IKOメカトロシリーズ総合カタログ

Page 1:Printed in Japan © 2014.6 (OKU)製品の外観・仕様などは、改良のため予告なしに変更することがあります。本製品を輸出する際は、仕向国及び用途・需要者を確認いただき、客観要件に該当する場合は、輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。本カタログは正確を期して制作しておりますが、誤記・脱字等に起因する損害には責任を負いかねます。無断転載、転用を禁止します。環境に配慮して再生紙を使用しています。CAT-1556.3

Page 2:精密位置決めテーブルは、長年にわたって培ってきた直動案内機器の技術と、最先端のマイクロエレクトロニクス技術の融合によって生まれた製品です。精密位置決めテーブルは、厳しい要求に応えるために、厳選された多数の優れた部品で構成されています。中でもテーブル案内部には、超精密機械や工作機械の分野で実績のある直動案内機器が組み込まれており、その優れた性能を余すところなく発揮しています。精密位置決めテーブルは、各種の測定器、加工機、組立機を始め、最先端の液晶・半導体製造設備などの高性能な位置決め機構として幅広く使用され、その優れた性能が実証されています。Ⅰ 1 Ⅰ 2

Page 3:メカトロシリーズの分類 メカトロシリーズの特性ボールねじ駆動リニアモータ駆動ムービングマグネットムービングコイルタイミングベルト駆動ダイレクトドライブダイレクトドライブボールねじ駆動リニアモータ駆動ムービングマグネットムービングコイルタイミングベルト駆動メカトロシリーズメカトロシリーズ の分類と特性の分類と特性記号の説明 特に優れている 優れている 普通運動の方向 ストローク長さ 推 力 速 度 加 速 度 位置決め精度直 線直 線直 線直 線回 転上 下アライメントモータボールねじスライドテーブル可動子コイル可動テーブルコア付きタイプコアレスタイプモータタイミングベルトコイルステータ・コアロータ・コアマグネット可動子マグネット可動テーブル固定子マグネット固定子コイルスライドテーブルⅠ 3 Ⅰ 4

Page 4:精密位置決めテーブルTE● 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル精密位置決めテーブルTU● 高剛性なU字形トラックレールを採用● 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能精密位置決めテーブルL● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ● リニアウェイの並列使用で安定した特性精密位置決めテーブルLH● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度● 高剛性で大きな搭載質量高精密位置決めテーブルTX● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現● フルクローズドループ制御で高精度クリーン精密位置決めテーブルTC● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブルマイクロ精密位置決めテーブルTM● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズ● 高い位置決め精度と優れた耐久性精密位置決めテーブルTS・CT● 断面高さが低くコンパクトな構造● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く高精度精密位置決めテーブルLB● タイミングベルト駆動の高速タイプ● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能ナノリニア®NT● コンパクト化を徹底的に追求● NT38Vは断面高さわずか11mmの超低断面● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーションリニアモータテーブルLT● 高速・高分解能を両立● 高加減速・高応答で滑らかな作動● Cルーブ内蔵長期メンテナンスフリー仕様ロータリテーブルRT● 高速・高分解能の回転位置決めテーブル● クロスローラベアリングの採用で高精度・高剛性アライメントテーブルAT● 高精度な位置決めで精密角度補正が可能● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクトアライメントモジュールAM● 用途に合わせて自由にステージを設計可能● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理精密昇降テーブルTZ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能● TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、高精度・高剛性を実現ラインナップラインナップメカトロシリーズメカトロシリーズTE···BTSL···MCTX···MTX···MTMTUCTLH···MTSLH···MTC···EBCTTSTSLBLT···CELT···LDLT···HRTAMNT···VNT···HNT···XZNT···XZHアライメントステージSA● XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mm（SA65DE）● XY軸：0.1μm、θ軸：0.36秒の高分解能（SA120DE）SA···DEATTZTZ···HTZ···XⅠ 5 Ⅰ 6

