本型錄(IKO線馬系列綜合型錄)的內容

Page 1:Printed in Japan © 2014.6 (OKU)製品の外観・仕様などは、改良のため予告なしに変更することがあります。本製品を輸出する際は、仕向国及び用途・需要者を確認いただき、客観要件に該当する場合は、輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。本カタログは正確を期して制作しておりますが、誤記・脱字等に起因する損害には責任を負いかねます。無断転載、転用を禁止します。環境に配慮して再生紙を使用しています。CAT-1556.3

Page 2:精密位置決めテーブルは、長年にわたって培ってきた直動案内機器の技術と、最先端のマイクロエレクトロニクス技術の融合によって生まれた製品です。精密位置決めテーブルは、厳しい要求に応えるために、厳選された多数の優れた部品で構成されています。中でもテーブル案内部には、超精密機械や工作機械の分野で実績のある直動案内機器が組み込まれており、その優れた性能を余すところなく発揮しています。精密位置決めテーブルは、各種の測定器、加工機、組立機を始め、最先端の液晶・半導体製造設備などの高性能な位置決め機構として幅広く使用され、その優れた性能が実証されています。Ⅰ 1 Ⅰ 2

Page 3:メカトロシリーズの分類 メカトロシリーズの特性ボールねじ駆動リニアモータ駆動ムービングマグネットムービングコイルタイミングベルト駆動ダイレクトドライブダイレクトドライブボールねじ駆動リニアモータ駆動ムービングマグネットムービングコイルタイミングベルト駆動メカトロシリーズメカトロシリーズ の分類と特性の分類と特性記号の説明 特に優れている 優れている 普通運動の方向 ストローク長さ 推 力 速 度 加 速 度 位置決め精度直 線直 線直 線直 線回 転上 下アライメントモータボールねじスライドテーブル可動子コイル可動テーブルコア付きタイプコアレスタイプモータタイミングベルトコイルステータ・コアロータ・コアマグネット可動子マグネット可動テーブル固定子マグネット固定子コイルスライドテーブルⅠ 3 Ⅰ 4

Page 4:精密位置決めテーブルTE● 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル精密位置決めテーブルTU● 高剛性なU字形トラックレールを採用● 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能精密位置決めテーブルL● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ● リニアウェイの並列使用で安定した特性精密位置決めテーブルLH● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度● 高剛性で大きな搭載質量高精密位置決めテーブルTX● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現● フルクローズドループ制御で高精度クリーン精密位置決めテーブルTC● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブルマイクロ精密位置決めテーブルTM● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズ● 高い位置決め精度と優れた耐久性精密位置決めテーブルTS・CT● 断面高さが低くコンパクトな構造● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く高精度精密位置決めテーブルLB● タイミングベルト駆動の高速タイプ● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能ナノリニア®NT● コンパクト化を徹底的に追求● NT38Vは断面高さわずか11mmの超低断面● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーションリニアモータテーブルLT● 高速・高分解能を両立● 高加減速・高応答で滑らかな作動● Cルーブ内蔵長期メンテナンスフリー仕様ロータリテーブルRT● 高速・高分解能の回転位置決めテーブル● クロスローラベアリングの採用で高精度・高剛性アライメントテーブルAT● 高精度な位置決めで精密角度補正が可能● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクトアライメントモジュールAM● 用途に合わせて自由にステージを設計可能● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理精密昇降テーブルTZ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能● TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、高精度・高剛性を実現ラインナップラインナップメカトロシリーズメカトロシリーズTE···BTSL···MCTX···MTX···MTMTUCTLH···MTSLH···MTC···EBCTTSTSLBLT···CELT···LDLT···HRTAMNT···VNT···HNT···XZNT···XZHアライメントステージSA● XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mm(SA65DE)● XY軸:0.1μm、θ軸:0.36秒の高分解能(SA120DE)SA···DEATTZTZ···HTZ···XⅠ 5 Ⅰ 6

Page 5:精密位置決めテーブルTE精密位置決めテーブルTU精密位置決めテーブルL精密位置決めテーブルLH高精密位置決めテーブルTXクリーン精密位置決めテーブルTCマイクロ精密位置決めテーブルTM精密位置決めテーブルTS・CTメカトロシリーズメカトロシリーズ INDEXINDEX運動の方向と送り機構 形 状精密位置決めテーブルLBナノリニア®NTアライメントステージSAリニアモータテーブルLTロータリテーブルRTアライメントテーブルATアライメントモジュールAMアライメントステージSA精密昇降テーブルTZシリーズTE···BTUTSL···MTSLH···MTX···MTC···EBTMTSTSLBNT···VNT···HSA···DE/XLT···CELT···LDLT···HRTATAMSA···DE/STZTZ···HTZ···X単軸仕様の形式−−−−−CTLH···MCTX···MCT−NT···XZNT···XZHSA···DE/XYSA···DE/XSSA···DE/XYS−−−−SA···DE/XSSA···DE/XYS−多軸仕様の形式Ⅱ 4 ページⅡ 30 ページⅡ 96 ページⅡ 116ページⅡ 144ページⅡ 164ページⅡ 180ページⅡ 196ページⅡ 218ページⅡ 230ページⅡ 266ページⅡ 282ページⅡ 312ページⅡ 322ページⅡ 334ページⅡ 266ページⅡ 348ページ参照ページボールねじ駆動タイミングベルト駆動リニアモータ駆動ダイレクトドライブボールねじ駆動ボールねじ駆動リニアモータ駆動ボールねじ駆動回 転直 線直 線直 線アライメントアライメントアライメント上 下TSLBLT···CE NT···V SA···DE/XRTATAMSA···DE/STZTM CT TX···MTC···EBTSL···MTE···BⅠ 7 Ⅰ 8

Page 6:精密位置決めテーブルTETE···B多彩な形式・豊富なバリエーションボールねじ駆動● 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル● 高精度な位置決め● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様● 優れたコストパフォーマンス形式と大きさTE50BTE60BTE86B2105008004、 85、1010、208001 0001 860最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度仕様 仕様仕様仕様精密位置決めテーブルLTSL···M● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ● リニアウェイの並列使用で安定した特性● 高い走行精度と位置決め精度● 豊富なサイズバリエーションで多軸システム構成が容易● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTSL 90 MTSL 120 MTSL 170 MTSL 170S MTSL 220 M3006005001 0001 0005、105、105、105、105、10500500500500500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルLHTSLH···M(単軸仕様)CTLH···M(二軸仕様)● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度● 高剛性で大きな搭載質量● 高い走行精度と位置決め精度● テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MCTLH120MCTLH220MCTLH320M300400500800300 × 300400 × 400500 × 5005、105、105、105、105、105、105、10500500448448500500448最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルTUTU● 高剛性な新発想のU字形トラックレールを採用● 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能● スライドテーブルは高精度・高剛性な一体構造● 必要な機能・性能を呼び番号で指定するだけの簡単オーダー形式と大きさTU 25TU 30TU 40TU 50TU 60TU 86TU 100TU 1301002302855601 0101 4001 1401 260454、85、105、10、2010、2020254005008001 0001 8601 4801 1101 110最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度ボールねじ駆動ボールねじ駆動 ボールねじ駆動直 線直 線直 線直 線形式・サイズバリエーションqページへⅡ‒4ページへⅡ‒30ページへⅡ‒96ページへⅡ‒116Ⅰ 9 Ⅰ 10

Page 7:形式と大きさTX 120MTX 220MTX 320MTX 420MCTX120MCTX220M300400500800300 × 200400 × 3005、105、105、105、105、105、10500500448448500500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度マイクロ精密位置決めテーブルTMTM● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズ● 高い位置決め精度と優れた耐久性● 用途で選べる2タイプのスライドテーブル形状● 超小型センサを内蔵可能形式と大きさTM15TM15G60500.5、1.0、1.50.5、1.0、1.5150150最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度精密位置決めテーブルTS・CTTS(単軸仕様)CT(二軸仕様)形式・サイズバリエーションw多彩な形式・豊富なバリエーション● 断面高さが低くコンパクトな構造● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く高精度な位置決めが可能● スライドテーブルの面積を生かしたコンパクトな設計が可能高精密位置決めテーブルTXTX···M(単軸仕様)CTX···M(二軸仕様)形式と大きさTS 55/ 55TS 75/ 75TS125/125TS125/220TS220/220TS220/310TS260/350CT 55/ 55CT 75/ 75CT125/125CT220/220CT260/350CT350/350± 7.5± 12.5± 25± 60± 75±125± 7.5± 12.5± 25± 60±125±125± 7.5± 12.5± 25± 60± 60± 90±125111、2、52、52、52、52、5111、2、52、52、52、530302502502502502503030250250250250最大ストローク(mm)X 軸 Y 軸最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度クリーン精密位置決めテーブルTCTC···EB● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル● 清浄度クラス3に対応● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現● 超高精度リニアエンコーダ搭載のフルクローズドループ制御で高精度● 用途に合わせて選べる制御方式● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB2005008004、 85、1010、204005001 000最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度ボールねじ駆動ボールねじ駆動ボールねじ駆動ボールねじ駆動直 線直 線直 線直 線仕様仕様仕様仕様ページへⅡ‒144ページへⅡ‒164ページへⅡ‒180ページへⅡ‒196Ⅰ 11 Ⅰ 12

Page 8:スタンダードタイプNT···V● コンパクト化を徹底的に追求● NT38Vは断面高さわずか11mmの超低断面● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーション● 高加減速で高応答な位置決めを実現● XY2軸組合せ可能リニアモータ駆動形式と大きさTSLB 90TSLB120TSLB1706001 0001 2000.10.10.11 5001 5001 500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)分解能(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度TSLB● タイミングベルト駆動で1500mm/sの高速移動が可能● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能● 最大1200mmのロングストローク形式・サイズバリエーションe多彩な形式・豊富なバリエーション精密位置決めテーブルLB形式と大きさNT38VNT55VNT80VNT88HNT80XZNT90XZH18651206545250.1、 0.50.1、 0.50.1、 0.50.01、0.050.1、 0.50.1、 0.55001 3001 3004001 3001 300最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)分解能(μm) 繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ項 目 NT···V NT···H NT···XZ精度ナノリニア®NTピック&プレイスユニット● コンパクト化を徹底的に追求● 高タクトな位置決め● 超薄型・省スペース● 運転モニタ機能タイミングベルト駆動リニアモータ駆動高精度タイプNT···H● コンパクト化を徹底的に追求● 高い姿勢精度● 高い速度安定性● シンプルなシステム構成リニアモータ駆動NT···XZNT···XZH直 線 直 線直 線直 線仕様仕様ページへⅡ‒218ページへⅡ‒230Ⅰ 13 Ⅰ 14

Page 9:形式と大きさSA 65 DE/XSA 120 DE/XSA 65 DE/SSA 120 DE/SSA 200 DE/S10(mm)20(mm)50(度)60(度)280(度)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.64(秒)0.36(秒)0.25(秒)500(mm/s)800(mm/s)720(度/s)420(度/s)270(度/s)最大ストローク最大動作角度最高速度 分解能SA···DE● XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mmの薄型・コンパクト(SA65DE)● XY軸:0.1μm、θ軸:0.36秒の高分解能(SA120DE)● XYθの組合せが自由自在形式・サイズバリエーションr多彩な形式・豊富なバリエーションアライメントステージSA精度コンパクトタイプLT···CE● コンパクト● 高い静止安定性● 高い速度安定性● 高加減速・高応答● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ロングストロークタイプLT···LD● 超ロングストローク● 高い静止安定性● 高い速度安定性● 高速・高分解能を両立● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ハイスラストタイプLT···H● 高推力● 高加減速・高応答で滑らかな作動● 高い静止安定性● 空冷可能● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様リニアモータ駆動リニアモータ駆動リニアモータ駆動リニアモータ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ形式と大きさLT100CELT150CELT130LDLT170LDLT130HLT170H1 0001 2002 7602 7202 7102 6700.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.02 0002 0003 0003 0001 5001 500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)分解能(μm) 繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ項 目 LT···CE LT···LD LT···H精度リニアモータテーブルLTアライメント直 線直 線直 線直 線仕様仕様ページへⅡ‒266ページへⅡ‒282Ⅰ 15 Ⅰ 16

Page 10:形式・サイズバリエーションt多彩な形式・豊富なバリエーション形式と大きさRT158A2 360度エンドレス 2 621 4402.5最大動作角度(度)最高回転数(s-1)エンコーダ分割数RT● 高速・高分解能の回転位置決めテーブル● クロスローラベアリングの採用で高精度・高剛性● 高分解能光学式エンコーダ採用● コンパクトで滑らかな回転ロータリテーブルRTダイレクトドライブ形式と大きさAT120AT200AT300± 5± 5±10112112最大動作角度(度)ボールねじリード(mm)ローテータ分解能(μm)AT● 高精度の位置決めで精密角度補正が可能● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト● 高い繰返し位置決め精度● 3つのサイズをシリーズ化アライメントテーブルATボールねじ駆動形式と大きさAM25AM40AM60AM863030901204455130180290390最大ストローク(mm)トラックレール長さ(mm)ボールねじリード(mm)精度ボールねじ駆動AM● 用途に合わせて自由にステージを設計可能● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理● XYθの多彩な位置決め動作が可能● 大型装置に最適● 高精度・高剛性・高信頼性アライメントモジュールAMTZ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能● TZ···Xは、Cルーブリニアローラウェイスーパー Xを採用し、高精度・高剛性を実現● リニアエンコーダを取付け可能● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー● 2つの減速比をシリーズ化精密昇降テーブルTZ形式と大きさTZ120TZ120XTZ200HTZ200X101024244455100100125125最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)精度ボールねじ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ仕様回 転仕様アライメントアライメント直 線仕様仕様ページへⅡ‒312ページへⅡ‒322ページへⅡ‒334ページへⅡ‒348Ⅰ 17 Ⅰ 18

Page 11:進化を続ける位置決め機構q軽量・低断面の新感覚テーブルなら 超コンパクトを実現するならモータカバースライドテーブル精密研削ボールねじセンサ ベッドマイクロリニアウェイLアンギュラベアリング テーブルをXYの積層状態に配置しても、占有スペースが増大せず、位置決め機構の更なる小形化に貢献します。NT···Vナノリニア®NTコンパクト化を徹底的に追及。シリーズ最小サイズのNT38V10は、断面高さわずか11mm、テーブル幅38mm、全長62mmを実現TMマイクロ精密位置決めテーブルTM テーブル案内部にトラックレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、送り機構にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを採用。研削ボールねじ駆動では他に類例のない断面高さを実現。研削ボールねじ仕様で、断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズを実現NT38V10 NT38V18 NT55V25 NT55V65 NT80V25 NT80V65 NT80V120形 式 NT···V形式と大きさ断面寸法17mm20mmベッド幅寸法(mm)5060861.83.310.90.521.03.7TU TE···BTE50B● 質 量 単位:kgスタンダードテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用。U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した軽量・コンパクト構造!TE···B精密位置決めテーブルTE高強度アルミニウム合金製のスライドテーブルとベッドの採用で超軽量!スライドテーブルと直動案内機器を一体構造にした低断面・コンパクト設計!各種センサは取付け溝に直接取付け50TU5050265055148016382611Ⅰ 19 Ⅰ 20

Page 12:進化を続ける位置決め機構w CルーブリニアローラウェイスーパーXの採用により、究極の走行性能を実現。超高分解能リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を構成し、ストローク全域において高い位置決め精度を保証しています。TX···M、CTX···M高精密位置決めテーブルTXNT···Hナノリニア®NT超高精度リニアエンコーダの搭載により、高い位置決め精度と分解能を保証!100 200 300 400位置決め精度 μm-10.0-5.00.05.010.0ストローク mm試料:CTX220M-4030X軸Y軸 高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置の再現性に優れています。高い姿勢精度を実現!ストローク mm姿勢精度 秒300-3010 20 30 40 502520151050-5-10-15-20-256050ダイレクトドライブにより高精度の位置決めと高速を両立 ロングストロークの用途で要求される高速運転にも対応。最高速度3000mm/sまでの高速運転が可能です。速 度 mm/s6 000時 間 s0-1 0000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.85 0004 0003 0002 0001 00000.93000mm/sLT···LDリニアモータテーブルLT速 度 mm/s12時 間 s08108.510.59119.511.51 2 3 4 510mm/s 1,000Hz 1.97% ダイレクトドライブと先進のサーボ技術により、高い速度安定性を実現しています。LT···CE、LT···LD、LT···HリニアモータテーブルLT高精度を狙うなら 高精度位置決めと高速高い速度安定性を実現するならを両立するならⅠ 21 Ⅰ 22

Page 13:100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径清浄度クラス3を実現! 耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部分を密閉。ステンレスシートはスライドテーブル内に設置された樹脂製ローラによりサイドカバーに押し付けられ、強力マグネットシートにて確実に吸着する構造を採用し、密閉された内部空間から空気を吸引することで、テーブル周辺への発じんを防ぎます。TC···EBクリーン精密位置決めテーブルTCTU精密位置決めテーブルTUTE···B精密位置決めテーブルTEクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限クラス2上限TC50EB150(ボールねじのリード:4mm)100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径ストロ ー ク速 度吸 引 量:50mm:200mm/s:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)100 00010 0001 0001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度 個/m3粒子径ストロ ー ク速 度吸 引 量:200mm:400mm/s:10L/minTC60EB300(ボールねじのリード:10mm)ストロ ー ク速 度吸 引 量:200mm:500mm/s:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)ストロ ー ク速 度吸 引 量:500mm:500mm/s:30L/minTC86EB640(ボールねじのリード:20mm)ストロ ー ク速 度吸 引 量:200mm:1000mm/s:70L/minTC86EB940(ボールねじのリード:20mm)ストロ ー ク速 度吸 引 量:800mm:560mm/s:40L/minクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値測定値今すぐ必要な機能・性能を、呼び番号で指定するだけの簡単オーダーが可能!豊富なオプション群で選ぶなら クリーン環境の用途なら進化を続ける位置決め機構e用途に合わせて2種類の形状から選択することができます。フランジ付きショート、スタンダード、ロングスタンダードショート、スタンダード、ロングスライドテーブルの形状テーブルの全長を短くすることで、省スペース化を図ることが可能です。テーブルへの異物落下防止のためブリッジカバー付き仕様を選択できます。モータ折返し仕様テーブル内部への異物の侵入を防止するジャバラ付き仕様を選択できます。ジャバラ付きテーブルスライドテーブルやボールねじの表面に黒色の浸透性皮膜を形成することで、耐食性を向上させます。黒色クロム皮膜処理ブリッジカバー付き負荷荷重やモーメントの大きさに応じて、トラックレールに組み込むスライドテーブルの数を2個にすることができます。スライドテーブルの個数要求される精度に応じて、転造ボールねじと研削ボールねじから選択することができます。また、ボールねじのリードも選択できます。ボールねじの種類とリードⅠ 23 Ⅰ 24

