主な用途 | 【導入事例】 他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。 他社製110W紫外線洗浄表面改質装置用途 コロナ放電装置(数10ppm)に排気ブロワー付属タイプ。 UV硬化装置向け(約1ppm、高排気風量)用途。 プラズマ表面改質装置(約100ppm)用途。 専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。 量産用エキシマ装置への排気用用途。 |
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