Page 5:精密位置決めテーブルTE精密位置決めテーブルTU精密位置決めテーブルL精密位置決めテーブルLH高精密位置決めテーブルTXクリーン精密位置決めテーブルTCマイクロ精密位置決めテーブルTM精密位置決めテーブルTS・CTメカトロシリーズメカトロシリーズ INDEXINDEX運動の方向と送り機構 形 状精密位置決めテーブルLBナノリニア®NTアライメントステージSAリニアモータテーブルLTロータリテーブルRTアライメントテーブルATアライメントモジュールAMアライメントステージSA精密昇降テーブルTZシリーズTE···BTUTSL···MTSLH···MTX···MTC···EBTMTSTSLBNT···VNT···HSA···DE/XLT···CELT···LDLT···HRTATAMSA···DE/STZTZ···HTZ···X単軸仕様の形式−−−−−CTLH···MCTX···MCT−NT···XZNT···XZHSA···DE/XYSA···DE/XSSA···DE/XYS−−−−SA···DE/XSSA···DE/XYS−多軸仕様の形式Ⅱ 4 ページⅡ 30 ページⅡ 96 ページⅡ 116ページⅡ 144ページⅡ 164ページⅡ 180ページⅡ 196ページⅡ 218ページⅡ 230ページⅡ 266ページⅡ 282ページⅡ 312ページⅡ 322ページⅡ 334ページⅡ 266ページⅡ 348ページ参照ページボールねじ駆動タイミングベルト駆動リニアモータ駆動ダイレクトドライブボールねじ駆動ボールねじ駆動リニアモータ駆動ボールねじ駆動回 転直 線直 線直 線アライメントアライメントアライメント上 下TSLBLT···CE NT···V SA···DE/XRTATAMSA···DE/STZTM CT TX···MTC···EBTSL···MTE···BⅠ 7 Ⅰ 8

Page 6:精密位置決めテーブルTETE···B多彩な形式・豊富なバリエーションボールねじ駆動● 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル● 高精度な位置決め● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様● 優れたコストパフォーマンス形式と大きさTE50BTE60BTE86B2105008004、 85、1010、208001 0001 860最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度仕様 仕様仕様仕様精密位置決めテーブルLTSL···M● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ● リニアウェイの並列使用で安定した特性● 高い走行精度と位置決め精度● 豊富なサイズバリエーションで多軸システム構成が容易● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTSL 90 MTSL 120 MTSL 170 MTSL 170S MTSL 220 M3006005001 0001 0005、105、105、105、105、10500500500500500最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルLHTSLH···M（単軸仕様）CTLH···M（二軸仕様）● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度● 高剛性で大きな搭載質量● 高い走行精度と位置決め精度● テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MCTLH120MCTLH220MCTLH320M300400500800300 × 300400 × 400500 × 5005、105、105、105、105、105、105、10500500448448500500448最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルTUTU● 高剛性な新発想のU字形トラックレールを採用● 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能● スライドテーブルは高精度・高剛性な一体構造● 必要な機能・性能を呼び番号で指定するだけの簡単オーダー形式と大きさTU 25TU 30TU 40TU 50TU 60TU 86TU 100TU 1301002302855601 0101 4001 1401 260454、85、105、10、2010、2020254005008001 0001 8601 4801 1101 110最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度ボールねじ駆動ボールねじ駆動 ボールねじ駆動直 線直 線直 線直 線形式・サイズバリエーションqページへⅡ‒4ページへⅡ‒30ページへⅡ‒96ページへⅡ‒116Ⅰ 9 Ⅰ 10

Page 7:形式と大きさTX 120MTX 220MTX 320MTX 420MCTX120MCTX220M300400500800300 × 200400 × 3005、105、105、105、105、105、10500500448448500500最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度マイクロ精密位置決めテーブルTMTM● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズ● 高い位置決め精度と優れた耐久性● 用途で選べる2タイプのスライドテーブル形状● 超小型センサを内蔵可能形式と大きさTM15TM15G60500.5、1.0、1.50.5、1.0、1.5150150最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルTS・CTTS（単軸仕様）CT（二軸仕様）形式・サイズバリエーションw多彩な形式・豊富なバリエーション● 断面高さが低くコンパクトな構造● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く高精度な位置決めが可能● スライドテーブルの面積を生かしたコンパクトな設計が可能高精密位置決めテーブルTXTX···M（単軸仕様）CTX···M（二軸仕様）形式と大きさTS 55/ 55TS 75/ 75TS125/125TS125/220TS220/220TS220/310TS260/350CT 55/ 55CT 75/ 75CT125/125CT220/220CT260/350CT350/350± 7.5± 12.5± 25± 60± 75±125± 7.5± 12.5± 25± 60±125±125± 7.5± 12.5± 25± 60± 60± 90±125111、2、52、52、52、52、5111、2、52、52、52、530302502502502502503030250250250250最大ストローク（mm）X 軸 Y 軸最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度クリーン精密位置決めテーブルTCTC···EB● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル● 清浄度クラス3に対応● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現● 超高精度リニアエンコーダ搭載のフルクローズドループ制御で高精度● 用途に合わせて選べる制御方式● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB2005008004、 85、1010、204005001 000最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度ボールねじ駆動ボールねじ駆動ボールねじ駆動ボールねじ駆動直 線直 線直 線直 線仕様仕様仕様仕様ページへⅡ‒144ページへⅡ‒164ページへⅡ‒180ページへⅡ‒196Ⅰ 11 Ⅰ 12

