プロセスガス機器・真空用機器の総合カタログ「ドライファイン機器総合」

プロセスガス用機器・真空用機器 プロセスガス用機器・真空用機器 ドライファイン機器総合 プ ドライファイン機器総合 ロ セ ス ガ ス 用 機 器 ・ 真 空 用 機 器 　ド ラ イ フ ァ イ ン 機 器 総 合 Gas and Vacuum Processes Components ＜Website＞ https://www.ckd.co.jp/ ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. ○C CKD Corporation 2024 All copy rights reserved. 2024.7.CEB CB-035 11

プロセス制御の未来をD拓くry。 Fineプ ロCセスガスo、真空nなどをt使用rするo半導体l・ 液晶S製造プyロセスsに最適なドライファインシステム。 tem 春日井工場 東北工場 Ultra Fine思想がコンセプト 高清浄度を確保する、部品・製品を含めた一貫品質管理体制。 設計から、評価、工法、製造までの 社内生産体制 清浄度管理 製品開発に欠かせない重要ファクターのすべてに 加工から組立、検査、包装までのあらゆる生産工程において、 薬液 徹底したクリーン化を導入する 製品はもちろんのこと、部品レベルまでの完全一貫品質管理体制を構築。 残渣 品質の重要ポイントである清浄度については、 というCKD独自の思想を基本コンセプトに、 薬液残渣、有機炭素量、特定油分などの不純物別の量的規定の社内基準を設けて、 製品の万全な清浄度管理を行っています。 ゆるぎないクオリティを確立しています。 特定 有機 油分 炭素量 プロセスガス用バルブ 洗浄度管理 高真空用バルブの生産工程例 クリーンルーム 製品開発 二次包装 部品加工 部品検査 精密洗浄 組立 製品検査 一次包装 （梱包） 設計 評価 工法 製造 製品 部品 レベル管理 レベル管理 Clean Clean Clean Clean

ドライファインシステムの使用例 ●半導体製造ラインのドライ工程 ガス供給ライン 集積化ガス供給システム IAGD4／IAGD5 ゲージ保護用 AVB 真空計 MVB パージガスライン プロセスガス用機器 プロセスチャンバ 1 OGD PGM AGD 真空引きライン MGD ロードロックチャンバ AVB AVB トランスファーチャンバ 真空引きライン ロードロックチャンバ 高真空用 AVB P 真空ポンプ エアオペレイトバルブ P 真空ポンプ 支燃性ガス スクラバーへ プロセスチャンバ 2 AVB 可燃性ガス エア供給ライン クリーンエア供給システム スクラバーへ AVB 駆動用クリーンエア供給 RC2000 FCS 2F クリーンルーム Clean room 2F PGM レギュレータボックス 1F IAGD4 1F ユーティリティエリア Utility area PT バルブマニホールドボックス IAGD4 巻頭 3

