医薬品製造プロセス機器　医薬製造プロセス用サニタリーバルブ

医薬品製造 プロセス機器 CC-1637

多様化する医薬品モダリティに FAソリューションで提案します。 流体制御機器 シングルユースや連続生産といった新しい ファイン 特殊流体 医薬製造 汎用 空気圧 電動 駆動 ソフト 自動 システム 医薬品製造プロセスにCKDの流体制御技術が貢献します。 制御機器 機器 機器 ビジネス 機器 機械装置 ガス遮断弁 （水素対応） ［VNA］ 薬品用包装機 エアオペレイト式 ファインピンチバルブ ［HYA］ メタルフリー小形 直動式 三次元 2・3ポート電磁弁 2・3ポート電磁弁 はんだ印刷 ［MR10R］ ［FFB・FFG］ 検査機 ウエア形 空気圧 ダイアフラムバルブ 関連機器 食品用 ［SWD・MWD］ 包装機エコブリスタ メタルフリー 2ポート電磁弁 ［MJB3］ 薬品用包装機 メタルフリー 小形 直動式 2ポート電磁弁 2・3ポート電磁弁 ［EMB］ ［US］ 医薬製造プロセス用サニタリーバルブ 食品用 ウエア形ダイアフラムバルブ ウエア形ダイアフラムバルブ ブリスタパック SWD・MWD 流量コントロールタイプ 直動式 ●薄形ダイアフラムで高耐久 SWD-T 日本限定販売 マルチレックスバルブ ●締め過ぎを防ぐスプリング ●FAトータルサプライヤだから ［AB・AG］ シールタイプも用意 できる流量コントロールバルブ ●低摺動オープンループ制御 プリセット入力付 ポペット形ダイアフラムバルブ ファインピンチバルブ SPD 日本限定販売 HYN・HYA 電球・蛍光灯製造機械 ●半導体製造で培ったダイア ●医薬品・再生医療に最適な フラム構造 エアオペレイト式 ●ウエア形ダイアフラムバルブ CKDの歩んできた道のりは、お客様と共に、 に優る洗浄性 モノづくりの課題を解決し続けてきた共創の歴史です。 真空管製造機械 医薬品製造プロセス例 現在では50万点を超える自動化商品とサービスを提供しています。 CKDのコア技術である流体制御技術は、 培養 細胞分離 クロマト精製 濃縮 ウィルス除去 分注・充填 原薬 医薬品の安定供給や食品の安全にも貢献し続けてきました。 そしてそれらのハードウェアはデジタル技術と組み合わされて 社会課題解決に新たな価値を生み出そうとしています。

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 医薬品製造プロセス機器 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 ■ 水・純水・薬液（接液部の材質を腐食させない流体） 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用（屋外仕様品は除 きます）、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 SWD・ 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 SWD・ MWD ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） MWD JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） SWD-T 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 SWD-T 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 ❶機械 ･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 SPD ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 SPD ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 HYA ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて HYA いるか確認し、注意して行ってください。 HYN 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 C O N T E N T S HYN ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 シリーズ体系表 2 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 ダイアフラムバルブ （DANGER）発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: ● SWD 4 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） ● MWD 8 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること ● SWD-T・SWD-C・SWD-EVD 16 （CAUTION）が想定される場合。 ● SPD 32 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 ピンチバルブ ● HYA 38 保証について ● HYN 42 1 保証期間 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。 ご使用になる前に必ず使用上の注意事項をお読みください。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 1

体系表 医薬品製造プロセス機器 材質 機種シリーズ名 ポート数 使用流体 流体温度 使用圧力（MPa） 接続口径/ 適用チューブ外径 記載ページ ボディ シール SWD エアオペレイトタイプ 2 クランプ継手：8A〜50A ※ISOフェルール 4 MWD SWD・ SWD・ MWD MWD ウエア形 マニュアルタイプ 2 0〜0.6 クランプ継手：8A〜50A ※ISOフェルール 8 SWD-T SWD-T SUS316L 水、純水、 SPD ダイアフラム （接液部・ 薬液 5〜90℃ SPD バルブ バフ研磨 PTFE （ 接液部の材質 （蒸気滅菌時130℃ HYA SWD-T #400相当、 を腐食させな 20分以内可） HYA 電解研磨） い流体） HYN 流量コントロール タイプ 2 クランプ継手：8A〜40A HYN ※ISOフェルール 16 SPD ポペット形 エアオペレイトタイプ 2 0〜0.3 クランプ継手：8A、15A ※ISOフェルール 32 HYA 適用チューブ外径 エアオペレイトタイプ 2 − − − 0〜40℃ （凍結なきこと） 0〜0.1注 1/8"〜9/16" 38 （φ3〜φ15） ピンチバルブ HYN 0〜0.05 ソレノイドタイプ 2・3 − − − 5〜50℃ （チューブ外径φ3、φ5） 適用チューブ外径 0〜0.02 φ3、φ5、φ8 42 （チューブ外径φ8）注 注： チューブによって最高使用圧力が異なりますので、ご使用されるチューブの仕様をご確認ください。 2 3

ウエア形 ダイアフラムバルブSWD・MWD シリーズ クリーン度を極限まで追求。そして使いやすく。 マニュアルタイプ MWDシリーズ SWD・ SWD・ MWD MWD SWD-T SWD-T 8A/10A 15A 1S 1.5S 2S 2S 1.5S 1S 15A 8A/10A SPD SPD HYA エアオペレイトタイプ SWDシリーズ HYA HYN HYN メンテナンス性 アクチュエータ 外部シールポイント クリーン度・使いやすさを追求した3つのポイント メンテナンス時間の短縮を実現 独自の機構とダイアフラムの適正化により、確実に ダイアフラム 位置決めができ簡単にダイアフラムの交換が可能 外部シールポイント 外部シールポイント ボディ クリーン です。組み付けやすく確実なシール性を確保する ため、メンテナンス時間の短縮を実現します。 シールが安定 高い洗浄性を実現 溝を合わせる位置決めにより、シールが安定 ダイアフラムの外部シール部分にフラットな構造を 採用することにより、ダイアフラムとボディの間のポ ケット部を無くしました。ポケット部の液溜まりがない 液溜まりなし 液溜まりしやすい ためバルブを清潔に保ちます。 コンパクト SWD/MWDシリーズ ダイアフラムの突起により、 外部シールをする場合 装置・設備の省スペース化・省エネ化（エアオペレイトタイプ） 高い置換性で洗浄時間を短縮 流路の隅まで 流路の隅が 永年の空気圧シリンダ製造で培われた独自技術により、バルブの口径に 液体が滞留するデッドスペースが小さく、流路の隅々 洗浄可能 洗浄しにくい 対してアクチュエータがコンパクトであり、エア消費量も抑えられます。 外部シール まで洗浄できる流路設計です。液体の置換性が高い ポイント ため、洗浄時間の短縮に貢献します。 充分なメンテナンススペースを確保（マニュアルタイプ） コンパクトなマニュアルハンドルの採用により、装置内に充分なスペース が確保され、バルブ操作が容易に行えます。 SWD/MWDシリーズ ダイアフラムの突起により、 外部シールをする場合 4 5