Page 8:スタンダードタイプNT···V● コンパクト化を徹底的に追求● NT38Vは断面高さわずか11mmの超低断面● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーション● 高加減速で高応答な位置決めを実現● XY2軸組合せ可能リニアモータ駆動形式と大きさTSLB 90TSLB120TSLB1706001 0001 2000.10.10.11 5001 5001 500最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）分解能（mm）繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度TSLB● タイミングベルト駆動で1500mm/sの高速移動が可能● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能● 最大1200mmのロングストローク形式・サイズバリエーションe多彩な形式・豊富なバリエーション精密位置決めテーブルLB形式と大きさNT38VNT55VNT80VNT88HNT80XZNT90XZH18651206545250.1、 0.50.1、 0.50.1、 0.50.01、0.050.1、 0.50.1、 0.55001 3001 3004001 3001 300最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）分解能（μm） 繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ項 目 NT···V NT···H NT···XZ精度ナノリニア®NTピック&プレイスユニット● コンパクト化を徹底的に追求● 高タクトな位置決め● 超薄型・省スペース● 運転モニタ機能タイミングベルト駆動リニアモータ駆動高精度タイプNT···H● コンパクト化を徹底的に追求● 高い姿勢精度● 高い速度安定性● シンプルなシステム構成リニアモータ駆動NT···XZNT···XZH直 線 直 線直 線直 線仕様仕様ページへⅡ‒218ページへⅡ‒230Ⅰ 13 Ⅰ 14

Page 9:形式と大きさSA 65 DE/XSA 120 DE/XSA 65 DE/SSA 120 DE/SSA 200 DE/S10（mm）20（mm）50（度）60（度）280（度）0.1、0.5（μm）0.1、0.5（μm）0.64（秒）0.36（秒）0.25（秒）500（mm/s）800（mm/s）720（度/s）420（度/s）270（度/s）最大ストローク最大動作角度最高速度 分解能SA···DE● XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mmの薄型・コンパクト（SA65DE）● XY軸：0.1μm、θ軸：0.36秒の高分解能（SA120DE）● XYθの組合せが自由自在形式・サイズバリエーションr多彩な形式・豊富なバリエーションアライメントステージSA精度コンパクトタイプLT···CE● コンパクト● 高い静止安定性● 高い速度安定性● 高加減速・高応答● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ロングストロークタイプLT···LD● 超ロングストローク● 高い静止安定性● 高い速度安定性● 高速・高分解能を両立● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ハイスラストタイプLT···H● 高推力● 高加減速・高応答で滑らかな作動● 高い静止安定性● 空冷可能● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様リニアモータ駆動リニアモータ駆動リニアモータ駆動リニアモータ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ形式と大きさLT100CELT150CELT130LDLT170LDLT130HLT170H1 0001 2002 7602 7202 7102 6700.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.02 0002 0003 0003 0001 5001 500最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）分解能（μm） 繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ項 目 LT···CE LT···LD LT···H精度リニアモータテーブルLTアライメント直 線直 線直 線直 線仕様仕様ページへⅡ‒266ページへⅡ‒282Ⅰ 15 Ⅰ 16

Page 10:形式・サイズバリエーションt多彩な形式・豊富なバリエーション形式と大きさRT158A2 360度エンドレス 2 621 4402.5最大動作角度（度）最高回転数（s-1）エンコーダ分割数RT● 高速・高分解能の回転位置決めテーブル● クロスローラベアリングの採用で高精度・高剛性● 高分解能光学式エンコーダ採用● コンパクトで滑らかな回転ロータリテーブルRTダイレクトドライブ形式と大きさAT120AT200AT300± 5± 5±10112112最大動作角度（度）ボールねじリード（mm）ローテータ分解能（μm）AT● 高精度の位置決めで精密角度補正が可能● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト● 高い繰返し位置決め精度● 3つのサイズをシリーズ化アライメントテーブルATボールねじ駆動形式と大きさAM25AM40AM60AM863030901204455130180290390最大ストローク（mm）トラックレール長さ（mm）ボールねじリード（mm）精度ボールねじ駆動AM● 用途に合わせて自由にステージを設計可能● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理● XYθの多彩な位置決め動作が可能● 大型装置に最適● 高精度・高剛性・高信頼性アライメントモジュールAMTZ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能● TZ···Xは、Cルーブリニアローラウェイスーパー Xを採用し、高精度・高剛性を実現● リニアエンコーダを取付け可能● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー● 2つの減速比をシリーズ化精密昇降テーブルTZ形式と大きさTZ120TZ120XTZ200HTZ200X101024244455100100125125最大ストローク（mm）最高速度（mm/s）ボールねじリード（mm）精度ボールねじ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ仕様回 転仕様アライメントアライメント直 線仕様仕様ページへⅡ‒312ページへⅡ‒322ページへⅡ‒334ページへⅡ‒348Ⅰ 17 Ⅰ 18