ドライファインシステムの使用例 INDEX ●半導体製造ラインのドライ工程 掲載ページ 機器選定ガイド 巻頭5 使用上の注意事項（共通） 巻頭9 輸出に際して 巻頭10 RoHS 対応について 巻頭11 プロセスガス用機器 ガス供給ライン 集積化ガス供給システム IAGD4／IAGD5 エアオペレイトバルブ LGD11 2・LGD21 ゲージ保護用 LGDシリーズ 2 4 マニュアルバルブ LGD1 20 8 エアオペレイトバルブ AGD01 2R 14 エアオペレイトバルブ AGD11 2R・AGD21 2R 16 AVB 真空計 AGD/OGD/MGD-R エアオペレイトバルブ バリエーション対応品・オプション品 18 MVB シリーズ マニュアルバルブ OGD1 20R 32 パージガスライン プロセスガス用機器 プロセスチャンバ 1 マニュアルバルブ MGD1 20R 34 マニュアルバルブ　バリエーション対応品 36 エアオペレイトバルブ AGD01 2R-HD・AGD11 2R-HD 44 OGD PGM AGD 真空引きライン 高耐久タイプ エアオペレイトバルブ AGD11 2R-HDF・AGD21 2R-HDF 46 MGD エアオペレイトバルブ AGD21R-A 48 ロードロックチャンバ AVB バキュームジェネレータ VG 52 AVB その他プロセスガス用 バルブ 流量調整バルブ 54 トランスファーチャンバ 真空引きライン ピストン式チェックバルブ 54 ロードロックチャンバ レギュレータ プロセスガス用レギュレータ PGM 56 高真空用 AVB P 真空ポンプ エアオペレイトバルブ 商品紹介 64 IAGD5 68 集積化ガス供給システム P 真空ポンプ 支燃性ガス IAGD4 75 スクラバーへ IAGD対応高耐久バルブ MAGD 82 プロセスチャンバ 2 AVB 使用上の注意事項 84 可燃性ガス エア供給ライン クリーンエア供給システム スクラバーへ 高真空用機器 AVB AVB※※7 92 駆動用クリーンエア供給 AVB※※7受注生産品 104 RC2000 FCS エアオペレイトバルブ AVB※※3 106 AVB※※3受注生産品 112 AVB932大口径タイプ受注生産品 116 MVB※17 118 マニュアルバルブ MVB※0 120 MVP※0 122 真空圧力制御バルブ IAVB 128 2F クリーンルーム Clean room 2F 使用上の注意事項 135 関連機器 高真空用電磁弁 HVB 148 高真空用電磁弁 PGM 遅延真空電磁弁 HVL 149 レギュレータボックス 1F 3・4ポート弁、3ポート弁2個内蔵形　MN3E・MN4E 150 IAGD4 操作用電磁弁 3ポート弁　3QRA/B 151 1F ユーティリティエリア Utility area 3・5ポート弁　MN4GA/B R 152 クリーンレギュレータ クリーンレギュレータ　RC2000 153 PT 流量センサ 小形流量センサ　ラピフロー®　FSM3 154 エアファイバ 155 補助機器 インライン形クリーンフィルタ　FCS 157 窒素ガス精製ユニット　NS 158 バルブマニホールドボックス IAGD4 気体発生装置 インライン酸素濃度計　PNA 159 キャリアブルエアサプライユニット　ASU-S 159 巻頭 4

ドライファインシステム機器 機種選定ガイド《プロセスガス用機器》 ※高真空用機器選定ガイドは、巻頭7〜8ページをご覧ください。 ●プロセスガス用バルブ 機種形番 使用流体 接続方式 Cv値 記　載 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.60.70.80.91.0 ページ LGD11 2･LGD21 1/4″ JXRオス継手相当 2 0.3 1/4″ JXRメス継手相当 ・ メタルダイアフラム構造 1/4″ 二重くい込み継手 1/2″ JXRオス継手相当 0.7 P.4 1/2″ JXRメス継手相当 0.7 3/8″ 二重くい込み継手 0.65 1/2″ 二重くい込み継手 0.7 AGD01 2R ・ メタルダイアフラム構造 ・ □21のコンパクト形 1/4″ JXRオス継手 0.1 P.14 1/4″ JXRメス継手 AGD11 2R･AGD21 2R 1/4″ JXRオス継手 ●不活性ガス 0.3 ・ メタルダイアフラム構造 1/4″ JXRメス継手 ●プロセスガス ・ スタンダードサイズ 1/4″ 二重くい込み継手 P.16 3/8″ JXRオス継手 0.65 3/8″ JXRメス継手 エ 3/8″ 二重くい込み継手 ア オその他バリエーション対応品 0.1 ペ レ 詳細は掲載ページを 0.3 イ ご覧ください。 P.18 ト 0.65 バ ル ※その他継手についてはお問い合わせください。 ブAGD01 2R-HD 1/4″ JXRオス継手 0.1 AGD11 2R-HD 1/4″ JXRメス継手 ・ 高耐久 P.44 1/4″ JXRオス継手 0.3 1/4″ JXRメス継手 1/4″ 二重くい込み継手 AGD11 2R-HDF 1/4″ JXRオス継手 0.3 AGD21 2R-HDF 1/4″ JXRメス継手 1/4″ 二重くい込み継手 ・ 高温 P.46 ・ 高耐久 3/8″ JXRオス継手 0.65 3/8″ JXRメス継手 3/8″ 二重くい込み継手 AGD21R-A ・ 高温 ・ 高耐久 3/8″ JXRオス継手 0.4※ 3/8″ JXRメス継手 P.48 3/8″ 二重くい込み継手 ※200℃、負圧下 巻頭 5