ウエア形ダイアフラムバルブ　エアオペレイトタイプ SWD Series SWD Series 内部構造図・材質・外形寸法図 内部構造図・材質 ●接続：ISOフェルール No. 部品名称 材質 1 1 シリンダカバー ADC12 アルミダイカスト 2 2 Oリング FKM フッ素ゴム 3 形番表示方法 3 インジケータ SUS304 ステンレス 4 4 スプリング SUS304 ステンレス 5 （またはSWP、SWOSC）（またはピアノ線、オイルテンパー線） SWD 1 1 8 F 6 5 ピストン A2017 アルミニウム 7 6 ピストンロッド SUS304 ステンレス 機種形番 材質： アクチュエータADC12、 8 7 ロッドカバー、ヨーク ADC12 アルミダイカスト 9 1 シリーズ 3 接続口径 ダイアフラムPTFE/EPDM、ボディSUS316L 10 8 六角穴付きボルト SUS304、SUSXM7 ステンレス 2 作動方式 機種形番 11 9 コンプレッサ SCS13 ステンレス ＳＳＳＳＳ 10 ダイアフラム PTFE、EPDM、 フッ素樹脂、エチレンプロピレンゴ 1 シリーズ 2 作動方式 3 接続口径 ＷＷＷＷＷ SUS303、SUS304 ム、ステンレス ＤＤＤＤＤ 11 ボディ SUS316L ステンレス 記号 内　　容 記号 内　　容 記号 内　　容 １２３４５ 1 サイズ1 1 NC（ノーマルクローズ）形 注： 補修部品については、12ページをご参照ください。 8 8A 接液部材質は、PTFE（ダイアフラム）、SUS316L（ボディ）の2種類です。 SWD・ 2 サイズ2 2 NO（ノーマルオープン）形 10 10A SWD・ MWD 3 サイズ3 3 複動作動形 15 MWD 4 サイズ4 クランプ継手 15A 25 25A（1S） SWD-T 5 サイズ5 40 40A（1.5S） SWD-T 注： 3 接続口径の表を参照し、 50 50A（2S） 選択してください。 外形寸法図 SPD SPD SWD HYA 回路図記号 仕様 HYA ● NC（ノーマルクローズ）形 項目 SWD※1 SWD※2 SWD※3 HYN 2×Rc1/8 N M 作動方式 NC（ノーマルクローズ）形 NO（ノーマルオープン）形 複動作動形 HYN X 使用流体 水、純水、薬液（接液部の材質を腐食させない流体） 使用圧力 MPa 0〜0.6 耐圧力（水圧にて） MPa 2.0 ● NO（ノーマルオープン）形 流体温度 ℃ 5〜90（蒸気滅菌時　130℃　20分間以内可） 周囲温度 ℃ 0〜60 Y 頻度 回／min SWD1〜4：20以下　　SWD5：10以下 弁座漏れ cm3／min 0（水圧にて） 取付姿勢 自在（注1） 操作ポート Rc1/8 ● 複動作動形 操作流体 空気 SWD1※-8 X Y SWD1※-10 0.35〜0.7 0.25〜0.35 0.2〜0.3 SWD2※-15 操作圧力 MPa SWD3※-25 0.3〜0.35 0.25〜0.3 SWD4※-40 0.4〜0.7 0.35〜0.4 0.3〜0.35 SWD5※-50 0.27〜0.32 0.2〜0.25 SWD1※-8 2.3 SWD1※-10 2.6 φ φK H SWD2※-15 4.5 Cv値 A SWD3※-25 13 SWD4※-40 27 SWD5※-50 50 SWD1※-8 2.0 形番 A B C D E H K M N 質量[kg] SWD1※-10 2.3 NC NO 複動 SWD2※-15 3.9 SWD1※-8-F 90 99.5 22 60 7 34 10.5 32　 40 0.6 Kv値（ 注2） SWD3※-25 11 SWD1※-10-F 90 101 22 61.5 7 34 14 32　 40 0.6 SWD4※-40 23 SWD2※-15-F 108 130 22 73 8.5 34 17.5 38　 46.5 1.2 SWD5※-50 43 SWD3※-25-F 127 170 24 84 12.5 50.5 23 49　 56 2.7 2.3 2.3 ダイアフラム PTFE/EPDM SWD4※-40-F 159 212 28 97 16.5 50.5 35.7 57　 66 5.1 4.1 4.0 材質 ボディ SUS316L（バフ研磨＃400相当、電解研磨） SWD5※-50-F 190 241.5 47 118 23 64 47.8 76.5 87.5 9.5 7.8 7.5 アクチュエータ ADC12（フッ素樹脂コーティング） 注1：水平配管の場合、15ページに記載の角度で配管することでバルブ内の液溜まりを最小限にできます。 注２：Kv値については、「流体制御バルブ」（RJ-013）の巻頭ページをご参照ください。 6 7 D C B E(MAX)