Page 14:新発想・世界初の【Cルーブ】を内蔵した構造 豊富な特殊ステージの実績で、様々な軸構成のステージなどのお客様のご要望にきめ細かくお応えします。ご要望の際は にお問い合わせください。進化を続ける位置決め機構r転動体の循環で潤滑油を運搬 転動体表面に直接潤滑油を供給 キャピラリー潤滑体の表面は、常に潤滑油で覆われています。 キャピラリー潤滑体の表面に転動体が接触すると、表面張力により潤滑油が途切れることなく転動体表面に供給されます。 転動体が接触するキャピラリー潤滑体の表面には、他の部分から常に新しい潤滑油が供給されます。 潤滑油は、トラックレールではなく、直接転動体に供給されます。 スライドユニットの転動体循環路に内蔵されたキャピラリー潤滑体に転動体が接触したとき、転動体表面に潤滑油が供給され、転動体の循環により負荷域に運ばれます。 その結果、負荷域では常に最適な油量が確保され、長期間潤滑性能を維持します。トラックレールスライドユニットストローク方向円筒ころ表面張力潤滑油膜円筒ころ 円筒ころCルーブ Cルーブ毛細管現象CルーブリニアローラウェイCルーブリニアウェイアクアブルーの側板がメンテナンスフリーの目印です。アクアブルーの側板がメンテナンスフリーの目印です。Cルーブ内蔵新発想・世界初の【Cルーブ】を内蔵した構造Cルーブ多様化するニーズに対応するならメンテナンスフリーを考えるなら● 精密位置決めテーブルL● 精密位置決めテーブルLH● クリーン精密位置決めテーブルTC● 精密昇降テーブルTZ● 精密位置決めテーブルTE● ナノリニア®NT● アライメントステージSA●リニアモータテーブルLT● 高精密位置決めテーブルTX▲液晶基板製造装置 ▲液晶基板製造装置▲電子部品検査装置 ▲液晶基板検査装置▲液晶基板検査装置【Cルーブ】を内蔵したシリーズⅠ 25 Ⅰ 26

Page 15:●精密位置決めテーブルTE ・・・・Ⅱ- 5解説 ・・・・Ⅱ- 17寸法表●精密位置決めテーブルTU ・・・・Ⅱ- 31解説 ・・・・Ⅱ- 63寸法表●精密位置決めテーブルL ・・・・Ⅱ- 97解説 ・・・・Ⅱ-110寸法表●精密位置決めテーブルLH ・・・・Ⅱ-117解説 ・・・・Ⅱ-131寸法表●高精密位置決めテーブルTX ・・・・Ⅱ-145解説 ・・・・Ⅱ-157寸法表●クリーン精密位置決めテーブルTC・・・・Ⅱ-165解説 ・・・・Ⅱ-176寸法表●マイクロ精密位置決めテーブルTM・・・・Ⅱ-181解説 ・・・・Ⅱ-193寸法表●精密位置決めテーブルTS・CT・・・・Ⅱ-197解説 ・・・・Ⅱ-208寸法表●精密位置決めテーブルLB ・・・・Ⅱ-219解説 ・・・・Ⅱ-226寸法表●ナノリニア®NT ・・・・Ⅱ-231解説 ・・・・Ⅱ-260寸法表●アライメントステージSA ・・・・Ⅱ-267解説 ・・・・Ⅱ-276寸法表●リニアモータテーブルLT ・・・・Ⅱ-283解説 ・・・・Ⅱ-299寸法表●ロータリテーブルRT ・・・・Ⅱ-313解説 ・・・・Ⅱ-320寸法表●アライメントテーブルAT ・・・・Ⅱ-323解説 ・・・・Ⅱ-330寸法表●アライメントモジュールAM ・・・・Ⅱ-335解説 ・・・・Ⅱ-343寸法表●精密昇降テーブルTZ ・・・・Ⅱ-349解説 ・・・・Ⅱ-356寸法表●プログラムコントローラ ・・・・Ⅱ-362解説各製品シリーズの解説と寸法表総 合 解 説使 用 実 例 の ご 紹 介●総合解説 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅲ-2●使用実例のご紹介 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅳ-2Ⅱ 1 Ⅱ 2

Page 16:TE…BTE…BⅡ 3 Ⅱ 4

Page 17:TE…BTE・・・B Pointsセンサ取付け溝ベッドリニアウェイエンドブラケットスライドテーブルモータブラケットボールねじ駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.002∼0.0200.035∼0.065−−0.008∼0.016−−0.005精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵高強度アルミニウム合金呼び番号で選択単位 mm主な製品仕様 精 度 ●断面高さ精密位置決めテーブルTUとの比較ストローク長さ(mm) 全長(mm) 質量(kg) 質量/100mm(kg)形式と大きさ60601001003002502182262692985234980.521.81.03.33.710.90.240.800.371.110.712.19●質量TE60B TU60TE50BTE50BTU50TE60BTU60TE86BTU86TU50 TE86B TU86形状 形式50 60ベッド幅寸法(mm)86TE…BS ☆ ☆ ☆TE…BF ☆ ☆ ☆1●軽量・低断面・高精度な位置決めテーブル主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した、軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブルです。テーブル全体の質量がTUシリーズの約40%に軽減。断面高さはTE50Bで26mm、TE60Bで33mm、TE86Bで46mmと低断面で、各種センサはベッドのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造になっているので、省スペース化に貢献します。2●用途に合わせたテーブル仕様が選択可能スライドテーブルの形状は、スタンダードとフランジ付きの2タイプ。スライドテーブルの個数やモータの折返し仕様、ボールねじのリード、防じん用カバーの有無、各種センサの取付けなどが指定できるので、機械・装置の仕様に合わせて最適な製品が選択できます。3●優れたコストパフォーマンス部品点数の削減、部品形状の最適化により、優れたコストパフォーマンスを実現しています。バリエーション精密位置決めテーブル TEフランジ付きスタンダードⅡ 5 Ⅱ 6

Page 18:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6 7 8 9TE 50 B F 300 / AT001 8 S C 3形式1 Ⅱ 7ページ大きさ2 Ⅱ 7ページスライドテーブルの形状3 Ⅱ 7ページベッド長さ4 Ⅱ 7ページモータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5 Ⅱ 7ページボールねじのリード6 Ⅱ 9ページスライドテーブルの個数7 Ⅱ 9ページカバー仕様8 Ⅱ 9ページセンサ仕様9 Ⅱ 9ページTE…B:精密位置決めテーブルTE大きさは、ベッド幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。S:スタンダードテーブルF:フランジ付きスタンダードテーブル表1に示すベッド長さから選択します。AT000 :モータストレート仕様 モータアタッチメントなしAT001∼AT011 :モータストレート仕様 モータアタッチメント付きAR000 :モータ折返し仕様 モータアタッチメントなしAR001∼AR008:モータ折返し仕様 モータアタッチメント付きモータアタッチメントをご指定の場合は、表2.1、表2.2より選択します。・モータ折返し仕様とご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・モータストレート仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると表3に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。モータアタッチメントなし(AT000)の場合、カップリングは付属されません。・モータ折返し仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると「指定したモータに適合するハウジング、プーリ(モータ側とボールねじ側)、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が添付されます。モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。形式1大きさ2スライドテーブルの形状3ベッド長さ4表1 大きさとベッド長さ 単位 mm形式と大きさ ベッド幅寸法 ベッド長さTE50B 50 150、200、250、300TE60B 60 150、200、300、400、500、600TE86B 86 340、440、540、640、740、840、940備考 ストローク長さはⅡ 17ページ以降の寸法表をご参照ください。モータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5表2.1 モータアタッチメントの適用(モータストレート仕様)使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTE50B TE60B TE86BACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AT001 AT002 −SGMAV-A5 AT001 AT002 −SGMJV-01100− AT002 −SGMAV-01 − AT002 −SGMJV-02200 □60− − AT003SGMAV-02 − − AT003三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AT001 AT002 −HF-KP053 AT001 AT002 −HF-MP13100− AT002 −HF-KP13 − AT002 −HF-MP23200 □60− − AT003HF-KP23 − − AT003パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AT004 AT005 −MSME5A AT004 AT005 −MSMD01100− AT005 −MSME01 − AT005 −MSMD02200 □60− − AT006MSME02 − − AT006ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AT007 − −AR66 □60 − − AT008AR69 □60 − − AT008AS46 □42 AT009 − −AS66 □60 − AT010 AT011AS69 □60 − AT010 AT011RKCRKRK54・CRK54 □42 AT009 − − RK56・CRK56(1) □60 − AT010 AT011注(1)モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表2.2 モータアタッチメントの適用(モータ折返し仕様)使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTE50B TE60B TE86BACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AR001 AR002 −SGMAV-A5 AR001 AR002 −SGMJV-01100− AR002 −SGMAV-01 − AR002 −SGMJV-02200 □60− − AR003SGMAV-02 − − AR003三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AR001 AR002 −HF-KP053 AR001 AR002 −HF-MP13100− AR002 −HF-KP13 − AR002 −HF-MP23200 □60− − AR003HF-KP23 − − AR003パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AR004 AR005 −MSME5A AR004 AR005 −MSMD01100− AR005 −MSME01 − AR005 −MSMD02200 □60− − AR006MSME02 − − AR006ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AR007 − −AS46 □42 AR008 − −RKCRKRK54・CRK54 □42 AR008 − −備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。呼び番号 Ⅱ 7 Ⅱ 8TE…B呼び番号と仕様の詳細呼び番号と仕様の詳細

Page 19:表3 カップリングの形式(モータストレート仕様)モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャJC×10-5kg・m2AT001 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT002 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT003 XGS-30C- 8×14 鍋屋バイテック会社 0.55AT004 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT005 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT006 XGS-30C- 8×11 鍋屋バイテック会社 0.55AT007 XGS-19C- 5× 6 鍋屋バイテック会社 0.062AT008 XGS-30C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.55AT009 XGS-19C- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.062AT010 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT011 XGS-30C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.55備考 カップリングの詳細仕様は、メーカのカタログをご参照ください。4:リード 4mm(TE50Bに適用)5:リード 5mm(TE60Bに適用)8:リード 8mm(TE50Bに適用)10:リード10mm(TE60B、TE86Bに適用)20:リード20mm(TE86Bに適用)S:1個C:2個0 :カバーなしC:ブリッジカバー付き(TE…BFに適用)0:センサなし2:センサ2個取付け(リミット)3:センサ3個取付け(リミット、原点前)4:センサ4個取付け(リミット、原点前、原点)5:センサ2個添付 (リミット用)6:センサ3個添付 (リミット、原点前)7:センサ4個添付 (リミット、原点前、原点)センサ取付け(記号2、3、4)を指定した場合、センサがベッド側面のセンサ取付け溝に、2枚の遮へい板がスライドテーブルに取り付けられます。センサ添付(記号5、6、7)を指定した場合、指定個数のセンサの他、センサ取付けねじ、ナット、遮へい板(2枚)、遮へい板取付けねじが添付されます。ボールねじのリード6スライドテーブルの個数7カバー仕様8センサ仕様9表4 精度 単位 mm形式と大きさベッド長さ繰返し位置決め精度位置決め精度(1)テーブル運動の平行度 Bバックラッシ(1)TE50B150±0.002(±0.020)0.0350.008 0.0052002500.040300TE60B150±0.002(±0.020)0.0350.0080.005200300 0.0404000.0455000.010600 0.050TE86B340±0.002(±0.020)0.040 0.0080.005440 0.0450.0105400.0506400.012740 0.0558400.0650.014940 0.016注(1) モータ折返し仕様のテーブルには、適用しません。備考 ( )内の値は、モータ折返し仕様のテーブルにおいてタイミングベルトの張力が適正に調整されている場合の参考値です。表5 最高速度モータの種類形式と大きさベッド長さmm最高速度 mm/sリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmACサーボモータTE50B − 400 − 800 − −TE60B500以下 − 500 − 1 000 −600 − 350 − 710 −TE86B540以下 − − − 930 1 860640 − − − 830 1 630740 − − − 590 1 170840 − − − 440 880940 − − − 340 690ステッピングモータTE50B − 120 − 240 − −TE60B − − 150 − 300 −TE86B840以下 − − − 300 600940 − − − 300 600備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表6 許容モーメント形式と大きさ許容モーメント N・mT0TXTYTE50B 9.8TE60B 16.7TE86B 49.0Ⅱ 9 Ⅱ 10TE…B呼び番号と仕様の詳細諸特性

Page 20:表8 直動案内部の定格荷重形式と大きさ基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0N静定格モーメント(1) N・mT0TXTYTE50B 8 490 12 500 211( 422) 99.5( 508) 99.5( 508)TE60B 12 400 17 100 354( 708) 151 ( 795) 151 ( 795)TE86B 26 800 35 900 1 110(2 220) 472 (2 400) 472 (2 400)注(1) 下図の方向の値で、( )内の値はスライドテーブル2個密着時の値です。表9.1 ボールねじの仕様1形式と大きさリードmmねじ外径mm基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0NTE50B482 290 3 5758 1 450 2 155TE60B5102 730 4 41010 1 720 2 745TE86B10123 820 6 48020 2 300 3 920表9.2 ボールねじの仕様2 単位 mm形式と大きさ ベッド長さ ねじ外径 全 長TE50B1508192.5200 242.5250 292.5300 342.5TE60B15010194200 244300 344400 444500 544600 644TE86B34012395440 495540 595640 695740 795840 895940 995表10 ベッドの断面2次モーメント形式と大きさ断面2次モーメント mm4重心点emmIXIYTE50B 1.3×1041.2×1056.4TE60B 4.7×1043.2×1058.8TE86B 2.0×1051.3×10613.0X軸Y軸eT0TXTY 表11 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさベッド長さmmテーブルイナーシャ JT(2)×10-5kg・m2起動トルクTS(1)N・mスタンダードテーブルフランジ付きスタンダードテーブルリード リード4mm 5mm 8mm 10mm 20mm 4mm 5mm 8mm 10mm 20mmTE50B150 0.057 − 0.071 − − 0.060 − 0.084 − −0.03200 0.069 − 0.083 − − 0.072 − 0.096 − −250 0.085 − 0.099 − − 0.088 − 0.112 − −300 0.097 − 0.111 − − 0.100 − 0.124 − −TE60B150 − 0.13 − 0.17 − − 0.14 − 0.20 −0.03200 − 0.19 − 0.23 − − 0.20 − 0.26 −300 − 0.26 − 0.30 − − 0.27 − 0.33 −400 − 0.33 − 0.36 − − 0.34 − 0.40 −500 − 0.40 − 0.44 − − 0.41 − 0.47 −600 − 0.47 − 0.51 − − 0.48 − 0.54 −TE86B340 − − − 0.73 1.19 − − − 0.81 1.500.05440 − − − 0.88 1.35 − − − 0.95 1.64540 − − − 1.03 1.50 − − − 1.11 1.80640 − − − 1.18 1.64 − − − 1.25 1.95740 − − − 1.33 1.79 − − − 1.41 2.10840 − − − 1.48 1.94 − − − 1.56 2.25940 − − − 1.63 2.10 − − − 1.71 2.40注(1)スライドテーブルを2個使用する場合は約1.5倍に、モータ折返し仕様のテーブルは約2倍になります。 (2)モータ折返し仕様の場合、表中の数値に下記の値を加算してください。TE50B:0.17×10-5kg・m2、TE60B:0.39×10-5kg・m2、TE86B:0.86×10-5kg・m2表7 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量 kg水平 垂直TE50B4 12 118 12 7TE60B5 17 1310 17 8TE86B10 36 1820 29 10備考 フランジ付きスタンダードテーブルでスライドテーブル1個の場合です。Ⅱ 11 Ⅱ 12TE…B諸特性 諸特性

Page 21:精密位置決めテーブルTEは、モータ折返し仕様を用意していますので、モータを折り返してテーブルの全長を短くすることで、省スペース化を図ることが可能です。モータ折返し仕様の寸法は、各寸法表をご参照ください。モータ折返し仕様の場合は、「指定したモータに適合するハウジング、プーリ(モータ側とボールねじ側)、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が添付されますので、お客様にて組立を行ってください。ただし、モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。モータアタッチメントは下図のように4方向に取り付けることが可能です。モータ折返し方向によって、ベッド下面よりモータアタッチメントまたはモータが低くなる寸法が異なります。Ⅱ 23∼Ⅱ 28ページの寸法表に概略値が記載してありますので、周辺部品が干渉しないよう余裕を持って設計を行ってください。モータ上方向折返しモータ下方向折返しモータ左方向折返しモータ右方向折返し精密位置決めテーブルTEには、スライドテーブル2個仕様を用意しています。モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付けられており、モータにより駆動することが可能です(駆動テーブル)。反モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付けてられておらずフリー状態です(従動テーブル)。2個のスライドテーブルを連結して使用することにより、モーメントに強い構成にすることが可能です(表7)。スライドテーブルを連結する場合は,Ⅱ 17∼Ⅱ 28ページの寸法表に記載してある「2個密着時中心間寸法」以上の間隔でご使用ください。(間隔を広げるとストロークは短くなります)2個密着時中心間寸法駆動テーブル従動テーブル表12 センサのタイミングチャートモータストレート仕様モータ折返し仕様単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C D(1) ETE50B433210 6 ( 9 ) 58 6TE60B544320 9.5( 8.5) 910 7TE86B1050720 11 (11 ) 1020 12注(1)( )内の値は、スライドテーブル2個密着時の寸法を示します。備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. モータ折返し仕様の場合はCW・CCWが反転します。OFF原点原点前CCWリミットCWリミットONOFFOFFメカストッパストローク長さ(D)ABC14CCWCW(E)CWCCW原点原点前CWリミットCCWリミットONOFFOFFOFFメカストッパストローク長さ(E)ABC14(D)Ⅱ 13 Ⅱ 14TE…Bモータ折返し仕様 スライドテーブル2個仕様 センサ仕様

Page 22:■モータストレート仕様TE50B TE60BAT000(アタッチメントなし)AT000(アタッチメントなし)AT001AT002AT004AT005AT007AT009AT010TE86BAT000(アタッチメントなし)AT003AT006AT008AT01162210101730214-M3深さ615.512.54-3.4きり+0.04+0.02φ5φ264-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M3通しPCD45、90°等配□4010303+0.04+0.02φ23φ30□31□424-3.4きり6.5深ざぐり深さ4+0.04+0.02φ22□4030104-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.59696663+0.04+0.02φ23φ304-M4通しPCD46、90°等配6221030104-M3通し+0.04+0.02φ26φ54-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M4通しPCD46、90°等配□40103039+0.04+0.02φ30φ234-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M3通しPCD45、90°等配□4010303+0.04+0.02φ30φ232□50□604-M4通し4−3.4きり6.5深ざぐり深さ5.51030+0.05+0.025φ36φ23696868251550204-M4深さ8+0.04+0.02φ37φ83.511 □604-M5通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ85020+0.05+0.01φ50φ334-M4通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ8□6050203.5+0.05+0.01φ50φ332204-4.5きり8深ざぐり深さ74-M4通し□50□6050+0.05+0.025φ36φ338118118■モータ折返し仕様TE50BAR000(アタッチメントなし)AR007AR001AR008AR004TE60B TE86BAR000(アタッチメントなし)AR000(アタッチメントなし)AR002 AR003AR005AR0064-M4通しPCD46、90°等配22.38.51127プーリカバーモータブラケットハウジング18.524324-M4深さ824+0.012 0 深さ616.50.5 0−0.0081039242-φ5φ54-M3通しPCD45、90°等配22.31127プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ8穴径φ88.5穴径φ5穴径φ64-3.4きり22.31127プーリカバーモータブラケットハウジング□31□314-3.4きり22.31127プーリカバーモータブラケットハウジング8.58.5 0−0.00810534218.520384-M4深さ838+0.012 0 深さ6.5210.52-φ5φ5283.23.211プーリカバー4-M4通しPCD46、90°等配モータブラケットハウジング4-M3通しPCD45、90°等配3.23.21128プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ8穴径φ88.58.5 0−0.009+0.012 0 深さ6.52‐φ58552042774-M4深さ81522.538311プーリカバーモータブラケット4-M5通しPCD70、90°等配3.23.21634ハウジング4-M4通しPCD70、90°等配 3.23.23.21634プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ14穴径φ117.57.5Ⅱ 15 Ⅱ 16TE…B モータアタッチメントの寸法

