液体マスフローコントローラ

LC-3000Lシリーズ

液体原料用のマスフローコントローラ

株式会社リンテック

各種製造工程に欠かせない高精度を実現した液体用のマスフローコントローラです。
気化器と組み合わせることで液体気化供給システムとして利用可能です。
ピエゾアクチュエータやメタルーシールを採用することで、各種液体や使用条件に対応しています。
流量精度は±1%F.S.を実現しています。
制御バルブ非搭載のメータもラインナップしています。

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主な用途 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカー、各種分析装置などに幅広く納入されています。
URL http://lintec-mfc.co.jp/%e8%a3%bd%e5%93%81%e6%83%85%e5%a0%b1/%e6%b6%b2%e4%bd%93%e7%94%a8%e8%a3%bd%e5%93%81/lc-3000l-series/

株式会社リンテック

リンテックは、気体ならびに液体の供給システムのパイオニアとして、マスフローコントローラ(MFC)のみならず、様々な製品を生み出してきました。 これらユニークな製品により、今まで不可能だったものを可能...

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