マスフローコントローラ

MC-10シリーズ

低価格と短納期を実現したマスフローコントローラ

株式会社リンテック

分析装置や各種成膜装置向けに開発した低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラです。
ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。
流量精度は±1%F.S.、応答速度は1秒を実現しています。
また、オプションでF.S.流量やガス種を手軽に変更できます。

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主な用途 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカー、各種分析装置などに幅広く納入されています。
URL http://lintec-mfc.co.jp/%e8%a3%bd%e5%93%81%e6%83%85%e5%a0%b1/%e6%b0%97%e4%bd%93%e7%94%a8%e8%a3%bd%e5%93%81/mc-10/

株式会社リンテック

リンテックは、気体ならびに液体の供給システムのパイオニアとして、マスフローコントローラ(MFC)のみならず、様々な製品を生み出してきました。 これらユニークな製品により、今まで不可能だったものを可能...

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