Page 23:TE50BS(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(2) C n kg(3)150 218 60( − ) 35 2 0.52200 268 110( 40) 20 3 0.62250 318 160( 90) 45 3 0.72300 368 210(140) 30 4 0.82注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (3) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.07kg増加します。備考1. ACサーボモータ用モータアタッチメントはベッド下面より3.5mm低くなります。 2. ステッピングモータ用モータアタッチメントはベッド下面より4.5mm低くなります。AAL830(65)50S/2 S/2 (23)(C) (n−1)×80 C58L1102532.921262512.55026824.823.516.535.54-M4深さ6(1)67(2個密着時中心間寸法)2×n-4.5きり8深ざぐり深さ422.34-M3深さ5(1)センサ付きA−A断面寸法TE50BF(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 218 60( − ) 35 2 0.65200 268 110( 40) 20 3 0.75250 318 160( 90) 45 3 0.85300 368 210(140) 30 4 0.94注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.16kg増加します。備考1. ACサーボモータ用モータアタッチメントはベッド下面より3.5mm低くなります。 2. ステッピングモータ用モータアタッチメントはベッド下面より4.5mm低くなります。AA(両端面)L3035.5(38.8)50S/2 S/2 (23)16.535.5108(C) (n−1)×80 CL158475562237.82512.55021406823.867(2個密着時中心間寸法)2×n-4.5きり8深ざぐり深さ44-M4深さ84-M3深さ6A−A断面寸法センサ付きⅡ 17精密位置決めテーブルTE Ⅱ 18TE…B

Page 24:TE60BS(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 219 50( − ) 25 2 0.9200 269 100( 25) 50 2 1.0300 369 200(125) 50 3 1.3400 469 300(225) 50 4 1.6500 569 400(325) 50 5 1.9600 669 500(425) 50 6 2.2注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.1kg増加します。備考 ステッピングモータ用モータアタッチメントはベッド下面より9mm低くなります。AA830L(76)S/2 (24)54S/23211C (n−1)×100 (C)L1 582143.53040.630333.115 30607831.676(2個密着時中心間寸法)4-M5深さ7.52×n-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.44-M3深さ6センサ付きA−A断面寸法TE60BF(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 219 50( − ) 25 2 1.1200 269 100( 25) 50 2 1.2300 369 200(125) 50 3 1.5400 469 300(225) 50 4 1.9500 569 400(325) 50 5 2.2600 669 500(425) 50 6 2.5注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.2kg増加します。備考 ステッピングモータ用モータアタッチメントはベッド下面より9mm低くなります。AA830L6854S/2 S/2 (24)43.511C (n−1)×100 (C)L1 582143.56474863.14615 306030487833(裏面より)76(2個密着時中心間寸法)4-M5深さ104-M3深さ62×n-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.4センサ付きA−A断面寸法Ⅱ 19精密位置決めテーブルTE Ⅱ 20TE…B

Page 25:TE86BS(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) n kg(2)340 423 200( 90) 3 3.1440 523 300(190) 4 3.7540 623 400(290) 5 4.2640 723 500(390) 6 4.7740 823 600(490) 7 5.2840 923 700(590) 8 5.7940 1 023 800(690) 9 6.3注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.3kg増加します。AA846L813161451370 (n−1)×100 (70)704661.220 46864.542.54644.3103.64-M6深さ94-M3深さ6110(2個密着時中心間寸法)(30)(109)2×n-6.6きり11深ざくり深さ6.5S/2 S/2L1センサ付きA−A断面寸法TE86BF(モータストレート仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) n kg(2)340 423 200( 90) 3 3.7440 523 300(190) 4 4.3540 623 400(290) 5 4.9640 723 500(390) 6 5.5740 823 600(490) 7 6.1840 923 700(590) 8 6.7940 1 023 800(690) 9 7.2注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.6kg増加します。AA4-M6深さ124-M5深さ104-M3深さ6(裏面より)83046L93.6S/2 (30)81S/23161611370 (n−1)×100 (70)L1 70881001124.56620 468642.56846103.6110(2個密着時中心間寸法)11深ざぐり深さ6.52×n-6.6きりセンサ付きA−A断面寸法Ⅱ 21精密位置決めテーブルTE Ⅱ 22TE…B

Page 26:TE50BS(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(2) C n kg(3)150 177.5 60( − ) 35 2 0.72200 227.5 110( 40) 20 3 0.82250 277.5 160( 90) 45 3 0.92300 327.5 210(140) 30 4 1.02注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (3) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.07kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約9.5mm低くなります。また、お客様にてACサーボモータを取り付けられる場合は約2.5∼3.5mm、ステッピングモータを取り付けられる場合は約4.5mmベッド下面より低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約3.5mm低くなります。AA83050S/2 S/2 (23)(C) (n−1)×80 CL1102532.92126255026824.823.54-M4深さ6(1)67(2個密着時中心間寸法)22.3L50(52)16.5(9.5)17.5 284.71362081354-M3深さ5(1)12.52×n-4.5きり8深ざぐり深さ4(65)センサ付きA−A断面寸法TE50BF(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 177.5 60( − ) 35 2 0.85200 227.5 110( 40) 20 3 0.95250 277.5 160( 90) 45 3 1.05300 327.5 210(140) 30 4 1.15注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.16kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約9.5mm低くなります。また、お客様にてACサーボモータを取り付けられる場合は約2.5∼3.5mm、ステッピングモータを取り付けられる場合は約4.5mmベッド下面より低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約3.5mm低くなります。AA4-M4深さ84-M3深さ6(両端面)3035.5(38.8)50S/2 S/2 (23)108(C) (n−1)×80 CL1475562237.82512.55021406823.867(2個密着時中心間寸法)L17.5 2850(52)16.5(9.5)1362081352×n-4.5きり8深ざぐり深さ4センサ付きA−A断面寸法Ⅱ 23精密位置決めテーブルTE Ⅱ 24TE…B

Page 27:TE60BS(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 178.5 50( − ) 25 2 1.2200 228.5 100( 25) 50 2 1.3300 328.5 200(125) 50 3 1.6400 428.5 300(225) 50 4 1.9500 528.5 400(325) 50 5 2.2600 628.5 500(425) 50 6 2.5注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.1kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約11.5mm低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約9mm低くなります。AA4-M5深さ7.54-M3深さ6830S/2 (24)54S/23211C (n−1)×100 (C)L13040.630333.115 30607831.676(2個密着時中心間寸法)L21(11.5)60(65)421003017.5 291722×n-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.4(76)センサ付きA−A断面寸法TE60BF(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) C n kg(2)150 178.5 50( − ) 25 2 1.4200 228.5 100( 25) 50 2 1.5300 328.5 200(125) 50 3 1.8400 428.5 300(225) 50 4 2.2500 528.5 400(325) 50 5 2.5600 628.5 500(425) 50 6 2.8注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.2kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約11.5mm低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約9mm低くなります。センサ付きA−A断面寸法AA4-M5深さ108306854S/2 S/2 (24)43.511C (n−1)×100 (C)L16474863.14615 3060304878334-M3深さ6(裏面より)76(2個密着時中心間寸法)L(46.4)(65)6021(11.5)2917.542172301002×n-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.4Ⅱ 25精密位置決めテーブルTE Ⅱ 26TE…B

Page 28:TE86BS(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) n kg(2)340 375.5 200( 90) 3 4.0440 475.5 300(190) 4 4.6540 575.5 400(290) 5 5.1640 675.5 500(390) 6 5.6740 775.5 600(490) 7 6.1840 875.5 700(590) 8 6.6940 975.5 800(690) 9 7.2注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.3kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約8mm低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約6mm低くなります。AA4-M6深さ984681S/2451370 (n−1)×100 (70)L14661.220 46864.542.54644.3103.64-M3深さ6L37100S/2 (30)(8)3173(78)4761843522.5110(2個密着時中心間寸法)2×n-6.6きり11深ざぐり深さ6.5(109)センサ付きA−A断面寸法TE86BF(モータ折返し仕様)単位 mmベッド長さ 全長 ストローク長さ ベッド取付穴 質量(参考)L1L S(1) n kg(2)340 375.5 200( 90) 3 4.6440 475.5 300(190) 4 5.2540 575.5 400(290) 5 5.8640 675.5 500(390) 6 6.4740 775.5 600(490) 7 7.0840 875.5 700(590) 8 7.6940 975.5 800(690) 9 8.1注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストロークを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示し、スライドテーブル2個の時は0.6kg増加します。備考1. モータアタッチメント用部品は添付品であり、本図はお客様にて組立を行なった後の完成状態を示します。 2. 左右方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約8mm低くなります。 3. 上方向に折り返す場合、モータアタッチメントはベッド下面より約6mm低くなります。AA4-M6深さ124-M5深さ104-M3深さ68304693.6S/2 (30)81S/26113 70 (n−1)×100 (70)L1881001124.56620 468642.56846103.6110(2個密着時中心間寸法)(8)L618422.5 353522.5371003173(78)472×n-6.6きり11深ざぐり深さ6.5(裏面より)センサ付きA−A断面寸法Ⅱ 27精密位置決めテーブルTE Ⅱ 28TE…B

Page 29:TUⅡ 29 Ⅱ 30TU

Page 30:TU駆動直動案内機器テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.002∼0.0400.020∼0.050−−0.008∼0.030−−0.003∼0.050精密ボールねじ・転造ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)内蔵なし(呼び番号で潤滑部品「Cルーブ」炭素鋼呼び番号で選択精密位置決めテーブル TUの装着の選択が可能)トラックレールリニアウェイスライドテーブルボールねじPoints1●新発想のU字形トラックレールを採用 コンパクトでスリムな位置決めテーブルU字形トラックレールの内側にスライドテーブルを配置した、コンパクトでスリムな位置決めテーブルです。U字形トラックレールの採用で、モーメントやねじりに対する剛性が大幅に向上。トラックレールを機械・装置の構造部材として使用することも可能で、設計の自由度が広がります。2●スライドテーブルは 高精度・高剛性な一体構造スライドテーブルは直動案内機器と一体構造。大径の鋼球が2条列にバランス良く配置され軌道と4点で接触する構造のため、変動荷重や複合荷重が作用する用途でも、高剛性で高精度な位置決めが可能です。3●豊富なオプションから最適なテーブル仕様が選択可能充実したサイズバリエーションと豊富なオプション群から、必要な機能・性能を呼び番号で指定するだけで、簡単に用途に合わせた最適な位置決めテーブルを構成することができます。バリエーション形状 形式トラックレール幅寸法(mm)フランジ付きスタンダードTU…STU…GTU…FCTU…FTU…CTU…FGショートテーブルスタンダードテーブルロングテーブルショートテーブルスタンダードテーブルロングテーブル25 1301008660504030−☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−単位 mm主な製品仕様 精 度 潤滑部品の内蔵Ⅱ 33ページⅡ 31 Ⅱ 32TU

Page 31:精密位置決めテーブル TUスタンダード、フランジ付きの2タイプから選択でき、同一断面形状で、ショート、スタンダード、ロングの3タイプの長さのスライドテーブルをラインナップ。フランジ付きは、ブリッジカバーやXYブラケットを取り付けることができます。スタンダード フランジ付きショート(C)、スタンダード(無記号)、ロング(G) ショート(FC)、スタンダード(F)、ロング(FG)呼び番号で指定可能な特別仕様スライドテーブルの形状と長さ潤滑剤を含浸させた潤滑部品「Cルーブ」を取り付けることで、ボールねじや直動案内機器のグリースアップなどのメンテナンス工数を大幅に削減することができます。Cルーブ付きテーブルXYブラケットがシリーズ化されているので、容易にXYテーブルを構成することができます。XYブラケットスライドテーブルやボールねじの表面に、黒色の浸透性皮膜を形成して、防せい能力を向上させます。黒色クロム皮膜処理ジャバラ付きテーブルは、直動案内部と駆動部をジャバラで覆い、テーブル内部への異物の侵入を防止します。ジャバラ付きテーブルモータ折返し仕様のテーブルは、テーブル全長を短くすることで、省スペース化を図ることができます。モータ折返し仕様フランジ付きは、ブリッジカバーを取り付けることができます。ブリッジカバー付き負荷荷重やモーメントの大きさに応じて、トラックレールに組み込むスライドテーブルの数を2個にすることができます。スライドテーブルの個数要求される精度に応じて、転造ボールねじと精密ボールねじから選択することができます。また、ボールねじのリードも選択できます。ボールねじなしの仕様は、2軸並列使用の従動側直動案内機器として使用することができます。ボールねじの種類とリードオーバランセンサや原点センサなどの各種センサの取付けを指定することができます。センサの指定XYブラケットX軸Y軸Ⅱ 33 Ⅱ 34TU

Page 32:呼び番号の配列例 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12TU 86 FG 89 / AT105 G 10 S 0 0 R Q形式1 Ⅱ 36ページ大きさ2 Ⅱ 36ページスライドテーブルの形状3 Ⅱ 36ページトラックレール長さ4 Ⅱ 36ページモータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5 Ⅱ 37ページボールねじの種類6 Ⅱ 37ページボールねじのリード7 Ⅱ 37ページスライドテーブルの個数8 Ⅱ 37ページカバー仕様9 Ⅱ 38ページセンサ仕様10 Ⅱ 38ページ表面処理仕様11 Ⅱ 38ページCルーブ仕様12 Ⅱ 38ページTU:精密位置決めテーブルTU大きさは、ベッド幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。C :ショートテーブルS :スタンダードテーブルG :ロングテーブルFC:フランジ付きショートテーブルF :フランジ付きスタンダードテーブルFG:フランジ付きロングテーブル形式1大きさ2スライドテーブルの形状3表1 スライドテーブルの形状の適用形式と大きさ形式記号TU…C TU…S TU…G TU…FC TU…F TU…FGTU 25 − ○ − − ○ −TU 30 − ○ − − ○ −TU 40 ○ ○ ○ − ○ −TU 50 ○ ○ ○ − ○ −TU 60 ○ ○ ○ ○ ○ ○TU 86 ○ ○ ○ ○ ○ ○TU100 − ○ − − ○ −TU130 − ○ − − ○ −表2.1、表2.2に示すトラックレール長さの[表示]から選択します。トラックレール長さ4表2.1 トラックレール長さ(モータストレート仕様) 単位 mm形式と大きさ トラックレールの長さの[表示]と寸法TU 25 [13] 130 [16] 165 [20] 200 − − − − − − −TU 30 [14] 140 [18] 180 [22] 220 [26] 260 [30] 300 [34] 340 − − − −TU 40 [18] 180 [24] 240 [30] 300 [36] 360 [42] 420 − − − − −TU 50 [22] 220 [30] 300 [38] 380 [46] 460 [54] 540 [62] 620 [70] 700 − − −TU 60 [29] 290 [39] 390 [49] 490 [59] 590 [69] 690 [79] 790 [99] 990[119]1 190 − −TU 86 [49] 490 [59] 590 [69] 690 [79] 790 [89] 890 [99] 990[109]1 090[119]1 190[139]1 390[159]1 590TU100 [101]1 010[116]1 160[131]1 310[146]1 460 − − − − − −TU130 [101]1 010[116]1 160[131]1 310[146]1 460[161]1 610 − − − − −備考 ストローク長さはⅡ 63ページ以降の寸法表をご参照ください。表2.2 トラックレール長さ(モータ折返し仕様) 単位 mm形式と大きさ トラックレールの長さの[表示]と寸法TU 40 [14] 140 [20] 200 [26] 260 [32] 320 [38] 380 − − −TU 50 [18] 180 [26] 260 [34] 340 [42] 420 [50] 500 [58] 580 [66] 660 −TU 60 [24] 244 [34] 344 [44] 444 [54] 544 [64] 644 [74] 744 − −TU 86 [44] 442 [54] 542 [64] 642 [74] 742 [84] 842 [94] 942 [104]1 042 [114]1 142備考 ストローク長さはⅡ 75ページ以降の寸法表をご参照ください。Ⅱ 35 Ⅱ 36TU呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 33:0:カバーなしC:ブリッジカバー付き(TU…FC、TU…F、TU…FGに適用)J:ジャバラ付き(TU60S、TU86Sに適用)・ジャバラ付き(J)を指定の場合、 8 の項は1個(Sを指定)としてください。・TU60のトラックレール長さ990、1190mm およびTU86のトラックレール長さ1390、1590mmにはジャバラ付きはありません。・TU60のトラックレール長さ1190mmとTU86のトラックレール長さ1590mmはブリッジカバー付きはありません。0:センサなし、センサレールなし2:センサ2個(リミット)、センサレール付き3:センサ3個(リミット、原点前)、センサレール付き4:センサ4個(リミット、原点前、原点)、センサレール付き9:センサなし、センサレール付き無記号:処理なしR :黒色クロム皮膜処理1スライドテーブルとトラックレールの表面に黒色クロム皮膜処理を施します。L :黒色クロム皮膜処理2黒色クロム皮膜処理1に加えて、ボールねじ軸及びナットにも処理を施します。無記号:CルーブなしQ :Cルーブ付きテーブルスライドテーブルとボールねじのナットの端面にCルーブを取り付けます。Cルーブは、連通多孔焼結樹脂に多量の潤滑油を含浸させた潤滑部品です。トラックレールやボールねじの軌道面と接触して摺動することで、プレート内部の潤滑油が常時適量しみ出して軌道面に供給されるので、給油間隔の延長によるメンテナンス工数の削減が可能です。給油のしづらい箇所でのグリース消失対策に有効です。・Qを指定の場合 6 の項は、研削ねじ(Gを指定)又はボールねじなし(Nを指定)としてください。カバー仕様9センサ仕様10表面処理仕様11Cルーブ仕様12表3 モータ折返し仕様の適用形式と大きさモータアタッチメント付きモータアタッチメントなしACサーボモータ ステッピングモータTU 25 − − −TU 30 − − −TU 40 ○ ○ ○TU 50 ○ ○ ○TU 60 ○ − ○TU 86 ○ − ○TU100 − − −TU130 − − −AT100 :モータストレート仕様 モータアタッチメントなしAT101∼AT125 :モータストレート仕様 モータアタッチメント付きAR100 :モータ折返し仕様 モータアタッチメントなしAR101∼AR110:モータ折返し仕様 モータアタッチメント付きモータ折返し仕様の適用を表3に示します。モータアタッチメントをご指定の場合は、表6.1、表6.2より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・モータ折返し仕様とご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・モータストレート仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると表7に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。モータアタッチメントなし(AT100)の場合、カップリングは付属されません。・モータ折返し仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると「指定したモータに適合するハウジング、プーリ(モータ側とボールねじ側)、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が添付されます。モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。モータ折返し仕様・モータアタッチメントの指定5表4 ボールねじリードの適用形式と大きさボールねじの種類ボールねじのリード mm4 5 8 10 20 25TU 25 研削ねじ ○ − − − − −TU 30 研削ねじ − ○ − − − −TU 40転造ねじ ○ − ○ − − −研削ねじ ○ − ○ − − −TU 50転造ねじ − ○ − ○ − −研削ねじ − ○ − ○ − −TU 60転造ねじ − ○ − ○ − −研削ねじ − ○(1) − ○(1) ○(1) −TU 86転造ねじ − − − ○(2) ○(2) −研削ねじ − − − ○(2) ○ −TU100 研削ねじ − − − − ○ −TU130 研削ねじ − − − − − ○注(1) トラックレール長さ990mmと1190mmには適用されません。 (2) トラックレール長さ1390mmと1590mmには適用されません。表4に示す大きさに適用するボールねじのリードから選択します。ボールねじのリード7S:1個C:2個スライドテーブルの個数8無記号:転造ねじG :研削ねじN :ボールねじなし表4に示すボールねじの種類から選択します。Nを指定の場合・ 5 の項はAT100またはAR100を指定し 7 の項は無記号としてください。・10 の項は、センサなし(0を指定)としてください。・ 9 の項でジャバラ付きを指定することはできません。ボールねじの種類6表5 Cルーブの適用形式と大きさ 転造ねじ 研削ねじ ボールねじなしTU 25 − − −TU 30 − − −TU 40 − ○ ○TU 50 − ○ ○TU 60 − ○ ○ TU 86(1) − ○ ○TU100 − ○ ○TU130 − ○ ○注(1) TU86のトラックレール長さ1390mmと1590mmについては にお問い合わせください。Ⅱ 37 Ⅱ 38TU呼び番号と仕様の詳細