Page 11:進化を続ける位置決め機構q軽量・低断面の新感覚テーブルなら 超コンパクトを実現するならモータカバースライドテーブル精密研削ボールねじセンサ ベッドマイクロリニアウェイLアンギュラベアリング テーブルをXYの積層状態に配置しても、占有スペースが増大せず、位置決め機構の更なる小形化に貢献します。NT···Vナノリニア®NTコンパクト化を徹底的に追及。シリーズ最小サイズのNT38V10は、断面高さわずか11mm、テーブル幅38mm、全長62mmを実現TMマイクロ精密位置決めテーブルTM テーブル案内部にトラックレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、送り機構にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを採用。研削ボールねじ駆動では他に類例のない断面高さを実現。研削ボールねじ仕様で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズを実現NT38V10 NT38V18 NT55V25 NT55V65 NT80V25 NT80V65 NT80V120形 式 NT···V形式と大きさ断面寸法17mm20mmベッド幅寸法（mm）5060861.83.310.90.521.03.7TU TE···BTE50B● 質 量 単位：kgスタンダードテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用。U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した軽量・コンパクト構造！TE···B精密位置決めテーブルTE高強度アルミニウム合金製のスライドテーブルとベッドの採用で超軽量！スライドテーブルと直動案内機器を一体構造にした低断面・コンパクト設計！各種センサは取付け溝に直接取付け50TU5050265055148016382611Ⅰ 19 Ⅰ 20

Page 12:進化を続ける位置決め機構w CルーブリニアローラウェイスーパーXの採用により、究極の走行性能を実現。超高分解能リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を構成し、ストローク全域において高い位置決め精度を保証しています。TX···M、CTX···M高精密位置決めテーブルTXNT···Hナノリニア®NT超高精度リニアエンコーダの搭載により、高い位置決め精度と分解能を保証！100 200 300 400位置決め精度 μm-10.0-5.00.05.010.0ストローク mm試料：CTX220M-4030X軸Y軸 高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置の再現性に優れています。高い姿勢精度を実現！ストローク mm姿勢精度 秒300-3010 20 30 40 502520151050-5-10-15-20-256050ダイレクトドライブにより高精度の位置決めと高速を両立 ロングストロークの用途で要求される高速運転にも対応。最高速度3000mm/sまでの高速運転が可能です。速 度 mm/s6 000時 間 s0-1 0000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.85 0004 0003 0002 0001 00000.93000mm/sLT···LDリニアモータテーブルLT速 度 mm/s12時 間 s08108.510.59119.511.51 2 3 4 510mm/s 1,000Hz 1.97% ダイレクトドライブと先進のサーボ技術により、高い速度安定性を実現しています。LT···CE、LT···LD、LT···HリニアモータテーブルLT高精度を狙うなら 高精度位置決めと高速高い速度安定性を実現するならを両立するならⅠ 21 Ⅰ 22