ウエア形ダイアフラムバルブ　マニュアルタイプ MWD Series MWD Series 内部構造図・材質・外形寸法図 内部構造図・材質 ●接続：ISOフェルール 1 2 3 形番表示方法 4 No. 部品名称 材質 5 1 インジケータ PET ポリエチレンテレフタレート MWD 1 0 8 F 6 2 ハンドル A5056 アルミニウム 7 8 3 ロッド SUS304 ステンレス 機種形番 材質： アクチュエータA5056、 4 ボンネット A5056 アルミニウム 1 シリーズ ダイアフラムPTFE/EPDM、ボディSUS316L 5 ベアリング − − 2 接続口径 6 コンプレッサ SCS13 ステンレス 7 ダイアフラム PTFE、EPDM、 フッ素樹脂、エチレンプロピレンゴム、 機種形番 SUS303、SUS304 ステンレス ＭＭＭＭＭ 8 ボディ SUS316L ステンレス SWD・ 1 シリーズ 2 接続口径 ＷＷＷＷＷ 注： 補修部品については、12ページをご参照ください。 SWD・ MWD ＤＤＤＤＤ 接液部材質は、PTFE（ダイアフラム）、SUS316L（ボディ）の2種類です。 MWD 記号 内　　容 記号 内　　容 １２３４５ 1 サイズ1 8 8A SWD-T 2 サイズ2 10 10A SWD-T 3 サイズ3 15 4 サイズ4 外形寸法図 25 クランプ継手 15A SPD 25A（1S） SPD 5 サイズ5 40 40A（1.5S） MWD 注： 2 接続口径の表を参照し、選択してください。 50 50A（2S） HYA HYA HYN φN HYN 回路図記号 仕様 項目 MWD MWD MWD MWD MWD MWD 10-8 10-10 20-15 30-25 40-40 50-50 使用流体 水、純水、薬液（接液部の材質を腐食させない流体） 使用圧力 MPa 0〜0.6 耐圧力（水圧にて） MPa 2.0 流体温度 ℃ 5〜90（蒸気滅菌時　130℃　20分間以内可） 周囲温度 ℃ 0〜60 弁座漏れ cm3／min 0（水圧にて） 取付姿勢 自在（注1） 操作トルク N・m 0.7〜1.1 0.7〜1.1 1.0〜1.5 1.7〜2.7 3.0〜4.0 5.0〜5.5 Cv値 2.3 2.6 4.5 13 27 50 φH Kv値（注2） 2.0 2.3 3.9 11 23 43 A φK ダイアフラム PTFE/EPDM 材質 ボディ SUS316L（バフ研磨＃400相当、電解研磨） アクチュエータ A5056（フッ素樹脂コーティング） 注1：水平配管の場合、15ページに記載の角度で配管することでバルブ内の液溜まりを最小限にできます。 注2：Kv値については、「流体制御バルブ」（RJ-013）の巻頭ページをご参照ください。 形番 A B H K N 質量[kg] MWD10-8-F 90 58.5 34 10.5 49 0.4 MWD10-10-F 90 60.7 34 14 49 0.4 MWD20-15-F 108 71.5 34 17.5 59 0.6 MWD30-25-F 127 88.7 50.5 23 69 1.2 MWD40-40-F 159 107.6 50.5 35.7 89 2.4 MWD50-50-F 190 164.5 64　 47.8 89 4.6 8 9 B(MAX)

ウエア形ダイアフラムバルブ　マニュアルタイプ スプリングシールタイプ MWD-S Series MWD-S 仕様・外形寸法図 Series 特別仕様品 回路図記号 仕様 ●接続：ISOフェルール 項目 MWD10-8 MWD10-10 MWD20-15 MWD30-25 MWD40-40 使用流体 水、純水、薬液（接液部の材質を腐食させない流体） 使用圧力 MPa 0〜0.6 耐圧力（水圧にて） MPa 2.0 流体温度 ℃ 5〜90（蒸気滅菌時　130℃　20分間以内可） 周囲温度 ℃ 0〜60 特長 弁座漏れ cm3／min 0（水圧にて） 取付姿勢 自在（注1） 締め過ぎによるダイアフラム破損をゼロに。 Cv値 2.3 2.6 4.5 13 27 Kv値（注2） 2.0 2.3 3.9 11 23 ダイアフラム PTFE/EPDM ハンドルストッパ機構 材質 ボディ SUS316L（バフ研磨＃400相当、電解研磨） アクチュエータ A5056（フッ素樹脂コーティング） 締め終わりが感触でわかる。 注1：水平配管の場合、15ページに記載の角度で配管することでバルブ内の液溜まりを最小限にできます。 注2：Kv値については、「流体制御バルブ」（RJ-013）の巻頭ページをご参照ください。 スプリングシール SWD・ SWD・ MWD 締め終わりまでハンドルを回すだけで MWD 常に最適なシール力を確保。 SWD-T ハンドルの締付トルク管理不要。 SWD-T 高温下でのダイアフラム耐久性が大幅向上。 外形寸法図 SPD 温度変化による緩みにスプリングが追従し、 SPD MWD-S SIP 後の増し締め作業不要。 HYA HYA φN HYN インジケータ装備 HYN 離れた場所でも開閉状態が目視でわかる。 開 閉 形番表示方法 φ K H A φ MWD 1 0 8 F S 機種形番 材質： アクチュエータA5056、 形番 A B C H K N 質量[kg] 1 シリーズ MWD10-8-F-S 90 71 79 34 10.5 52 0.4 ダイアフラムPTFE/EPDM、ボディSUS316L MWD10-10-F-S 90 74 81 34 14 52 0.4 2 接続口径 機種形番 MWD20-15-F-S 108 84 94 34 17.5 66 0.8 MWD30-25-F-S 127 119 133 50.5 23 80 2.0 ＭＭＭＭ MWD40-40-F-S 159 146 163 50.5 35.7 89 3.6 1 シリーズ 2 接続口径 ＷＷＷＷ ＤＤＤＤ 記号 内　　容 記号 内　　容 １２３４ 1 サイズ1 8 8A 2 サイズ2 10 10A 3 サイズ3 15 クランプ継手 15A 4 サイズ4 25 25A（1S） 注： 2 接続口径の表を参照し、選択してください。 40 40A（1.5S） 注1： 補修部品については、12ページをご参照ください。 接液部材質は、PTFE（ダイアフラム）、SUS316L（ボディ）の2種類です。 注2： 本製品は特別仕様品につき、納期、価格などについては、当社営業担当にお問い合わせください。 10 11 B C(MAX)

SWD・MWD・MWD-S Series 補修部品（ダイアフラム） MEMO 形番表示方法 SWD 1 PE 1 シリーズ 記号 内　　容 1 サイズ1 機種形番 2 サイズ2 1 シリーズ 3 サイズ3 4 サイズ4 5 サイズ5 注：SWD、MWD、MWD-S共通形番です。 SWD・ SWD・ MWD MWD SWD-T SWD-T SPD SPD HYA HYA HYN 特別仕様品 HYN 開度調整機構付き 開閉検知用スイッチ付き 特殊形状ボディ 注： 本製品は特別仕様品につき、納期、価格などについては、当社営業担当にお問い合わせください。 12 13

