ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」

New Products 新商品 ファインレベルスイッチ KMLシリーズ FINE LEVEL SWITCH KML SERIES 安全な運用と簡単な検出水位設定 エア式液面センサ KML50シリーズ リニューアル CC-1620

薬液槽の液面検出に適したエア方式 ファインレベルスイッチ 薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、 KMLシリーズ 半導体製造、化学プロセスに最適 腐食・防爆対策が容易 接液部は検出チューブのみで、本体は薬液 から離して設置できます。 設置コストを削減 蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、 腐食性）の影響を受けないため、対策費用が 抑えらえれ、設置も簡単です。 コンパクト 槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・ 搬出の障害になりません。 メンテナンスフリー 常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。 使用例（ウェハ洗浄装置） 各レベルスイッチ チューブ先端位置 検出目的 上限 L5 洗浄液過供給（異常） 外槽 定量 L4 ウェハ搬入完了 下限 L3 洗浄液供給完了 上限 L2 ウェハ搬出完了 洗浄液排出完了 洗浄液供給完了 ウェハ搬入完了 内槽 下限 L1 洗浄液排出完了 L L L L L L L L L L L L L L L 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 L1 L2 L3 L4 L5 ウェハ搬出完了 ウェハ洗浄中 L L L L L L L L L L 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 洗浄液過供給（異常） L L L L L 1 2 3 4 5

ファインレベルスイッチKMLシリーズ KML502 MKML2（マニホールド） ●供給ポートは“上下左右”方向自在、 ●100万回動作保証 プラグ施工箇所を減らし（７→3箇所）作業性改善 ●ダイアフラム耐久性向上 ●ブロック連結構造の採用により連数変更が可能に ●25％軽量化 ●RoHS2対応 ※旧製品KML50シリーズと仕様、性能は現行品同等。  単品タイプの取付寸法は完全互換となります。 KML703 ●目視できない槽内の水深が数値でわかる ●環境圧力変動影響をキャンセル（差圧方式：Dタイプ） ●チューブ1本で最大8点の検出が可能 ●遠隔操作可能で通信機能（RS485）も内蔵 ●省スペースと堅牢性を考慮し、 表示器とセンサ本体を分離 表示器 センサ本体 ラインアップ 機能 種類 閾 ページ 出力点数 繰返し精度 ノズル 値 検出圧力 設定方法 表示 出力方式 付加機能 KML502 1点 ±1mm 液体表面 出荷時 設定済み なし 有接点出力 〜5連 マニホールド 1 KML60 4点 ±10mm 液槽最深部 トリマ 任意調整 LEDランプ 無接点 MKML502との NPN出力 マニホールド化 5 KML703 8点 表示部 無接点 アラーム1点 ±3mm 液槽最深部 ボタン操作・ 7セグLED NPN出力 環境圧力補正 9 RS485通信 RS485通信 ※Dタイプ

ファインレベルスイッチ KML502 Series 設定不要で導入が容易な液面検出器 形番表示方法 単品 KML502 1 D A M 機種形番 2 スイッチの種類 1 感知区分 3 オプション （スイッチング水位） 1 感知区分（スイッチング水位） 2 スイッチの種類 記　号 内　容 記　号 内　容 1 8～12mm COM 2 1～3mm A マイクロスイッチ(C接点) NO 注：使用圧力20kPa(周囲温度24±2℃)における測定対象物水の時の値です。 NC 3 オプション COM 記　号 内　容 B リードスイッチ（A接点) NO 無記号 単品 -M マニホールドプレート付き単品 注：マニホールドの増連には下記のジョイナセットが必要になります。 COM C リードスイッチ（B接点) NC マニホールド MKML2 1 D A 5 機種形番 2 スイッチの種類 1 感知区分 3 マニホールド連数 （スイッチング水位） 1 感知区分（スイッチング水位） 2 スイッチの種類 記　号 内　容 記　号 内　容 1 8～12mm A マイクロスイッチ(C接点) 2 1～3mm B リードスイッチ（A接点) 注：使用圧力20kPa(周囲温度24±2℃)における測定対象物水の時の値です。 C リードスイッチ（B接点) 3 マニホールド連数 記　号 内　容 1 1連 2 2連 3 3連 4 4連 5 5連 ジョイナセット KML502-JC-SET 1