機種形番 使用流体 接続方式 Cv値 記　載 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.60.70.80.91.0 ページ LGD1 4 20 1/ ″ JXRオス継手相当 0.3 1/4″ JXRメス継手相当 ・ メタルダイアフラム構造 1/4″ 二重くい込み継手 ・ ハンドル開閉 （ 180°回転） 1/2″ JXRオス継手相当 P.8 1/2″ JXRメス継手相当 0.7 3/8″ 二重くい込み継手 1/2″ 二重くい込み継手 OGD1 20R 1/4″ JXRオス継手 0.3 1/4″ JXRメス継手 マ・ メタルダイアフラム構造 1/4″ 二重くい込み継手 ニ・ ハンドル開閉 ュ （ 90°スナップアクション） 3/8″ JXRオス継手 P.32 0.65 ア 3/8″ JXRメス継手 ル 3/8″ 二重くい込み継手 ●不活性ガス バ ルMGD1 20R ●プロセスガス 1/4″ JXRオス継手 0.3 1/4″ JXRメス継手 ブ・ メタルダイアフラム構造 1/4″ 二重くい込み継手 ・ ハンドル開閉（270°回転） P.34 3/8″ JXRオス継手 0.65 3/8″ JXRメス継手 3/8″ 二重くい込み継手 その他バリエーション対応品 0.3 詳細は掲載ページを P.36 ご覧ください。 0.65 機種形番 使用流体 接続方式 供給流体圧力 到達真空度 記　載 （MPa） （kPa（abs）） ページ そ の 他VG プ・ プロセスガス排気用 ロ ●不活性ガス IN1/4″ JXRオス継手 VAC.1/4″ JXRメス継手 13.3以下 セ バキュームジェネレータ 0.4～0.6 ●プロセスガス P.52 ス VENT3/8″ JXRオス継手 ガ ス 用 バ ル・ 流量調整バルブ ブ・ ピストン式チェックバルブ P.54 機種形番 使用流体 接続方式 最高使用圧力 設定圧力範囲 記　載 （MPa） （MPa） ページ ※ レPGM 1/4″ JXRオス継手 －0.07～0.21MPa（圧力レンジ30V） ギ 1/4″ JXRメス継手 0～0.21MPa（圧力レンジ30） ュ ●不活性ガス レ 1/4″ JXRオス→メス継手 1.0 0～0.35MPa（圧力レンジ50） ●プロセスガス P.56 ー 1/4″ JXRメス→オス継手 0～0.42MPa（圧力レンジ60） タ 各種集積インターフェース対応 0～0.7MPa（圧力レンジ100） ※（　）内の圧力レンジはpsiです。 ●集積化ガス供給システム 機種形番 シール接続 方式 サイズ Cv値 記　載 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.60.70.80.91.0 ページ 集 IAGD5 0.1 積 化 ●Wシール 1.125″ 0.26 P.68 ガ ス 供 給 IAGD4 シ 0.1 ス テ ●Wシール 1.5″ 0.26 P.75 ム 巻頭 6