Page 34:表6.1 モータアタッチメントの適用(モータストレート仕様)使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTU25 TU30 TU40 TU50 TU60 TU86 TU100 TU130ACサーボモータ㈱安川電機Σ-ⅤSGMMV-A2 20□25AT101 AT101 − − − − − −SGMMV-A3 30 AT101 AT101 − − − − − −SGMJV-A550□40− − AT102 AT102 − − − −SGMAV-A5 − − AT102 AT102 − − − −SGMJV-01100− − AT102 AT102 AT103 − − −SGMAV-01 − − AT102 AT102 AT103 − − −SGMAV-C2 150 − − − − AT103 − − −SGMJV-02200□60− − − − AT104 AT105 − −SGMAV-02 − − − − AT104 AT105 − −SGMJV-04400− − − − − AT106 AT107 −SGMAV-04 − − − − − AT106 AT107 −SGMAV-06 550 − − − − − AT106 AT107 −SGMJV-08750 □80− − − − − − − AT108SGMAV-08 − − − − − − − AT108三菱電機㈱J2-JrHC-AQ023 20□28AT109 AT109 − − − − − −HC-AQ033 30 AT109 AT109 − − − − − −J3HF-MP05350□40− − AT102 AT102 − − − −HF-KP053 − − AT102 AT102 − − − −HF-MP13100− − AT102 AT102 AT103 − − −HF-KP13 − − AT102 AT102 AT103 − − −HF-MP23200□60− − − − AT104 AT105 − −HF-KP23 − − − − AT104 AT105 − −HF-MP43400− − − − − AT106 AT107 −HF-KP43 − − − − − AT106 AT107 −HF-MP73750 □80− − − − − − − AT108HF-KP73 − − − − − − − AT108パナソニック㈱MINAS A5MSMD5A50□38− − AT110 AT110 − − − −MSME5A − − AT110 AT110 − − − −MSMD01100− − AT110 AT110 AT111 − − −MSME01 − − AT110 AT110 AT111 − − −MSMD02200□60− − − − AT112 AT113 − −MSME02 − − − − AT112 AT113 − −MSMD04400− − − − − AT114 AT115 −MSME04 − − − − − AT114 AT115 −MSMD08750 □80− − − − − − − AT116MSME08 − − − − − − − AT116ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 − − AT117 AT117 − − − −AR66 □60 − − − − AT118 AT119 − −AR69 □60 − − − − AT118 AT119 − −AR98 □85 − − − − − − AT120 AT121AR911 □85 − − − − − − AT120 AT121AS46 □42 − − AT122 AT122 − − − −AS66 □60 − − − − AT123 AT124 − −AS69 □60 − − − − AT123 AT124 − −AS98 □85 − − − − − − AT120 AT121AS911 □85 − − − − − − AT120 AT121RKCRKCRK52 □28 AT125 AT125 − − − − − −RK54・CRK54 □42 − − AT122 AT122 − − − − RK56・CRK56(1) □60 − − − − AT123 AT124 − −RK59 □85 − − − − − − AT120 AT121注(1)モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表6.2 モータアタッチメントの適用(モータ折返し仕様)使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTU40 TU50 TU60 TU86ACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AR101 AR101 − −SGMAV-A5 AR101 AR101 − −SGMJV-01100AR101 AR101 AR102 −SGMAV-01 AR101 AR101 AR102 −SGMAV-C2 150 − − AR102 −SGMJV-02200 □60− − AR103 AR104SGMAV-02 − − AR103 AR104三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AR101 AR101 − −HF-KP053 AR101 AR101 − −HF-MP13100AR101 AR101 AR102 −HF-KP13 AR101 AR101 AR102 −HF-MP23200 □60− − AR103 AR104HF-KP23 − − AR103 AR104パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AR105 AR105 − −MSME5A AR105 AR105 − −MSMD01100AR105 AR105 AR106 −MSME01 AR105 AR105 AR106 −MSMD02200 □60− − AR107 AR108MSME02 − − AR107 AR108ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AR109 AR109 − −AS46 □42 AR110 AR110 − −RK・CRK RK54・CRK54 □42 AR110 AR110 − −備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表7 カップリングの形式(モータストレート仕様)モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャJC×10-5kg・m2AT101 UA-15C- 5× 5 ㈱酒井製作所 0.024AT102 UA-20C- 5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT103 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT104 UA-30C- 8×14 ㈱酒井製作所 0.603AT105 UA-30C- 8×14 ㈱酒井製作所 0.603AT106 UA-35C- 8×14 ㈱酒井製作所 1.34AT107 UA-40C-12×14 ㈱酒井製作所 2.61AT108 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT109 UA-15C- 5× 6 ㈱酒井製作所 0.024AT110 UA-20C- 5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT111 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT112 UA-30C- 8×11 ㈱酒井製作所 0.603AT113 UA-30C- 8×11 ㈱酒井製作所 0.603AT114 UA-35C- 8×14 ㈱酒井製作所 1.34AT115 UA-40C-12×14 ㈱酒井製作所 2.61AT116 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT117 MSTS-16C- 5× 6 鍋屋バイテック会社 0.090AT118 MSTS-25C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.710AT119 MSTS-25C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.710AT120 MSTS-40C-12×14 鍋屋バイテック会社 9.0AT121 MSTS-40C-14×15 鍋屋バイテック会社 9.0AT122 MSTS-16C- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.090AT123 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.710AT124 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.710AT125 MSTS-12C- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.022備考 カップリングの詳細仕様は、各メーカのカタログをご参照ください。Ⅱ 39 Ⅱ 40TU呼び番号と仕様の詳細

Page 35:表8.2 TUの精度(研削ねじ) 単位 mmトラックレール長さ 繰返し位置決め精度 位置決め精度(1) テーブル運動の平行度Bバックラッシ(1)を超え 以下ショートテーブルスタンダードテーブルロングテーブルショートテーブルスタンダードテーブルロングテーブルショートテーブルスタンダードテーブルロングテーブル− 400( 350)±0.004(±0.020)±0.002(±0.020)0.030 0.020 0.0150.0080.003400( 350) 500( 500)0.010500( 500) 600( 550)0.035 0.0250.020600( 550) 700( 700)0.012700( 700) 800( 800)0.040 0.030800( 800) 900( 900)0.0250.014900( 900) 1 000(1 000)0.045 0.0351 000(1 000) 1 100(1 100)0.0161 100(1 100) 1 200 0.0500.0401 200 1 400 − −0.0301 400 1 500 − 0.045 −1 500 1 610 − 0.050 −注(1) モータ折返し仕様のテーブルには適用しません。備考1.( )内の値は、モータ折返し仕様のテーブルに適用します。 2. モータ折返し仕様のテーブルの精度は、タイミングベルトの張力が適正に調整されている場合に適用します。表8.1 TUの精度(転造ねじ) 単位 mmトラックレール長さ 繰返し位置決め精度テーブル運動の平行度Bバックラッシ(1)を超え 以下− 500±0.025(±0.040)0.0150.050500 800 0.020800 1 200 0.025注(1) モータ折返し仕様のテーブルには適用しません。備考1.( )内の値は、モータ折返し仕様のテーブルに適用します。 2. モータ折返し仕様のテーブルの精度は、タイミングベルトの張力が適正に調整されている場合に適用します。表9.2 最高速度(ステッピングモータ)モータの種類形式と大きさトラックレール長さmmモータ回転数min-1最高速度 mm/sリード2mmリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmリード25mmステッピングモータTU 25 200以下 1 800 − 120 − − − − −TU 30 340以下 1 800 − − 150 − − − −TU 40 − 1 800 − 120 − 240 − − −TU 50 − 1 800 − − 150 − 300 − −TU 60790以下 1 800 − − − − − 600 −990以下 1 800 − − 150 − 300 − −1 190 1 290 − − 108 − 215 − −TU 86990以下 1 800 − − − − 300 600 −1 090 1 770 − − − − 295 590 −1 190 1 460 − − − − 243 487 −1 390 1 610 − − − − − 537 −1 590 1 200 − − − − − 400 −TU1001 160以下 1 800 − − − − − 600 −1 310 1 780 − − − − − 593 −1 460 1 400 − − − − − 467 −TU1301 310以下 1 800 − − − − − − 7501 460 1 720 − − − − − − 7171 610 1 390 − − − − − − 579備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表9.1 最高速度(ACサーボモータ)モータの種類形式と大きさトラックレール長さmm最高速度 mm/sリード2mmリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmリード25mmACサーボモータTU 25 200以下 − 400 − − − − −TU 30 340以下 − − 500 − − − −TU 40 − −400(390)−800(790)− − −TU 50540以下 − −500(390)−1 000( 780)− −620 − −370(350)−750( 710)− −700 − −280(260)−560( 540)− −TU 60590以下 − −470(330)−930( 660)1 860 −690 − −380(330)−780( 660)1 620 −790 − −270(280)−560( 560)1 170 −990 − − (160) − ( 330) − −1 190 − − (110) − ( 210) − −TU 86690以下 − − − −750( 530)1 480(1 050)−790 − − − −700( 530)1 410(1 050)−890 − − − −530( 530)1 060(1 050)−990 − − − −410( 410)830( 830)−1 090 − − − −330( 330)670( 670)−1 190 − − − −270( 270)550( 550)−1 390 − − − − − 530 −1 590 − − − − − 390 −TU1001 010 − − − − − 1 110 −1 160 − − − − − 990 −1 310 − − − − − 730 −1 460 − − − − − 560 −TU1301 010 − − − − − − 1 1101 160 − − − − − − 1 1101 310 − − − − − − 1 1101 460 − − − − − − 9301 610 − − − − − − 730備考1.( )内の数値は、転造ねじの場合に適用します。 2. 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。Ⅱ 41 Ⅱ 42TU 諸特性

Page 36:表10 最大搭載質量形式と大きさボールねじの種類ボールねじのリードmmスライドテーブルの長さ最大搭載質量kg水平 垂直TU 25 研削ねじ 4 スタンダード 11 4.8TU 30 研削ねじ 5 スタンダード 15 5TU 40研削ねじ4ショート 24 11スタンダード 39 11ロング 59 118ショート 24 7スタンダード 39 7ロング 46 7転造ねじ4ショート 24 8スタンダード 39 8ロング 59 88ショート 24 5スタンダード 32 4.8ロング 47 8TU 50研削ねじ5ショート 35 13スタンダード 64 13ロング 100 1310ショート 35 8スタンダード 44 8ロング 43 8転造ねじ5ショート 35 11スタンダード 64 11ロング 100 1110ショート 35 9スタンダード 47 8ロング 47 8TU 60研削ねじ5ショート 48 16スタンダード 88 15ロング 146 1510ショート 48 11スタンダード 58 10ロング 58 1020ショート 29 10スタンダード 28 9ロング 28 9転造ねじ5ショート 48 14スタンダード 88 13ロング 143 1310ショート 46 8スタンダード 45 8ロング 45 7TU 86研削ねじ10ショート 97 29スタンダード 154 28ロング 153 2720ショート 69 27スタンダード 75 25ロング 75 25転造ねじ10ショート 97 23スタンダード 124 22ロング 123 2120ショート 49 16スタンダード 47 15ロング 47 14TU100 研削ねじ 20 スタンダード 81 27TU130 研削ねじ 25 スタンダード 92 34備考 スライドテーブル1個の場合です。表11 直動案内部の定格荷重形式と大きさスライドテーブルの長さ基本動定格荷重CN基本静定格荷重C0N静定格モーメント(1) N・mT0TXTYTU 25 スタンダード 1 770 2 840 20.3( 40.6) 10.1( 53.7) 8.4( 45.0)TU 30 スタンダード 2 280 3 810 34.9( 69.8) 16.9( 87.5) 14.2( 73.4)TU 40ショート 6 050 6 110 83.8( 167.6) 22.8( 185) 22.8( 185)スタンダード 8 410 9 780 134 ( 268) 53.0( 351) 53.0( 351)ロング 11 200 14 700 201 ( 402) 113 ( 649) 113 ( 649)TU 50ショート 8 930 8 800 156 ( 312) 39.5( 315) 39.5( 315)スタンダード 13 500 15 800 280 ( 560) 114 ( 711) 114 ( 711)ロング 18 400 24 600 436 ( 872) 260 (1 420) 260 (1 420)TU 60ショート 12 400 12 000 236 ( 472) 62.7( 486) 62.7( 486)スタンダード 18 800 21 600 425 ( 850) 181 (1 150) 181 (1 150)ロング 26 800 35 900 708 (1 416) 472 (2 470) 472 (2 470)TU 86ショート 24 100 23 800 677 (1 354) 183 (1 280) 183 (1 280)スタンダード 41 400 51 500 1 470 (2 940) 764 (4 120) 764 (4 120)ロング 49 900 67 300 1 920 (3 840) 1 270 (6 290) 1 270 (6 290)TU100 スタンダード 54 600 68 500 2 230 (4 460) 1 210 (6 460) 1 210 (6 460)TU130 スタンダード 70 300 88 800 3 920 (7 840) 1 830 (9 630) 1 830 (9 630)注(1) 上図の方向の値で、( )内の値はスライドテーブル2個密着時の値です。T0 TXTYⅡ 43 Ⅱ 44TU諸特性

Page 37:表12.1 ボールねじの仕様1形式と大きさボールねじの種類リードmmねじ外径mm軸方向すきまmm基本動定格荷重CN基本静定格荷重C0NTU 25 研削ねじ 4 6 0.005以下 950 1 630TU 30 研削ねじ 5 8 0.005以下 1 080 2 160TU 40転造ねじ48 0.05 以下1 600 2 8008 1 000 1 600研削ねじ48 0.005以下2 290 3 5758 1 450 2 155TU 50転造ねじ510 0.05 以下2 300 4 80010 1 850 3 200研削ねじ510 0.005以下2 730 4 41010 1 720 2 745TU 60転造ねじ512 0.05 以下2 800 5 00010 1 800 3 200 研削ねじ(1)512 0.005以下3 230 6 32010 2 300 3 92020 2 300 3 920TU 86 転造ねじ(2)1015 0.05 以下4 900 9 10020 3 900 5 050 研削ねじ(2)1015 0.005以下6 080 12 50020 4 510 7 840 研削ねじ(3) 20 20 0.005以下 6 620 12 600TU100 研削ねじ 20 20 0.005以下 6 620 12 600TU130 研削ねじ 25 25 0.005以下 9 700 19 600注(1) トラックレール長さ990mmと1190mmには適用されません。 (2) トラックレール長さ1390mmと1590mmには適用されません。 (3) トラックレール長さ1390mmと1590mmに適用します。表12.2 ボールねじの仕様2 単位 mm形式と大きさ トラックレール長さ ボールねじの種類 ねじ外径 全長TU 25130 研削 −6146165 研削 − 181200 研削 − 216TU 30140 研削 −8156180 研削 − 196220 研削 − 236260 研削 − 276300 研削 − 316340 研削 − 356TU 40180 研削 転造8158240 研削 転造 218300 研削 転造 278360 研削 転造 338420 研削 転造 398140 研削 転造 158200 研削 転造 218260 研削 転造 278320 研削 転造 338380 研削 転造 398TU 50220 研削 転造10198300 研削 転造 278380 研削 転造 358460 研削 転造 438540 研削 転造 518620 研削 転造 598700 研削 転造 678180 研削 転造 198260 研削 転造 278340 研削 転造 358420 研削 転造 438500 研削 転造 518580 研削 転造 598660 研削 転造 678TU 60290 研削 転造12263390 研削 転造 363490 研削 転造 463590 研削 転造 563690 研削 転造 663790 研削 転造 763990 − 転造 9631 190 − 転造 1 163244 研削 転造 263344 研削 転造 363444 研削 転造 463544 研削 転造 563644 研削 転造 663744 研削 転造 763TU 86490 研削 転造15461590 研削 転造 561690 研削 転造 661790 研削 転造 761890 研削 転造 861990 研削 転造 9611 090 研削 転造 1 0611 190 研削 転造 1 1611 390 研削 −201 3611 590 研削 − 1 561442 研削 転造15461542 研削 転造 561642 研削 転造 661742 研削 転造 761842 研削 転造 861942 研削 転造 9611 042 研削 転造 1 0611 142 研削 転造 1 161TU1001 010 研削 −209721 160 研削 − 1 1221 310 研削 − 1 2721 460 研削 − 1 422TU1301 010 研削 −259721 160 研削 − 1 1221 310 研削 − 1 2721 460 研削 − 1 4221 610 研削 − 1 572Ⅱ 45 Ⅱ 46TU諸特性

