除去性能 99％以上！ シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」

New Products 新商品 シロキサン・オゾンリムーバ SFXシリーズ SILOXANE / OZONE REMOVER SFX SERIES 目に見えないシロキサン・オゾン から装置を守る 除去性能 99% 以上 大流量タイプ CC-1605 1

シロキサン・ オゾンリムーバSFX シリーズ 2種類のサイズ展開 省スペース こんなことでお困りではありませんか？ 使用箇所により標準と大流量の2種類から選択 当社調質機器とのモジュール接続で省スペース化。 可能。 シロキサンによる不具合 オゾンによる不具合 電気接点やモータ、 ガス化による光学系 ゴムの劣化による機器の作動不良 センサ等の導通不良 製品透明箇所の曇り SiO2 シリカ（絶縁体） 標準 SFX40 大流量 SFX90 パッキンのクラック 用途事例 対象除去物質 使用流体 ライン・システムのクリーンエア化 シロキサンもしくはオゾンのどちらかを1機種で 加圧状態のまま圧縮空気、窒素ガスで使用可能。 電子部品・光学部品製造ライン 半導体製造システム 除去。 対象除去物質 対象除去物質 使用流体 使用流体 シロキ サン オゾン 圧縮 窒素 空気 ガス 1機種 1種類を除去 除去率 オリジナル活性炭フィルタで99％以上の高い除去性能を実現。 除去性能 99 二次電池製造システム メインライン % 以上 シロキサン吸着 Si-O ※イメージです。 体系表 オゾン分解 最大処理流量（L/min（ANR)) 接続口径（Rc、NPT、G）※O3 O O2 形番 O O O シロキサン オゾン 1/4 3/8 1/2 2 O O O O O O O O SFX40 700 560 O O O O O O O O O O O O SFX90 6300 5000 O O O O O CO2 O O O O O O C O ※イメージです。 ※SFX90はNPTねじのみになります。

シロキサン・オゾンリムーバ SFX Series ●接続口径：¹⁄₄～2 形番表示方法 標　準 SFX40 10 X1 BW 機種形番 2 配管ねじ 4 ブラケット 種類 （添付） 1 接続口径 3 流れ方向 1 接続口径 2 配管ねじ種類 3 流れ方向 4 ブラケット（添付） 記号 内容 記号 内容 記号 内容 記号 内容 8 1/4 無記号 Rcねじ 無記号 標準流れ（左→右） 無記号 添付なし 10 3/8 N NPTねじ X1 逆流れ（右→左） BW C形ブラケット 15 1/2 G Gねじ 大流量 SFX90 50 機種形番 接続口径Rc2 ●交換用エレメント単品形番 形式名 エレメント形番 SFX40 SFX40-ELEMENT SFX90 SFX90-ELEMENT 注：交換直前に包装袋から取り出してください。 仕様 項　目 SFX40 SFX90 使用流体　注1 圧縮空気 清浄等級1：6：1（ISO8573-1：2010）、窒素ガス 最高使用圧力 MPa 1.0 耐圧力 MPa 1.5 周囲温度・流体温度 ℃ 5～50 対象除去物質 シロキサン オゾン シロキサン オゾン 除去率　注2 ％ 99以上 99以上　注4 99以上 99以上　注4 濃度範囲 0.005～1500μg/L 0.5ppm以下 0.005～1500μg/L 0.5ppm以下 最大処理流量　注3 L/min(ANR) 700 560 6300 5000 質量 kg 0.8 5.3 エレメント交換 目安1年　注5 注1： 一次側にドライヤ、フィルタ、オイルミストフィルタを取り付けパーティクル・水分・油分を除去してください。 注2： 仕様は当社評価方法による性能です。シロキサン仕様はＤ５（デカメチルシクロペンタシロキサン）の性能です。 注3： 最大処理流量以内で使用してください。この値は一次圧力0.7MPa時です。 注4： オゾン濃度0.5ppmの時の性能です。 注5： 交換時期は保証値ではありません。製品の使用環境、使用状況等により交換時期より短くなる場合があります。 注6：シロキサンとオゾン同時に除去はできません。 注7：使用直前に包装袋から取り出してください。 1

