真空装置に戻る

真空薄膜形成

真空蒸着装置
スパッタリング装置
ドライエッチング・アッシング装置
真空酸化・窒化・ドーピング・アニール装置
CVD装置
エピタキシャル成長装置
複合成膜・膜加工装置
その他の真空薄膜形成・加工装置