ファインバッファ　FBU2シリーズ

デバイスの高機能化に応える実装、検査分野に ファインバッファ FBU2 シリーズ TENSION CONTROLLING BUFFER FBU2 SERIES 磁気バネ方式で、 押し圧一定を実現。 CC-787 6

金属バネ方式の欠点を解消 磁石の吸引力を利用した、 独自の緩衝機構磁気バネの採用により CKD バ ッファ部に磁石の吸引力を利用した、従来にないまったく新しい緩衝ユニットです。 押し圧の安定化と低発塵・高寿命を実現した Green ソフトな接触と安定した押し圧により、対象ワークの損傷を解消します。 Technology 微小デバイス・壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です。 小形・高精度ファインバッファFBU2シリーズ。 　 汎用タイプをラインナップ 　 押し圧一定　 　 高精度軸受タイプをラインナップ 　 ヘッド&テールの組合せ自在 可搬質量が２００ｇのＦＢＵ２－ＳＵシリーズを追加しました。 可動軸、固定軸に組み込まれた磁石が ロッドガイドには、標準、高精度タイプをご用意。 ファインバッファのヘッド部とテー 可動部の強度をアップし、より幅広い用途に対応いたします。 ずれると斜め方向の磁力線が発生し、 可動軸のX-Y方向繰返し復帰精度により、軸受タイプをお選びいただけます。 ル部の形状は、用 テール 大 軸方向分の力が戻ろうとする力を発 （FBU2-SUは標準のみ） 途に合わせて自在 き 金属バネバッファ ピース い 生します。 S N に組み合わせ可能 FBU2-SU N S です。 （汎用タイプ） N S 軸方向に一定の 　 真空供給用ブラケットを用意 S N FBU2-7D/8M FBU2-12D/M （軽量タイプ） （標準タイプ） 磁気復帰力 押 インロータイプ向けに取り付けブラケットをご用意しました。 ヘッドピース し 高精度HVタイプについては、ブラケットから真空供給が可能になり、 圧 配管チューブ等の反力を除外し、押し圧安定性がさらに向上します。 押し圧特性 　 用途多彩 磁気力による押し圧は、機種により0.2N, 背面取り付け サイド取り付け 半導体部品、水晶発振器、各種IC、HDD、時計部品など 小 0.5N,1.0Nの3レンジから選べ、いずれも 真空吸着による部品のピック&プレイ さ 半導体基板、太陽電池セルなど い ストロークに関わらずほぼ一定です。 ス、搬送・移送をはじめ、ワークの押し 軽 可搬質量 重 当て、部品の挿入等、多彩な使い方が 2.0 押 スプリング式バッファ 可能です。 し 圧1.5 （N) ●デバイス搬送 1.0 ファインバッファ 1.0N 　 クリーン＆ロングライフ 0.5 0.5N 0.2N 従来の金属バネ式に比べ、金属接触がなく可動接触面積も微小なため、 0 0.5 1 1.5 ストローク（mm) 発塵量が極少。しかも推力は磁力により発生しているため金属バネのような疲労 が無く高寿命かつ性能も安定しています。 可動軸 固定軸 　 回り止め機能 付 　 小形・軽量（FBU2シリーズ） 　 2次電池製造工程対応 ●DVD、HDD搬送 ●フレキシブル基板吸着搬送 固定軸内周面および可動軸外周面に 構成部品が、可動部、固定部と2パ ●水晶デバイス吸着搬送 4極スプライン状着磁を施すことで、磁 ーツのみ。そのため、小形、超軽量化 標準でエア流路・摺動部の銅系材料の使用を制限（P4仕様相当）しておりますの ●部品挿入 気の吸引力が働き、原点位置に復帰し (5g 以下 =FBU2-7D) が可能にな で、2次電池製造工程で使用できる構造になっております。 ●携帯ボタンの押圧検査 ようとします。 磁石 りました。また可動部の質量も少な く、ワークへのソフトタッチ、ショック N N S FBU2 Series バリエーション 押し圧(N) ストローク(mm) テールピース形状 ヘッドピース形状 S S 低減が可能になります。 0.2 0.5 1.0 2 6 16 穴なし M3 M4 M5 M6 穴なし M3 M4 M5 M6 ページ S N N 回転方向に 外径 軸受精度 磁気復帰力 （磁気回り止め機能） φ7 h7 S 標準 軽量タイプ 高精度型 1 FBU2-7 H M8×0.75 HV 内部流路式高精度型 φ12 h7 S 標準 可動部 標準タイプ FBU2-12 H 高精度型 1 固定部 M12×1 HV 内部流路式高精度型 汎用タイプ 7 FBU2-ＳＵ M12×1 － 標準のみ

