薬液用エアオペレイトバルブ PVC AMDZ※3R PVC 排液 AMD0※3R 排液 Part3RN AMD3※3R Part3RN Part2 AMD4※3R Part2 ※AMD0・3・4・5※3Rシリーズ マ AMD5※3R マ ニ ニ ュ ュ ア ア 高圧 ル ル高圧 バ サイズバリエーション バ ル ル ブ ブ 1/8″ 1/4″ 3/8″ 1/2″ 3/4″ 1″ メタルレス チューブ接続 6mm 8mm 10mm 12mm 25mm メタルレス AMDZ※3R 大口径 AMD0※3R 大口径 AMD3※3R サ AMD4※3R サ 単体 ッ ッ単体 ク ク バ AMD5※3R バ ッ ッ ク AMG※03R ク エアオペ バ バ 一体 ル ルエアオペ ブ GAMD※※3R ブ一体 パイロット レ レパイロット ギ ギ ュ ュ レ レ ー ー マニュアル タ タマニュアル 電動 電動 流 流 量 量 調 調 マニュアル 整 整マニュアル バ バ ル ル ブ ブ マニュアル マニュアル 微少流量 微少流量 ファインレベル ファインレベル スイッチ スイッチ 関連機器 関連機器 2 3

薬液用エアオペレイトバルブ Part3R AMD※※3R Series Part2 ※対象：AMD4※3R、AMD5※3R Part1 仕様 エ 高圧 ア オ サイズ AMDZ※3R AMD0※3R AMD3※3R AMD4※3R AMD5※3R ペ レ 項目 □22 □25 □36 □46 □60 イ ト 使用流体 薬液、純水、N2ガス、空気 メタルレス バル 流体温度 ℃ 5～120 (バイパス付ボディは5～90) 注1、注2 ブ 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力 (A→B) MPa 0～0.5 (バイパス付ボディは下表参照) 大口径 範囲 (B→A) MPa 0～0.5 (バイパス付ボディは下表参照) 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) PVC 背圧 MPa 0～0.5 (バイパス付ボディは下表参照) 周囲温度 ℃ 0～60 (センサ付きは0～50) 頻度 30回/分以下 20回/分以下 排液 取付姿勢 自在 接続方式 スーパー 300 タイプ　ピラーフィッティング Pシリーズ F-LOCK 60 シリーズ Part3RN 操作圧力 MPa NC・NO:0.4～0.5 NC・NO:0.35～0.5 操作部 　複動:0.3～0.4 複動:0.3～0.4 ポート接続 Rc 1/8 Part2 ノーマル 質 ボディ 0.07 0.1 0.21 0.48 0.91 マ ニ 量 バイパス kg ュ ア 付ボディ － － 0.23 0.49 1 高圧 ル バ ル 注1：フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は５～80℃の範囲でご使用ください。 ブ 注2：接続方式がF-LOCK 60 シリーズの場合は5～100℃となります。 注3：Cv値および流量特性は8～9ページをご参照ください。 メタルレス 大口径 内部構造および部品リスト 使用圧力 B→A（Bポート側圧力［MPa］） サ 流体温度5～120℃ 単体 ッ ク バ 0.5 ッ ク エアオペ バ 一体 ル ブ 0.4 0.3 パイロット レ ギ ュ 0.2 レ ー マニュアル タ 0.1 A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 電動 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 流 ノーマルボディ 量 調 B→A（Bポート側圧力［MPa］） マニュアル 整 バ ル ブ 部品名称 材　質 0.3 流体温度5～90℃ マニュアル ボディ(接液部品) PFAまたはPTFE 微少流量 ダイアフラム(接液部品) PTFE 0.2 アクチュエータ PVDF ファインレベル 0.1 スイッチ 　Oリング FEPM,FKM A→B 　金属部品 ステンレス鋼(フッ素樹脂コーティング) （Aポート側圧力［MPa］） 0 取付板 PVDF 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 関連機器 バイパス付ボディ ご使用になる前に必ず巻頭7～14ページの使用上の注意事項をお読みください。 4