流体制御バルブ SWD･MWD Series 本製品を安全にご使用いただくために 個別注意事項 ご使用になる前に必ずお読みください ■ 水平配管の場合は、バルブを傾斜させて配管するこ とにより、バルブ内の液溜まりを最小限にすること 一般の注意事項は、「流体制御バルブ（RJ-013）」をご確認ください。 なお、上記の総合カタログには医療機械および飲料・食品に直接触れる用途への使用は適用外である旨記載しておりますが、 ができます。ボディ配管部に刻印してある“-CKD-” SWD/MWDシリーズはそのような用途でも製品仕様の範囲内である限りにおいてお使いいただける商品です。 マークが真上にくるよう配管してください。 個別注意事項：ウエア形ダイアフラムバルブ　SWD･MWDシリーズ （表1、図1参照） 設計・選定時 表1．接続口径とバルブ傾斜角度 警告 注意 形番 接続口径 バルブ傾斜角度（θ°） SWD1※-8、MWD10-8 8A 23 ■ 緊急遮断弁などには使用できません。 ■ 急激な流体温度の変化によって、内部漏れが発生す SWD1※-10、MWD10-10 10A 11 緊急遮断弁などの安全確保用バルブとして設計されており る場合がありますのでご注意ください。 SWD2※-15、MWD20-15 15A 14 ません。そのようなシステムの場合は、別の確実に安全確 ■ ダイアフラムの上側（アクチュエータ側）は流体が接 SWD3※-25、MWD30-25 25A（1S） 25 保できる手段を講じた上で、ご使用ください。 触しない部分ですが、流体種類や流体温度の変化な SWD4※-40、MWD40-40 40A（1.5S） 24 ■ 誤った機器選定および取扱いは、本製品のトラブル SWD5※-50、MWD50-50 50A（2S） 23 どにより浸透して流体雰囲気となる場合があります。 のみならずお客様のシステムトラブルの発生原因と なります。機器選定および取扱いは、本製品の仕様 ■ アクチュエータ操作用の圧縮エアはろ過度5μm以 “-CKD-” および、お客様のシステムとの適合性をお客様の責 上の性能を有するフィルタを通ったエアまたは不活 任におきまして、ご確認の上、ご使用ください。 性ガスをご使用ください。 SWD・ SWD・ MWD ■ １ヶ月以上使用しない場合は、始業前に試運転を θ MWD ■ 本製品が故障した際に人や物等に悪影響を与えない 行ってください。 SWD-T よう、あらかじめ必要な措置を施してください。 SWD-T ■ 液封について ■ １ヶ月以上使用しない場合は、内部に残留している バルブが開閉作動する際にダイアフラムが上下動し、バル 水を完全に除去してください。水が残留していると SPD 錆が発生し作動不良、漏れ不良が生じることがあり 図1.バルブ傾斜角度 SPD ブ内の流路容積が変化します。従って、流体が非圧縮性 （液体）である場合、バルブに流体が密封される条件（液 ます。 HYA 封）での作動は、バルブに異常な圧力を生じさせます。こ 残留水の除去ができない場合は、最適にご使用いた HYA のような場合はバルブの一次側または二次側に逃がし弁を だくため、１日数回程度作動させ通水してください。 HYN 設け、液封の回路にならないようにしてください。 HYN ■ 操作エアの供給時間、または排気時間が短い場合 ■ 使用流体について は、バルブの作動が追従できないことがあります。 製品構成材料と使用流体との適合性をご確認の上ご使用く ださい。 ■ 製品の流体通路部以外に流体が付着しないようにし ■ 流体温度について てください。 規定の流体温度の範囲内でご使用ください。 ■ 流体の圧力条件や配管条件によっては、ウォータハ ■ 流体圧力範囲について ンマやバイブレーションが発生する場合がありま 規定の使用圧力の範囲内でご使用ください。 す。ほとんどの場合、スピードコントローラ等で開 ■ 流体中の鉄錆、ゴミ等の異物は、作動不良、漏れ不 閉速度を調整することによって改善できます。もし 良の原因となり製品性能を妨げますので、排除する 改善できない場合は、流体圧力、配管条件の見直し 手段を講じた上で使用してください。 をしてください。 ■ 高温、蒸気での使用について ■ 低頻度でご使用の場合は、当社までご相談くださ 蒸気滅菌時等高温の流体を流す場合、バルブ本体も高温に い。 なるため、手や体で触れないでください。直接触れると火 ■ 弁開時にはインジケータが上昇します。インジケー 傷する場合がありますので、ご注意ください。  タ部にはグリースが塗布されているため、付着に注 また、劣化、融解、発火等のおそれがあるものを近くに置 かないようご注意ください。 意してください。 ■ バルブを足場にしたり、重量物を載せたりしないで ください。 ■ エアオペレイトタイプの操作エア圧力は規定の圧力 範囲内でご使用ください。 ■ マニュアルタイプの操作トルクは規定のトルク範囲 内でご使用ください。 ■ 作動頻度を守ってください。作動頻度はSWD1〜 取付・据付・調整時、使用・メンテナンス時の注意事項については、 4は20回/min以下、SWD5は10回/min以下です。 CKD機器商品サイト（https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/）→「形番」→ 取扱説明書 をご覧ください。 14 15

ウエア形ダイアフラムバルブ 流量コントロールタイプ SWD-T ウエア形ダイアフラムバルブ　流量コントロールタイプ シリーズ バルブ・制御用電空レギュレーターセット SWD-T Series 日本限定販売 匠の技を再現 ●接続：ISOフェルール 適合詳細形番については、当社ホームページをご覧ください。 マニュアルバルブで行っていた流量調整の自動化に貢献します。 仕様 ※バルブ単体（SWD-C）の仕様は18〜20ページをご参照ください。 ※電空レギュレータ単体（SWD-EVD）の仕様は22〜26ページをご参照ください。 プリセット機能 形番表示方法 任意のパラメータをプリセットメモリに登録。 （最大6パターン） SWD 1 1 8 F T 0 AN C1B1 外部信号により呼び出し可能。 [入力可能なパラメータ] 機種形番 3 バルブ 6 電空レギュレータ オプション ●圧力： P（f 初期圧力）、Pe（到達圧力） 1 バルブ 接続口径 5 電空レギュレータ SWD・ ●時間パラメータ： シリーズ 出力仕様 SWD・ MWD MWD リピート作動Tｒなし リピート作動Tｒあり 4 電空レギュレータ SWD-T 2 操 バルブ 入力仕様 Pe 操 Pf SWD-T 作 作 作動方式 圧 圧 SPD 力Pf 力 [kPa] Td T [kPa] Pe バルブ材質： SPD s Td Ts Tr Td Ts Tr アクチュエータADC12、ダイアフラムPTFE/EPDM、 時間[sec] 時間[sec] HYA ボディSUS316L HYA HYN HYN 1 バルブ シリーズ 2 バルブ 作動方式 記号 内　　容 記号 内　　容 1 サイズ1 1 NC（ノーマルクローズ）形 電空レギュレータ ＋ ウエア形ダイアフラムバルブ 2 サイズ2 2 NO（ノーマルオープン）形 SWD-EVD SWD-C Series アナログ入力信号での 3 サイズ3 4 サイズ4 流量比例制御にも対応 注： 3 バルブ接続口径の表を参照し、選択 してください。 機種形番 ＳＳＳＳ 流 3 バルブ 接続口径 ＷＷＷＷ ＤＤＤＤ 4 電空レギュレータ 入力仕様 量 [L/min] 記号 内　　容 １２３４ 記号 内　　容 8 8A 0 0-10V DC 入力信号 10 10A 1 0-5V DC 用途事例 15 クランプ継手 15A 2 4-20mA DC 25 25A（1S） 40 40A（1.5S） ●各種流量制御 ベント 液面調整 注水 5 電空レギュレータ 出力仕様 6 電空レギュレータ オプション 記号 内　　容 記号 内　　容 AN 1-5Vアナログ、エラー（NPN） ケーブルオプション 少しだけ開く フィードバック制御にも対応 AP 1-5Vアナログ、エラー（PNP） 無記号 なし ゆっくり昇圧 C1 ケーブル1m C3 ケーブル3m 洗浄 ブラケットオプション 無記号 なし フィルタ タンク B1 B形ブラケット、床面据付けタイプ 思いのままの流速に L11 L形ブラケット、壁面据付けタイプ 16 17