金属バネ方式の欠点を解消 磁石の吸引力を利用した、 独自の緩衝機構磁気バネの採用により CKD バッファ部に磁石の吸引力を利用した、従来にないまったく新しい緩干衝渉ユニットです。 押し圧の安定化と低発塵・高寿命を実現した Green ソフトな接触と安定した押し圧により、対象ワークの損傷を解消します。 Technology 微小デバイス・壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です。 小形・高精度ファインバッファFBU2シリーズ。 　 汎用タイプをラインナップ 　 押し圧一定　 　 高精度軸受タイプをラインナップ 　 ヘッド&テールの組合せ自在 可搬質量が２００ｇのＦＢＵ２－ＳＵシリーズを追加しました。 可動軸、固定軸に組み込まれた磁石が ロッドガイドには、標準、高精度タイプをご用意。 ファインバッファのヘッド部とテー 可動部の強度をアップし、より幅広い用途に対応いたします。 ずれると斜め方向の磁力線が発生し、 可動軸のX-Y方向繰返し復帰精度により、軸受タイプをお選びいただけます。 ル部の形状は、用 テール 大 軸方向分の力が戻ろうとする力を発 （FBU2-SUは標準のみ） 金属バネバッファ ピース 途に合わせて自在 き い 生します。 S N に組み合わせ可能 FBU2-SU N S です。 （汎用タイプ） N S 軸方向に一定の 　 真空供給用ブラケットを用意 S N FBU2-7D/8M FBU2-12D/M （軽量タイプ） （標準タイプ） 磁気復帰力 押 インロータイプ向けに取り付けブラケットをご用意しました。 ヘッドピース し 高精度HVタイプについては、ブラケットから真空供給が可能になり、 圧 配管チューブ等の反力を除外し、押し圧安定性がさらに向上します。 押し圧特性 　 用途多彩 磁気力による押し圧は、機種により0.2N, 背面取り付け サイド取り付け 半導体部品、水晶発振器、各種IC、HDD、時計部品など 小 0.5N,1.0Nの3レンジから選べ、いずれも 真空吸着による部品のピック&プレイ さ 半導体基板、太陽電池セルなど い ストロークに関わらずほぼ一定です。 ス、搬送・移送をはじめ、ワークの押し 軽 可搬質量 重 当て、部品の挿入等、多彩な使い方が 2.0 押 スプリング式バッファ 可能です。 し 圧1.5 （N) ●デバイス搬送 1.0 ファインバッファ 1.0N 　 クリーン＆ロングライフ 0.5 0.5N 0.2N 従来の金属バネ式に比べ、金属接触がなく可動接触面積も微小なため、 0 0.5 1 1.5 ストローク（mm) 発塵量が極少。しかも推力は磁力により発生しているため金属バネのような疲労 が無く高寿命かつ性能も安定しています。 可動軸 固定軸 　 回り止め機能付 　 小形・軽量（FBU2シリーズ） 　 2次電池製造工程対応 ●DVD、HDD搬送 ●フレキシブル基板吸着搬送 固定軸内周面および可動軸外周面に 構成部品が、可動部、固定部と2パ ●水晶デバイス吸着搬送 4極スプライン状着磁を施すことで、磁 ーツのみ。そのため、小形、超軽量化 標準でエア流路・摺動部の銅系材料の使用を制限（P4仕様相当）しておりますの ●部品挿入 ●携帯ボタンの押圧検査 気の吸引力が働き、原点位置に復帰し (5g 以下 =FBU2-7D) が可能にな で、2次電池製造工程で使用できる構造になっております。 ようとします。 磁石 りました。また可動部の質量も少な く、ワークへのソフトタッチ、ショック N N S S S 低減が可能になります。 FBU2 Series バリエーション 押し圧(N) ストローク(mm) テールピース形状 ヘッドピース形状 0.2 0.5 1.0 2 6 16 穴なし M3 M4 M5 M6 穴なし M3 M4 M5 M6 ページ S N N 回転方向に 外径 軸受精度 磁気復帰力 （磁気回り止め機能） φ7 h7 S 標準 軽量タイプ 1 FBU2-7 H 高精度型 M8×0.75 HV 内部流路式高精度型 φ12 h7 S 標準 可動部 標準タイプ FBU2-12 H 高精度型 1 固定部 M12×1 HV 内部流路式高精度型 汎用タイプ FBU2-Ｓ M12×1 － 標準のみ 7 Ｕ

ファインバッファ FBU2 Series 外径：M8、M2、φ7、φ2 可搬質量：30、80g 仕様 室温23℃における値です。 項目 FBU2-7D FBU2-8M FBU2-12D FBU2-12M S H/HV S S H/HV S 外径 φ7h7 M8×0.75 φ12h7 M12×1 S/H HV S/H HV 外観 バッファ押し圧 Ｎ 0.1～0.2 0.1～0.2 0.4～0.6、0.9～1.1 0.4～0.6、0.9～1.1 押し圧変化量　注1 ±15%以下 バッファストローク 2 6 2 6 2 6 2 6 16 2 6 2 6 16 使用周囲温度 ℃ 5～50 5～40 5～50 5～50 5～40 5～50 軸受隙間 mm 0.2以下 0.05以下 0.2以下 0.2以下 0.05以下 0.2以下 最大保持トルク 注2 N・cm 0.25以上（参考値） 注3 注3 復帰位置精度 X-Y mm ±0.1以下 ±0.05以下 ±0.1以下 ±0.1以下 ±0.05以下 ±0.1以下 　　　　　注4 Z mm ±0.1以下 θ ° 　3以下 可搬質量 g 30以下 80以下 注1: ストローク中の押し圧変動量を示します。押し圧がストロークに比例することではありません。 注2: 最大保持トルクを越える回転トルクを可動軸に加えると可動軸が脱調し、180°反転します。 ※保持トルク…θ方向（図1）に力を加え、可動軸の位置がズレても元の位置に戻ることができる力 注3: FBU2-12M/12Dの保持トルクは右表をご参照ください。 〈FBU2-12M/12D　最大保持トルク（参考値）〉 注4: 復帰位置精度は下図（図1）をご参照ください。 バッファ時の復帰精度を示します。 押し圧（N） ストローク（mm） 保持トルク（N･cm） 注5: 仕様に適合しないご要求の場合は、当社にご相談ください。 2 0.5以上 注6: 可搬質量はヘッドピースに取付けられた負荷（治具及び吸着物）の最大 0.5 6 0.5以上 値を示します。 16 1.2以上 〔バッファ作動〕 〔復帰〕 2 1.2以上 1 6 1.2以上 16 2.5以上 出端での保持トルクを示します。 Z X Y θ （図1）復帰精度詳細図