KML502 Series 仕様 仕様 項目 KML502-1D-※ KML502-2D-※ 使用流体 圧縮空気・窒素ガス（注1） 供給ガス 使用圧力 kPa 15～35 10～35 使用温度 ℃ 5～60 周囲温度 ℃ 5～60 耐圧力 kPa P.Sポート 100 P.Iポート 10（検出流体水の場合1000mm） 6（検出流体水の場合600mm） 接点容量 Aタイプ 3A　125/250V　AC　抵抗負荷(マイクロスイッチ) Bタイプ、Cタイプ 0.25A　100V　DC　抵抗負荷(リードスイッチ) スイッチング水位 mm 8～12（注2） 1～3（注2） 応差 mm 2（注2） 繰り返し精度 mm ±1（注2） 応答時間 ms 200以下（使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径φ4長さ5m時) 検出チューブ内径 φmm 4 チューブ長さ m 5以内 消費流量 ㎤/min(ANR) 750以下(使用圧力20kPa時) 検出流量 ㎤/min(ANR) 45±10（使用圧力20kPa時） 質量 kg 0.14 注1：ろ過精度0.3μm以下のフィルター処理を行ったものをご使用ください。 注2：上記仕様は使用圧力20kPa（周囲温度24±2℃）の時の値です。 配管例 空圧源 エアドライア エアフィルタ 10～35kPa 100kPa 圧力計 圧力計 ● ● 低圧用 低圧用 レギュレータ レギュレータ オイルミスト フィルタ MKML2-※D-A-5 検出ポイント 2

KML502 Series 外形寸法図および主要部品材質 KML502-※D-A （68） COM NO 1 NC 3 4 2 EXHポート(排気ポート) 内径4mmチューブ用継手 P.Iポート(検出ポート) 内径4mmチューブ用継手 P.Sポート(供給ポート) 20±0.3 内径4mmチューブ用継手 4－M3深10 35 品番 部品名称 材質 1 スイッチ ー 4－M3深10 2 ボディ PPS 27±0.3 4 3 プレート PPS 47 4 継手 ステンレス鋼 56 ー ダイアフラム FKM,FFKM ハウジング、端子（添付品） 5 6 品番 部品名称 材質 5 ハウジング ナイロン66 6 端子 黄銅,スズめっき 3 （74） 30 20 10 27±0.3 15 20±0.3 50 72

KML502 Series 外形寸法図 外形寸法図 MKML2-※D-A-5（マニホールド） P.Sポート(供給ポート) 4-Rc1/8 12 D COM 排気口 NO 2-φ4.5 NC 9 38 36 P.Iポート(検出ポート) 18 Rc1/8 A 53 B (C) サブプレート連数 A B C D 1 ー 66 76 52 2 36 102 112 88 3 72 138 148 124 4 108 174 184 160 5 144 210 220 196 4 20 9 25 50 10

ファインレベルスイッチ KML60 Series 1本の検出チューブにて、4点の液面検出が可能 形番表示方法 単品 KML60 4 R 0 機種形番 出力点数： 2 取付 4点設定型 1 設定トリマー 動作表示灯方向 1 設定トリマー動作表示灯方向 2 取付 記　号 内　容 記　号 内　容 無記号 P.Iポート側 無記号 単品 R P.Iポート背面側 -0 マニホールド用単品 マニホールド MXKML2 A 3 X12 R 機種形番 2 連数 4 設定トリマー動作表示灯方向 1 混合搭載する 3 マニホールドスイッチ配列 KML502のスイッチ種類 1 混合搭載するKML502のスイッチ種類 2 連数 記　号 内　容 記　号 内　容 0 KML502の混合搭載なし 1 1連 A マイクロスイッチ（C接点） 2 2連 B リードスイッチ（A接点） 3 3連 C リードスイッチ（B接点） 4 4連 5 5連 3 マニホールドスイッチ配列　注1、注2、注3 4 設定トリマー動作表示灯方向 記　号 内　容 記　号 内　容 X KML60-4 無記号 P.Iポート側 1 KML502-1D-※（※＝ 1 ） -R P.Iポート背面側 2 KML502-2D-※（※＝1 ） 注1：マ ニホールド上のスイッチ配列を、X・1・2の英数字の配列にて 指定ください。 注2：マニホールド正面（P.Iポート側）左からの配列を列記して指定く ださい。 注3：2 項にて指定したサブプレート連数と同じ桁数で指定ください。 〈形番表示例〉 MXKML2-A3-X12-R 機種：MXKML2 1 混合搭載するKML502のスイッチ種類：Aタイプ 2連数：3連 3マニホールドスイッチ配列：正面左から KML60-4R、KML502-1D-A、KML502-2D-Aの順に配列 4設定トリマー動作表示灯方向：P.Iポート背面側 5

