半導体向け製品の選定･設計のお悩み解決！クリーンユニットFICS

設計する 時間が クリーン組立の 機器の選 迷 定 っ に 足りない スペースがない て 搭載機種例 しまう とにかく 加工に 工数がない 時間がかかる 個別機器 AGD-R Series LGD Series OGD-R Series HVB Series NAD Series LAD Series 手配が面倒 エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ マニュアルバルブ ソレノイドバルブ エアオペレイトバルブ エアオペレイトバルブ プロセスガス・不活性ガス プロセスガス・不活性ガス プロセスガス・不活性ガス 真空・不活性ガス 不活性ガス・ 純水、非腐食性・ 非腐蝕性液体・低真空 非浸透性流体 クリ JXR・二重くい込み VCR相当・二重くい込み JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc Rc ーン組立の 1/4・3/8 1/4・3/8 1/4・3/8 1/8・1/4・3/8 1/4・3/8 3/8・1/2・3/4・1 クラス3 クラス3 クラス3 禁油（高真空用グリース使用） 禁油 禁油 スペースがない 設計する 設計する 時間が足りない 時間が足りない 誰かの保証がマルチフィット FFB Series マルチレックスドライエア用 FCS Series CAU Series FSL Series PGM Series ソレノイドバルブ ソレノイドバルブ フィルタ フィルタ フィルタ レギュレータ 不活性ガス・低真空 不活性ガス・低真空 空気・N2 空気 空気 プロセスガス・不活性ガス 欲しい Rc Rc Rc ワンタッチ ワンタッチ JXR 1/8・1/4・3/8・1/2 1/8・1/4・3/8・1/2・3/4・1 1/8・1/4・3/8 φ10～12 φ4～10 1/4 配管設計が 組立現場に 一般工業用 一般工業用 クラス6 禁油 一般工 業用 クラス3 手間 図面を書く 人が足りない 時間がない 希望の流量を RC2000 Series RN Series NF Series FCM Series FSM3 Series PPX-P12 Series レギュレータ レギュレータ コントローラ コントローラ 流量センサ 圧力センサ 納 確 期 保 管 で 理 き が る 大 機器の か 変 心配 空気・N2 空気 空気・N2 空気・N2・アルゴン・酸素・都市ガス・ 空気・N2・アルゴン・ メタン・プロパン・水素・ヘリウム 炭酸ガス・酸素 空気・非腐食性気体 選定に Rc Rc JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc 1/4・3/8・1/2 1/4・3/8・1/2・3/4・1 1/4・1/2 1/4 1/8・1/4・1/2 1/8 クラス6 禁油 クラス6 禁油 禁油 禁油 迷ってしまう 半導体製造工程及び製造装置に 機器の選定に あわせた商品紹介のコンテンツを公開！ 表示例 半導体最先端プロセスを支える 見積りを 漏れ検査が 手間 迷ってしまうCKDのファインシステム機器 https://www.ckd.co.jp/semiconductor/jp/ シリーズ名 取るのが面倒 分　　類 使用流体 継手種類 機器の 口　　径 選 クリーン度（JIS） 迷 定 っ に て ※掲載品以外の製品や他社製品も搭載可能です。 しまう 対応継手例（ご希望の継手で制作いたします。） 設計す 時 る Rcねじ シール方法 JXR シール方法 二重くい込み継手 シール方法 シールテープを巻きすきまを埋める （メタルガスケット） メタルガスケットを挟む （ダブルフェルール） 2個のフェルールを使用 間が メリット メリット メリット 足り 一般汎用ねじ 高真空～高圧、低温～高音に対応 配管の際に溶接不要、取付作業が簡単 ない 取付・配管変更が簡単 繰り返し結合が可能 繰り返し結合が可能 安価 省スペースで着脱・交換可能 ※別メーカー品へ変更は不可 デメリット デメリット デメリット シールテープくずの発生 配管の際に溶接必要 配管時パーティクルの発生 シール性は他の2種類より劣る メス オス 取付作業が煩雑 配管変更時にスペース必要 これらのお悩みをすべて解決！！ 本カタログに記載の製品及び関連技術は、外国為替及び外国貿易法のキャッチオール規制の対象となります。 本カタログに記載の製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 The goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are subject to complementary export regulations by Foreign Exchange and Foreign Trade Law of Japan. If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 東京オフィス 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 クリーンルームから新たな扉を開く 大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） TEL(06)6396-9630 FAX(06)6396-9631 ＜Website＞ https://www.ckd.co.jp/ ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 0120-771060 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2025 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2025.7.CZZ CC-1163 1

