ベーパコントローラ

LVC-414

バブリング濃度を自動調整するベーパコントローラ

株式会社リンテック

LVC-414は、半導体ウエハの拡散工程やエピタキシャル工程などに使用される、バブリング濃度を自動調整するガス制御器です。
キャリアガスとバブリングガスを同時モニタし、キャリアガス流量を調節することで濃度を自動でコントロールします。
SiCl4やPOCl3、BBr3その他の液体材料に対応しています。
仏SEMCO Technologies社の製品です。

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主な用途 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカー、各種分析装置などに幅広く納入されています。

株式会社リンテック

リンテックは、気体ならびに液体の供給システムのパイオニアとして、マスフローコントローラ(MFC)のみならず、様々な製品を生み出してきました。 これらユニークな製品により、今まで不可能だったものを可能...

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