Page 13:100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径清浄度クラス3を実現！ 耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部分を密閉。ステンレスシートはスライドテーブル内に設置された樹脂製ローラによりサイドカバーに押し付けられ、強力マグネットシートにて確実に吸着する構造を採用し、密閉された内部空間から空気を吸引することで、テーブル周辺への発じんを防ぎます。TC···EBクリーン精密位置決めテーブルTCTU精密位置決めテーブルTUTE···B精密位置決めテーブルTEクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限クラス2上限TC50EB150（ボールねじのリード：4mm）100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径ストロ ー ク速 度吸 引 量：50mm：200mm/s：5L/minTC50EB300（ボールねじのリード：8mm）100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径ストロ ー ク速 度吸 引 量：200mm：400mm/s：10L/minTC60EB300（ボールねじのリード：10mm）ストロ ー ク速 度吸 引 量：200mm：500mm/s：30L/minTC60EB600（ボールねじのリード：10mm）ストロ ー ク速 度吸 引 量：500mm：500mm/s：30L/minTC86EB640（ボールねじのリード：20mm）ストロ ー ク速 度吸 引 量：200mm：1000mm/s：70L/minTC86EB940（ボールねじのリード：20mm）ストロ ー ク速 度吸 引 量：800mm：560mm/s：40L/minクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値測定値今すぐ必要な機能・性能を、呼び番号で指定するだけの簡単オーダーが可能！豊富なオプション群で選ぶなら クリーン環境の用途なら進化を続ける位置決め機構e用途に合わせて2種類の形状から選択することができます。フランジ付きショート、スタンダード、ロングスタンダードショート、スタンダード、ロングスライドテーブルの形状テーブルの全長を短くすることで、省スペース化を図ることが可能です。テーブルへの異物落下防止のためブリッジカバー付き仕様を選択できます。モータ折返し仕様テーブル内部への異物の侵入を防止するジャバラ付き仕様を選択できます。ジャバラ付きテーブルスライドテーブルやボールねじの表面に黒色の浸透性皮膜を形成することで、耐食性を向上させます。黒色クロム皮膜処理ブリッジカバー付き負荷荷重やモーメントの大きさに応じて、トラックレールに組み込むスライドテーブルの数を2個にすることができます。スライドテーブルの個数要求される精度に応じて、転造ボールねじと研削ボールねじから選択することができます。また、ボールねじのリードも選択できます。ボールねじの種類とリードⅠ 23 Ⅰ 24

Page 14:新発想・世界初の【Cルーブ】を内蔵した構造 豊富な特殊ステージの実績で、様々な軸構成のステージなどのお客様のご要望にきめ細かくお応えします。ご要望の際は にお問い合わせください。進化を続ける位置決め機構r転動体の循環で潤滑油を運搬 転動体表面に直接潤滑油を供給 キャピラリー潤滑体の表面は、常に潤滑油で覆われています。 キャピラリー潤滑体の表面に転動体が接触すると、表面張力により潤滑油が途切れることなく転動体表面に供給されます。 転動体が接触するキャピラリー潤滑体の表面には、他の部分から常に新しい潤滑油が供給されます。 潤滑油は、トラックレールではなく、直接転動体に供給されます。 スライドユニットの転動体循環路に内蔵されたキャピラリー潤滑体に転動体が接触したとき、転動体表面に潤滑油が供給され、転動体の循環により負荷域に運ばれます。 その結果、負荷域では常に最適な油量が確保され、長期間潤滑性能を維持します。トラックレールスライドユニットストローク方向円筒ころ表面張力潤滑油膜円筒ころ 円筒ころCルーブ Cルーブ毛細管現象CルーブリニアローラウェイCルーブリニアウェイアクアブルーの側板がメンテナンスフリーの目印です。アクアブルーの側板がメンテナンスフリーの目印です。Cルーブ内蔵新発想・世界初の【Cルーブ】を内蔵した構造Cルーブ多様化するニーズに対応するならメンテナンスフリーを考えるなら● 精密位置決めテーブルL● 精密位置決めテーブルLH● クリーン精密位置決めテーブルTC● 精密昇降テーブルTZ● 精密位置決めテーブルTE● ナノリニア®NT● アライメントステージSA●リニアモータテーブルLT● 高精密位置決めテーブルTX▲液晶基板製造装置 ▲液晶基板製造装置▲電子部品検査装置 ▲液晶基板検査装置▲液晶基板検査装置【Cルーブ】を内蔵したシリーズⅠ 25 Ⅰ 26