設 計 こんなお悩みを 機器の選定に迷ってしまう 選定・設計・図面作成の工数削減 お客様 解決！！ 設計する時間が足りない クリーン組立のスペースがない メリット 調 達 見積・納期管理の工数削減、 伝票枚数削減 クリーンユニット 製 造 加工・組立・検査の工数削減 = IN/OUTの配管施工でOK！ ○機器ではなくユニット全体がCKD保証！ ○クリーンルームがなくても、 ine ntegrated omponents olution 　クリーンなユニットが調達可能！ 半導体向け製品の実績を発展させたユニット！ お客様はフローと仕様条件を提示するだけ！ 確認項目 フロー図 ■用途例 IN MFM OUT ○フープ、ストッカのN2パージ 【仕様条件】 MFM OUT ○レーザの乾燥エアブロー ○検査機のヘリウムパージ 流体（エア・乾燥エア（CDA）・窒素・アルゴン・ヘリウム・ MFM OUT ○成膜装置の可燃性ガス・N2供給 プロセスガス・水など）圧力、流量、サイズ、クリーン度、 MFM OUT IN/OUTの継手種類・口径など MFM OUT MFM OUT あとはCKDにおまかせ！！ お客様からいただいたフロー図や仕様条件に沿った、最適なクリーンユニットをCKDで構成！ 選定・設計後、仕様図提出 仕様取交し、ご注文 出　　荷 クリーンな クリーン 状態のまま ルームで お客様にお届け 組立対応 最適なユニットが お客様は 完成！ 配管するだけ！ クリーンなユニット品を設備・ 装置に取り付け可能！

設計する 時間が クリーン組立の 機器の選 迷 定 っ に 足りない スペースがない て 搭載機種例 しまう とにかく 加工に 工数がない 時間がかかる 個別機器 AGD-R Series LGD Series OGD-R Series HVB Series NAD Series LAD Series 手配が面倒 エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ マニュアルバルブ ソレノイドバルブ エアオペレイトバルブ エアオペレイトバルブ プロセスガス・不活性ガス プロセスガス・不活性ガス プロセスガス・不活性ガス 真空・不活性ガス 不活性ガス・ 純水、非腐食性・ 非腐蝕性液体・低真空 非浸透性流体 クリ JXR・二重くい込み VCR相当・二重くい込み JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc Rc ーン組立の 1/4・3/8 1/4・3/8 1/4・3/8 1/8・1/4・3/8 1/4・3/8 3/8・1/2・3/4・1 クラス3 クラス3 クラス3 禁油（高真空用グリース使用） 禁油 禁油 スペースがない 設計する 設計する 時間が足りない 時間が足りない 誰かの保証がマルチフィット FFB Series マルチレックスドライエア用 FCS Series CAU Series FSL Series PGM Series ソレノイドバルブ ソレノイドバルブ フィルタ フィルタ フィルタ レギュレータ 不活性ガス・低真空 不活性ガス・低真空 空気・N2 空気 空気 プロセスガス・不活性ガス 欲しい Rc Rc Rc ワンタッチ ワンタッチ JXR 1/8・1/4・3/8・1/2 1/8・1/4・3/8・1/2・3/4・1 1/8・1/4・3/8 φ10～12 φ4～10 1/4 配管設計が 組立現場に 一般工業用 一般工業用 クラス6 禁油 一般工 業用 クラス3 手間 図面を書く 人が足りない 時間がない 希望の流量を RC2000 Series RN Series NF Series FCM Series FSM3 Series PPX-P12 Series レギュレータ レギュレータ コントローラ コントローラ 流量センサ 圧力センサ 納 確 期 保 管 で 理 き が る 大 機器の か 変 心配 空気・N2 空気 空気・N2 空気・N2・アルゴン・酸素・都市ガス・ 空気・N2・アルゴン・ メタン・プロパン・水素・ヘリウム 炭酸ガス・酸素 空気・非腐食性気体 選定に Rc Rc JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc・JXR・二重くい込み Rc 1/4・3/8・1/2 1/4・3/8・1/2・3/4・1 1/4・1/2 1/4 1/8・1/4・1/2 1/8 クラス6 禁油 クラス6 禁油 禁油 禁油 迷ってしまう 半導体製造工程及び製造装置に 機器の選定に あわせた商品紹介のコンテンツを公開！ 表示例 半導体最先端プロセスを支える 見積りを 漏れ検査が 手間 迷ってしまうCKDのファインシステム機器 https://www.ckd.co.jp/semiconductor/jp/ シリーズ名 取るのが面倒 分　　類 使用流体 継手種類 機器の 口　　径 選 クリーン度（JIS） 迷 定 っ に て ※掲載品以外の製品や他社製品も搭載可能です。 しまう 対応継手例（ご希望の継手で制作いたします。） 設計す 時 る Rcねじ シール方法 JXR シール方法 二重くい込み継手 シール方法 シールテープを巻きすきまを埋める （メタルガスケット） メタルガスケットを挟む （ダブルフェルール） 2個のフェルールを使用 間が メリット メリット メリット 足り 一般汎用ねじ 高真空～高圧、低温～高音に対応 配管の際に溶接不要、取付作業が簡単 ない 取付・配管変更が簡単 繰り返し結合が可能 繰り返し結合が可能 安価 省スペースで着脱・交換可能 ※別メーカー品へ変更は不可 デメリット デメリット デメリット シールテープくずの発生 配管の際に溶接必要 配管時パーティクルの発生 シール性は他の2種類より劣る メス オス 取付作業が煩雑 配管変更時にスペース必要 これらのお悩みをすべて解決！！ 本カタログに記載の製品及び関連技術は、外国為替及び外国貿易法のキャッチオール規制の対象となります。 本カタログに記載の製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 The goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are subject to complementary export regulations by Foreign Exchange and Foreign Trade Law of Japan. If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 東京オフィス 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 クリーンルームから新たな扉を開く 大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） TEL(06)6396-9630 FAX(06)6396-9631 ＜Website＞ https://www.ckd.co.jp/ ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 0120-771060 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2025 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2025.7.CZZ CC-1163 1