ウエア形ダイアフラムバルブ　流量コントロールタイプ バルブ単体　 SWD-C Series SWD-C 内部構造図・材質・外形寸法図 Series 日本限定販売 内部構造図・材質 ●接続：ISOフェルール No. 部品名称 材質 1 シリンダカバー ADC12 アルミダイカスト 1 2 2 Oリング FKM フッ素ゴム 形番表示方法 3 3 インジケータ SUS304 ステンレス 4 4 スプリング SUS304（またはSWP） ステンレス（またはピアノ線） 5 5 ピストン A2017 アルミニウム SWD 1 1 8 F C 6 6 ピストンロッド SUS304 ステンレス 7 7 ロッドカバー、ヨーク ADC12 アルミダイカスト 機種形番 材質： アクチュエータADC12、 8 1 シリーズ 3 接続口径 ダイアフラムPTFE/EPDM、ボディSUS316L 8 六角穴付きボルト SUS304、SUSXM7 ステンレス 9 2 作動方式 10 9 コンプレッサ SCS13 ステンレス 11 10 ダイアフラム PTFE、EPDM、 フッ素樹脂、エチレンプロピレンゴム、 SUS303、SUS304 ステンレス 機種形番 11 ボディ SUS316L ステンレス ＳＳＳＳ 注： 補修部品については、20ページをご参照ください。 SWD・ 1 シリーズ 2 作動方式 3 接続口径 ＷＷＷＷ 接液部材質は、PTFE（ダイアフラム）、SUS316L（ボディ）の2種類です。 SWD・ MWD ＤＤＤＤ 記号 内　　容 記号 内　　容 記号 内　　容 １２３４ MWD 1 サイズ1 1 NC（ノーマルクローズ）形 8 8A SWD-T 2 サイズ2 2 NO（ノーマルオープン）形 10 10A SWD-T 3 サイズ3 15 クランプ継手 15A 4 サイズ4 外形寸法図 SPD 25 25A（1S） SPD 注： 3 バルブ接続口径の表を参照 40 40A（1.5S） し、選択してください。 HYA HYA HYN HYN 2×Rc1/8 N M 回路図記号 仕様 ● NC（ノーマルクローズ）形 項目 SWD※1 SWD※2 作動方式 NC NO X 使用流体 水、純水、薬液（接液部の材質を腐食させない流体） 使用圧力 MPa 0〜0.6 耐圧力（水圧にて） MPa 2.0 ● NO（ノーマルオープン）形 流体温度 ℃ 5〜90（蒸気滅菌時130℃ 20分間以内可） 周囲温度 ℃ 0〜60 Y 頻度 回/min 20以下 M5 弁座漏れ cm3/min 0（水圧にて） 呼吸穴 取付姿勢 自在（注1） 操作ポート Rc1/8 操作流体 空気 SWD1※-8 SWD1※-10 0.35〜0.7 0.25〜0.35 操作圧力 （ 注2） MPa SWD2※-15 SWD3※-25 0.3〜0.35 0.4〜0.7 SWD4※-40 0.35〜0.4 φ SWD1※-8 2.3 φK H SWD1※-10 2.6 A Cv値 SWD2※-15 4.5 SWD3※-25 13 SWD4※-40 27 質量［kg］ 形番 A B C D E H K M N SWD1※-8 2.0 NC NO SWD1※-10 2.3 SWD1※-8-FC 90 99.5 22 60 7 34 10.5 32 40 0.6 Kv値（ 注3） SWD2※-15 3.9 SWD1※-10-FC 90 101 22 61.5 7 34 14 32 40 0.6 SWD3※-25 11 SWD2※-15-FC 108 130 22 73 8.5 34 17.5 38 46.5 1.2 SWD4※-40 23 SWD3※-25-FC 127 170 24 84 12.5 50.5 23 49 56 2.7 2.3 注１： 水平配管の場合、29ページに記載の角度で配管することでバルブ内の液溜まりを最小限にでき SWD4※-40-FC 159 212 28 97 16.5 50.5 35.7 57 66 5.1 4.1 ます。 注２： 上記の値は全開または全閉のための圧力範囲です。流量制御のための圧力範囲は、 各最低圧力 以下であり、詳細はホームページ掲載の技術資料（流量特性）をご参照ください。 注３：Kv値については、「流体制御バルブ」（RJ-013）の巻頭ページをご参照ください。 18 19 D C B E（MAX）

SWD-C Series 流量特性 MEMO ●SWD11-8-FC ●SWD11-10-FC ●SWD21-15-FC 使用流体：水 使用流体：水 使用流体：水 80 80 一次圧 160 70 一次圧 70 500kPa 140 一次圧 60 500kPa 60 一次圧 120 500kPa 一次圧 流 50 50 300kPa 100 一次圧 300kPa 流 流 量 量 量 300kPa 40 40 80 ［L/min］ 一次圧 ［L/min］ 一次圧 30 100kPa 30 100kPa ［L/min］60 一次圧 20 20 40 100kPa 10 10 20 0 0 0 0 50 100 150 200 250 300 0 50 100 150 200 250 300 0 50 100 150 200 250 300 操作圧力［ kPa］ 操作圧力［ kPa］ 操作圧力［ kPa］ ●SWD31-25-FC ●SWD41-40-FC 使用流体：水 使用流体：水 400 900 350 一次圧 800 一次圧 500kPa 500kPa 300 一次圧 700 SWD・ 一次圧 SWD・ MWD 流 250 300kPa 600 流 300kPa MWD 量 200 量 500 ［L/min］ 一次圧 400 150 ［L/min］ 一次圧 SWD-T 100kPa 300 100kPa SWD-T 100 200 50 100 SPD 0 0 SPD 0 50 100 150 200 250 300 350 0 50 100 150 200 250 300 350 400 操作圧力［ kPa］ 操作圧力［ kPa］ HYA HYA 注： 製品性能にはバラつきがあり、使用流体、温度の影響等によっても変動するため、目安値とお考えください。 詳細な特性データは、当社ホームページのSWD-Tシリーズのページの「技術情報」からダウンロードしてください。 HYN HYN 補修部品 形番表示方法 SWD 1 PE C 機種形番 1 シリーズ 2 オプション 1 シリーズ 記号 内　　容 1 サイズ1 2 サイズ2 3 サイズ3 4 サイズ4 2 オプション 記号 内　　容 無記号 標準タイプ C 流量コントロールタイプ 20 21