Page 38:表13 トラックレールの断面2次モーメント 形式と大きさ断面2次モーメント mm4 重心点emmIXIYTU 25 3.7×1027.5×1032.6TU 30 9.3×1021.7×1043.3TU 40 1.0×1046.8×1046.6TU 50 2.8×1041.7×1058.7TU 60 6.4×1043.8×10510.9TU 86 2.4×1051.6×10614.6TU100 5.9×1053.3×10618.8TU130 1.4×1068.8×10623.0X軸Y軸e図1 下方向荷重−変位特性TU40STU50STU60STU86S50002468101000 1500 2000荷重 N変位量 μm荷重表14.1 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさトラックレール長さmmテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mスタンダードテーブルリード 4mm 研削ねじTU25130 0.0180.01165 0.021200 0.024形式と大きさトラックレール長さmmテーブルイナーシャ JT(3)×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mスタンダードテーブルリード 5mm 研削ねじTU30140 0.0570.015180 0.069220 0.082260 0.095300 0.107340 0.120形式と大きさトラックレール長さ(1)mmテーブルイナーシャ JT(3)×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mショートテーブル スタンダードテーブル ロングテーブルリード4mmリード8mmリード4mmリード8mmリード4mmリード8mm転造ねじ 研削ねじリード4mmリード8mmリード4mmリード8mmTU40180(140) 0.05 0.07 0.06 0.09 − −0.03 0.040.03(0.04)0.04(0.05)240(200) 0.07 0.09 0.08 0.11 0.08 0.12300(260) 0.09 0.11 0.10 0.12 0.10 0.14360(320) 0.11 0.13 0.12 0.14 0.12 0.16420(380) 0.13 0.15 0.13 0.16 0.14 0.18形式と大きさトラックレール長さ(1)mmテーブルイナーシャ JT(3)×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mショートテーブル スタンダードテーブル ロングテーブルリード5mmリード10mmリード5mmリード10mmリード5mmリード10mm転造ねじ 研削ねじリード5mmリード10mmリード5mmリード10mmTU50220(180) 0.17 0.21 0.18 0.27 − −0.04 0.050.04(0.05)0.05(0.06)300(260) 0.23 0.28 0.24 0.33 0.26 0.40380(340) 0.29 0.34 0.30 0.39 0.32 0.46460(420) 0.35 0.40 0.36 0.45 0.38 0.53540(500) 0.41 0.46 0.43 0.51 0.44 0.59620(580) 0.47 0.52 0.49 0.57 0.51 0.65700(660) 0.54 0.58 0.55 0.63 0.57 0.71形式と大きさトラックレール長さ(1)mmテーブルイナーシャ JT(3)×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mショートテーブル スタンダードテーブル ロングテーブルリード5mmリード10mmリード20mmリード5mmリード10mmリード20mmリード5mmリード10mmリード20mm転造ねじ 研削ねじリード5mmリード10mmリード5mm10mmリード20mmTU60290(244) 0.45 0.53 1.03 0.47 0.61 1.43 0.49 0.71 1.940.080.08(0.09)0.10(0.12)390(344) 0.60 0.69 1.19 0.62 0.77 1.59 0.65 0.87 2.10490(444) 0.76 0.85 1.34 0.78 0.93 1.75 0.81 1.0 2.26590(544) 0.92 1.0 1.50 0.94 1.1 1.90 0.97 1.2 2.41690(644) 1.1 1.2 1.66 1.1 1.2 2.06 1.1 1.3 2.57790(744) 1.2 1.3 1.82 1.3 1.4 2.22 1.3 1.5 2.73990 1.6 1.7 − 1.6 1.7 − 1.6 1.8 −0.10 −1 190 1.9 2.0 − 1.9 2.1 − 1.9 2.2 −注(1) ( )内の数値は、モータ折返し仕様のトラックレール長さを示します。 (2) スライドテーブルを2個使用する場合は約1.5倍に、モータ折返し仕様のテーブルは約2倍になります。( )内の数値は、Cルーブ仕様の起動トルクを示します。 (3) モータ折返し仕様の場合、表中の数値に下記の値を加算してください。TU40及びTU50:0.17×10-5kg・m2、TU60:0.86×10-5kg・m2Ⅱ 47 Ⅱ 48TU 諸特性

Page 39:表14.2 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさトラックレール長さ(1)mmテーブルイナーシャ JT(3)×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mショートテーブル スタンダードテーブル ロングテーブルリード10mmリード20mmリード10mmリード20mmリード10mmリード20mm転造ねじ 研削ねじリード10mmリード20mmリード10mmリード20mmTU 86490( 442) 2.1 2.9 2.3 3.9 2.4 4.40.10 0.160.10(0.12)0.16(0.18)590( 542) 2.4 3.2 2.7 4.3 2.8 4.8690( 642) 2.8 3.6 3.1 4.6 3.2 5.1790( 742) 3.2 4.0 3.5 5.0 3.6 5.5890( 842) 3.6 4.4 3.9 5.4 4.0 5.9990( 942) 4.0 4.8 4.2 5.8 4.4 6.31 090(1 042) 4.4 5.2 4.6 6.2 4.8 6.71 190(1 142) 4.8 5.6 5.0 6.6 5.1 7.11 390 − 18 − 19 − 19− − 0.301 590 − 20 − 21 − 22形式と大きさトラックレール長さmmテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mスタンダードテーブルリード 20mm 研削ねじTU1001 010 150.20(0.26)1 160 171 310 191 460 20形式と大きさトラックレール長さmmテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TS(2)N・mスタンダードテーブルリード 25mm 研削ねじTU1301 010 390.40(0.50)1 160 431 310 481 460 521 610 57注(1) ( )内の数値は、モータ折返し仕様のトラックレール長さを示します。 (2) スライドテーブルを2個使用する場合は約1.5倍に、モータ折返し仕様のテーブルは約2倍になります。( )内の数値は、Cルーブ仕様の起動トルクを示します。 (3) モータ折返し仕様の場合、表中の数値に下記の値を加算してください。TU86:0.86×10-5kg・m2精密位置決めテーブルTUは、モータ折返し仕様を用意していますので、モータを折り返してテーブルの全長を短くすることで、省スペース化を図ることが可能です。モータ折返し仕様の寸法は、各寸法表をご参照ください。モータ折返し仕様の場合は、「指定したモータに適合するハウジング、プーリ(モータ側とボールねじ側)、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が添付されますので、お客様にて組立を行ってください。ただし、モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。モータ折返しユニットは下図のように4方向に取り付けることが可能です。精密位置決めテーブルTUには、防じん対策としてブリッジカバーとジャバラを用意しています。ジャバラ付きテーブルの寸法は、Ⅱ 83∼Ⅱ 84ページの寸法表をご参照ください。Ⅱ 49 Ⅱ 50TUモータ折返し仕様 諸特性モータ上方向折返し モータ左方向折返しモータ下方向折返し モータ右方向折返しブリッジカバー付テーブル ジャバラ付テーブルカバー仕様

Page 40:精密位置決めテーブルTUには、スライドテーブル2個仕様を用意しています。モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付けられており、モータにより駆動することが可能です(駆動テーブル)。反モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付けられておらずフリー状態です(従動テーブル)。2個のスライドテーブルを連結して使用することにより、モーメントに強い構成にすることが可能です(表11)。スライドテーブルを連結する場合は、Ⅱ 63∼Ⅱ 92ページの寸法表に記載してある「2個密着時中心間寸法」以上の間隔をあけてご使用ください(間隔を広げるとストロークは短くなります)。駆動テーブル従動テーブル2個密着時中心間寸法表15.1 センサのタイミングチャート(モータストレート仕様)単位 mm形式と大きさスライドテーブルの長さボールねじのリードA B C D(1) ETU 25 スタンダード 4 50 2 10 8.4( 6) 8TU 30 スタンダード 5 50 3 10 10.9( 6.4) 8TU 40ショート4852107.5( 5.5) 4.58 6スタンダード485210.5( 8.5) 88 6ロング48524.5( 7.5) 88 6TU 50ショート5853107.2( 6.2) 3.810 7スタンダード58538.2( 7.2) 810 7ロング58534.2( 3.2) 810 7TU 60ショート511032014.6(19.6)10.410 720(2) 130 14 9.6(14.6)スタンダード510039.6( 9.6) 810 720 105 14ロング510039 ( 8.5) 810 720 105 14TU 86ショート10 105(3)72013 (14) 1120 14 12 (14)(4) 4スタンダード101057 13 (14)1120 14 12 (14)ロング101057 13 (14)1120 14 12 (14)TU100 スタンダード 20 150 14 20 22 (19) 20TU130 スタンダード 25 160 18 20 18 (23) 20注(1) ( )内の寸法は、スライドテーブルの個数が2個の場合の寸法を示します。 (2) 原点前信号がOFFした後、CCWリミットがOFFする前にONになります。 (3) トラックレール長さ1390mmと1590mの場合は110mmです。 (4) トラックレール長さ1390mmと1590mの場合は7(9)mmです。備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ジャバラ付きテーブルの場合は、表中の数値は適用しません。 4. Cルーブ付きテーブルの場合は、表15.3をご参照ください。原点原点前CCWリミットCWリミットメカストッパ(E)(D)ACW CCWOFFOFFOFFONBCストロ−ク長さⅡ 51 Ⅱ 52TUセンサの仕様 スライドテーブル2個仕様

Page 41:表15.2 センサのタイミングチャート(モータ折返し仕様)*モータ折返し仕様のテーブルは、スライドテーブルのCW方向とCCW方向の移動が逆になります。 単位 mm大きさスライドテーブルの長さボールねじのリードA B C D(1) ETU 40ショート4452107.5( 5.5) 4.58 6スタンダード445210.5( 8.5) 88 6ロング44524.5( 7.5) 88 6TU 50ショート5453107.2( 6.2) 3.810 7スタンダード54538.2( 7.2) 810 7ロング54534.2( 3.2) 810 7TU 60ショート56432014.6(19.6)10.410 720(2) 84 14 9.6(14.6)スタンダード55939.6( 9.6) 810 720 105 14ロング55939 ( 8.5) 810 720 105 14TU 86ショート106272013 (14) 1120 14 12 (14) 4スタンダード10627 13 (14)1120 14 12 (14)ロング10627 13 (14)1120 14 12 (14)注(1) ( )内の寸法は、スライドテーブルの個数が2個の場合の寸法を示します。 (2) 原点前信号がOFFした後、CCWリミットがOFFする前にONになります。備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ジャバラ付きテーブルの場合は、表中の数値は適用しません。 4. Cルーブ付きテーブルの場合は、表15.4をご参照ください。CCW CWAOFFOFFOFFON 原点原点前CWリミットCCWリミットメカストッパBCストロ−ク長さ(E)(D)表15.3 センサのタイミングチャート(モータストレート仕様、Cルーブ付き)単位 mm形式と大きさスライドテーブルの長さボールねじのリードA B C D(1) ETU 40ショート41002107.5( 5.5) 98 6スタンダード410025.5( 8.5) 98 6ロング410029.5( 7.5) 98 6TU 50ショート51003107.2( 6.2) 810 7スタンダード510038.2( 7.2) 810 7ロング510039.2( 8.2) 810 7TU 60ショート51203209.6( 9.6) 5.410 720(2) 140 14スタンダード510034.6( 9.6) 810 720 115 14 9.6( 4.6) 5.4ロング510034 ( 9)810 720 105 14 4 ( 4)TU 86ショート101307208 (14) 1920 14 7 (14) 9スタンダード101057 13 ( 9)1120 14 12 ( 9)ロング101057 8 ( 9)1120 14 7 ( 9)TU100 スタンダード 20 150 14 20 17 (14) 20TU130 スタンダード 25 160 18 20 18 (23) 20注(1) ( )内の寸法は、スライドテーブルの個数が2個の場合の寸法を示します。 (2) 原点前信号がOFFした後、CCWリミットがOFFする前にONになります。備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ジャバラ付きテーブルの場合は、表中の数値は適用しません。原点原点前CCWリミットCWリミットメカストッパACW CCWOFFOFFOFFONBCストロ−ク長さ(E)(D)Ⅱ 53 Ⅱ 54TU センサの仕様

Page 42:表15.4 センサのタイミングチャート(モータ折返し仕様、Cルーブ付き)*モータ折り返し仕様のテーブルは、スライドテーブルのCW方向とCCW方向の移動が逆になります。 単位 mm形式と大きさスライドテーブルの長さボールねじのリードA B C D(1) ETU 40ショート4602107.5(5.5) 98 6スタンダード46025.5(8.5) 98 6ロング46029.5(7.5) 98 6TU 50ショート5603107.2(6.2) 810 7スタンダード56038.2(7.2) 810 7ロング56039.2(8.2) 810 7TU 60ショート5753208.6(8.6) 6.410 720(2) 94 14 9.6(9.6) 5.4スタンダード56038.6(3.6) 910 720 69 14 9.6(4.6) 5.4ロング56038 (3) 910 720 59 14 4 (4) 8TU 86ショート109072010 (6) 2220 14 9 (6) 12スタンダード10607 10 (6)920 14 9 (6)ロング10607 5 (6)920 14 4 (6)注(1) ( )内の寸法は、スライドテーブル2個密着時の寸法を示します。 (2) 原点前信号がOFFした後、CCWリミットがOFFする前にONになります。備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ジャバラ付きテーブルの場合は、表中の数値は適用しません。CCW CWAOFFOFFOFFON 原点原点前CWリミットCCWリミットメカストッパBCストロ−ク長さ(E)(D)■モータストレート仕様TU25 TU30AT100(アタッチメントなし)AT100(アタッチメントなし)AT101 AT101AT109 AT109AT125 AT125TU40 TU50AT100(アタッチメントなし)AT100(アタッチメントなし)AT102 AT102AT110 AT110AT117AT122AT117AT122417176251526.36-2.9きり1720+0.04+0.02φ5φ16□25 2-3.4きりPCD283.535+0.04+0.02φ13φ20+0.04+0.0235□302-M2.5通しPCD33φ13φ2026.5□23□304-3きり3φ13+0.04+0.02φ22417617301526.36-2.9きり1720+0.04+0.02φ16φ5□25 2-3.4きりPCD283.535+0.04+0.02φ20φ1335□302-M2.5通しPCD33+0.04+0.02φ20φ1326.5□23□304-3きり3+0.04+0.02φ22φ1310302210 40306 4-M3通し+0.04+0.02φ26φ569104-M4通しPCD46、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.5□4030±0.1+0.04+0.02φ30φ234-M3通しPCD45、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.5□4030±0.16910+0.04+0.02φ30φ235630664-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.39 423149314-3.4きり+0.04+0.02φ22305010404-M3通し62210+0.04+0.02φ26φ54-M4通しPCD46、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.5□4030±0.16910+0.04+0.02φ30φ23694-M3通しPCD45、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.5□4030±0.110+0.04+0.02φ30φ2356309664-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.3423149314-3.4きり+0.04+0.02φ22Ⅱ 55 Ⅱ 56TUモータアタッチメントの寸法 センサの仕様

Page 43:TU60 AT100(アタッチメントなし)AT111AT103 AT112AT104AT118AT123TU86 AT100(アタッチメントなし)AT113AT105 AT114AT106AT119AT1242515850(58)202039.54-M4深さ8+0.04+0.02φ32φ8□604-M4通しPCD46、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ4.520508+0.04+0.02φ30φ273.511□604-M5通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ7.52050+0.04+0.02φ50φ334-M3通しPCD45、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ4.5□6020508+0.04+0.02φ30φ274-M4通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ7.53.511□602050+0.04+0.02φ50φ3384-4.5きり8深ざぐり深さ4.5□604-M4通し20□50504+0.04+0.02φ36φ274-M4通し2050(84)2549.582715+0.04+0.02φ39φ8134-4.5きり8深ざぐり深さ7.5854-M5深さ10PCD70、90°等配4 502060+0.04+0.02φ50φ344134-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M5通しPCD70、90°等配85502060+0.04+0.02φ50φ394-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M4深さ8PCD70、90°等配13 854 502060+0.04+0.02φ50φ344-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M4深さ8PCD70、90°等配413 85502060+0.04+0.02φ50φ398 4-M4通し4-4.5きり8深ざぐり深さ4.585420605050+0.05+0.02φ36φ34TU100 TU130AT100(アタッチメントなし)AT100(アタッチメントなし)AT107 AT108AT115 AT116AT120 AT121724070981038224-M5通し+0.04+0.02φ59φ1247 85724070□85□7072404-M6深さ124-5.5きり9.5深ざぐり深さ18254+0.04+0.02φ60φ524-5.5きり4-M5通しPCD70、90°等配+0.04+0.02φ504-5.5きり4-M4通しPCD70、90°等配47 85724070+0.04+0.02φ502-M5深さ107212840701038202-M5通し+0.04+0.02φ59φ15854-5.5きり9.5深ざぐり深さ104-M6通しPCD90、90°等配417407280+0.04+0.02φ70φ524-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.44-M5通しPCD90、90°等配85412407280+0.04+0.02φ70φ524□854-M6深さ124-5.5きり9.5深ざぐり深さ182540□7072+0.04+0.02φ60φ52Ⅱ 57 Ⅱ 58TUモータアタッチメントの寸法

Page 44:■モータ折返し仕様TU40 TU50AR100(アタッチメントなし)AR100(アタッチメントなし)TU40、TU50AR101 AR105AR109 AR110101828.52440243043.54-M4深さ6φ510183524402430504-M4深さ6φ54-M4通しPCD46、90°等配モータブラケットハウジング カバープーリ穴径φ82827112.34-M3通しPCD45、90°等配22.381127プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ84-3.4きり 22.381127プーリカバーモータブラケットハウジング□31穴径φ622.3811274-3.4きりプーリカバーモータブラケットハウジング 穴径φ5□31TU60AR100(アタッチメントなし)AR102AR103 AR106AR107TU86AR100(アタッチメントなし)AR104AR10815214242602040624-M4深さ8φ84-M4通しPCD46、90°等配3.23.261628プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ84-M5通しPCD70、90°等配3.23.261634プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ144-M3通しPCD45、90°等配3.23.261628プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ84-M4通しPCD70、90°等配 3.23.261634プーリカバーモータブラケットハウジング 穴径φ11152149.54285204069.54-M4深さ8φ84-M5通しPCD70、90°等配3.23.261634プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ144-M4通しPCD70、90°等配3.23.261634プーリカバーモータブラケットハウジング穴径φ11Ⅱ 59 Ⅱ 60TU モータアタッチメントの寸法

Page 45:表17.1 XYブラケットの寸法単位 mm呼び番号 W W1W2W3W4H H1H2H3H4H5L L1L2L3L4L5M1d1d2h1TAE0412-BR 90 55 17.5 60 15 67 38 18 11 27 40 48 7 18 23 36 12 M3 4.5 8 4.5TAE0413-BR 90 65 12.5 60 15 67 38 18 11 27 40 51 9 25 17 39 12 M3 4.5 8 4.5TAE0414-BR 90 65 12.5 80 5 77 39.5 25 12.5 27 50 57 9 25 23 45 12 M4 4.5 8 4.54-M1ヘリサート2D4-d1きりW3WW1W2W4L4L2L1LL3L5H3H2H5HH4H1d2深ざぐり深さh112表17.2 XYブラケットの寸法単位 mm呼び番号 W W1W2W3W4H H1H2H3H4H6H7L L1L2L3L4L5L6M1d1d2h1TAE0415-BR 114 74 20 80 17 70 32.5 25 12.5 20 15 55 52.4 12.2 28 12.2 19.2 15 18.2 M4 5.5 9.5 5.5TAE0409-BR 114 74 20 100 7 80 36 28 16 20 15 65 52.4 12.2 28 12.2 19.2 15 18.2 M5 5.5 9.5 5.5TAE0410-BR 114 100 7 100 7 80 36 28 16 20 15 65 70 12 46 12 25 20 25 M5 6.6 11 6.5TAE0411-BR 114 100 7 100 7 106 40 46 20 20 15 91 73 13.5 46 13.5 26.5 20 26.5 M6 6.6 11 6.54-M1ヘリサート2DW3WW1W2W4H3H2H14-d1きりd2深ざぐり深さh1L4L2L1LL3L5L6HH4H6H7精密位置決めテーブルTUは、XYブラケットを使用して多彩な2軸組合せを構成することができます。XYブラケットは軽量なアルミニウム合金製で、フランジ付きスタンダードテーブルに組み付けることができます。表16にXYブラケットの形式を示します。ご要望の際は表中の呼び番号でご指示ください。表16 2軸組合せの構成とXYブラケットの形式XYブラケットによる組合せ ブラケットを使用しないでも可能な組合せX軸 Y軸XYブラケットの呼び番号X軸 Y軸XYブラケットの呼び番号− − − TU 25F TU 25 不要− − − TU 30F TU 30 不要TU 40F TU 40 TAE0412-BR − − −TU 50F TU 40 TAE0413-BR − − −TU 50F TU 50 TAE0414-BR − − −TU 60F TU 50 TAE0415-BR − − −TU 60F TU 60 TAE0409-BR − − −TU 86F TU 60 TAE0410-BR TU 86F TU 60 不要TU 86F TU 86 TAE0411-BR TU 86F TU 86 不要− − − TU130F TU100 不要XYブラケットX軸Y軸Y軸X軸Ⅱ 61 Ⅱ 62TU 組合せ例