FBU2 Series 形番表示方法 形番表示方法 機種形番 FBU2 12D S 10 6 T3 H3 Ｆ Ｆ Ｆ Ｆ Ｂ Ｂ Ｂ Ｂ Ｕ Ｕ Ｕ Ｕ 2 2 2 2 ー ー ー ー 7 8 １２ １２ Ｄ Ｍ 機種形番 記号 内　容 Ｄ Ｍ イ 外径 イ外径 7Ｄ φ7h7　インロータイプ ● 8Ｍ M8×0.75　全ねじタイプ ● 12Ｄ φ12ｈ7　インロータイプ ● 12Ｍ M12×1　全ねじタイプ ● ロ 軸受精度 ロ 軸受精度 S 標準（軸受隙間0.2mm以下） ● ● ● ● H 高精度（軸受隙間0.05mm以下） ● ● HV 内部流路型高精度 ● ● （軸受隙間0.05mm以下） ハ 押し圧（N） ハ 押し圧 02 0.2 ● ● 05 0.5 ● ● 10 1.0 ● ● ニ バッファストローク（mm） ニ バッファストローク 2 2 ● ● ● ● 6 6 ● ● ● ● 16 16 ● ● ホ テールピース形状 ホ テールピース形状 TB 穴なし ● ● ● ● 〈形番表示例〉 T3 M3めねじ深さ3 ● ● ● ● 外径φ12h7　インロータイプ T5 M5めねじ深さ4 ● ● ヘ ヘッドピース形状 FBU2-12D-HV-05-6-TB-H5 ヘ ヘッドピース 形状 HB 穴なし ● ● ● ● 　イ外径 ： φ12h7　インロータイプ H3 M3めねじ深さ3 ● ● ● ● 　ロ軸受精度 ： 内部流路型高精度 H5 M5めねじ深さ4 ● ● 　ハ押し圧（N） ： 0.5N 　ニバッファストローク ： 6mm 　ホテールピース形状 ： 穴なし 　ヘヘッドピース形状 ： M5めねじ深さ4 軸受精度とバッファストローク、テールピース形状、 ヘッドピース形状の組合せ ロ 軸受精度 S H HV 2 ● ● ● ニ バッファストローク 6 ● ● ● 16 ● TB ● ● ● ホ テールピース形状 T3 ● ● T5 ● ● HB ● ● ヘ ヘッドピース形状 H3 ● ● ● H5 ● ● ● インロータイプ用取付ブラケット単品形番 イ 外径 ブラケット単品形番 L形取付 ストレート取付 7D FBU2- 7D -B1 FBU2- 7D -B2 12D FBU2- 12D -B1 FBU2- 12D -B2 2

FBU2 Series 内部構造図および部品リスト ●FBU2-※-S（標準） ●FBU2-※-HV（高精度内部流路タイプ） -※-H（高精度） 1 2 3 4 5 6 1 2 3 4 5 6 接着締結 接着締結 接着締結 7 8 9 10 12 7 8 11 9 10 接着締結 品番 部品名称 材　　質 備　　考 品番 部品名称 材　　質 備　　考 1 テールピース アルミ合金 無電解ニッケルメッキ 7 Oリング ニトリルゴム 2 六角穴付止めねじ ステンレス鋼 8 テールジョイント アルミ合金 三価クロメート処理 3 固定軸 ステンレス鋼 9 リング磁石 プラスチック磁石 4 リング磁石 プラスチック磁石 10 ガイドチューブ ステンレス鋼 ふっ素樹脂 標準軸受タイプ 11 Oリング ニトリルゴム 内部流路型 5 軸受 ポリエステル系樹脂 内部流路型 12 六角ナット 炭素鋼 無電解ニッケルメッキ（全ねじタイプのみ） 6 ヘッドピース アルミ合金 無電解ニッケルメッキ ブラケットの材質 形番 材質 備考 FBU2- 7D -B1 FBU2- 7D -B2 FBU2- 12D -B1 アルミ合金 無電解ニッケルメッキ FBU2- 12D -B2 質量 ●FBU2-8M /7D （単位：g） 形番 可動部 テールピース（可動部） ヘッドピース（可動部） ブラケット（注2） 固定部 （注1） TB T3 HB H3 B1 B2 FBU2-8M-S-02-2 5.5 1.2 － － FBU2-8M-S-02-6 1.3 FBU2-7D-S-02-2 1.2 FBU2-7D-S-02-6 2.2 1.3 0.7 0.7 0.4 0.3 FBU2-7D-H-02-2 8.9 13.1 FBU2-7D-H-02-6 1.0 FBU2-7D-HV-02-2 2.1 FBU2-7D-HV-02-6 注1 : 可動部総質量＝可動部＋テールピース＋ヘッドピース、製品質量＝固定部＋可動部＋テールピース＋ヘッドピースとなります。 注2 : ブラケットには、プラグと止めねじも含まれます。 ●FBU2-12M/12D （単位：g） 可動部 テールピース（可動部） ヘッドピース（可動部） ブラケット（注2） 形番 固定部 （注1） TB T3 T5 HB H3 H5 B1 B2 FBU2-12M-S-05/10-2 10.2 2.4 FBU2-12M-S-05/10-6 2.5 － － FBU2-12M-S-05/10-16 14.0 3.9 FBU2-12D-S-05/10-2 8.3 2.4 FBU2-12D-S-05/10-6 2.5 2.2 2.2 2.0 1.2 1.2 1.1 FBU2-12D-S-05/10-16 12.9 3.9 FBU2-12D-H-05/10-2 8.1 2.4 18.3 28.6 FBU2-12D-H-05/10-6 2.5 FBU2-12D-HV-05/10-2 7.1 2.4 FBU2-12D-HV-05/10-6 2.5 注1 : 可動部総質量＝可動部＋テールピース＋ヘッドピース、製品質量＝固定部＋可動部＋テールピース＋ヘッドピースとなります。 注2 : ブラケットには、プラグと止めねじも含まれます。 3

