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真空バルブ(しんくうバルブ)は、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合真空用材料によって構成されている。
プロセスガス、真空などを使用する半導体・液晶製造プロセスに最適なCKDドライファイ...
掲載機器は以下の通りです。*プロセスガス用機器*高真空用機器*その他関連機器
【真空制御の最適解】従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御機能を追加しました。あらゆる業種・用途の真空制御に新しいご提案です。信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。真空時の圧力調整に、レギュ...