R＆D用スキャン式エキシマ照射装置レンタル

ASM86 Excimer

100V電源ユーティリティだけでエキシマ洗浄表面改質の実験検証が可能です。

株式会社あすみ技研

172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。
【特徴】

スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。

発光波長 172nm
処理対象物 W86mm×D120mm以下、厚み40mm以下
照射距離調整 調整用ラボジャッキ付（照射距離0～40mmまで可変）
外形寸法 本体：（Ｗ）432mm×（D）510mm×（Ｈ）520.5mm
概算重量 約25kg　（本体　20kg、照射ユニット　4.8kg）
本体材質 SUS304/A5052P/SPCC
照射ユニット
ランプメーカー 浜松ホトニクス株式会社製
型式 FLAT EXCIMER EX-86U　L13129
照射面サイズ 86mm×40mm
エキシマ有効照射距離　5mm以内推奨
冷却方式 強制空冷
処理速度 0.1mm/sec～120mm/sec
処理可動範囲 240mm

タッチパネル 4インチ モノクロタッチパネル
レシピ数 20レシピ（処理速度、照射時間設定可能）
モニタ機能 現在速度・現在位置・残り時間　表示機能付き
排オゾン設備 オゾン触媒内蔵（ファン強制排気）
ユーティリティ AC100V 50/60Hz　400VA

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