FBU2 Series 外形寸法図 外形寸法図（FBU2-7D、FBU2-8M） ●FBU2-7D-S ●FBU2-7D-HV ●FBU2-7D-H φ6.8 φ6.8 6 6 (二面幅) (二面幅) 真空穴 2-φ1 φ6.6 Ｏリング φ6.6 φ6.8 φ6.8 6 6 (二面幅) (二面幅) φ7h7 φ7h7 注： 〔 　〕内は6ストローク時の寸法です。 注： 〔　〕内は6ストローク時の寸法です。 注： Oリングは装着状態で出荷します。 シール性を維持するために、Oリングにグリース等 の潤滑剤を薄く塗布してご使用ください。 注： 図示寸法はヘッドピース、テールピースの形状によ らず同一です。 ●FBU2-8M-S φ6.8 6 (二面幅) Ｍ8×0.75 六角対辺11 φ6.8 6 (二面幅) (12.7) 注： 〔 　〕内は6ストローク時の寸法です。  35 35 〔39〕 3.5 〔39〕3.5 ストローク 19 （10.5） ストローク 19 （10.5） 2、6 2、6 3.5 2.1 3.5 3 8 35 〔39〕 3.5 ストローク 19 （10.5） 2、6 2.1 3.5 8

FBU2 Series 外形寸法図（FBU2-12M、FBU2-12D） ●FBU2-12M-S φ10.7 　ストローク：2、6 φ10.7 　ストローク：16 10 10 (二面幅) (二面幅) Ｍ12×1 Ｍ12×1 六角対辺14 六角対辺14 φ10.7 10 (二面幅) （16.2） （16.2） φ10.7 10 注 ： 〔　〕内は6ストローク時の寸法です。 (二面幅) φ10.7 ●FBU2-12D-S/H φ10.7 　ストローク：2、6 10 　ストローク：16 (二面幅) 10 (二面幅) φ11 φ11 φ10.7 10 (二面幅) φ12h7 φ10.7 注 ： 〔　〕内は6ストローク時の寸法です。 10 (二面幅) φ10.7 φ12h7 ●FBU2-12D-HV 10 (二面幅) 真空穴 2-φ1.2 Ｏリング φ11 φ10.7 10 (二面幅) φ12h7 注： 〔　〕内は6ストローク時の寸法です。 注： Oリングは装着状態で出荷します。ただし、ガイドチューブ、軸受には潤滑剤が付着しないようにしてください。機能の変動原因になります。 注： 図示寸法はヘッドピース、テールピースの形状によらず同一です。  40 〔44〕 5 40 40 ストローク 21 （12） 〔44〕 〔44〕 2、6 5 5 ストローク 21 （12） ストローク 21 （12） 2、6 2、6 2.6 5 2.6 5 4 5 8 8 64 64 5 5 ストローク 31 (12) ストローク 31 （12） 16 16 2.6 5 4 5 8

FBU2 Series 外形寸法図 ブラケット外形寸法図 ●FBU2-7D-B1 ●FBU2-7D-B2 　（添付品 ： FPL-M3 1ヶ、止めねじ1ヶ M2×2） 　（添付品 ： FPL-M3 1ヶ、止めねじ1ヶ M2×2） ＋0.03 ＋0.03 φ7＋0.01 φ7＋0.01 2 C4 -C 2- 8±0.03 9±0.03 4 16 18 22 2-Ｍ3 2-Ｍ3 （真空引時使用） （真空引時使用） 14 2-φ2.7 3 12 13 2-φ2.7 2-Ｍ2 （ＦＢＵ2固定用） 2-Ｍ2 （ＦＢＵ2固定用） はFBU2取付基準面を示します。 はFBU2取付基準面を示します。 ●FBU2-12D-B1 ●FBU2-12D-B2 　（添付品 ： FPL-M5 1ヶ、止めねじ1ヶ M2.5×2.5） 　（添付品 ： FPL-M5 1ヶ、止めねじ1ヶ M2.5×2.5） ＋0.03 φ12＋0.01 ＋0.03 φ12＋0.01 2- 2- C6 C6 12±0.03 13±0.03 24 26 32 2-Ｍ5 2-Ｍ5 20 2-φ3.4 3.5 18 （真空引時使用） （真空引時使用） 19 2-φ3.4 2-Ｍ2.5 （ＦＢＵ2固定用） 2-Ｍ2.5 はFBU2取付基準面を示します。 （ＦＢＵ2固定用） はFBU2取付基準面を示します。 注 ： 真空引で使用の際は、使用されないねじ（M3、M5）にプラグ（FPL-M3、M5）を締め付けてください。  10.5 4 5 11.5 3 3 6.5 5 8±0.03 6 4.5 6±0.03 18.5 20 17.5 14 28 25 26 17 6.5 5 12±0.03 6 4.5 8±0.03 4 8.5 34 5 9.5