Page 46:TU30注(1) TU30Fにはねじ穴がありません。寸法 単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さS(1)n1スライドテーブル質量kg質量(2)kgTU30S140 175 30( − ) 30.090.49180 215 70( 45) 4 0.56220 255 110( 85) 5 0.63260 295 150(125) 6 0.70300 335 190(165) 7 0.77340 375 230(205) 8 0.84TU30F140 175 30( − ) 30.120.52180 215 70( 45) 4 0.59220 255 110( 85) 5 0.66260 295 150(125) 6 0.73300 335 190(165) 7 0.80340 375 230(205) 8 0.87注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。備考 トラックレールとケーシングの材質は、ステンレス鋼です。A-A 断面寸法TU30STU30Fセンサ付き21 20 67L39(2個密着時中心間寸法)4-M3深さ5.512204-M3深さ6 4-M2.5深さ584028.6S29.5(25) (n1-1)×40 35(38)3.520352-M2.5深さ5(1)両面加工2028(1.8)14.99 1229.98.73033404814.99 1229.98.735(1.8)5125AA2×n1-2.9きり5深ざぐり深さ2.7L1TU25注(1) TU25Fにはねじ穴がありません。寸法 単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さS(1)n1スライドテーブル質量kg質量(2)kgTU25S130 165 30(−) 30.050.31165 200 65(45) 4 0.34200 235 100(80) 5 0.38TU25F130 165 30(−) 30.070.33165 200 65(45) 4 0.36200 235 100(80) 5 0.40注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。備考 トラックレールとケーシングの材質は、ステンレス鋼です。A-A 断面寸法TU25STU25Fセンサ付き21 16 6731(2個密着時中心間寸法)L(精密機器用十字穴付きなべ小ねじM2.5用)4-M3深さ492-M3深さ6 4-M2.5深さ5822 40S3.524.5(25) (n1-1)×35 35(31)L116312-M2.5深さ4(1)両面加工AA16246.725(1.6)12.48 924.928354312.48 924.9(1.6)6.73046202×n1-2.9きり4.8深ざぐり深さ1.6Ⅱ 63精密位置決めテーブルTU Ⅱ 64TU

Page 47:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさ L2L3L4L6L7n3n4質量kgTU40C − − 19.5 45 43 − 2 0.1TU40S − 18 31.5 60 55 − 4 0.2TU40G 18 34 47.5 75 71 4 4 0.3TU40F − 18 31.5 60 55 − 4 0.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU40CTU40STU40FTU40G TU40C TU40S TU40G TU40F180 186 3 45( − ) 30( − ) −( − ) 0.9 1.0 − 1.1240 246 4 105( 70) 90( 40) 80( − ) 1.1 1.2 1.3 1.3300 306 5 165(130) 150(100) 140( 70) 1.2 1.3 1.4 1.4360 366 6 225(190) 210(160) 200(130) 1.4 1.5 1.6 1.6420 426 7 285(250) 270(220) 260(190) 1.6 1.7 1.8 1.8注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU40A-A 断面寸法注(1) TU40Fにはねじ穴がありません。L25L6(2個密着時中心間寸法)15 58n3-M3深さ5n4-M4深さ639.5S105(L7)75 628.5(43)43.5(30)(30)2-M3深さ5(1)両面加工 AA2×n1-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.1L3L2L4L1(n1-1)×60TU40C、TU40S、TU40G TU40F センサ付き22351811 1140(1.9)194045556415(1.9)194518406131Ⅱ 65精密位置決めテーブルTU Ⅱ 66TU

Page 48:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさ L2L3L4L6L7n3質量kgTU50C − − 23.8 55 51 2 0.2TU50S 25 − 42.8 75 70 4 0.4TU50G 25 45 66.8 100 94 8 0.7TU50F 25 − 42.8 75 70 4 0.5トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU50CTU50STU50FTU50G TU50C TU50S TU50G TU50F220 226 3 80( − ) 60( − ) −( − ) 1.6 1.8 − 1.9300 306 4 160(115) 140( 75) 120( − ) 1.9 2.1 2.4 2.2380 386 5 240(195) 220(155) 200(110) 2.3 2.5 2.8 2.6460 466 6 320(275) 300(235) 280(190) 2.7 2.9 3.2 3.0540 546 7 400(355) 380(315) 360(270) 3.1 3.3 3.6 3.4620 626 8 480(435) 460(395) 440(350) 3.5 3.7 3.9 3.8700 706 9 560(515) 540(475) 520(430) 3.8 4.0 4.3 4.1注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU50A-A 断面寸法注(1) TU50Fにはねじ穴がありません。L6(2個密着時中心間寸法)25 15 58Ln3-M4深さ610S 75 6(30) (n1-1)×805(L7)30 35(53)552-M3深さ5(1)両面加工49.5AA2×n1-4.5きり8深さぐり深さ4.1L1L4L3L2TU50C、TU50S、TU50G TU50F センサ付き254125502550(1.9)5565742512.55015(1.9)2555714112.5Ⅱ 67精密位置決めテーブルTU Ⅱ 68TU

Page 49:<ボールねじリード5mm、10mm>単位 mmスライドテーブル寸法形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3E E1質量kgTU60C − − 27.4 17.4 65 58 2 90 15 0.3TU60S 28 − 52.4 18 90 83 4 80 10 0.6TU60G 28 60 83 44 120.5 113 8 80 10 1.0TU60FC − − 27.4 − 65 58 2 90 15 0.4TU60F 28 − 52.4 − 90 83 4 80 10 0.8TU60FG 28 60 83 − 120.5 113 8 80 10 1.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU60CTU60FCTU60STU60FTU60GTU60FGTU60C TU60S TU60G TU60FC TU60F TU60FG290 298 3 110( 50) 100( − ) 70( − ) 3.0 3.3 3.6 3.1 3.5 3.9390 398 4 210(150) 200(120) 170( 60) 3.7 4.0 4.4 3.8 4.2 4.7490 498 5 310(250) 300(220) 270(160) 4.5 4.8 5.1 4.6 4.9 5.4590 598 6 410(350) 400(320) 370(260) 5.2 5.5 5.8 5.3 5.7 6.1690 698 7 510(450) 500(420) 470(360) 6.0 6.2 6.6 6.1 6.4 6.9790 798 8 610(550) 600(520) 570(460) 6.7 7.0 7.3 6.8 7.2 7.6990 998 10 810(750) 800(720) 770(660) 8.3 8.6 9.0 8.4 8.7 9.11190 1198 12 1 010(950) 1 000(920) 970(860) 9.8 10.1 10.5 9.9 10.2 10.6注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。<ボールねじリード20mm>単位 mmスライドテーブル寸法形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3E E1質量kgTU60C − − 27.4 17.4 65 58 2 110 15 0.3TU60S 28 − 52.4 18 90 83 4 85 15 0.6TU60G 28 60 83 44 120.5 113 8 85 15 1.0TU60FC − − 27.4 − 65 58 2 110 15 0.4TU60F 28 − 52.4 − 90 83 4 85 15 0.8TU60FG 28 60 83 − 120.5 113 8 85 15 1.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU60CTU60FCTU60STU60FTU60GTU60FGTU60C TU60S TU60G TU60FC TU60F TU60FG290 298 3 95( − ) 95( − ) 65( − ) 3.1 3.4 3.7 3.2 3.6 4.0390 398 4 195(135) 195(115) 165( − ) 3.8 4.1 4.5 3.9 4.3 4.8490 498 5 295(235) 295(215) 265(155) 4.6 4.9 5.2 4.7 5.0 5.5590 598 6 395(335) 395(315) 365(255) 5.3 5.6 5.9 5.4 5.8 6.2690 698 7 495(435) 495(415) 465(355) 6.1 6.3 6.7 6.2 6.5 7.0790 798 8 595(535) 595(515) 565(455) 6.8 7.1 7.4 6.9 7.3 7.7注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU60A-A 断面寸法注(1) TU60FC、TU60F、TU60FGにはねじ穴がありません。 (2) TU60Cはφ3深さ2です。38L6(2個密着時中心間寸法)E1 70Ln3-M5深さ8E 842(64)(62)59.5SM4深さ6(1)両面加工M4深さ6(1)(2)両面加工6A2×n1-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.4L3L2L4L5(55) (n1-1)×100(L7)35AL1TU60C、TU60S、TU60G TU60F センサ付き30462816 1660(2.6)3060286064748616(2.6)30658050Ⅱ 69精密位置決めテーブルTU Ⅱ 70TU

Page 50:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3n4質量kgTU86C − − 43 30 90 80 2 − 0.7TU86S 46 − 93 63 140 130 4 − 1.7TU86G 46 73 118 60 165 155 4 4 2.2TU86FC − − 43 − 90 80 2 − 1.1TU86F 28 46 93 − 140 130 4 4 2.3TU86FG 46 73 118 − 165 155 4 4 3.0トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU86CTU86FCTU86STU86FTU86GTU86FGTU86C TU86S TU86G TU86FC TU86F TU86FG490 498 5 300( 220) 250( 120) 225( 70) 9.9 10.9 11.4 10.3 11.5 12.2590 598 6 400( 320) 350( 220) 325( 170) 10.8 11.7 12.2 11.2 12.4 13.0690 698 7 500( 420) 450( 320) 425( 270) 12.3 13.2 13.8 12.7 13.9 14.6790 798 8 600( 520) 550( 420) 525( 370) 13.8 14.7 15.3 14.2 15.4 16.1890 898 9 700( 620) 650( 520) 625( 470) 15.0 15.9 16.4 15.4 16.6 17.2990 998 10 800( 720) 750( 620) 725( 570) 16.5 17.4 17.9 16.9 18.1 18.71090 1 098 11 900( 820) 850( 720) 825( 670) 18.0 18.9 19.4 18.4 19.6 20.21190 1 198 12 1 000( 920) 950( 820) 925( 770) 19.5 20.4 21.0 19.9 21.1 21.81390 1 398 14 1 200(1 120) 1 150(1 020) 1 125( 970) 24.5 25.4 25.9 24.9 26.0 26.71590 1 598 16 1 400(1 320) 1 350(1 220) 1 325(1 170) 27.8 28.7 29.2 28.2 29.3 30.0注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU86A-A 断面寸法注(1) TU86FはM5深さ12です。 (2) TU86FC、TU86F、TU86FGにはねじ穴がありません。 (3) TU86Cはφ3深さ2です。 (4) TU86C、TU86FCで、トラックレール長さが1390又は1590の場合、90となります。L2L3L6(2個密着時中心間寸法)10 72Ln4-M6深さ12n3-M6深さ12(1)L5L4 85(4) 8835(L7)(55) (n1-1)×100L1SM4深さ6(2)(3)両面加工M4深さ6(2)両面加工49.5(74)(74.5)69.5AA2×n1-7きり11深ざぐり深さ7TU86C、TU86S、TU86G TU86F センサ付き464620 2056.286(6)4270881001124686(6)25428010656Ⅱ 71精密位置決めテーブルTU Ⅱ 72TU

Page 51:TU130A-A 断面寸法注(1) TU130Fにはねじ穴がありません。 (2) TU130FはM8深さ15です。備考 トラックレールには、M12の吊りボルト用のめねじが設けてあります。寸法 単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さS(1)n1L2スライドテーブル質量kg質量(2)kgTU130S1 010 1 020 660( 490) 770 5.445.21 160 1 170 810( 640) 8 50.61 310 1 320 960( 790) 9 56.21 460 1 470 1 110( 940) 10 61.81 610 1 620 1 260(1 090) 11 67.3TU130F1 010 1 020 660( 490) 750 7.847.61 160 1 170 810( 640) 8 53.01 310 1 320 960( 790) 9 58.61 460 1 470 1 110( 940) 10 64.21 610 1 620 1 260(1 090) 11 69.7注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。L2 20 110180(2個密着時中心間寸法)45L4-M10深さ20(2)34132 140 1072.5(104)(107.5)55(178)(55)L1S82-M4深さ6(1)両面加工99.5AA2×n1-11きり17.5深ざぐり深さ10.6(n1-1)×15070887030130(9.4)6510013415016870130(9.4)6511015074.530TU100A-A 断面寸法注(1) TU100Fにはねじ穴がありません。 (2) TU100FはM6深さ12です。備考 トラックレールには、M12の吊りボルト用のめねじが設けてあります。寸法 単位 mm形式大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さS(1)n1L2スライドテーブル質量kg質量(2)kgTU100S1 010 1 020 690( 550) 750 2.628.01 160 1 170 840( 700) 8 31.61 310 1 320 990( 850) 9 35.11 460 1 470 1 140(1 000) 10 38.8TU100F1 010 1 020 690( 550) 746 3.729.11 160 1 170 840( 700) 8 32.71 310 1 320 990( 850) 9 36.21 460 1 470 1 140(1 000) 10 39.9注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。45 L2155(2個密着時中心間寸法)4-M8深さ15(2)20100L34111 130 1058(84)(93)556(153.2)(55) (n1-1)×150L1S79.52-M4深さ6(1)両面加工AA2×n1-9きり14深ざぐり深さ9TU100S TU100F センサ付き5065.25049.599.55280(8)24.51021151285049.524.599.5529012161.3(8)TU130S TU130F センサ付きⅡ 73精密位置決めテーブルTU Ⅱ 74TU

Page 52:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさ L2L3L4L6L7n3n4質量kgTU40C − − 19.5 45 43 − 2 0.1TU40S − 18 31.5 60 55 − 4 0.2TU40G 18 34 47.5 75 71 4 4 0.3TU40F − 18 31.5 60 55 − 4 0.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU40CTU40STU40FTU40G TU40C TU40S TU40G TU40F140 146 2 45( − ) 30( − ) −( − ) 1.0 1.1 − 1.2200 206 3 105( 70) 90( 40) 80( − ) 1.2 1.3 1.4 1.4260 266 4 165(130) 150(100) 140( 70) 1.4 1.5 1.6 1.6320 326 5 225(190) 210(160) 200(130) 1.6 1.7 1.8 1.8380 386 6 285(250) 270(220) 260(190) 1.8 1.9 2.0 2.0注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU40 モータ折返し仕様A-A 断面寸法注(1) TU40Fにはねじ穴がありません。備考 モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。25L2L3L6(2個密着時中心間寸法)L208135136627 28n4-M4深さ6n3-M3深さ510L435S39.5(30) (n1-1)×60(L7)50L128.53.55053.552-M3深さ5(1)両面加工AA2×n1-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.122351811 11401940(1.9)45556415(1.9)194518406131TU40C、TU40S、TU40G TU40F センサ付きⅡ 75精密位置決めテーブルTU Ⅱ 76TU

Page 53:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさ L2L3L4L6L7n3質量kgTU50C − − 23.8 55 51 2 0.2TU50S 25 − 42.8 75 70 4 0.4TU50G 25 45 66.8 100 94 8 0.7TU50F 25 − 42.8 75 70 4 0.5トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU50CTU50STU50FTU50G TU50C TU50S TU50G TU50F180 186 2 80( − ) 60( − ) −( − ) 1.6 1.8 − 1.9260 266 3 160(115) 140( 75) 120( − ) 1.9 2.1 2.4 2.2340 346 4 240(195) 220(155) 200(110) 2.3 2.5 2.8 2.6420 426 5 320(275) 300(235) 280(190) 2.7 2.9 3.2 3.0500 506 6 400(355) 380(315) 360(270) 3.1 3.3 3.6 3.4580 586 7 480(435) 460(395) 440(350) 3.5 3.7 3.9 3.8660 666 8 560(515) 540(475) 520(430) 3.8 4.0 4.3 4.1注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU50 モータ折返し仕様A-A 断面寸法注(1) TU50Fにはねじ穴がありません。備考 モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。25L2L3L6(2個密着時中心間寸法)27 6 28L8120351365n3-M4深さ610L4 35535506010(30) (n1-1)×80(L7)70L1S2-M3深さ5(1)2×n1-4.5きり8深ざぐり深さ4.1両面加工49.5AA25412512.550(1.9)255055657450255515(1.9)71412512.5TU50C、TU50S、TU50G TU50F センサ付きⅡ 77精密位置決めテーブルTU Ⅱ 78TU

Page 54:<ボールねじリード5mm、10mm>スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3E質量kgTU60C − − 27.4 17.4 65 58 2 44 0.3TU60S 28 − 52.4 18 90 83 4 39 0.6TU60G 28 60 83 44 120.5 113 8 39 1.0TU60FC − − 27.4 − 65 58 2 44 0.4TU60F 28 − 52.4 − 90 83 4 39 0.8TU60FG 28 60 83 − 120.5 113 8 39 1.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU60CTU60FCTU60STU60FTU60GTU60FGTU60C TU60S TU60G TU60FC TU60F TU60FG244 252 2 110( 50) 95( − ) 65( − ) 3.6 3.9 − 3.7 4.1 −344 352 3 210(150) 195(115) 165( 55) 4.3 4.6 5.0 4.4 4.8 5.3444 452 4 310(250) 295(215) 265(155) 5.1 5.4 5.7 5.2 5.5 6.0544 552 5 410(350) 395(315) 365(255) 5.8 6.1 6.4 5.9 6.3 6.7644 652 6 510(450) 495(415) 465(355) 6.6 6.8 7.2 6.7 7.0 7.5744 752 7 610(550) 595(515) 565(455) 7.5 7.6 7.9 7.6 7.8 8.2注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。<ボールねじリード20mm>スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3E質量kgTU60C − − 27.4 17.4 65 58 2 64 0.3TU60S 28 − 52.4 18 90 83 4 39 0.6TU60G 28 60 83 44 120.5 113 8 39 1.0TU60FC − − 27.4 − 65 58 2 64 0.4TU60F 28 − 52.4 − 90 83 4 39 0.8TU60FG 28 60 83 − 120.5 113 8 39 1.3トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU60CTU60FCTU60STU60FTU60GTU60FGTU60C TU60S TU60G TU60FC TU60F TU60FG244 252 2 95( − ) 95( − ) 65( − ) 3.7 4.0 − 3.8 4.2 −344 352 3 195(135) 195(115) 165( − ) 4.4 4.7 5.1 4.5 4.9 5.4444 452 4 295(235) 295(215) 265(155) 5.2 5.5 5.8 5.3 5.6 6.1544 552 5 395(335) 395(315) 365(255) 5.9 6.2 6.5 6.0 6.4 6.8644 652 6 495(435) 495(415) 465(355) 6.7 6.9 7.3 6.8 7.1 7.6744 752 7 595(535) 595(515) 565(455) 7.6 7.7 8.0 7.7 7.9 8.3注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU60 モータ折返し仕様A-A 断面寸法注(1) TU60FC、TU60F、TU60FGにはねじ穴がありません。 (2) TU60Cはφ3深さ2です。 (3) ( )内寸法は、モータアタッチメント記号AR103、AR107に適用します。備考 モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。38L2L3L6(2個密着時中心間寸法) 31 8 29(35)(3)30(37)(3)42(47)(3)100172(184)(3)Ln3-M5深さ8L5L4ES(n1-1)×100(55)(L7)89L14260(73)(3)12(5.5)(3)72(78.5)(3)6M4深さ6(1)両面加工M4深さ6(1)(2)2×n1-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.4両面加工59.5AA304628 16603060(2.6)647486286016(2.6)30655080TU60C、TU60S、TU60G TU60FC、TU60FS、TU60FG センサ付きⅡ 79精密位置決めテーブルTU Ⅱ 80TU

