シャフトモータステージSCRシリーズ
クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)
アクチュエータとしてシャフトモータを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
エンコーダの分解能は1µm~0.001µmが選択可能です。
超低速~高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。
別途サーボドライバが必要です。原点リミットセンサ付。
1.精密小型モータ・モータドライバ・コントローラ・電子部品等の製造販売 2.自動化省力化機器・装置・システムの設計製作販売 3.上記する電気・電子機器等の輸出並びに関連機器の輸入販売 195...
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