KML60 Series 仕様 仕様 項　目 KML60-4 使用流体 圧縮空気・窒素ガス（注1） 10～30（設定水位10～500㎜時　検出流体水の場合） 供給ガス 使用圧力 kPa 15～30（設定水位10～1000㎜時　検出流体水の場合） 流体温度 ℃ 5～50 周囲温度 ℃ 5～50 P.Sポート 100 耐圧力 kPa P.Iポート 20（検出流体が水の場合2000㎜） スイッチング水位 mm 10～1000（注2） ユーザ任意設定4点 電源電圧 DC12～24V　±10％ 電圧リップル率5％以下 消費電流 mA 40以下（DC24V時） スイッチ出力 NPNオープンコレクタ4点 （DC28Ｖ　80ｍＡ　以下） 絶縁抵抗 MΩ 100以上（DC500Ｖ　１分間にて） 耐電圧 商用周波数　AC500V　１分間 繰返し精度 mm ±10（電源投入後10分以降）（注2） 応差 mm 4以下（設定水位10～200㎜H2O）　　　 20以下（設定水位200～1000㎜H2O） （注2） 応答時間 ms 600以下（使用圧力20kPa、検出チューブ内径φ4㎜長さ5m時） 温度特性 mm/℃ ±1.2 検出チューブ内径 φmm 4 検出チューブ長さ m 5以内 消費流量 ㎤/min(ANR) 80以下 質量 kg 0.23 注1：ろ過精度0.3μｍ以下のフィルター処理を行ったものをご使用ください。 注2：上記仕様は、使用圧力20kPa、電源電圧DC24V、周囲温度20℃時の値です。検出流体は水によるものです。 配管例 空圧源 エアドライア エアフィルタ 10～30kPa 100kPa 圧力計 圧力計 ● ● 低圧用 低圧用 レギュレータ レギュレータ オイルミスト フィルタ KML60 KML502 POWER POWER SW.1 SW.1 SW.2 SW.2 MXKML2- SW.3 SW.3 SW.4 SW.4 A5-11XX 検出ポイント 6

KML60 Series 外形寸法図および主要部品材質 KML60-4 ケーブル長さ1m 3 4 1 5 2 6 P.Iポート(検出ポート) 4－M3深10 内径4mmチューブ用ニップル P.Sポート(供給ポート) 内径4mmチューブ用ニップル 20±0.3 27±0.3 4－M3深10 35 47 56 品番 部品名称 材質 1 カバー PVC 2 ベース PVC 3 センサケーブル PVC 4 ブッシュ ナイロン66 5 マニホールド KML60の場合：PVC MXKML2の場合：PPS 6 ニップル SUS304 7 50 20 10 27±0.3 35 15 20±0.3 103

KML60 Series 外形寸法図 外形寸法図 MXKML2-A5-※※XXX（マニホールド） P.Sポート(供給ポート) 4-Rc1/8 12 D トリマー表示部 排気口 2-φ4.5 38 36 9 P.Iポート(検出ポート) Rc1/8 A 18 B 53 (C) サブプレート連数 A B C D 1 ー 66 76 52 2 36 102 112 88 3 72 138 148 124 4 108 174 184 160 5 144 210 220 196 配線接続図 シールド線 赤　電源 DC１２～２４V ケーブル 黒　COM 0V 白　　SW.１ 出力 負荷 茶　　SW.２ 出力 負荷 MAX 黄　　SW.３ 出力 DC２８V 負荷 ８０mA 灰　　SW.４ 出力 負荷 青 緑 何も接続しないでください。 8 20 9 25 50 10

デジタルファインレベルスイッチ KML703 Series 環境圧力変動に強い（差圧方式） 遠隔操作可能で通信機能（RS485）も内蔵 形番表示方法 単品 KML703 G 485 3 機種形番 1 検出方式 2 センサケーブル長さ 通信：RS485通信 1 検出方式 2 センサケーブル長さ 記　号 内　容 記　号 内　容 G ゲージ圧方式 無記号 センサケーブル5m D 差圧方式 -3 センサケーブル3m オプション KML703 B 機種形番 1 オプション 1 オプション 記　号 内　容 B センサ本体用ブラケット P 電源ケーブル（3m） O 出力ケーブル（3m） 9