Page 15:●精密位置決めテーブルＴＥ ・・・・Ⅱ- 5解説 ・・・・Ⅱ- 17寸法表●精密位置決めテーブルＴＵ ・・・・Ⅱ- 31解説 ・・・・Ⅱ- 63寸法表●精密位置決めテーブルＬ ・・・・Ⅱ- 97解説 ・・・・Ⅱ-110寸法表●精密位置決めテーブルＬＨ ・・・・Ⅱ-117解説 ・・・・Ⅱ-131寸法表●高精密位置決めテーブルTX ・・・・Ⅱ-145解説 ・・・・Ⅱ-157寸法表●クリーン精密位置決めテーブルＴＣ・・・・Ⅱ-165解説 ・・・・Ⅱ-176寸法表●マイクロ精密位置決めテーブルＴＭ・・・・Ⅱ-181解説 ・・・・Ⅱ-193寸法表●精密位置決めテーブルTS・ＣＴ・・・・Ⅱ-197解説 ・・・・Ⅱ-208寸法表●精密位置決めテーブルLB ・・・・Ⅱ-219解説 ・・・・Ⅱ-226寸法表●ナノリニア®ＮＴ ・・・・Ⅱ-231解説 ・・・・Ⅱ-260寸法表●アライメントステージSA ・・・・Ⅱ-267解説 ・・・・Ⅱ-276寸法表●リニアモータテーブルLT ・・・・Ⅱ-283解説 ・・・・Ⅱ-299寸法表●ロータリテーブルRT ・・・・Ⅱ-313解説 ・・・・Ⅱ-320寸法表●アライメントテーブルAT ・・・・Ⅱ-323解説 ・・・・Ⅱ-330寸法表●アライメントモジュールAM ・・・・Ⅱ-335解説 ・・・・Ⅱ-343寸法表●精密昇降テーブルTZ ・・・・Ⅱ-349解説 ・・・・Ⅱ-356寸法表●プログラムコントローラ ・・・・Ⅱ-362解説各製品シリーズの解説と寸法表総 合 解 説使 用 実 例 の ご 紹 介●総合解説 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅲ-2●使用実例のご紹介 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅳ-2Ⅱ 1 Ⅱ 2

Page 16:TE…BTE…BⅡ 3 Ⅱ 4

Page 17:TE…BTE・・・B Pointsセンサ取付け溝ベッドリニアウェイエンドブラケットスライドテーブルモータブラケットボールねじ駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.002∼0.0200.035∼0.065−−0.008∼0.016−−0.005精密ボールねじリニアウェイ（ボールタイプ）潤滑部品「Ｃルーブ」内蔵高強度アルミニウム合金呼び番号で選択単位 mm主な製品仕様 精 度 ●断面高さ精密位置決めテーブルTUとの比較ストローク長さ(mm) 全長(mm) 質量(kg) 質量/100mm(kg)形式と大きさ60601001003002502182262692985234980.521.81.03.33.710.90.240.800.371.110.712.19●質量TE60B TU60TE50BTE50BTU50TE60BTU60TE86BTU86TU50 TE86B TU86形状 形式50 60ベッド幅寸法(mm)86TE…BS ☆ ☆ ☆TE…BF ☆ ☆ ☆1●軽量・低断面・高精度な位置決めテーブル主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した、軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブルです。テーブル全体の質量がTUシリーズの約40％に軽減。断面高さはTE50Bで26mm、TE60Bで33mm、TE86Bで46mmと低断面で、各種センサはベッドのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造になっているので、省スペース化に貢献します。2●用途に合わせたテーブル仕様が選択可能スライドテーブルの形状は、スタンダードとフランジ付きの2タイプ。スライドテーブルの個数やモータの折返し仕様、ボールねじのリード、防じん用カバーの有無、各種センサの取付けなどが指定できるので、機械･装置の仕様に合わせて最適な製品が選択できます。3●優れたコストパフォーマンス部品点数の削減、部品形状の最適化により、優れたコストパフォーマンスを実現しています。バリエーション精密位置決めテーブル TEフランジ付きスタンダードⅡ 5 Ⅱ 6