ファインバッファ FBU2-SU Series 外径：M12、全ねじタイプ 可搬質量：200g 仕様 　項目 FBU2-SU 外径  M12×1 バッファ押し圧  N 0.4～0.6、0.9～1.1 押し圧変化量　注1）  ±15％以下 バッファストローク  mm 2、6、16 使用周囲温度  ℃ 5～50 軸受隙間  mm 0.2以下 最大保持トルク  N・cm 注2） 復帰位置精度 X-Y  mm ±0.1以下 注3）Z  mm ±0.1以下 θ  ° 3以下 可搬質量  g 200以下 注1： ストローク中の押し圧変動量を示します。押し圧がストロークに比例することではありません。 注2： 最大保持トルクを越える回転トルクを可動軸に加えると可動軸が脱調し、180°反転します。   ※保持トルク…θ方向（図1）に力を加え、可動軸の位置がズレても元の位置に戻ることができる力 注3： 復帰位置精度は下図を参照願います。バッファ時の復帰精度を示します。 注4： 仕様に適合しないご要求の場合は、当社にご相談願います。 〈FBU2-SU　最大保持トルク（参考値）〉 〔バッファ作動〕 〔復帰〕 押し圧（N） ストローク（mm） 保持トルク（N･cm） 2 0.5以上 0.5 6 0.5以上 16 1.2以上 2 1.2以上 1 6 1.2以上 Z 16 2.5以上 出端での保持トルクを示します。 X Y θ 形番表示方法 記号 内　容 FBU2 SU 05 6 T3 H3 イ 押し圧（N） 05 0.5 機種形番 イ  押し圧 10 1.0 ロ バッファストローク（mm） ロ  バッファストローク 2 2 6 6 16 16 ハ テール形状 ハ  テール形状 TB 穴なし T3 M3めねじ深さ3 T4 M4めねじ深さ4 T5 M5めねじ深さ4 〈形番表示例〉 T6 M6めねじ深さ5 FBU2-SU-05-16-T5-H3 ニ ヘッド形状 ニ  ヘッド形状 イ押し圧（N） ：0.5N HB 穴なし ロバッファストローク（mm）：16mm H3 M3めねじ深さ3 ハテール形状 ：M5めねじ深さ4 H4 M4めねじ深さ4 ニヘッド形状 ：M3めねじ深さ3 H5 M5めねじ深さ4 H6 M6めねじ深さ5 7

FBU2-SU Series 内部構造および部品リスト 外形寸法図 内部構造図および部品リスト ねじ締結 1 2 3 4 5 6 ねじ締結 8 7 品番 部品名称 材　　質 備　　考 品番 部品名称 材　　質 備　　考 1 アダプタ（テール）アルミ合金 三価クロメート処理 5 リング磁石 プラスチック磁石 2 固定軸 ステンレス鋼 6 アダプタ（ヘッド） アルミ合金 三価クロメート処理 3 六角ナット 鋼 亜鉛メッキ　三価クロメート仕上げ 7 ロッド ステンレス鋼 4 リング磁石 プラスチック磁石 8 軸受 ポリフェニレンサルファイド 充填剤入り 外形寸法図 注：アダプタ（テール）とアダプタ（ヘッド）の二面幅位置は任意となります。 z  FBU2-SU-05/10-6 z  FBU2-SU-05/10-16 　　8 （二面幅） 　　8 （二面幅） M12×1.0 M12×1.0 六角対辺17 六角対辺17 φ10.7 　　8 （19.6） （二面幅） 注： ［ 　］内は6ストローク時の寸法です。 φ10.7 　　8 （19.6） （二面幅） 質量 （単位：g） 形番 固定部 可動部 （単位：g） FBU2-SU-05/10-2 19.1 4.2 アダプタ FBU2-SU-05/10-6 19.1 4.5 T/H B T/H 3 T/H 4 T/H 5 T/H 6 FBU2-SU-05/10-16 25.2 7.9 3.4 3.3 3.2 3.1 2.9 注1：可動部総質量=可動部+アダプタ（テール側)+アダプタ（ヘッド側）、  製品質量=固定部+可動部+アダプタ(テール側)+アダプタ(ヘッド側)となります。 8 60 15 ［64］ ストローク 28 （15） 2、6 5 94 15 ストローク 48 （15） 16 5

FBU2 Series 技術資料（参考値） 1 漏洩磁束 【計測器】 磁束計 プローブ 【測定方法】 ①FBU2の各測定点にプローブを接触させます。 ②FBU2を中心軸基準で回転させ、最大の磁束密度を測定します。 磁束計 磁束測定方向 プローブ 【対象】 ①FBU2-7D-S-02-6 ②FBU2-12D-S-05-6 ③FBU2-12D-S-05-16 【結果】 ・各位置での磁束密度 ①FBU2-7D-S-02-6 ②FBU2-12D-S-05-6 〈バッファ作動前〉 0.13 0.65 17.05 12.59 4.46 0.79 0.62 単位：mT（1G＝0.1mT） 0.20 1.19 16.09 5.34 1.59 0.34 0.33 …①FBU2-7D-S-02-6 …②FBU2-12D-S-05-6 0.05 0.07 0.09 0.05 17.10 18.64 最大 〈バッファ作動後〉 7.37 …①FBU2-7D-S-02-6 9.59 …②FBU2-12D-S-05-6 23.70 57.60 最大 磁束密度0.03～0.07mTの環境での測定結果です。