KML703 Series 仕様 仕様 項　目 KML703-G-485 KML703-D-485 検出方式 ゲージ圧方式 差圧方式 使用流体 圧縮空気・窒素ガス（注1） 供給ガス 使用圧力 kPa 10～30 流体温度 ℃ 5～50 周囲温度 ℃ 5～50 P.Sポート 100 耐圧力 kPa P.Iポート 10（検出流体が水の場合1000mm） スイッチング水位 mm 1～700（注2） ユーザ任意設定8点 環境圧力変動 kPa － ±3以内（検出チューブと環境圧力検出チューブが同圧力環境のこと） 消費流量 Ncm3/min 70以下 140以下 モニタ出力 DC4～20mA（負荷抵抗200～550Ω） 電源電圧 DC24V　±10％　電圧リップル率1％以下 消費電流 mA 130以下（DC24V時） スイッチ出力 NPNオープンコレクタ8点（CH1～CH6a接点、CH7～CH8b接点） （DC30Ｖ　50ｍＡ　以下） 絶縁抵抗 MΩ 100以上（DC500Ｖ　１分間にて） 耐電圧 商用周波数　AC500V　１分間 繰返し精度 mm ±3（電源投入後10分以降）（注2） 応差 mm 1～10設定（注2） 応答時間 ms 600以下（使用圧力20kPa、検出チューブ内径φ4㎜長さ5m時） 温度特性 mm/℃ ±1.2以内（検出流体水） 検出チューブ内径 φmm 4 検出チューブ長さ m 5以内 質量 kg 0.51 注1：ろ過度0.3μｍ以上の性能を有するフィルター処理を行ったものをご使用ください。 注2：上記仕様は、使用圧力20kPa、電源電圧DC24V、周囲温度20℃、検出配管内径φ4×長さ5m、  比重設定値1、ノズル取付高さ0時の値です。検出流体は水によるものです。 配管例 ゲージ圧方式 100kPa 20kPa KML703-G 差圧方式 100kPa 20kPa KML703-D （ゲージ圧方式） （差圧方式） 0.3μm P. I 0.3μm P. I P.S P.S EXH EXH 空圧源 エア エア オイルミスト 空圧源 エア エア オイルミスト ドライアフィルタフィルタ 低圧用 低圧用 ドライア フィルタ フィルタ レギュレータ レギュレータ レギュレータ レギュレータ 環境圧力 検出チューブ 大気開放 検出チューブ 排気ダクト 検出チューブ 液槽 液槽 10

KML703 Series 外形寸法図および主要部品材質 センサ本体部 ・KML703-G-485 ・KML703-D-485 11 11 40 40 P.Iポート 2 P.Iポート 2 （検出ポート） （検出ポート） 2－Ｍ5 3 2－Ｍ5 3 P.Sポート P.Sポート P.I （供給ポート） Ｍ5 P.I （供給ポート） Ｍ5 EXHポート EXHポート P.S （大気ポート） P.S （環境検出ポート） 2－Ｍ5 2－Ｍ5 EXH EXH 1 6 1 6 32±0.3 2－Ｍ3深3.5 32±0.3 2－Ｍ3深3.5 ニップル、プラグ、ガスケット（添付品） P.IポートおよびEXHポートは本製品の裏表2箇所あります、使用しないポートは添付プラグを漏れ のないように取付けてください。 M5 10.5 ※ゲージ圧方式ではEXHポートを開放の状態のままとし、プラグは取付けないでください。 4 8 ゲージ圧方式 差圧方式 5 M5 3 P.I P.I P.I P.I P.I P.I P.I P.I 6 P.S P.S P.S P.S 0.8 EXH EXH EXH EXH EXH EXH EXH EXH センサ本体用ブラケット（オプション） ・KML703-B 40 32 品番 部品名称 材質 1 ボディ PPS 2 センサケーブル PVC 3 ブッシュ PA 4 ニップル SUS304 2－5.5 3.0 5 プラグ SUS304 28 7 ※ブラケット取付用 6 ガスケット PTFE 　皿小ねじ2個添付 7 ブラケット SUS304 11 48 28 12 45 27 4 φ8 27±0.3 35 4.5 5 90° 5m（3m） 2－φ6.2 2－φ3.2 55 4 48 28 12 27±0.3 35 5m（3m） 55 4