Page 18:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6 7 8 9TE 50 B F 300 / AT001 8 S C 3形式1 Ⅱ 7ページ大きさ2 Ⅱ 7ページスライドテーブルの形状3 Ⅱ 7ページベッド長さ4 Ⅱ 7ページモータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5 Ⅱ 7ページボールねじのリード6 Ⅱ 9ページスライドテーブルの個数7 Ⅱ 9ページカバー仕様8 Ⅱ 9ページセンサ仕様9 Ⅱ 9ページTE…B：精密位置決めテーブルTE大きさは、ベッド幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。S：スタンダードテーブルF：フランジ付きスタンダードテーブル表1に示すベッド長さから選択します。AT000 ：モータストレート仕様 モータアタッチメントなしAT001∼AT011 ：モータストレート仕様 モータアタッチメント付きAR000 ：モータ折返し仕様 モータアタッチメントなしAR001∼AR008：モータ折返し仕様 モータアタッチメント付きモータアタッチメントをご指定の場合は、表2.1、表2.2より選択します。・モータ折返し仕様とご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・モータストレート仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると表3に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。モータアタッチメントなし（AT000）の場合、カップリングは付属されません。・モータ折返し仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると「指定したモータに適合するハウジング、プーリ（モータ側とボールねじ側）、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が添付されます。モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。形式1大きさ2スライドテーブルの形状3ベッド長さ4表1 大きさとベッド長さ 単位 mm形式と大きさ ベッド幅寸法 ベッド長さTE50B 50 150、200、250、300TE60B 60 150、200、300、400、500、600TE86B 86 340、440、540、640、740、840、940備考 ストローク長さはⅡ 17ページ以降の寸法表をご参照ください。モータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5表2.1 モータアタッチメントの適用（モータストレート仕様）使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTE50B TE60B TE86BACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AT001 AT002 −SGMAV-A5 AT001 AT002 −SGMJV-01100− AT002 −SGMAV-01 − AT002 −SGMJV-02200 □60− − AT003SGMAV-02 − − AT003三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AT001 AT002 −HF-KP053 AT001 AT002 −HF-MP13100− AT002 −HF-KP13 − AT002 −HF-MP23200 □60− − AT003HF-KP23 − − AT003パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AT004 AT005 −MSME5A AT004 AT005 −MSMD01100− AT005 −MSME01 − AT005 −MSMD02200 □60− − AT006MSME02 − − AT006ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AT007 − −AR66 □60 − − AT008AR69 □60 − − AT008AS46 □42 AT009 − −AS66 □60 − AT010 AT011AS69 □60 − AT010 AT011RKCRKRK54・CRK54 □42 AT009 − − RK56・CRK56（1） □60 − AT010 AT011注（1）モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表2.2 モータアタッチメントの適用（モータ折返し仕様）使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTE50B TE60B TE86BACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AR001 AR002 −SGMAV-A5 AR001 AR002 −SGMJV-01100− AR002 −SGMAV-01 − AR002 −SGMJV-02200 □60− − AR003SGMAV-02 − − AR003三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AR001 AR002 −HF-KP053 AR001 AR002 −HF-MP13100− AR002 −HF-KP13 − AR002 −HF-MP23200 □60− − AR003HF-KP23 − − AR003パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AR004 AR005 −MSME5A AR004 AR005 −MSMD01100− AR005 −MSME01 − AR005 −MSMD02200 □60− − AR006MSME02 − − AR006ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AR007 − −AS46 □42 AR008 − −RKCRKRK54・CRK54 □42 AR008 − −備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。呼び番号 Ⅱ 7 Ⅱ 8TE…B呼び番号と仕様の詳細呼び番号と仕様の詳細

Page 19:表3 カップリングの形式（モータストレート仕様）モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャJC×10-5kg･m2AT001 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT002 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT003 XGS-30C- 8×14 鍋屋バイテック会社 0.55AT004 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT005 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT006 XGS-30C- 8×11 鍋屋バイテック会社 0.55AT007 XGS-19C- 5× 6 鍋屋バイテック会社 0.062AT008 XGS-30C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.55AT009 XGS-19C- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.062AT010 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT011 XGS-30C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.55備考 カップリングの詳細仕様は、メーカのカタログをご参照ください。4：リード 4mm（TE50Bに適用）5：リード 5mm（TE60Bに適用）8：リード 8mm（TE50Bに適用）10：リード10mm（TE60B、TE86Bに適用）20：リード20mm（TE86Bに適用）S：1個C：2個0 ：カバーなしC：ブリッジカバー付き（TE…BFに適用）0：センサなし2：センサ2個取付け（リミット）3：センサ3個取付け（リミット、原点前）4：センサ4個取付け（リミット、原点前、原点）5：センサ2個添付 （リミット用）6：センサ3個添付 （リミット、原点前）7：センサ4個添付 （リミット、原点前、原点）センサ取付け（記号2、3、4）を指定した場合、センサがベッド側面のセンサ取付け溝に、2枚の遮へい板がスライドテーブルに取り付けられます。センサ添付（記号5、6、7）を指定した場合、指定個数のセンサの他、センサ取付けねじ、ナット、遮へい板（2枚）、遮へい板取付けねじが添付されます。ボールねじのリード6スライドテーブルの個数7カバー仕様8センサ仕様9表4 精度 単位 mm形式と大きさベッド長さ繰返し位置決め精度位置決め精度（1）テーブル運動の平行度 Bバックラッシ（1）TE50B150±0.002（±0.020）0.0350.008 0.0052002500.040300TE60B150±0.002（±0.020）0.0350.0080.005200300 0.0404000.0455000.010600 0.050TE86B340±0.002（±0.020）0.040 0.0080.005440 0.0450.0105400.0506400.012740 0.0558400.0650.014940 0.016注（1） モータ折返し仕様のテーブルには、適用しません。備考 （ ）内の値は、モータ折返し仕様のテーブルにおいてタイミングベルトの張力が適正に調整されている場合の参考値です。表5 最高速度モータの種類形式と大きさベッド長さmm最高速度 mm/sリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmACサーボモータTE50B − 400 − 800 − −TE60B500以下 − 500 − 1 000 −600 − 350 − 710 −TE86B540以下 − − − 930 1 860640 − − − 830 1 630740 − − − 590 1 170840 − − − 440 880940 − − − 340 690ステッピングモータTE50B − 120 − 240 − −TE60B − − 150 − 300 −TE86B840以下 − − − 300 600940 − − − 300 600備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表6 許容モーメント形式と大きさ許容モーメント N・mT0TXTYTE50B 9.8TE60B 16.7TE86B 49.0Ⅱ 9 Ⅱ 10TE…B呼び番号と仕様の詳細諸特性