AMD※※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 Part3R AMDZ 1 3R 8BU P Z0 N 4 H AMD0 Part2 AMD3 記号 内容 Part1 AMD4 1 作動方式 1 作動方式 1 NC エ AMD5 2 NO ア オ高圧 ペ 3 複動 レ イ ト 機種形番 2 接続サイズ 選択可能な機種 バ 2 接続サイズ ルメタルレス ミリ チューブサイズ AMDZ AMD0 AMD3 AMD4 AMD5 ブ 3U φ3×φ2 ● 6U φ6×φ4 ● ● 大口径 8U φ8×φ6 ● 10U φ10×φ8 ● ● PVC 12U φ12×φ10 ● 25U φ25×φ22 ● 排液 インチ チューブサイズ AMDZ AMD0 AMD3 AMD4 AMD5 6BU 1/8"×0.086" ● Part3RN 8BU 1/4"×5/32" ● ● 10BU 3/8"×1/4" ● ● 15BU 1/2"×3/8" ● Part2 20BU 3/4"×5/8" ● マ ニ ュ 25BU 1"×7/8" ● ア ル高圧 バ 3 接続方式 ル 3 接続方式 ブ P スーパー300 タイプ　ピラーフィッティング Pシリーズ メタルレス R F-LOCK 60 シリーズ 4 アクチュエータオプション 4 アクチュエータオプション 大口径 Z0 ON・OFFのみ (注：AMDZのみ選択可能) 00 ON・OFFのみ (インジケータ付) サ 10 流量調整付 ッ単体 ク バ センサ付 トランジスタ ケーブル方向 ケーブル長さ ッ ク バ A1 1m ルエアオペ 操作ポート側 ブ一体 A3 3m NPN B1 1m 操作ポートの反対側 レパイロット B3 3m ギ ュ レ C1 操作ポート側 1m ー PNP タ D1 操作ポートの反対側 1m マニュアル 5 ボディオプション 5 ボディオプション N ノーマルボディ 電動 B バイパス付ボディ (注：AMDZ/AMD0は選択不可) 流 量 調 6 操作ポート方向 整マニュアル 6 バ 形番選定にあたっての 操作ポート方向 1 ル ブ 注意事項 3 2 4 バルブを上から眺め、 方向に流体が流れるこ マニュアル 微少流量 ※ アクチュエータオプション 3 2 とを示し、 は操作ポート方向を示します。 1 AMDZについて、00(ON・OFF 4 ファインレベル のインジケータ付き)は選択不可、 スイッチ 10(流量調整付)はNCのみです。 7 取付方法 センサ付きはAMD3/AMD4/ 7 取付方法 F フランジ取付 (注：AMDZは選択不可) AMD5で選択可能です。 関連機器 ※ ボディ材質 H 4点フランジ取付 接続方式F-LOCK 60 シリーズは、 X 底面取付 PTFEボディとなります。 5

AMD※※3R Series 外形寸法図 Part3R ● ON・OFFのみタイプ(インジケータ) Part2 3 A B Part1 Bポート側 Aポート側 2 4 エ 高圧 ア オ ペ レ イ ト メタルレス バ 1 ル ブ 操作ポート方向（R視図） R視 大口径 PVC 排液 B A Part3RN Part2 継手部 寸法 マ ニ ュ ア 高圧 ル バ ル ブ ● バイパス付き メタルレス 大口径 サ 単体 ッ ク バ ッ ク エアオペ バ 一体 ル ブ 接続方式 継手部 パイロット S300継手 寸法 レ ギ 3UP・6BUP 14 ュ レ 6UP・8BUP 19 ー マニュアル タ 8UP 22 10UP・10BUP 25 12UP・15BUP 29 電動 B A 20BUP 36 25UP・25BUP 43 流 量 調 マニュアル 整 バ 接続方式 継手部 ル ブ F60継手 寸法 マニュアル 6UR 30 微少流量 8BUR 31 8UR 31 ファインレベル 機種 A B C D E F G H J 10UR 37 スイッチ 10BUR 39 AMDZ※3R 22 8 6 17 39 54 61 － － 12UR 37 AMD0※3R 25 8 6 19 46 61 68 70 － 関連機器 15BUR 39 AMD3※3R 36 10 8.5 21 49 78 85 87 71 20BUR 44 AMD4※3R 46 8 9 27 62 101 108 112 91 25UR 49.5 AMD5※3R 60 8 10 35 84 127 134 139 103 25BUR 51 6 A MAX J C D D E F G H

