LIQUID | 液体用製品
LC-3000L シリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。
◆ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 高性能デジタル通信液体マスフローコントローラ LC-3000L Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 134.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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液体用製品
高性能デジタル通信液体マスフローコントローラ
■概 要
●LC-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。
■特 長
●ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化
●デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 LC-3102L LC-3202L
流量 C2H5OH換算 0.1 ～ 1.0g/min 1.0 ～ 2.0g/min
H2O換算 0.1 ～ 0.2g/min 0.2 ～ 0.4g/min
流量制御範囲 5～ 100% F.S.
バルブ動作 ノーマリオープン
精度 ±1.0% F.S.
直線性 ±0.5% F.S.
再現性 ±0.5% F.S.
応答時間 3sec
アナログ流量設定信号 0.25～ 5VDC
アナログ流量出力信号 0～ 5VDC
必要差圧 50～ 300kPa
耐圧 1MPa(G)
使用保証温度 15～ 35℃ 0～80% RH 20～ 30℃ 0～80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接液部材質 SUS316L, PCTFE SUS316L, PFA, Ni-Co
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA
-15VDC±3% 50mA
取付姿勢 自由
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
重量 1.0kg
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