SWD-C用電空レギュレータ SWD-EVD Series SWD-EVD Series 仕様 日本限定販売 仕様 項目 SWD-EVD□ 作動方式 注1 NOタイプ 回路図記号 使用流体 清浄圧縮空気（ISO 8573-1：2010［1：3：2］相当） R P A 最高使用圧力 700kPa 適合詳細形番については、当社ホームページをご覧ください。 最低使用圧力 設定圧力＋100kPa 供給側 1050kPa 耐圧力 形番表示方法 出力側 750kPa 圧力制御範囲 注2 0〜500kPa 電源電圧 DC24V±10%（リップル率1%以下の電源） SWD EVD1 0 AN C1B1 消費電流 0.18A以下（電源ON時の突入電流0.6A以下） 0〜10VDC（6.7kΩ） 入力信号 機種形番 1 識別番号 3 出力信号 （入力インピーダンス） 0〜5VDC（10kΩ） 4〜20mADC（250Ω） 2 入力信号 4 オプション プリセット入力 8点 出力信号 出力精度：±6%F.S.以下、 アナログ出力：1-5VDC（接続負荷インピーダンス500kΩ以上） エラー出力信号 NPN、またはPNPオープンコレクタ出力、 1 識別番号 2 入力信号 30V以下50mA以下、電圧降下2.4V以下、PLC・リレー対応 記号 内　　容 記号 内　　容 ダイレクトメモリ設定 5〜500kPa（設定最小幅1kPa/設定分解能1kPa） EVD1 SWD12、22用 0 0-10V DC SWD・ ヒステリシス 注3 0.5%F.S.以下 SWD・ MWD EVD2 SWD32用 1 0-5V DC リニアリティ 注3 ±0.3%F.S.以下 MWD EVD3 SWD11、21、42用 2 4-20mA DC 分解能 注3 0.2%F.S.以下 EVD4 SWD31、41用 SWD-T 繰返し性 注3 0.3%F.S.以下 SWD-T ゼロ点変動 0.15%F.S./℃以下 温度特性 スパン点変動 0.07%F.S./℃以下 SPD 最大流量（ANR） 注4 400L/min SPD ステップ応答 注5 無負荷 0.2sec以下 3 出力信号 4 オプション 耐振動 98m/s2 HYA 以下 HYA 記号 内　　容 記号 内　　容 周囲温度 5〜45℃ AN 1-5Vアナログ、エラー（NPN） ケーブルオプション 流体温度 5〜45℃ HYN AP 1-5Vアナログ、エラー（PNP） 無記号 なし 接続口径 Rc1/4 HYN C1 ケーブル1m 取付姿勢 自在 C3 ケーブル3m 質量 270g（本体のみ） ブラケットオプション 無記号 なし 保護回路 電源逆接保護 注1：本製品は、電源OFF時にはパイロット操作圧が開放され二次側圧力が大気圧相当に落ちます。 B1 B形ブラケット、床面据付けタイプ 注2：入力信号0%時に1%F.S.以下の残圧があります。（5kPa） 注3： 上記特性は、電源電圧24±0.1VDC、周囲温度25±3℃、無負荷、使用圧力を 最高制御圧力+100kPaとし、制御圧力10〜90%での特性です。 L11 L形ブラケット、壁面据付けタイプ また二次側が閉回路の場合に限られ、ブローのような使用方法においては、圧力変動が発生します。 注4：上記特性は、使用圧力を最高使用圧力、制御圧力を最高制御圧力とした時の特性です。 注5：上記特性は、使用圧力を最高使用圧力、ステップ量を　50%F.S. → 100%F.S.　とした時の特性です。 50%F.S. → 60%F.S. ●オプション（ケーブル、ブラケット）単体形番 50%F.S. → 40%F.S. EVD C1 EVL L11 ※使用上の注意事項、配線方法、および操作方法は取扱説明書SM-50829をご参照ください。 ※ 入出力特性、アナログ出力、流量特性、リリーフ特性は「調質調圧機器・補助機器」（RJ-007）のEVD-1500を ご参照ください。 1 オプション 1 オプション 1 オプション 1 ブラケットオプション 記号 内　　容 記号 内　　容 ケーブルオプション L11 L形ブラケット、壁面据付けタイプ C1 ケーブル1m C3 ケーブル3m ブラケットオプション B1 B形ブラケット、床面据付けタイプ 22 23

SWD-EVD Series SWD-EVD Series オプション外形寸法図 外形寸法図 オプション外形寸法図 ● B形ブラケット（-B1）：床面据付タイプ ● B 形ブラケット組付 Dサブコネクタ15ピン・プラグ（オス） 36 2×＃4−4OUNC 4×フルR 8×φ3.5 27 φ22 56 64 IN OUT 44 14 （48.6） SWD・ SWD・ MWD MWD 90°） SWD-T （ 材質：SPCC SWD-T 　　　Niめっき処理 SPD 質量：32g SPD HYA HYA HYN HYN ● L形ブラケット（-L11）：壁面据付タイプ ● L形ブラケット組付 19 IN OUT 3.5 30.5 3.5 27 21 ロ42 2×Rc1/4 M3 Rポート （パイロットエア排気ポート） 27 27 36 42 4×M3深6 IN OUT φ5.3 22 EXHポート 32 42 φ1.4 電源OFF時排気ポート 52 33 （パイロットエア排気ポート） 材質：SPCC 　　　Niめっき処理 質量：31g 24 25 （107） 92.5 50 18 36 36 27 75 17.5 36 34 5 1.6 27 8 4.4 3.5 3.5 1.6 4.4 4.4 7.2 30 44 30.5 （25.2） （113） (123)

SWD-EVD Series SWD-T Series 特別仕様品 オプション外形寸法図 特別仕様品 ● ケーブル外形図（-C1、C3） 開度調整機構付き 開閉スイッチ付き 特殊形状ボディ シールド線 28.5 ※シールド線は“電源−”（0V）に 11 　接続してください。 9×AWG26 18.9 C1:1000 C3:3000 100 線材 錫メッキ軟銅線 SWD・ 導体外径 約0.48 SWD・ MWD 絶縁体外径 0.88 MWD SWD-T SWD-T SPD 弁開検知用フォトセンサ付き 弁開検知用近接センサ付き ストローク検出用 ポテンショメータ付き SPD Dサブ HYA ソケット 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 質量g HYA ピンNo. 絶縁体の色 茶 橙 黄 − 赤 − − − − 灰 白 − 緑 青 黒 HYN HYN 名称 プリセット入力信号 電源＋ 入力信号 アナログ エラー 出力 出力 未 未 未 未 未 未 C1: 67 使 使 使 使 使 コモン 使 NPN 電源− C3:166 入力の種 ビット ビット ビット ＋24V 0-10V 0-5V 4-20 出力 用 用 用 用 用 用 （0V） 別 1 2 3 DC DC DC mA 1-5V または DC DC PNP 出力 注：10番ピンのコモンはプリセット入力（1〜3番ピン）のコモンです。 注： 本製品は特別仕様品につき、納期、価格などについては、当社営業担当にお問い合わせください。 26 27 33.4 （φ10） （φ6）

