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FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。
◆必要なときに必要なだけの混合ガスを供給。
◆供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給。
◆ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。
◆メンテナンスを考えたクリーンな構造。
◆安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。
◆気体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。
SVCシリーズは、内蔵タンクで気化させたガスをマスフローコントローラで制御し、供給する装置です。
◆供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、気化ガスを安定供給。
◆各種ユーティリティに接続するだけで手軽にベーキング供給が可能なオールインワン設計。
◆液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。
◆メンテナンスを考えたクリーンな構造。
◆安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。
◆液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | マルチガスミキサ FL Series / ベーキングユニット SVC Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 183.4Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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関連製品
マルチガスミキサ
■概 要
●FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガス
を指定濃度、流量にして安定供給する装置です。
■特 長
●必要なときに必要なだけの混合ガスを供給
●供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給
●ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能
●メンテナンスを考えたクリーンな構造
●安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載
●気体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能
* マルチガスミキサは、有限会社エーディとガスミックス工業株式会社の 3社で共同開発した製品です。
ベーキングユニット
■概 要
●SVCシリーズは、内蔵タンクで気化させたガスをマスフロー
コントローラで制御し、供給する装置です。
■特 長
●供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、
気化ガスを安定供給
●各種ユーティリティに接続するだけで手軽にベーキング供給が
可能なオールインワン設計
●液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能
●メンテナンスを考えたクリーンな構造
●安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載
●液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能
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