ドライファインシステム機器 機種選定ガイド《高真空用機器》 ※プロセスガス用機器選定ガイドは、巻頭5〜6ページをご覧ください。 ●高真空用バルブ 機種形番 使用流体 接続サイズ オリフィス：φmm 電圧 記　載 0 5 10 20 30 40 50 60 7080100150 ページ AVB※※7 φ17 真空用クランプ継手 NW16 φ24 ・ 成形ベローズ方式 真空用クランプ継手 NW25 φ39 ・ アルミボディタイプ 真空用クランプ継手 NW40 エ φ48 ●真空 真空用クランプ継手 NW50 ア φ68 P.92 ●不活性ガス 真空用クランプ継手 NW63 オ φ80 真空用クランプ継手 NW80 ペ φ100 レ 真空用クランプ継手 NW100 φ150 イ 真空用クランプ継手 NW160 ト 1/4〞チューブ バAVB※※3 φ5 φ24 ル・ 成形ベローズ方式 真空用クランプ継手 NW25 ブ・ ステンレスボディタイプ φ40 ●真空 真空用クランプ継手 NW40 φ50 ●不活性ガス P.106 真空用クランプ継手 NW50 φ80 真空用クランプ継手 NW80 φ100 真空用クランプ継手 NW100 MVB※17 φ17 真空用クランプ継手 NW16 ・ 成形ベローズ方式 φ24 ・ アルミボディタイプ ●真空 真空用クランプ継手 NW25 φ39 ●不活性ガス P.118 真空用クランプ継手 NW40 φ48 真空用クランプ継手 NW50 マ ニMVB※0 ュ・ 成形ベローズ方式 ア・ ステンレスボディタイプ ル P.120 バ ル φ24 真空用クランプ継手 NW25 ブ ●真空 φ40 ●不活性ガス 真空用クランプ継手 NW40 MVP※0 φ50 真空用クランプ継手 NW50 ・ ダブルOリング軸シール方式 ・ ステンレスボディタイプ P.122 ［2023年6月生産終了］ 真 空 IAVB φ17 真空用クランプ継手 NW16 圧・ 真空圧力制御システム φ24 力・ 成形ベローズ方式 ●真空 真空用クランプ継手 NW25 制・ アルミボディタイプ φ43 ●不活性ガス P.128 御 真空用クランプ継手 NW40 バ φ48 ル 真空用クランプ継手 NW50 ブ 巻頭 7

巻頭 8

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用（屋外仕様品は除 きます）、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 ❶機械 ･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 （DANGER）発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること （CAUTION）が想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 保証について 1 保証期間 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 巻頭 9

巻頭 10

CKD の RoHS 指令への対応について 2006年7月1日よりRoHS指令への対応を実施しております。（対象機種は別途ご相談ください。） RoHS指令：EU発動の電気電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限。 巻頭 11

プロセスガス機器 CONTENTS LGDシリーズ 3 AGD・OGD・MGD-Rシリーズ 11 高耐久タイプAGDシリーズ 43 その他プロセスガス用バルブ 51 レギュレータPGMシリーズ 55 集積化ガス供給システムIAGDシリーズ 63 1

L G D シ リ ー ズ MA GG ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ 高 耐 久 タ イ プ プ ロ セガそ ススの ガ用他 スバプ 用ルロ 機ブセス 器 レ ギ ュ レ ー タ 供 給集 シ積 ス化 テガ ムス 注使 意用 事上 項の エ ア バオ ルペ ブレ イ ト マ バニ ルュ 高ブア 真 ル 空 用 機 真 器バ空 ル圧 ブ力制 御 注使 意用 事上 項の 関 連 機 器 2

LGD L G D シ リ ー ズ プロセスガス用バルブ MA GG ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ 概要 高 メタルダイアフラムを採用した 耐 久 プロセスガス用バルブの新バリ タ イ エーションです。 プ 鍛造ボディを採用した汎用タイ プ ガそロ プとしてリリース致しました。 スのセ 用他ス バプガ ルロス特長 ブセ用ス機 口径：1/4″〜1/2″ 器 レ 継手：二重くい込み継手 ギ 　　　JXR相当品 ュ レ ー タ 供 給集 シ積 ス化 テガC O N T E N T S ムス ●エアオペレイトバルブLGD112・LGD212 4 注使 ●マニュアルバルブ　　LGD1 20 8 意用 事上 項の エ ア バオ ルペ ブレ イ ト マ バニ ルュ ブア ル高真 空 用 真機 バ空器 ル圧 ブ力制 御 注使 意用 事上 項の 関 連 機 器 3