KML703 Series 外形寸法図 外形寸法図および主要部品材質 表示部 4 品番 部品名称 材質図番 1 フロントパネル 2 ケース PBT 3 取付ブラケット SUS304 4 配線指示銘板 5 シリアル銘板 パネル厚 t1～5 48 100 (19) 5 電源ケーブル用コネクタ センサケーブル用コネクタ 2-M4 1 5.5 2 3 出力ケーブル用コネクタ パネル穴寸法 .3以 下 4-R 0 取付ピッチ +0.6 取付ピッチ 25 45+0.1 25 電源ケーブル（オプション） 出力ケーブル（オプション） ・KML703-P ・KML703-O 脱皮7mm 3000 3000 配線接続図 KML703 表示器部 電源用コネクタ 電源ケーブル 電源電圧 橙 1 ＋24V KML703-P ＋ ＋24 灰 2 OV － OV 3 NOT FG USE FG 4 FG 白 出力ケーブル 負荷用電源 茶 1 CH1 KML703-O 負荷 ＋ MAX30V 赤 2 CH2 負荷 － OV 橙 3 CH3 負荷 黄 4 CH4 負荷 緑 5 CH5 負荷 青 6 CH6 負荷 紫 7 CH7 負荷 灰 8 CH8 負荷 白 9 ALARM 負荷 黒 10 COM DC4～20mA 茶 センサモニタリング 11 OUT＋ 200～550Ω Ⅰout 赤 アナログ出力 12 OUT－ 負荷 橙 RS485 13 485＋ ホスト＋ 黄 通信データ 14 485－ ホスト－ 終端抵抗 終端抵抗 KML703 センサーケーブル センサ部 1 ＋ ＋ 2 － － 3 SHILELD SHILELD 12 (12) (65) 24 (56) KML703 配線図 電源コネクタ センサコネクタ 1 24V+ 1 + 2 0 2 - 3 / 3 SHIELD 4 FG 出力用コネクタ 1 ch1 2 ch2 3 ch3 4 ch4 5 ch5 6 ch6 7 ch7 8 ch8 9 ALARM 10 COM 11 OUT+ 12 OUT- 13 485+ 14 485- 注１）適合コネクタをご使用下さい｡ 注２【）NPN接続採用】 逆接続注意｡ 注３）過電圧をかけないで下さい｡ MAX 26.4V　MIN 21.6V +0.3 22.5+0 22 43 45

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用（屋外仕様品は除 きます）、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 ❶機械 ･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 （DANGER）発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること （CAUTION）が想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 保証について 1 保証期間 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 13

ファインシステム機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 注意 ■検出液の逆流防止のため、検出する液槽上限よりも高い位置に設置してください。 ■薬液雰囲気に曝されない場所に設置してください。 ■密閉された液槽およびそれに類する液槽での検出には使用できません。 ■供給ガスは、サブミクロンフィルタ・マイクロエレッサを通したゴミ・油分をろ過したものをご使用ください。 ■低圧用減圧弁は、禁油処理をほどこしたものをご使用ください。 ■検出チューブは、内径φ4mmのものを使用してください。 ■配管の途中に絞り等の抵抗となるものは設置しないでください。 ■供給圧を止めないでください。検出チューブから薬液雰囲気がセンサに逆流し悪影響を及ぼす可能性があり ます。 ■P.Iポート、EXTポート及びその配管はふさがないでください。KML502シリーズの場合はダイアフラムに、 KML60/KML703シリーズの場合はセンサチップに使用圧力が直接加わり、破損の原因となります。 KML502シリーズ ■マイクロスイッチ、リードスイッチを上にして設置してください。 KML60シリーズ ■KML502シリーズとのミックスマニホールドMXKML2をご使用の場合は、KML502シリーズの使用上の注 意事項を合わせて参照ください。 KML703シリーズ ■差圧方式の場合は、液槽上限よりさらに環境圧力分高い位置に設置してください。 （環境圧力1kPaあたり0.1mが目安です） 14

用語説明 検出チューブ 検出チューブ 液面の上昇と 液面 液面 スイッチング 上昇時 下降時 この範囲は ON-OFFを 繰り返す （チャタリング） ONし始める液面高さ 0mm スイッチング水位 チューブ先端を 応差 0mmとして （ヒステリシス） ONし始める 液槽 液面までの高さ （KML703はオフセット機能あり） 繰り返し精度 同一条件下にて 連続して検出したときの スイッチング水位のバラツキ ※検出チューブ先端を0mmとします。 ※スイッチング（接点切り替え）前の状態をOFF、スイッチング後の状態をONと表しています。 ※スイッチング水位は、KML502の場合：1点固定、KML60の場合：4点任意設定、KML703の場合：8点任意設定になります。 動作原理（例：KML502） スイッチ 3 4 検出チューブ内の 内部部品の 微圧変化を増幅し、 ダイアフラムが上昇し、 製品内部の 検出 スイッチを押し上げる 圧力が上昇する チューブ 空圧源 1 2 液面が上昇し、 検出チューブ先端が沈んだ 検出チューブ先端が 液面下に沈む 液体 液面高さ分の水頭圧が 検出チューブ内に生じる 15 OFF ON OFF ON OFF ON

MEMO 16

2023.11.C