FBU2 Series 技術資料（参考値） ③FBU2-12D-S-05-16 〈バッファ作動前〉 0.26 1.79 19.76 16.10 15.59 1.71 0.20 0.19 0.22 単位：mT（1G＝0.1mT） 0.03 0.07 19.88 最大 〈バッファ作動後〉 148.45 149.0 153.1 最大 磁束密度0.03～0.07mTの環境での測定結果です。 ④FBU2-SU-05-6 最大 〈バッファ作動前〉 0.05 0.13 2.87 16.34 0.20 0.10 0.06 単位：mT（1G＝0.1mT） 0.05 0.07 0.35 〈バッファ作動後〉 0.29 0.42 磁束密度0.03～0.07mTの環境での測定結果です。 10

FBU2 Series 技術資料 2 発塵量 【計測器】 パーティクルカウンタ ：レーザダストモニタ 最小可測粒径 ：0.1μｍ 吸入量 ：28.3ℓ/min 【試験回路】 エアパージ チャンバ クリーン機器対応 28.3ℓ/min 0.01μm アクチュエータ フィルタ FBU2 パーティクル カウンタ リリーフポート 真空掃引ポートより 【測定方法】 ①静電気防止を施したチャンバ内（ステンレス製）に試験サンプルを設置します。 ②パーティクルカウンタの吸入量（28.3ℓ/min)と同じ流量の清浄エア（0.01μmフィルタ通過エア）を供給します。 ③作動させない状態で、パーティクルカウンタの値が”0”になることを確認します。 ④試験サンプルを作動させ、作動中に発生するパーティクルを計測します。 ※チャンバ内に試験サンプルからの発塵以外のパーティクルが入り込まないように、シール付チャンバを使用します。 ※使用するクリーン機器対応アクチュエータ（真空掃引タイプ）の発塵量が０であることを事前に確認しておきます。 【測定条件】 ・空気質 　パージ用 ：「等級1.2.1」＋0.01μｍガスフィルタ ・FBU2作動速度 ：50ｍｍ／ｓ ・作動条件 ：無負荷、パージ流量に対し平行に設置 ・測定頻度 ：1分間測定／1000回作動 ・サンプル ：FBU2-12D-S-10-16 FBU2-SU-05-16 【測定結果】 動作5000回時発塵量 10 FBU2-12D-S-10-16 8 FBU2-SU-05-16 発 6 塵 量 （個）4 2 0 0 1000 2000 3000 4000 5000 作動回数（回） FBU2-12D-S-10-16 FBU2-SU-05-16 作動回数 作動回数 粒径 0 1000 2000 3000 4000 5000 粒径 0 1000 2000 3000 4000 5000 0.1μm以上 0 5 0 0 0 2 0.1μm以上 6 6 3 7 8 8 0.2μm以上 0 0 0 0 1 0 0.2μm以上 0 0 0 0 0 0 0.3μm以上 0 0 0 0 1 1 0.3μm以上 0 0 0 0 0 0 0.5μm以上 0 0 0 0 0 0 0.5μm以上 0 0 0 0 0 0 1.0μm以上 0 0 0 0 0 0 1.0μm以上 0 0 0 0 0 0 2.0μm以上 0 0 0 0 0 0 2.0μm以上 0 0 0 0 0 0 総発塵量 0 5 0 0 2 3 総発塵量 6 6 3 7 8 8 11

FBU2 Series 技術資料 3 停止位置精度（X-Y） 【計測器】 〔測定概要図〕 〔測定方法〕 レーザ位置センサ バッファ作動 復帰 （フルストローク） （出端位置） 【測定方法】 手動にてフルストローク作動させた ときのＸ-Ｙ位置精度を測定する 負荷 ：無負荷 設置方向 ：下向き 真空度 ：非真空 配管 ：なし 【対象】 FBU2-7D-S-02-6 FBU2-7D-HV-02-6 FBU2-12D-S-05-16 X Y FBU2-12D-HV-05-6 レーザー位置センサ y x 【測定結果】 Y方向〔μm〕10 繰返停止位置（X-Y） FBU2-7D-S-02-6（標準軸受） FBU2-7D-HV-02-6（高精度軸受） 8 FBU2-12D-S-05-16（標準軸受） FBU2-12D-HV-05-6（高精度軸受） FBU2-SU-05-16 6 4 2 0 -10 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 10 -2 -4 -6 -8 ※上記データは実測値です。 -10 12