Page 20:表8 直動案内部の定格荷重形式と大きさ基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0N静定格モーメント（1） N・mT0TXTYTE50B 8 490 12 500 211（ 422） 99.5（ 508） 99.5（ 508）TE60B 12 400 17 100 354（ 708） 151 （ 795） 151 （ 795）TE86B 26 800 35 900 1 110（2 220） 472 （2 400） 472 （2 400）注（1） 下図の方向の値で、（ ）内の値はスライドテーブル2個密着時の値です。表9.1 ボールねじの仕様1形式と大きさリードmmねじ外径mm基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0NTE50B482 290 3 5758 1 450 2 155TE60B5102 730 4 41010 1 720 2 745TE86B10123 820 6 48020 2 300 3 920表9.2 ボールねじの仕様2 単位 mm形式と大きさ ベッド長さ ねじ外径 全 長TE50B1508192.5200 242.5250 292.5300 342.5TE60B15010194200 244300 344400 444500 544600 644TE86B34012395440 495540 595640 695740 795840 895940 995表10 ベッドの断面2次モーメント形式と大きさ断面2次モーメント mm4重心点emmIXIYTE50B 1.3×1041.2×1056.4TE60B 4.7×1043.2×1058.8TE86B 2.0×1051.3×10613.0X軸Y軸eT0TXTY 表11 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさベッド長さmmテーブルイナーシャ JT（2）×10-5kg･m2起動トルクTS（1）N･mスタンダードテーブルフランジ付きスタンダードテーブルリード リード4mm 5mm 8mm 10mm 20mm 4mm 5mm 8mm 10mm 20mmTE50B150 0.057 − 0.071 − − 0.060 − 0.084 − −0.03200 0.069 − 0.083 − − 0.072 − 0.096 − −250 0.085 − 0.099 − − 0.088 − 0.112 − −300 0.097 − 0.111 − − 0.100 − 0.124 − −TE60B150 − 0.13 − 0.17 − − 0.14 − 0.20 −0.03200 − 0.19 − 0.23 − − 0.20 − 0.26 −300 − 0.26 − 0.30 − − 0.27 − 0.33 −400 − 0.33 − 0.36 − − 0.34 − 0.40 −500 − 0.40 − 0.44 − − 0.41 − 0.47 −600 − 0.47 − 0.51 − − 0.48 − 0.54 −TE86B340 − − − 0.73 1.19 − − − 0.81 1.500.05440 − − − 0.88 1.35 − − − 0.95 1.64540 − − − 1.03 1.50 − − − 1.11 1.80640 − − − 1.18 1.64 − − − 1.25 1.95740 − − − 1.33 1.79 − − − 1.41 2.10840 − − − 1.48 1.94 − − − 1.56 2.25940 − − − 1.63 2.10 − − − 1.71 2.40注（1）スライドテーブルを2個使用する場合は約1.5倍に、モータ折返し仕様のテーブルは約2倍になります。 （2）モータ折返し仕様の場合、表中の数値に下記の値を加算してください。TE50B：0.17×10-5kg･m2、TE60B：0.39×10-5kg･m2、TE86B：0.86×10-5kg･m2表7 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量 kg水平 垂直TE50B4 12 118 12 7TE60B5 17 1310 17 8TE86B10 36 1820 29 10備考 フランジ付きスタンダードテーブルでスライドテーブル1個の場合です。Ⅱ 11 Ⅱ 12TE…B諸特性 諸特性