Page 55:スライドテーブル寸法 単位 mm形式と大きさL2L3L4L5L6L7n3n4質量kgTU86C − − 43 30 90 80 2 − 0.7TU86S 46 − 93 63 140 130 4 − 1.7TU86G 46 73 118 60 165 155 4 4 2.2TU86FC − − 43 − 90 80 2 − 1.1TU86F 28 46 93 − 140 130 4 4 2.3TU86FG 46 73 118 − 165 155 4 4 3.0トラックレール寸法 単位 mmトラックレール長さL1全長Ln1ストローク長さ S(1) 質量(2) kgTU86CTU86FCTU86STU86FTU86GTU86FGTU86C TU86S TU86G TU86FC TU86F TU86FG442 450 4 295(215) 245(115) 220( 65) 10.3 11.3 11.8 10.7 11.9 12.6542 550 5 395(315) 345(215) 320(165) 11.2 12.1 12.6 11.6 12.8 13.4642 650 6 495(415) 445(315) 420(265) 12.7 13.6 14.2 13.1 14.3 15.0742 750 7 595(515) 545(415) 520(365) 14.2 15.1 15.7 14.6 15.8 16.5842 850 8 695(615) 645(515) 620(465) 15.4 16.3 16.8 15.8 17.0 17.6942 950 9 795(715) 745(615) 720(565) 16.9 17.8 18.3 17.3 18.5 19.11042 1 050 10 895(815) 845(715) 820(665) 18.4 19.3 19.8 18.8 20.0 20.61142 1 150 11 995(915) 945(815) 920(765) 19.9 20.8 21.4 20.3 21.5 22.2注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。 (2) スライドテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。TU86 モータ折返し仕様A-A 断面寸法注(1) TU86FはM5深さ12です。 (2) TU86FC、TU86F、TU86FGにはねじ穴がありません。 (3) TU86Cはφ3深さ2です。備考 モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。L2L3L6(2個密着時中心間寸法)31 8 35L37100471846n4-M6深さ12L5L4842S(55) (n1-1)×100 87(L7)L149.513738669.5M4深さ6(2)両面加工M4深さ6(2)(3)両面加工n3-M6深さ12(1)2×n1-7きり11深ざぐり深さ74656.2462086(6)427088100112(6)42802556106462086TU86C、TU86S、TU86G TU86FC、TU86FS、TU86FG センサ付きⅡ 81精密位置決めテーブルTU Ⅱ 82TU

Page 56:TU86S ジャバラ付きテーブル単位 mmトラックレール長さL1全長L限界ストローク長さ(1)S1ストローク長さ(2)SF G490( 442) 499.2( 451.2) 203(198) 195(190) 72( 72) 108( 65)590( 542) 599.2( 551.2) 275(270) 265(260) 86( 86) 122( 79)690( 642) 699.2( 651.2) 349(344) 340(335) 99( 99) 135( 92)790( 742) 799.2( 751.2) 421(416) 410(405) 113(113) 149(106)890( 842) 899.2( 851.2) 521(516) 510(505) 113(113) 149(106)990( 942) 999.2( 951.2) 593(588) 580(575) 127(127) 163(120)1 090(1 042) 1 099.2(1 051.2) 667(662) 655(650) 140(140) 176(133)1 190(1 142) 1 199.2(1 151.2) 739(734) 730(725) 154(154) 190(147)注(1) スライドテーブルが移動することができるストロークの限界値を示します。 (2) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。備考1.( )内の寸法は、モータ折返し仕様のジャバラ付きテーブルに適用します。 2. トラックレールの取付寸法については、TU86の寸法表を参照してください。 3. Cルーブ付きにも適用します。107S1/2F S1/2 G8L11.2L10013228464-M5深さ84-M6深さ880TU60S ジャバラ付きテーブル単位 mmトラックレール長さL1全長L限界ストローク長さ(1)S1ストローク長さ(2)SF G290(244) 299.2(253.2) 73.6( 68.6) 65( 60) 59( 59) 93( 52)390(344) 399.2(353.2) 147.6(142.6) 140(135) 72( 72) 106( 65)490(444) 499.2(453.2) 219.6(214.6) 210(205) 86( 86) 120( 79)590(544) 599.2(553.2) 293.6(288.6) 285(280) 99( 99) 133( 92)690(644) 699.2(653.2) 393.6(388.6) 380(375) 99( 99) 133( 92)790(744) 799.2(753.2) 465.6(460.6) 455(450) 113(113) 147(106)注(1) スライドテーブルが移動することができるストロークの限界値を示します。 (2) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。備考1.( )内の寸法は、モータ折返し仕様のジャバラ付きテーブルに適用します。 2. トラックレールの取付寸法については、TU60の寸法表を参照してください。 3. Cルーブ付きにも適用します。64.4 S1/2S1/2 G8L1L1.2F74106704M-5深さ8 28Ⅱ 83精密位置決めテーブルTU Ⅱ 84TU

Page 57:形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU50C220 226 65( − )90 23.8 65 63300 306 145( 90)380 386 225(170)460 466 305(250)540 546 385(330)620 626 465(410)700 706 545(490)TU50STU50F220 226 45( − )90 42.8 85 82300 306 125( 50)380 386 205(130)460 466 285(210)540 546 365(290)620 626 445(370)700 706 525(450)TU50G300 306 100( − )90 66.8 110 106380 386 180( 80)460 466 260(160)540 546 340(240)620 626 420(320)700 706 500(400)注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。備考 スライドテーブルとトラックレールの寸法は、それぞれの大きさの寸法表をご参照ください。TU40、TU50 Cルーブ付きテーブル単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU40C180 186 30( − )90 19.5 60 55240 246 90( 40)300 306 150(100)360 366 210(160)420 426 270(220)TU40STU40F240 246 80( − )90 31.5 70 67300 306 140( 75)360 366 200(135)420 426 260(195)TU40G240 246 60( − )90 47.5 85 83300 306 120( − )360 366 180(105)420 426 240(165)L6(2個密着時中心間寸法)LL4 ES(L7)L1Ⅱ 85精密位置決めテーブルTU Ⅱ 86TU

Page 58:形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU86CTU86FC490 498 260( 190)110 43 95 92590 598 360( 290)690 698 460( 390)790 798 560( 490)890 898 660( 590)990 998 760( 690)1 090 1 098 860( 790)1 190 1 198 960( 890)TU86STU86F490 498 230( 120)85 93 145 142590 598 330( 220)690 698 430( 320)790 798 530( 420)890 898 630( 520)990 998 730( 620)1 090 1 098 830( 720)1 190 1 198 930( 820)TU86GTU86FG490 498 210( 70)85 118 170 167590 598 310( 170)690 698 410( 270)790 798 510( 370)890 898 610( 470)990 998 710( 570)1 090 1 098 810( 670)1 190 1 198 910( 770)TU100STU100F1 010 1 020 670( 540)130 111 170 1661 160 1 170 820( 690)1 310 1 320 970( 840)1 460 1 470 1 120( 990)TU130STU130F1 010 1 020 630( 480)140 132 195 1901 160 1 170 780( 630)1 310 1 320 930( 780)1 460 1 470 1 080( 930)1 610 1 620 1 230(1 080)注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の数値はスライドテーブル2個密着の時の寸法です。備考 スライドテーブルとトラックレールの寸法は、それぞれの大きさの寸法表をご参照ください。TU60、TU86、TU100、TU130 Cルーブ付きテーブル単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1) S EL4L6L7リード 5mmリード10mmリード20mmリード 5mmリード10mmリード20mmTU60CTU60FC290 298 90( 40) 70( − )100 120 27.4 75 70390 398 190(140) 170(120)490 498 290(240) 270(220)590 598 390(340) 370(320)690 698 490(440) 470(420)790 798 590(540) 570(520)TU60STU60F290 298 90( − ) 70( − )80 95 52.4 100 95390 398 190(110) 170(100)490 498 290(210) 270(200)590 598 390(310) 370(300)690 698 490(410) 470(400)790 798 590(510) 570(500)TU60GTU60FG290 298 60( − ) −( − )80 85 83 130 125390 398 160( 50) 155( − )490 498 260(150) 255(150)590 598 360(250) 355(250)690 698 460(350) 455(350)790 798 560(450) 555(450)LL4 ES(L7)L1L6(2個密着時中心間寸法)Ⅱ 87精密位置決めテーブルTU Ⅱ 88TU

Page 59:形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU50C180 186 65( − )50 23.8 65 63260 266 145( 90)340 346 225(170)420 426 305(250)500 506 385(330)580 586 465(410)660 666 545(490)TU50STU50F180 186 45( − )50 42.8 85 82260 266 125( 50)340 346 205(130)420 426 285(210)500 506 365(290)580 586 445(370)660 666 525(450)TU50G260 266 100( − )50 66.8 110 106340 346 180( 80)420 426 260(160)500 506 340(240)580 586 420(320)660 666 500(400)注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の値はスライドテーブル2個密着時の寸法です。備考1. モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。 2. スライドテーブルとトラックレールの寸法は、それぞれの大きさの寸法表をご参照ください。TU40、TU50 Cルーブ付きテーブル・モータ折返し仕様単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU40C140 146 30( − )50 19.5 60 55200 206 90( 40)260 266 150(100)320 326 210(160)380 386 270(220)TU40STU40F200 206 80( − )50 31.5 70 67260 266 140( 75)320 326 200(135)380 386 260(195)TU40G200 206 60( − )50 47.5 85 83260 266 120( − )320 326 180(105)380 386 240(165)L6(2個密着時中心間寸法)LL4E(L7)SL1Ⅱ 89精密位置決めテーブルTU Ⅱ 90TU

Page 60:形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1)SE L4L6L7TU86CTU86FC442 450 250(190)70 43 95 92542 550 350(290)642 650 450(390)742 750 550(490)842 850 650(590)942 950 750(690)1 042 1 050 850(790)1 142 1 150 950(890)TU86STU86F442 450 230(120)40 93 145 142542 550 330(220)642 650 430(320)742 750 530(420)842 850 630(520)942 950 730(620)1 042 1 050 830(720)1 142 1 150 930(820)TU86GTU86FG442 450 210( 70)40 118 170 167542 550 310(170)642 650 410(270)742 750 510(370)842 850 610(470)942 950 710(570)1 042 1 050 810(670)1 142 1 150 910(770)注(1) リミットセンサを取り付けた場合に許容できるストローク長さを示します。( )内の数値はスライドテーブル2個密着の時の寸法です。備考1. モータアタッチメント装着後の図です。実際のモータアタッチメントは本体に添付されます。 2. スライドテーブルとトラックレールの寸法は、それぞれの大きさの寸法表をご参照ください。TU60、TU86 Cルーブ付きテーブル・モータ折返し仕様単位 mm形式と大きさトラックレール長さL1全長Lストローク長さ(1) S EL4L6L7リード 5mmリード10mmリード20mmリード 5mmリード10mmリード20mmTU60CTU60FC244 252 90( 40) 70( − )55 74 27.4 75 70344 352 190(140) 170(120)444 452 290(240) 270(220)544 552 390(340) 370(320)644 652 490(440) 470(420)744 752 590(540) 570(520)TU60STU60F244 252 80( − ) 70( − )40 49 52.4 100 95344 352 180(110) 170(100)444 452 280(210) 270(200)544 552 380(310) 370(300)644 652 480(410) 470(400)744 752 580(510) 570(500)TU60GTU60FG244 252 50( − ) −( − )40 39 83 130 125344 352 150( 50) 155( − )444 452 250(150) 255(150)544 552 350(250) 355(250)644 652 450(350) 455(350)744 752 550(450) 555(450)L6(2個密着時中心間寸法)LL4ES(L7)L1Ⅱ 91精密位置決めテーブルTU Ⅱ 92TU

Page 61:形式と大きさトラックレール仕様トラックレール長さL1ブリッジカバーなし ブリッジカバー付きF1G1F1G1TU 60モータ折返しなし29032 17 35 293904905906907909901190 32 17 − −モータ折返し仕様24432 28 35 29344444544644744TU 86モータ折返しなし49032 19 35 295906907908909901 0901 1901 3901 590 32 19 − −モータ折返し仕様44232 28 35 295426427428429421 0421 142TU 100 モータ折返しなし1 01035 34 35 341 1601 3101 460TU 130 モータ折返しなし1 01035 38 35 381 1601 3101 4601 610備考 スライドテーブルとトラックレールの寸法は、それぞれの大きさの寸法表をご参照ください。ボールねじなし仕様単位 mm形式と大きさトラックレール仕様トラックレール長さL1ブリッジカバーなし ブリッジカバー付きF1G1F1G1TU 25 モータ折返しなし13014 14 14 14165200TU 30 モータ折返しなし14014 14 14 14180220260300340TU 40モータ折返しなし18020 18 20 18240300360420モータ折返し仕様14020 18 20 18200260320380TU 50モータ折返しなし22020 18 20 18300380460540620700モータ折返し仕様18020 18 20 18260340420500580660F1G1L1Ⅱ 93精密位置決めテーブルTU Ⅱ 94TU

Page 62:TSL…MⅡ 95 Ⅱ 96TSL…M

Page 63:TSL・・・M精密位置決めテーブル L駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0020.015∼0.060−−0.020∼0.070−−0.003精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵高強度アルミニウム合金標準装備ボールねじリニアウェイベッドスライドテーブルブリッジカバーPoints1●軽量・ロングストロークな 位置決めテーブル高強度アルミニウム合金製のスライドテーブルとベッドで構成された、軽量でロングストロークな位置決めテーブルです。2●安定した高い走行精度と 位置決め精度リニアウェイを2セット並列に組み込み、精密ボールねじと組み合わせることで、高い走行精度と高精度な位置決めを実現しています。3●XYブラケットで 多軸システムの構成が可能テーブル幅寸法で90mmから220mmまで4つのサイズをシリーズ化。XYブラケットにより多軸構成も容易です。バリエーション形状 形式と大きさストローク長さ(mm)TSL120 MTSL170 MTSL170SMTSL 90 M50 500400300250200150100テーブル幅寸法(mm)120170170901000800600☆TSL220 M 220220mm170mm170mm120mm90mm☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−単位 mm主な製品仕様 精 度 Ⅱ 97 Ⅱ 98TSL…M

Page 64:TSL…M:精密位置決めテーブルL大きさは、テーブル幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。表1に示すストローク長さから選択します。モータアタッチメントは表2より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表3に示すカップリングが本体に取付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にてお願い致します。・ACサーボモータ用のアタッチメントを指定した場合、原点センサは付きません。5:リード 5mm10:リード10mm形式1大きさ2ストローク長さ3表1 大きさとテーブル幅寸法及びストローク長さ 単位 mm形式と大きさ テーブル幅寸法 ストローク長さTSL 90 M 90 50、100、150、200、250、 300TSL120 M 120 100、150、200、250、300、 400、500、600TSL170 M 170 150、200、250、300、400、 500TSL170S M 170 300、400、500、600、800、1 000TSL220 M 220 300、400、500、600、800、1 000モータアタッチメントの指定4ボールねじのリード5表2 モータアタッチメントの適用使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTSL 90MTSL170MTSL120M TSL170SM TSL220MACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-01100 □40AT201 AT201 − −SGMAV-01 AT201 AT201 − −SGMJV-02200 □60− − AT202 AT202SGMAV-02 − − AT202 AT202三菱電機㈱ J3HF-MP13100 □40AT201 AT201 − −HF-KP13 AT201 AT201 − −HF-MP23200 □60− − AT202 AT202HF-KP23 − − AT202 AT202パナソニック㈱ MINAS A5MSMD01100 □38AT203 AT203 − −MSME01 AT203 AT203 − −MSMD02200 □60− − AT204 AT204MSME02 − − AT204 AT204ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR66 □60 AT205 AT206 − −AR69 □60 AT205 AT206 − −AR98 □85 − − AT207 AT210AR911 □85 − − AT207 AT210AS66 □60 AT208 AT209 − −AS69 □60 AT208 AT209 − −AS98 □85 − − AT207 AT210AS911 □85 − − AT207 AT210RKCRKRK56・CRK56(1) □60 AT208 AT209 − −RK59 □85 − − AT207 AT210注(1) モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5TSL 90 M - 300 / AT201 10形式1 Ⅱ 99ページ大きさ2 Ⅱ 99ページストローク長さ3 Ⅱ 99ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 99ページボールねじのリード5 Ⅱ 99ページ表3 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2AT201 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT202 UA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 1.34AT203 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT204 UA-35C-11×12 ㈱酒井製作所 1.34AT205 MSTS-20C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.25AT206 MSTS-25C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.71AT207 MSTS-32C-12×14 鍋屋バイテック会社 2.70AT208 MSTS-20C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.25AT209 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT210 MSTS-32C-12×14 鍋屋バイテック会社 2.70備考 カップリングの仕様は、各メーカのカタログをご参照ください。Ⅱ 99 Ⅱ 100TSL…M呼び番号 呼び番号と仕様の詳細

Page 65:表4 精度 単位 mm形式と大きさ ストローク長さ 繰返し位置決め精度 位置決め精度 テーブル運動の平行度B バックラッシTSL 90 M50±0.0020.015 0.0200.0031000.0200.0301502000.025250300 0.030 0.040TSL120 M100±0.0020.0200.0300.0031502000.025250300 0.030 0.040400 0.0400.050500 0.045600 0.050 0.070TSL170 M150±0.0020.0200.0300.0032000.025250300 0.0300.050400 0.040500 0.045TSL170SMTSL220 M300±0.0020.030 0.0400.003400 0.0400.050500 0.0456000.0500.0708001 000 0.060表5 最高速度モータの種類 形式と大きさストローク長さmm最高速度 mm/sリード5mmリード10mmACサーボモータTSL 90 MTSL120 MTSL170 M− 250 500TSL170SMTSL220 M600以下 250 500800 249 4981 000 169 338ステッピングモータTSL 90 MTSL120 MTSL170 MTSL170SMTSL220 M− 150 300備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表7 直動案内部の仕様形式と大きさ基本動定格荷重(1)CN基本静定格荷重(1)C0N配置LmmℓmmYdmmZdmmTSL 90 M 1 810 2 760 60 60 0 −7TSL120 M11 600 13 40080 66 0 8TSL170 M 106 66 0 11TSL170SM 120 130 0 1TSL220 M 25 200 28 800 162 95 0 11注(1) スライドユニット1個当りの値です。駆動位置(Yd、Zd)ZYXZYX00 0L/2L/2Lスライドユニット1スライドユニット2スライドユニット3スライドユニット4 ℓℓ/2 ℓ/2表6 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TSL 90M5 46 710 26 4.7TSL120M5 195 1810 97 18TSL170M5 195 1810 97 17TSL170SM5 218 2110 113 20TSL220M5 226 1910 111 18Ⅱ 101 Ⅱ 102TSL…M 諸特性