FBU2 Series 吸着パッド一覧表 ■吸着パッド一覧表 パッドサイズ パッド材質 落下 パッド形状 用途 φ0.7 φ1 φ1.5 φ2 φ3 φ4 φ6 φ8 φ10 N S U F SE E G FS 防止 スタンダードタイプ小形 VSP-ME※RM 半導体部品など小形のワーク に最適 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● スタンダード タイプ一般形 VSP-ME※R 厚くて平らなワークに最適 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● VSP-E※R※ 薄物用タイプ VSP-ME※P VSP-E※P※ コピー紙、ビニール等の薄物 ワークの搬送に最適 ● ● ● ● スポンジタイプ VSPG-※S※A 外壁材などの表面に凹凸があ るワークに最適 ● クロロブレンのみ パッド材質 N ニトリルゴム S シリコンゴム U ウレタンゴム F フッ素ゴム SE 静電防止シリコンゴム E 静電防止ブタジエンゴム（低抵抗タイプ） G 食品衛生法適合NBR FS フロロシリコンゴム ■各パッドの特性 パッド材質 ブタジエンゴム クロロプレンゴム ニトリルゴム シリコンゴム ウレタンゴム フッ素ゴム フロロシリコンゴム （低抵抗タイプ） （スポンジタイプ） 項 目 NBR Si U FKM FSi BR CR パッド色 黒※2 白 青 グレー 淡褐色 黒 黒 表面硬度（シェアA） 40～60 40～50 60 60 40 60 － 高温使用限界温度 110 180 60 230 180 100 80 低温使用限界温度 -30 -40 -20 -10 -50 -50 -45 諸耐侯性 △ ◎ ○ ○ ○ ○ ○ 物耐オゾン性 △ ◎ ◎ ◎ ◎ × ○ 性耐酸性 △ ○ × ◎ ○ △ △ 耐アルカリ性 ○ ◎ × × ◎ ○ ◎ （ガソリン･軽油） ◎ △ ◎ ◎ △ × × 耐油性 （ベンゼン･トルエン） △ △ △ ◎ △ × △ 評価の見方➡◎：最適、○：適、△：良好、×：不適 ※1：低抵抗タイプパッドの表面抵抗率は200Ω以下です。 ※2：食品衛生法適合パッドのパッド色はグレーとなります。 注1：諸物性については、パッド材質に使用されている一般的な合成ゴムの特性について示した物です。 注2：使用限界温度における実使用は瞬時における物であり、一定時間継続する場合には充分確認の上ご使用ください。 13

FBU2 Series 吸着パッド一覧表 ■適合表 形番 パッド径 FBU2-7D FBU2-8M FBU2-12D FBU2-12M FBU2-SU M3めねじ M3めねじ M3めねじ M5めねじ M3めねじ M5めねじ M3めねじ M5めねじ M6めねじ VSP-ME0.7RM※-M3 φ0.7 ● ● ● ● ● VSP-ME1RM※-M3 φ1 ● ● ● ● ● 小VSP-ME1.5RM※-M3 φ1.5 ● ● ● ● ● 形VSP-ME2RM※-M3 φ2 ● ● ● ● ● VSP-ME3RM※-M3 φ3 ● ● ● ● ● VSP-ME4RM※-M3 φ4 ● ● ● ● ● VSP-ME6R※-M5 φ6 ● ● ● VSP-ME8R※-M5 φ8 ● ● ● VSP-E1R※ φ1 ● ● ● ● ● 一VSP-E2R※ φ2 ● ● ● ● ● 般VSP-E3R※ φ3 ● ● ● ● ● VSP-E4R※ φ4 ● ● ● ● ● VSP-E6R※ φ6 ● ● ● VSP-E8R※ φ8 ● ● ● VSP-ME8P-M5 φ8 ● ● ● 薄VSP-ME10P-M5 φ10 ● ● ● 物VSP-E8P※ φ8 ● ● ● VSP-E10P※ φ10 ● ● ● ス ポ ンVSPG-10SA φ10 ● ジ VSPG-4※10E※A 4×10 ● 長VSPG-4※20E※A 4×20 ● 円VSPG-5※10E※A 5×10 ● VSPG-6※10E※A 6×10 ● 注）FBU2の可般質量以下で使用願います。 　　可般質量を超える使い方は製品の破損につながります。 吸着パッドの選定方法 ■パッドの面積とそのパッドを使用した時に生じる真空圧力で理論吊上げ力を求め られます。  〈kPa、N表示〉 〈mmHg、kg表示〉  W＝ C×P101 ×10.13×f W＝C×P760 ×1.0332×f  W：理論吊上げ力（N） W：理論吊上げ力（kg）  C：吸着面積（cm2） C：吸着面積（cm2） 水平吊り  P：真空圧力（-kPa） P：真空圧力（-mmHg）  f：安全率 f：安全率 ※1：スポンジタイプパッドの場合はスポンジパッド部の内径で計算する為別表を参考にし てください。 ※2：ベ ローズ（多段ベローズ）タイプ・ソフト（ソフトベローズ）タイプパッドの吊上げ力に つきましてはパッド特性上、理論吊上げ力と異なる場合がありますのでご注意ください。 ※3：理論吊上げ力は、静的条件の数値ですので実際に使用する場合は水平吊りが1/4、垂 直吊りが1/8の安全率をみてください。又、移動させる場合はそれによる加速も考慮 してください。（右図を参照ください。） 垂直吊り 14

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用（屋外仕様品は除 きます）、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 ❶機械 ･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 （DANGER）発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること （CAUTION）が想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 保証について 1 保証期間 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 15