流体制御バルブ SWD-T Series 本製品を安全にご使用いただくために 個別注意事項 ご使用になる前に必ずお読みください ■ 水平配管の場合は、バルブを傾斜させて配管するこ とにより、バルブ内の液溜まりを最小限にすること 一般の注意事項は、総合カタログ「流体制御バルブ（RJ-013）」をご確認ください。 なお、上記の総合カタログには医療機械および飲料・食品に直接触れる用途への使用は適用外である旨記載しておりますが、 ができます。ボディ配管部に刻印してある“-CKD-” SWD-Tシリーズはそのような用途でも製品仕様の範囲内である限りにおいてお使いいただける商品です。 マークが真上にくるよう配管してください。 個別注意事項：流量コントロールバルブ　SWD-Tシリーズ （表1、図1参照） 設計・選定時 表1．接続口径とバルブ傾斜角度 警告 注意 形番 接続口径 バルブ傾斜角度（θ°） SWD1※-8 8A 23 ■ 緊急遮断弁などには使用できません。 ■ 急激な流体温度の変化によって、内部漏れが発生す SWD1※-10 10A 11 緊急遮断弁などの安全確保用バルブとして設計されており る場合がありますのでご注意ください。 SWD2※-15 15A 14 ません。そのようなシステムの場合は、別の確実に安全確 ■ ダイアフラムの上側（アクチュエータ側）は流体が接 SWD3※-25 25A（1S） 25 保できる手段を講じた上で、ご使用ください。 触しない部分ですが、流体種類や流体温度の変化な SWD4※-40 40A（1.5S） 24 ■ 誤った機器選定および取扱いは、本製品のトラブル どにより浸透して流体雰囲気となる場合があります。 のみならずお客様のシステムトラブルの発生原因と なります。機器選定および取扱いは、本製品の仕様 ■ アクチュエータ操作用の圧縮エアはろ過度5μm以 “-CKD-” および、お客様のシステムとの適合性をお客様の責 上の性能を有するフィルタを通ったエアまたは不活 任におきまして、ご確認の上、ご使用ください。 性ガスをご使用ください。 SWD・ SWD・ MWD ■ １ヶ月以上使用しない場合は、始業前に試運転を θ MWD ■ 本製品が故障した際に人や物等に悪影響を与えない 行ってください。 SWD-T よう、あらかじめ必要な措置を施してください。 SWD-T ■ 液封について ■ １ヶ月以上使用しない場合は、内部に残留している バルブが開閉作動する際にダイアフラムが上下動し、バル 水を完全に除去してください。水が残留していると SPD 錆が発生し作動不良、漏れ不良が生じることがあり 図1.バルブ傾斜角度 SPD ブ内の流路容積が変化します。従って、流体が非圧縮性 （液体）である場合、バルブに流体が密封される条件（液 ます。 HYA 封）での作動は、バルブに異常な圧力を生じさせます。こ 残留水の除去ができない場合は、最適にご使用いた HYA のような場合はバルブの一次側または二次側に逃がし弁を だくため、1日数回程度作動させ通水してください。 HYN 設け、液封の回路にならないようにしてください。 HYN ■ 操作エアの供給時間、または排気時間が短い場合 ■ 使用流体について は、バルブの作動が追従できないことがあります。 製品構成材料と使用流体との適合性をご確認の上ご使用く ださい。 ■ 製品本体に流体が付着しないようにしてください。 ■ 流体温度について ■ 流体の圧力条件や配管条件によっては、ウォータハ 規定の流体温度の範囲内でご使用ください。 ンマやバイブレーションが発生する場合がありま ■ 流体圧力範囲について す。ほとんどの場合、スピードコントローラ等で開 規定の使用圧力の範囲内でご使用ください。 閉速度を調整することによって改善できます。もし ■ 流体中の鉄錆・ゴミ等の異物は、作動不良・漏れ不 改善できない場合は、流体圧力、配管条件の見直し 良の原因となり製品性能を妨げますので、排除する をしてください。 手段を講じた上で使用してください。 ■ 低頻度でご使用の場合は、当社までご相談くださ ■ 高温、蒸気での使用について い。 蒸気滅菌時等高温の流体を流す場合、バルブ本体も高温に ■ 弁開時にはインジケータが上昇します。インジケー なるため、手や体で触れないでください。直接触れると火 タ部にはグリースが塗布されているため、付着に注 傷する場合がありますので、ご注意ください。 意してください。 ■ バルブを足場にしたり、重量物を載せたりしないで ください。 ■ 操作エア圧力は規定の使用圧力の範囲内でご使用く ださい。 ■ 作動頻度を守ってください。作動頻度は20回/min 以下です。 取付・据付・調整時、使用・メンテナンス時の注意事項については、 CKD機器商品サイト（https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/）→「形番」→ 取扱説明書 をご覧ください。 28 29

ポペット形 ダイアフラムバルブSPDシリーズ コンパクト・高耐久 半導体製造工程向けに培った技術を医薬品・食品向けに応用し、 高いクリーン度・耐久性・メンテナンス性を実現。 医薬品・食品の製造工程に最適です。 8A 15A SWD・ SWD・ MWD MWD 軽量・コンパクト 高さ システムイメージ関連商品 SWD-T SWD-T シンプルなポペット形構造を採用し、 SPD 従来のウエア形ダイアフラムバルブ 35％ DVLを使用することでバルブを閉じる際の動作速度 を変更可能。ノズル先端の液切れを調整できます。 SPD から更に軽量・コンパクト化。 ダウン※ HYA 装置の省スペース、省エネルギー化に ※8Aサイズ HYA 貢献します。 HYN 質量 HYN 20 パイロット式 ％ 3・5ポート弁 4Gシリーズ ダウン※ ダイヤル付 ニードルバルブ 液吐出 液切れ調整前 液切れ調整後 DVL 高耐久性 高いクリーン度と耐久性が求められる SPD ポペット形 半導体業界向けの液体制御技術を応用。 耐久性 ダイアフラムバルブ SPD 従来のウエア形ダイアフラムバルブ 従来品 からダイアフラムの耐久性を大幅に 5倍 向上し、長期間安定した動作を実現 以上 ※当社試験条件による します。 アプリケーション メンテナンス性 ダイアフラム交換可能。 アクチュエータ 簡単に短時間で交換でき、メンテナンス 時間を短縮できます。 簡単 ダイアフラム 交換 ボディ 医薬品製造工程 食品製造工程 30 31

