オゾン分解ユニット

ASM503

株式会社あすみ技研

エキシマ装置やプラズマ装置などで発生したオゾンを分解し安全な作業環境をご提供いたします。
高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。
分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。
不燃タイプですので、安心してご使用頂けます。

もっと見る 閉じる

主な用途 【導入事例】
他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。
他社製110W紫外線洗浄表面改質装置用途
コロナ放電装置(数10ppm)に排気ブロワー付属タイプ。
UV硬化装置向け(約1ppm、高排気風量)用途。
プラズマ表面改質装置(約100ppm)用途。
専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。
量産用エキシマ装置への排気用用途。
URL https://www.asumigiken.co.jp/ozone/

株式会社あすみ技研

〒 113-0033
東京都文京区本郷三丁目14-16 3F

オゾン分解ユニットへのお問い合わせ

*の項目は入力必須です。
お問い合わせ内容をご記入ください

ご要望*

この内容をご存知でしたか?*

導入予定時期を教えて下さい*

あなたの立場を教えて下さい*

お客様情報
お名前*
電話番号*
ハイフン付き電話番号をご入力ください。
会社名*