直綫伺服馬達（綫性馬達）
綫性馬達Stage SCR系列
優越的定速運作，静止精度，定位精度，高剛性。可以替代PiezoStage。
採用Cross Roller Guide的超精密單軸Linear Stage。(重疊可以使用X/Y Stage)
把Actuator採用了綫型馬達，固定綫圈部位，運作軸部位的Unique構造。
編碼器的分解能是可以選擇1µm～0.001µm。
可以超低速，高速動作，很少發生速度不一定，振動的問題。
需要另外配伺服驅動器。附原點Limit Sensor。
公司資訊
日本脈衝馬達株式會社
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