ポペット形ダイアフラムバルブ SPD Series SPD Series 補修部品・内部構造図・材質・外形寸法図 日本限定販売 補修部品（ダイアフラム）　形番表示方法 ●接続：ISOフェルール SPD 1 PT 1 シリーズ 記号 内　　容 1 サイズ1 1 シリーズ 2 サイズ2 注：六角穴付ボルト添付 形番表示方法 SPD 1 1 08 Y F 1 内部構造図・材質 機種形番 1 シリーズ 2 接続 3 操作ポート方向 口径 材質： アクチュエータA5056、 1 接続： ダイアフラムPTFE、ボディSUS316L 2 クランプ継手 作動方式： NC（ノーマルクローズ）形 3 機種形番 SWD・ Ｓ Ｓ S MWD 4 WD・ Ｐ Ｐ MWD 1 シリーズ 2 接続口径 Ｄ Ｄ 品番 部品名称 材　質 SWD-T 記号 内　　容 記号 内　　容 １ ２ 5 1 カバー A5056 アルミニウム SWD-T 1 サイズ1 08 8A 2 サイズ2 2 シリンダ A5056 アルミニウム 15 15A SPD 注： 2 接続口径の表を参照し、選択してください。 6 SPD IN OUT 3 ピストンロッド A5056 アルミニウム 4 Oリング FKM フッ素ゴム HYA 5 ダイアフラム PTFE フッ素樹脂 HYA 3 操作ポート方向 6 ボディ SUS316L ステンレス HYN 記号 内　　容 外形寸法図 HYN バルブを上から眺め、 2×Rc1/8 F G 方向に流体が流れ 1 方向1 ることを示し、 Y は操作ポート方向 を示します 1 X 回路図記号 仕様 ● NC（ノーマルクローズ）形 項目 SPD-1108 SPD-2115 OUT 作動方式 NC（ノーマルクローズ）形 X 使用流体 水、純水、薬液（接液部の材質を腐食させない流体） φ IN OUT J IN 使用圧力 MPa 0〜0.3 背圧 MPa 0〜0.1 A 耐圧力（水圧にて） MPa 0.9 流体温度 ℃ 5〜90 （蒸気滅菌時130℃ 20分間以内可） M5 K 周囲温度 ℃ 0〜60 呼吸穴 4×M 頻度 回/min 30以下 弁座漏れ cm3/min 0（水圧にて） 操作ポート Rc1/8 操作流体 空気 操作圧力 MPa 0.3〜0.5 Cv値 1.9 4.6 Kv値（ 注1） 1.6 4.0 ダイアフラム PTFE 材質 ボディ SUS316L（バフ研磨＃400相当、電解研磨） 形番 A B C D E F G H J K L M N 質量［kg］ アクチュエータ A5056 (陽極酸化処理) SPD-1108 90 61.5 32 22.5 8 39 45 34 10.5 14 32 M6深さ 9 22 0.5 注１：Kv値については、「流体制御バルブ」（RJ-013）の巻頭ページをご参照ください。 SPD-2115 108 81.9 39 30.9 12 48.4 56 34 17.5 20 42 M8深さ12 23.9 0.9 32 33 L D C E B φH N – –

流体制御バルブ 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください MEMO 「流体制御バルブ（RJ-013）」の使用上の注意事項も併せてお読みください 個別注意事項：ポペット形ダイアフラムバルブ　SPDシリーズ 設計・選定時 警告 注意 ■ 緊急遮断弁などには使用できません。 ■ 急激な流体温度の変化によって、内部漏れが発生す 緊急遮断弁などの安全確保用バルブとして設計されており る場合がありますのでご注意ください。 ません。そのようなシステムの場合は、別の確実に安全確 ■ ダイアフラムの上側（アクチュエータ側）は流体が接 保できる手段を講じた上で、ご使用ください。 触しない部分ですが、流体種類や流体温度の変化な ■ 誤った機器選定および取扱いは、本製品のトラブル どにより浸透して流体雰囲気となる場合があります。 のみならずお客様のシステムトラブルの発生原因と なります。機器選定および取扱いは、本製品の仕様 ■ アクチュエータ操作用の圧縮エアはろ過度5μm以 および、お客様のシステムとの適合性をお客様の責 上の性能を有するフィルタを通ったエアまたは不活 任におきまして、ご確認の上、ご使用ください。 性ガスをご使用ください。 ■ 本製品が故障した際に人や物等に悪影響を与えない ■ １ヶ月以上使用しない場合は、始業前に試運転を SWD・ SWD・ MWD よう、あらかじめ必要な措置を施してください。 行ってください。 MWD ■ 液封について ■ １ヶ月以上使用しない場合は、内部に残留している SWD-T バルブが開閉作動する際にダイアフラムが上下動し、バル 水を完全に除去してください。水が残留していると SWD-T ブ内の流路容積が変化します。従って、流体が非圧縮性 錆が発生し作動不良、漏れ不良が生じることがあり SPD （液体）である場合、バルブに流体が密封される条件（液 ます。 SPD 封）での作動は、バルブに異常な圧力を生じさせます。こ 残留水の除去ができない場合は、最適にご使用いた HYA のような場合はバルブの一次側または二次側に逃がし弁を だくため、1日数回程度作動させ通水してください。 HYA 設け、液封の回路にならないようにしてください。 ■ 操作エアの供給時間、または排気時間が短い場合 HYN ■ 使用流体について は、バルブの作動が追従できないことがあります。 HYN 製品構成材料と使用流体との適合性をご確認の上ご使用く ださい。 ■ 製品本体に流体が付着しないようにしてください。 ■ 流体温度について ■ 流体の圧力条件や配管条件によっては、ウォータハ 規定の流体温度の範囲内でご使用ください。 ンマやバイブレーションが発生する場合がありま ■ 流体圧力範囲について す。ほとんどの場合、スピードコントローラ等で開 規定の使用圧力の範囲内でご使用ください。 閉速度を調整することによって改善できます。もし ■ 流体中の鉄錆・ゴミ等の異物は、作動不良・漏れ不 改善できない場合は、流体圧力、配管条件の見直し 良の原因となり製品性能を妨げますので、排除する をしてください。 手段を講じた上で使用してください。 ■ バルブを足場にしたり、重量物を載せたりしないで ■ 高温、蒸気での使用について ください。 蒸気滅菌時等高温の流体を流す場合、バルブ本体も高温に ■ 操作エア圧力は規定の使用圧力の範囲内でご使用く なるため、手や体で触れないでください。直接触れると火 ださい。 傷する場合がありますので、ご注意ください。 ■ 作動頻度を守ってください。作動頻度は30回/min 以下です。 取付・据付・調整時、使用・メンテナンス時の注意事項については、 CKD機器商品サイト（https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/）→「形番」→ 取扱説明書 をご覧ください。 34 35