空気圧機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 一般の注意事項は、「空圧・真空・補助機器総合 No. CB-024S」をご確認ください。 設計時・選定時 警告 注意 ■軸受タイプにより使用周囲温度が異なりますので、 ■真空用途で用いる場合、配管チューブによるテン 仕様範囲内でご使用ください。 ションが押し圧に加算されますので、配管テンショ ・標準軸受タイプ（S）：5 〜 50℃ ンが小さいチューブをご使用ください。 ・高精度軸受（H/HV）：5 〜 40℃ 推奨チューブ：UP シリーズ 注）FBU2-SUは標準軸受タイプとなります。 （帯電防止チューブ、エアファイバ） ■本製品は、磁石が内蔵されています。 ■可動軸に取付けられる負荷（治具および吸着物）は 磁性体の切り粉、粉塵等がある場所では使用しない 可搬質量以下にてご使用ください。 でください。 ・FBU2-7D/8M：30g 以下 破損や作動不良の原因となります。 ・FBU2-12D/12M：80g 以下 ・FBU2-SU：200g 以下 ■製品の固定は、ナット（全ねじタイプ： 8M、12M、 SU）もしくは六角穴付止めねじ（インロータイプ： ■ワーク搬送時の加速度は4G以下でご使用ください。 7D、12D）をご使用ください。止めねじを使用の 過大な加速度は製品の破損を招く恐れがあります。 際は、固定軸の溝部をご利用ください。 取付時には次頁の取付注意事項をお守りください。 ■回転して使用する場合、磁石による最大保持トルク にご注意願います。 NG OK NG 最大保持トルク以上の力が作用した場合、脱調して 180°反転する場合があります。 ■内部流路型高精度タイプ（HV）には漏れがあります。 押し圧安定性、復帰位置精度の向上のため、隙間シー ■取付姿勢は垂直にてご使用ください。 ル構造を採用しております。そのために、真空漏れ 可動軸への横荷重あるいはモーメント力は特性の変 が発生します。（初期圧 -80kPa に対し、圧力降下 動や寿命に影響を及ぼします。 10kPa 以内） 取付・据付・調整時 警告 ■横取出しによる配管チューブのテンションにて回転 方向に負荷がかかると製品の破損を招く恐れがあり ■運転前に、負荷や継手締結部の緩み、異常がないか ますので、ご注意ください。 を確認してください。 　　 ■以下の使用方法は可搬質量以下でも可動軸にモー ■機器が適正に作動することを確認するまでは使用し メント力がかかり作動不良及び故障の原因となり ないでください。 ます。 取付、修理、改造後に、適正な機能検査を行って正 1. ヘッドピースに吸着パット以外の大きな治具を しい取付がなされていることを確認してください。 取りつけた場合。 2. 大きなサイズ及び異形状の吸着パットを取りつ ■機械の干渉、作動システムに異常がないことを確認 けた場合。 してください。 3. 可動軸に偏荷重がかかる使用方法の場合。 4. 複数の FBU2 で 1 つの治具、ワークを保持する ■製品を落下させるなどして衝撃を与えないでくださ 場合。 い。衝撃荷重は製品破損の原因につながります。 ■製品及び配管の設置後はなめらかな動作を確認して からご使用ください。固いチューブや、小さな曲げR の配管の接続は、誤作動及び故障の原因となります。 上記のような方法で使用する場合は当社にご相談く ださい。 16

空気圧機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 一般の注意事項は、「空圧・真空・補助機器総合 No. CB-024S」をご確認ください。 取付・据付・調整時 注意 ■ 配管実施寸前まで、包装袋から出さないでください。 ■ ガイドチューブ、ロッドへの潤滑剤の塗布はしな 配管ポート、軸隙間から異物が混入し、故障、誤 いでください。機能の変動の原因となります。 作動などの原因となります。 ■ ガイドチューブに物をぶつけたりして傷や打痕を ■ 配管の際には、配管内の異物・切粉等を除去する つけないでください。 ため、エアフラッシングを必ず行ってください。 ガイドチューブは薄肉鋼管でできており、変形し やすいため取り扱いにご注意ください。 ■ 配管接続時には適正トルクで締付けてください。 ガイドチューブの傷や打痕は軸受の損傷を招き、 接続ねじ 締付けトルク（N・m） 故障、誤作動の原因となります。 M3 0.3〜0.6 （FBU2-SU を除く） M4 0.9〜1.1 M5 1.0〜1.5 ■ 取扱説明書は必ず読んでください。 M6 2〜2.7 内容を理解した上で製品をご使用ください。 締付けの際は、締付ける箇所の二面幅を必ずご使 ■ 外径インロータイプ（7D、12D）の製品の固定 用ください。 は、六角穴付止めねじを使用して、適正トルクに 締付けと異なる側の二面幅を利用しますと、構造 て締付けてください。 上損傷の原因となります。 過大な締付トルクは、本体及び、軸受部が損傷 し、故障、誤作動の原因となります。 製品呼び 固定ネジサイズ 締付けトルク（N･m） FBU2-7 M2六角穴付止めねじ 0.10〜0.12 FBU2-12 M2.5六角穴付止めねじ 0.18〜0.20 使用・メンテナンス時 警告 ■ 保守点検は、取扱説明書に従い注意深く行ってく ■ 漏れ量が増大したり機器が適正に作動しない場合 ださい。 は、使用しないでください。 取扱いを誤ると、機器や装置の破損や作動不良の 取付、修理、改造後には、適正な機能検査を行って 原因となります。 正しい取付がなされているかを確認してください。 注意 その他の注意事項については、下記資料をご用意し ■ メンテナンス管理が正しく実施されるように日常 ておりますのでご確認ください。 点検、定期点検を計画的に実施してください。 1.取扱説明書 メンテナンス不十分の場合、製品機能が著しく低下 ファインバッファ FBU2シリーズ し短寿命、破損、誤作動などの不具合を招きます。 17