SFX Series 流量特性 流量特性 ● シロキサンリムーバSFX40 ● オゾンリムーバSFX40 下記結果は保証値ではありません。 下記結果は保証値ではありません。 0.1MPa 0.03 0.03 0.1MPa 圧 0.02 0.3MPa 圧 0.02 力 力 降 0.5MPa 降 下 下 0.3MPa 0.7MPa （MPa）0.01 （MPa）0.01 0.5MPa 0.7MPa 0 0 0 100 200 300 400 500 600 700 0 100 200 300 400 500 流量 L/min（ANR） 流量 L/min（ANR） ● シロキサンリムーバSFX90 ● オゾンリムーバSFX90 下記結果は保証値ではありません。 下記結果は保証値ではありません。 0.03 0.03 0.3MPa 0.3MPa 0.5MPa 圧 0.02 圧 0.02 0.7MPa 力 力 0.5MPa 降 0.1MPa 降 0.1MPa 下 下 0.7MPa （MPa）0.01 （MPa）0.01 0 0 0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 0 1000 2000 3000 4000 5000 流量 L/min（ANR） 流量 L/min（ANR） 2

SFX Series 外形寸法図 ● SFX40 80 Ｃ形ブラケット 84 2- Rc1/4（8） （オプション） Rc3/8（10） 55 55 Rc1/2（15） 14 t2.3 IN OUT ● SFX90 173 2-接続口径 3 168 22.5 79 7 (15) 635 86.5 (11) 192.7 45 1420 以上(エレメント交換スペース) 53.5

SFX Series 内部構造図・材質 内部構造図・材質 ● SFX40 1 2 3 4 品番 名称 材質 1 ボディ アルミ合金ダイカスト 2 Ｏリング フッ素ゴム 3 エレメント 活性炭、ABS、PET他 4 ケース アルミ合金 ● SFX90 1 6 4 3 2 5 品番 名称 材質 1 カバー SUS304 2 ボウル SUS304 3 バンド SUS304 4 Ｏリング フッ素ゴム 5 エレメント 活性炭、ABS、PET他 7 6 Ｏリング フッ素ゴム 7 プラグ SUS304 ご使用の前に、CKD機器商品サイト（https：//www.ckd.co.jp/）の「安全上の注意」 「取扱説明書」を必ずお読みください。 ■ 2ppm以上の高濃度オゾンがリムーバを通過しないようにしてください。 長時間使用するともろくなったり、発熱することがあります。 ■ 腐食性ガス(硫化水素、亜硫酸ガス、塩化水素、フッ素等の強酸性ガス)や強アルカリ性ガス(アミン、アンモニア、 苛性ソーダ等)を含んだ空気を流すことは避けてください。 ■ 製品に急激な圧力変化を与えないでください。 本製品の前後にバルブ等を設置し加圧および圧力を抜くときは、バルブをゆっくり操作してください。 バルブの急激な操作はエレメントの破損につながります。（SFX90の場合） ■ 矢印で流れの方向を確認したうえで、正しく接続してください。 逆圧が加わるとエレメントが破損する場合があります。（SFX90の場合） 4

(器)和中ﾓ非該(25.07)H 関連商品 オゾン対応シリーズ ■ ゴム部品材質にフッ素ゴム又は、水素化 ニトリルゴム等を採用。 Click! 詳細については CKD 機器商品サイト（https：//www.ckd.co.jp/kiki/jp/）→「形番」をご覧ください。 改訂内容 ・サイズ追加 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 東京オフィス 〒105-0013 東京都港区浜松町 1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） TEL(06)6396-9630 FAX(06)6396-9631 ＜Website＞ https://www.ckd.co.jp/ ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. 0120-771060 お客様技術相談窓口 ○ 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 C CKD Corporation 2025 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2022052.51.07.AGCZCZ