プロセスガス用エアオペレイトバルブ LGD11 2 Series L G LGD21 D 2 シ Series リ ー ●メタルダイアフラム ズ MA GG ︲DDR/ シO 仕様 リG ーD 項　　目 LGD1※ LGD2※ ズ/ 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 高 使用圧力 Pa(abs)-MPa(G) 1.3×10-6～0.99 耐 久 流体温度 ℃ 5～80 タ 周囲温度 ℃ 5～80 イ プ 弁座漏れ Pa･m3/sec.He 1.0×10-10以下 プ 外部漏れ Pa･m3/sec.He 1.0×10-10以下 ロ セガそ ススの 3/8″：　0.65 Cv値 （23℃　加圧下） 0.3 ガ用他 1/2″：　0.7 プ スバ 1/2″JXRオス継手相当（3/8″互換） ルロ用ブセ 1/4″JXRオス継手相当 1/2″JXRメス継手相当（3/8″互換） 機 ス 接続方式　注2 1/4″JXRメス継手相当 器 3/8″ニ重くい込み継手 1/4″ニ重くい込み継手 レ 1/2″ニ重くい込み継手 ギ ュ NC形（ノーマルクローズ） 作動方式 レ NO形（ノーマルオープン） ー タ NC：0.4～0.6 操作圧力 MPa NO：0.4～0.5 供 操作ポート M5 給集 シ積 質量　注1 kg 0.23 0.57 ス化 テガ 注1：質量はJXRオス継手相当の時の値です。 注2：JXR継手はVCR継手と接続可能です。 ムス 形番表示方法 注使 意用 LGD1 1 4RM LGD2 1 8RM 事上 項の 記号 内　容 記号 内　容 イ 作動方式 イ 作動方式 エ イ 作動方式 イ ア 1 NC形（ノーマルクローズ） 作動方式 1 NC形（ノーマルクローズ） バオ ルペ 2 NO形（ノーマルオープン） 2 NO形（ノーマルオープン） ブレ イ ロ 接続方式 ロ 接続方式 ト ロ 接続方式 ロ 接続方式 4RM 1/4″オス継手（JXR相当） 8RM 1/2″オス継手（JXR相当） 4R 1/4″メス継手（JXR相当） 8R 1/2″メス継手（JXR相当） マ バニ 4S 1/4″二重くい込み継手 6S 3/8″二重くい込み継手 ルュ 8S 1/2″二重くい込み継手 高ブア 真 ル 空 内部構造および部品リスト 用 機 真 器バ空 ル圧 ブ力制 御 注使 意用 事上 1 項の 接ガス部材質 品番 部品名 材　質 IN OUT 1 ダイアフラム Ni-Co合金 関 連 2 弁シート PCTFE 機 2 3 ボディ SUS316L 器 3 4

LGD※※ Series 外形寸法図 外形寸法図 L G D LGD1※-4RM LGD1※-4R シ リ ●JXRオス継手相当 ●JXRメス継手相当 ー ズ 操作ポートM5 M φ37 操作ポートM5 A GG φ37 ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ 高 耐 IN OUT IN OUT 久 タ イ プ プ φ28 φ28 ガそロ 57 78 スのセ 用他ス バプガ ルロス ブセ用 φ17 2-M5ねじ深5 ス機 φ17 2-M5ねじ深5 器 レ ギ ュ レ ー 4 4 タ 5 5 ° ° 供 給集 シ積 ス化 テガ ムス 注使 意用 LGD1※-4S LGD2※-8RM 事上 項の ●二重くい込み継手 ●JXRオス継手相当 操作ポートM5 φ48.3 エ 操作ポートM5 ア バオ φ37 ルペ ブレ イ ト マ バニ ルュ IN OUT IN OUT ブア ル高真 空 用 φ28 真機 φ38 バ空39.1 器 77 ル圧 （67） ブ力制 御 φ28 2-M5ねじ深6 φ17 2-M5ねじ深5 注使 意用 事上 項の 45° 45° 関 連 機 器 5 11 11 （64） （64） 16 （87） 11 （64）

LGD※※ Series ●LGD2※-6S L 外形寸法図 G D シ LGD2※-8R LGD2※-6S リ ー ●JXRメス継手相当 ●二重くい込み継手 ズ 操作ポートM5 操作ポートM5 MA GG φ48.3 φ48.3 ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ 高 耐 久 タ IN OUT IN OUT イ プ プ ロ セガそ ススの ガ用他 φ38 φ38 スバプ 48.9 用ルロ 104.6 機ブセ （82.5） ス 器 レ φ28 2-M5ねじ深6 φ28 ギ 2-M5ねじ深6 ュ レ ー タ 供 給集 45° 45° シ積 ス化 テガ ムス 注使 意用 事上 LGD2※-8S 項の ●二重くい込み継手 操作ポートM5 エ ア φ48.3 バオ ルペ ブレ イ ト マ バニ ルュ IN OUT 高ブア 真 ル 空 用 機 真 器バ空 φ38 ル圧 44.6 ブ力制 （90.2） 御 注使 意用 φ28 2-M5ねじ深6 事上 項の 関 連 機 45° 器 6 16 （87） 16 （87） 16 （87）