AMD※※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 Part3R ● 流量調整付き ● センサ付き Part2 機種 K L Part1 AMDZ13R 77 － AMD0※3R 86 － エ AMD3※3R 108 92 ア オ高圧 AMD4※3R 131 115 ペ レ イ AMD5※3R 166 141 ト バ ルメタルレス B A B A ブ 大口径 PVC ● F フランジ取付(AMD0/3/4) ● F フランジ取付(AMD5) ● H 4点フランジ取付 排液 O O N N N Part3RN T M T M V R Part2 マ ニ ュ ア ル高圧 バ ル ブ メタルレス 4－フルR 4－フルR 8－フルR 大口径 機種 M N O P Q R S T U V AMDZ※3R － 22 27 30 36 12 － － 4-3.5 4-4.5 サ AMD0※3R 15 25 30 33 39 15 2-3.5 2-4.5 4-3.5 4-4.5 ッ単体 ク AMD3※3R 22 36 50 50 62 22 2-7 2-8 4-7 4-8 バ ッ ク AMD4※3R 28 46 66 64 82 28 2-9 2-11 4-9 4-11 バ ルエアオペ AMD5※3R 40 61 78 78 97 40 2-9 2-3 4-9 4-11 ブ一体 レパイロット ● X 底面取付(AMDZ/O) ● X 底面取付(AMD3/4/5) ギ ュ W レ W ー タ X マニュアル 電動 流 量 調 整マニュアル Y Z バ ル ブ マニュアル 機種 W X Y Ｚ 微少流量 AMDZ※3R 22 14±0.3 2-M6 深6 － AMD0※3R 25 14±0.3 2-M6 深8 － ファインレベル スイッチ AMD3※3R 36 22±0.3 － 4-M6 深9 AMD4※3R 46 28±0.3 － 4-M8 深10 AMD5※3R 61 40±0.3 － 4-M8 深13 関連機器 7 S X N MAX K W P Q S N P X Q W U MAX L P Q

AMD※※3R Series AMD※※3Rシリーズの接続方式とCv値 Part3R AMD3※3R 15BU P 00N4F Part2 接続サイズ 接続方式 Part1 エ 高圧 ア スーパー 300 タイプ　ピラーフィッティング(接続方式 記号:P) オ ペ レ 接続 イ ト サイズ 接続方式 適用チューブサイズ 選択可能な機種サイズとCv値 AMDZ AMD0 AMD3 AMD4 AMD5 メタルレス バル 3U Ｐ φ3 × φ2 0.07 ブ 6U Ｐ φ6 × φ4 0.25 0.34 8U Ｐ φ8 × φ6 0.64 大口径 ミリ 10U Ｐ φ10 × φ8 0.8 1.25 12U Ｐ φ12 × φ10 1.8 PVC 25U Ｐ φ25 × φ22 8 6BU Ｐ 1/8" × 0.086" 0.07 8BU Ｐ 1/4" × 5/32" 0.25 0.34 排液 10BU Ｐ 3/8" × 1/4" 0.8 1.25 インチ 15BU Ｐ 1/2" × 3/8" 1.8 20BU Ｐ 3/4" × 5/8" 5 Part3RN 25BU Ｐ 1" × 7/8" 8 Part2 F-LOCK 60 シリーズ(接続方式 記号:R) マ ニ ュ ア 接続 高圧 ル バ サイズ 接続方式 適用チューブサイズ 選択可能な機種サイズとCv値 AMDZ AMD0 AMD3 AMD4 AMD5 ル ブ 6U R φ6 × φ4 0.22 0.28 メタルレス 8U R φ8 × φ6 0.64 ミリ 10U R φ10 × φ8 0.7 1 12U R φ12 × φ10 1.6 大口径 25U R φ25 × φ22 8 8BU R 1/4" × 5/32" 0.22 0.28 サ 10BU R 3/8" × 1/4" 0.64 0.7 単体 ッ ク インチ 15BU R 1/2" × 3/8" 1.6 バ ッ 20BU R 3/4" × 5/8" 4.5 ク エアオペ バ 一体 ル 25BU R 1" × 7/8" 8 ブ パイロット レ ギ ュ レ ー マニュアル タ 電動 流 量 調 マニュアル 整 バ ル ブ マニュアル 微少流量 ファインレベル スイッチ 関連機器 8