MEMO L G D シ リ ー ズ MA GG ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ 高 耐 久 タ イ プ プ ガそロ スのセ 用他ス バプガ ルロス ブセ用ス機 器 レ ギ ュ レ ー タ 供 給集 シ積 ス化 テガ ムス 注使 意用 事上 項の エ ア バオ ルペ ブレ イ ト マ バニ ルュ ブア ル高真 空 用 真機 バ空器 ル圧 ブ力制 御 注使 意用 事上 項の 関 連 機 器 7

プロセスガス用マニュアルバルブ LGD1 20 Series L G ●メタルダイアフラム D シ ●180°回転方式 リ ー ズ MA GG ︲DDR/ シO 仕様 リG ーD 項　　目 LGD10 LGD20 ズ/ 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 高 使用圧力 Pa(abs)-MPa(G) 1.3×10-6　～0.99 耐 久 流体温度 ℃ 5～80 タ イ 周囲温度 ℃ 5～60 プ 弁座漏れ Pa・m3/sec.He 1.0×10-10　以下 プ 外部漏れ Pa・m3/sec.He 1.0×10-10ロ 　以下 ガそセスの Cv値 （23℃、加圧下） 0.3 0.7 ス用他ガバプ 1/2″JXRオス継手相当（3/8”互換） ス 1/4″JXRオス継手相当 ルロ用ブセ 1/2″JXRメス継手相当（3/8”互換） 接続方式　注2 1/4″JXRメス継手相当 機 ス 3/8″二重くい込み継手 器 1/4″二重くい込み継手 1/2″ニ重くい込み継手 レ ギ 質量　注1 kg 0.26 0.57 ュ レ 注1：質量はJXRオス継手相当の時の値です。 ー 注2：JXR継手はVCR継手と接続可能です。 タ 供 給集 シ積 形番表示方法 ス化 テガ ムス LGD10 - 4RM LGD20 - 8RM 記号 内　容 記号 内　容 注使 イ 接続方式 イ 接続方式 意用 イ 接続方式 イ 接続方式 事上 4RM 1/4″オス継手（JXR相当） 8RM 1/2″オス継手（JXR相当） 項の 4R 1/4″メス継手（JXR相当） 8R 1/2″メス継手（JXR相当） 4S 1/4″二重くい込み継手 6S 3/8″二重くい込み継手 エ 8S 1/2″二重くい込み継手 ア バオ ルペ ブレ イ ト マ バニ 内部構造および部品リスト ルュ 高ブア 真 ル 空 用 機 真 器バ空 ル圧 ブ力制 御 注使 1 意用 事上 接ガス部材質 項の 品番 部品名 材　質 IN OUT 1 ダイアフラム Ni-Co合金 2 弁シート PCTFE 関 2 3 ボディ SUS316L 連 機 器 3 8

LGD※0 Series 外形寸法図 外形寸法図 L G D LGD10-4RM LGD10-4R シ リ ●JXRオス継手相当 ●JXRメス継手相当 ー ズ MA GG ︲DDR/ シO リG ーD ズ/ φ45 高 φ45 耐 久 タ イ プ プ ガそロ スのセ IN OUT IN OUT 用他ス バプガ ルロス ブセ用ス機 φ28 φ28 器 57 78 レ ギ ュ φ17 2-M5ねじ深5 レ ー φ17 2-M5ねじ深5 タ 供 給集 4 シ積5° ス化 テガ 45 ムス° 注使 LGD10-4S LGD20-8RM 意用 事上 ●二重くい込み継手 ●JXRオス継手相当 項の エ ア バオ ルペ ブレ イ ト φ45 φ45 マ バニ ルュ ブア ル高真 空 用 真 IN OUT 機 IN OUT バ空器 ル圧 ブ力制 御 φ28 39.1 φ38 注使 （67） 77 意用 事上 項の 2-M5ねじ深5 2-M5ねじ深6 φ17 φ28 関 連 機 器 45° 45° 9 11 11 65 65 16 79 11 65