Page 66:表9 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさストローク長さmmテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2 起動トルク TSN・mリード5mm リード10mmTSL 90 M50 0.20 0.330.05100 0.25 0.38150 0.28 0.40200 0.33 0.45250 0.35 0.48300 0.40 0.53TSL120 M100 1.3 1.70.06150 1.5 1.9200 1.7 2.1250 1.9 2.3300 2.1 2.5400 2.4 2.9500 2.8 3.3600 3.2 3.7TSL170 M150 1.4 1.80.06200 1.6 2.0250 1.8 2.2300 2.0 2.4400 2.3 2.8500 2.7 3.2TSL170SM300 6.9 7.40.10400 8.1 8.6500 9.3 9.8600 11 11800 13 141 000 15 16TSL220 M300 7.5 8.50.10400 8.7 9.7500 9.9 11600 11 12800 14 151 000 16 17表8.1 ボールねじの仕様 1形式と大きさリードmmねじ外径mm軸方向すきまmm基本動定格荷重CN基本静定格荷重C0NTSL 90 M510 0.0051 470 2 21010 1 030 1 370TSL120 MTSL170 M515 0.0053 820 6 37010 3 820 6 370TSL170SMTSL220 M520 0.0054 460 8 58010 4 460 8 580表8.2 ボールねじの仕様 2 単位mm形式と大きさ ストローク長さ ねじ外径 全 長TSL 90 M5010179100 229150 279200 329250 379300 429TSL120 M10015273150 323200 373250 423300 473400 573500 673600 773TSL170 M15015289200 339250 389300 439400 539500 639TSL170SM30020545400 645500 745600 845800 1 0451 000 1 245TSL220 M30020545400 645500 745600 845800 1 0451 000 1 245Ⅱ 103 Ⅱ 104TSL…M諸特性

Page 67:TSL90MAT201AT203AT205AT208TSL170MAT201AT203AT205AT208528.517 4-M4深さ8PCD46、90°等配4-M3深さ6PCD45、90°等配528.517□50 4-M4深さ828.517(※6)※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します5φ8φ28φ8φ28φ8φ28151515φ30+0.033 0φ30+0.033 0φ36+0.039 05153020(※6.5)※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します□50 4-M4深さ84-M3深さ6PCD45、90°等配530204-M4深さ8PCD46、90°等配5153020φ8φ28φ8φ28φ8φ2815φ30+0.033 0φ30+0.033 0φ36+0.039 0表10 センサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C D E FTSL 90 M5505 320 5 510 10 7TSL120 M5605 320 15 1510 10 7TSL170 M5455 320 3 310 10 7TSL170SM5605 320 5 510 10 7TSL220 M5605 320 5 510 10 7備考 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。ONOFF原点原点前メカストッパCWリミットCCWリミットOFFABCDCCWCWOFF ストローク長さ(F)(E)TSL120MAT201AT203AT206AT209TSL170SMAT202AT204AT2071030204-M3深さ6PCD45、90°等配103020103020(※7.5)※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します □50 4-M4通し4-M4通しPCD46、90°等配φ8φ8φ8φ30+0.033 0φ30+0.033 0φ36+0.039 0※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します151515 1135304-M5深さ10PCD70、90°等配35304-M4深さ8PCD70、90°等配34630(※17.5) □70□854-M6深さ11φ12φ451.5φ12φ12φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ60+0.046 0Ⅱ 105 Ⅱ 106TSL…Mモータアタッチメントの寸法 センサの仕様

Page 68:TSL220MAT202AT204AT210※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します□70 4-M6深さ1254530(※17)4-M5通しPCD70、90°等配15152535304-M4深さ8PCD70、90°等配3530φ12φ45φ12φ12φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ60+0.046 0精密位置決めテーブルLは、図2に示すXYブラケット(アルミニウム合金製)を使用して多彩な2軸組合せを構成することができます。ご要望の際は図中の呼び番号でご指示ください。図1 2軸組合せの構成例Ⅱ 107 Ⅱ 108TSL…Mモータアタッチメントの寸法XYブラケット

Page 69:●TSL90-AGL ●TSL120-AGL●TSL90-AGI ●TSL120-AGI●TSL90-AGT ●TSL120-AGT図2 XYブラケット4-M4深さ108060209010108090609017.54-M4用穴852012010812128527.51201081204-M5深さ104-M5用穴9060809056080906027.560208051054517.5101204-M4用穴4-M4深さ104-M4用穴4-M4深さ1085120108120851081208537.58510827.561256020121504-M5用穴4-M5深さ104-M5深さ106609013022080590104560 60 87.580525103590125844-M4用穴156-M4深さ108512018030017.51081201260685 85 12030610815401201601044-M5用穴6-M5深さ10TSL90M単位 mm呼び番号ストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kgS E1E2全長Lベッド取付穴A BTSL90M- 50 5030 30200 40 70 2.8TSL90M-100 100 250 90 95 3.2TSL90M-150 150 300 140 120 3.5TSL90M-200 200 350 190 145 3.9TSL90M-250 250 400 240 170 4.2TSL90M-300 300 450 290 195 4.6(20) 60 A 60 20B 60 BL 580 4-M4深さ8806090(4) (E1) S/2 90 S/2 (E2)33101550 10(1.5)22.56512-M4用穴φ8Ⅱ 109 Ⅱ 110TSL…M精密位置決めテーブルL XYブラケット

Page 70:TSL120M単位 mm呼び番号ストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kgS E1E2全長Lベッド取付穴A B C D nTSL120M-100 10040 40300 85 107.5 85 22.5 8 6.1TSL120M-150 150 350 135 132.5 85 22.5 12 6.6TSL120M-200 200 400 185 157.5 85 22.5 12 7.1TSL120M-250 250 450 235 182.5 85 22.5 12 7.6TSL120M-300 300 500 255 207.5 85 37.5 12 8.1TSL120M-400 400 600 355 207.5 185 37.5 12 9.1TSL120M-500 500 700 455 207.5 285 37.5 12 10.1TSL120M-600 600 800 555 207.5 385 37.5 12 11.1φ10(D) 85 A 85 DBCBL1084-M5深さ10108120(5) S/2 120 S/2(E1)3813 1372(1)22.570n-M5用穴(E2)1085TSL170M単位 mm呼び番号ストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kgS E1E2全長Lベッド取付穴A B C(個数×ピッチ) nTSL170M-150 15025 25310 100 77 250 8 7.2TSL170M-200 200 360 150 102 300 8 7.8TSL170M-250 250 410 200 127 350(2×175) 10 8.4TSL170M-300 300 460 250 152 400(2×200) 10 9.1TSL170M-400 400 560 350 202 500(2×250) 10 10.4TSL170M-500 500 660 450 252 600(2×300) 10 11.6(30) C 30105 A 105B 156 BL 51566060n-M6用穴 4-M6用穴4-M6深さ12140170(6) (E1) S/2 110 S/2 (E2)3312 144 12(1.5)665φ1015Ⅱ 111 Ⅱ 112TSL…M精密位置決めテーブルL

Page 71:TSL170SM単位 mm呼び番号ストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kgS E1E2全長Lベッド取付穴A(個数×ピッチ) nTSL170SM- 300 30040 40580 80 12 14.8TSL170SM- 400 400 680 130 12 16.6TSL170SM- 500 500 780 180 12 18.5TSL170SM- 600 600 880 230 12 20.3TSL170SM- 800 800 1 080 330(2×165) 16 24.0TSL170SM-1000 1 000 1 280 430(2×215) 16 27.7注(1) AT207に適用します。(30) 120 A 120 A 120 30L120150 4-M6深さ12150170(2) (E1) S/2 200 S/2 (E2)413090(3.5)15 105 15n-M6用穴φ151526(1)TSL220M単位 mm呼び番号ストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kgS E1E2全長Lベッド取付穴A(個数×ピッチ) B nTSL220M- 300 30040 40580 440(2×220) 210 6 20.1TSL220M- 400 400 680 540(2×270) 260 6 22.5TSL220M- 500 500 780 640(2×320) 310 6 24.7TSL220M- 600 600 880 740(4×185) 360 10 27.0TSL220M- 800 800 1 080 940(4×235) 460 10 31.5TSL220M-1000 1 000 1 280 1 140(4×285) 560 10 36.2注(1) AT210に適用します。(70)B 160 BLA 70160100100 4-M8用穴200220(2)(E1) S/2 200 S/2 (E2)4516 144 16n-M8用穴102090(1)φ154-M8深さ161525(1)Ⅱ 113 Ⅱ 114TSL…M精密位置決めテーブルL

Page 72:TETSLH…MCTLH…MⅡ 115 Ⅱ 116TSLH…M・CTLH…M

Page 73:TSLH・・・MCTLH・・・MスライドテーブルYテーブルXテーブルボールねじベッドリニアウェイ精密位置決めテーブル LH駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0020.010∼0.035−0.010∼0.035−−0.005∼0.0250.001精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵鋳鉄標準装備Points1●高精度・高剛性な位置決めテーブル高剛性で振動減衰性の高い鋳鉄製のスライドテーブルとベッドで構成された、高精度・高剛性な位置決めテーブルです。2●高い走行精度と位置決め精度精密研削加工を施した鋳鉄製のスライドテーブルとベッドにリニアウェイを2セット並列に組み込み、精密ボールねじと組み合わせることで、高い走行精度と高精度な位置決めを実現しています。3●高剛性で大きな搭載質量高剛性なベッドに2セットのリニアウェイを最適配置しているので、搭載質量が大きく、モーメントや複合荷重に強い構造です。バリエーション形状 形式と大きさストローク長さ(mm)TSLH220MTSLH320MTSLH420MTSLH120M500400300250200150100テーブル幅寸法(mm)2203204201201000800600(☆)☆☆☆−−☆☆☆−−−(☆)(☆)☆☆☆☆☆−☆☆☆☆☆−−−−(☆)(☆)(☆)−−−−−−−−120mm220mm320mm420mm単位 mm主な製品仕様 精 度 Ⅱ 117 Ⅱ 118TSLH…M・CTLH…M

Page 74:呼び番号の配列例(単軸仕様) 1 2 1 3 4 5 6 7TSLH 120 M - 300 / AT301 10 J R形式1 Ⅱ 120ページ大きさ2 Ⅱ 120ページストローク長さ3 Ⅱ 120ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 120ページボールねじのリード5 Ⅱ 120ページジャバラの指定6 Ⅱ 120ページ表面処理7 Ⅱ 120ページTSLH…M:精密位置決めテーブルLH(単軸仕様)大きさは、テーブル幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。表1に示すストローク長さから選択します。ジャバラ付きのテーブルは、使用できるストローク長さが若干短くなりますので、寸法表をご参照ください。モータアタッチメントは表3より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表4に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。・ACサーボモータ用のアタッチメントを指定した場合、原点センサは付きません。5:リード 5mm10:リード10mm無記号:ジャバラなしJ :ジャバラ付きジャバラ付きのテーブルは、使用できるストローク長さが若干短くなるので、寸法表をご参照ください。無記号:黒色クロム皮膜処理R :黒色クロム皮膜処理1L :黒色クロム皮膜処理2黒色クロム皮膜処理 :リニアウェイ、ボールねじ、ボールベアリングを除く主要部品に処理を施します。黒色クロム皮膜処理1:上記の黒色クロム皮膜処理に加えて、リニアウェイの表面にも処理を施します。黒色クロム皮膜処理2:上記の黒色クロム皮膜処理1に加えて、ボールねじの表面にも処理を施します。黒色クロム皮膜処理は、表面に黒色の浸透性皮膜を形成することにより耐食性を向上させます。本体上下面及び各部品の基準面については、表面処理が取り除かれます。形式1大きさ2ストローク長さ3表1 大きさとテーブル幅寸法及びストローク長さ 単位 mm形式と大きさ テーブル幅寸法 ストローク長さTSLH120M 120 100、150、200、 250、300TSLH220M 220 150、200、250、 300、400( 500、600)TSLH320M 320 300、400、500( 600、800、1 000)TSLH420M 420 500、600、800(1 000)備考 ( )内に示すストローク長さをご要望の際は、 にお問い合わせ下さい。モータアタッチメントの指定4ボールねじのリード5ジャバラの指定6表面処理7Ⅱ 119呼び番号と仕様の詳細 Ⅱ 120TSLH…M・CTLH…M呼び番号

Page 75:CTLH…M:精密位置決めテーブルLH(二軸仕様)大きさは、テーブル幅寸法を示しています。表2に示す大きさから選択します。異なる大きさのテーブルを組み合わせることも可能です。表2に示すストローク長さから選択します。それぞれの軸のストローク長さをcm単位で表示します。X、Y軸で指定できる長さが異なります。ジャバラ付きのテーブルは、使用できるストローク長さが若干短くなりますので、寸法表をご参照ください。モータアタッチメントは表3より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表4に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。・ACサーボモータ用のアタッチメントを指定した場合、原点センサは付きません。5:リード 5mm10:リード10mm無記号:ジャバラなしJ :ジャバラ付きジャバラ付きのテーブルは、使用できるストローク長さが若干短くなりますので、寸法表をご参照ください。無記号:黒色クロム皮膜処理R :黒色クロム皮膜処理1L :黒色クロム皮膜処理2黒色クロム皮膜処理 :リニアウェイ、ボールねじ、ボールベアリングを除く主要部品に処理を施します。黒色クロム皮膜処理1:上記の黒色クロム皮膜処理に加えて、リニアウェイの表面にも処理を施します。黒色クロム皮膜処理2:上記の黒色クロム皮膜処理1に加えて、ボールねじの表面にも処理を施します。黒色クロム皮膜処理は、表面に黒色の浸透性皮膜を形成することにより耐食性を向上させます。本体上下面及び各部品の基準面については、表面処理が取り除かれます。無記号:正方向C :逆方向正方向:X軸モータ側を手前にして、Y軸モータ側が右になる組合せの方向。逆方向:X軸モータ側を手前にして、Y軸モータ側が左になる組合せの方向。形式1大きさ2X軸ストローク長さ3Y軸ストローク長さ4表2 大きさとテーブル幅寸法及びストローク長さ 単位 mm形式と大きさ テーブル幅寸法ストローク長さX軸 Y軸CTLH120M 120100 100200 100200 200300 200300 300CTLH220M 220200 200300 200300 300400 300400 400CTLH320M 320300 300400 300400 400500 400500 500モータアタッチメントの指定5ボールねじのリード6ジャバラの指定7表面処理8組合せ方向の指定9呼び番号の配列例(二軸仕様) 1 2 1 3 4 5 6 7 8 9CTLH 120 M - 30 20 / AT301 10 J R C形式1 Ⅱ 122ページ大きさ2 Ⅱ 122ページX軸ストローク長さ3Ⅱ 122ページY軸ストローク長さ4 Ⅱ 122ページモータアタッチメントの指定5 Ⅱ 122ページボールねじのリード6 Ⅱ 122ページジャバラの指定7 Ⅱ 122ページ表面処理8 Ⅱ 122ページ組合せ方向の指定9 Ⅱ 122ページⅡ 121 Ⅱ 122TSLH…M・CTLH…M呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 76:表3 モータアタッチメントの適用使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTSLH120MCTLH120MTSLH220MCTLH220MTSLH320MCTLH320MTSLH420MACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-01100 □40AT301 − − −SGMAV-01 AT301 − − −SGMJV-02200□60AT302 AT303 AT304 −SGMAV-02 AT302 AT303 AT304 −SGMJV-04400− AT303 AT304 −SGMAV-04 − AT303 AT304 −SGMJV-08750 □80− − AT305 AT306SGMAV-08 − − AT305 AT306三菱電機㈱ J3HF-MP13100 □40AT301 − − −HF-KP13 AT301 − − −HF-MP23200□60AT302 AT303 AT304 −HF-KP23 AT302 AT303 AT304 −HF-MP43400− AT303 AT304 −HF-KP43 − AT303 AT304 −HF-MP73750 □80− − AT305 AT306HF-KP73 − − AT305 AT306パナソニック㈱ MINAS A5MSMD01100 □40AT307 − − −MSME01 AT307 − − −MSMD02200□60AT308 AT309 AT311 −MSME02 AT308 AT309 AT311 −MSMD04400− AT310 AT312 −MSME04 − AT310 AT312 −MSME08750 □80− − AT313 AT314MSME08 − − AT313 AT314ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR66□60AT315 − − −AR69 AT315 − − −AR98□85− AT317 AT318 −AR911 − AT317 AT318 −AS66□60AT316 − − −AS69 AT316 − − −AS98□85− AT317 AT318 −AS911 − AT317 AT318 −RKCRKRK56・CRK56(1) □60 AT316 − − −RK59 □85 − AT317 AT318 −注(1) モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表4 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングイナーシャ JC×10-5kg・m2AT301 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.290AT302 UA-30C- 8×14 ㈱酒井製作所 0.603AT303 UA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 1.34AT304 UA-35C-14×15 ㈱酒井製作所 1.34AT305 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT306 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT307 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.290AT308 UA-30C- 8×11 ㈱酒井製作所 0.603AT309 UA-35C-11×12 ㈱酒井製作所 1.34AT310 UA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 1.34AT311 UA-35C-11×15 ㈱酒井製作所 1.34AT312 UA-35C-14×15 ㈱酒井製作所 1.34AT313 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT314 UA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 2.61AT315 MSTS-25C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.71AT316 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT317 MSTS-32C-12×14 鍋屋バイテック会社 2.7AT318 MSTS-40C-14×15 鍋屋バイテック会社 9.0備考 カップリングの詳細仕様は、各メーカのカタログをご参照ください。表5 精度 単位 mm形式と大きさストローク長さ 繰返し位置決め精度位置決め精度テーブル運動の平行度A真直度XY運動の直角度バックラッシX軸 Y軸単軸仕様TSLH120M100±0.0020.010 0.0100.005− 0.0011502000.015 0.0152500.010300 0.020 0.020TSLH220M150±0.0020.010 0.0100.005− 0.0012000.015 0.015250300400 0.020 0.020 0.010TSLH320M300±0.0020.0150.015 0.005 − 0.0014000.020500TSLH420M500±0.0020.025 0.0250.015− 0.001600 0.030 0.030800 0.035 0.035 0.020二軸仕様CTLH120M100 100±0.0020.015 0.015 0.005 0.0050.001200 1000.0200.0200.0100.010200 200 0.025300 2000.030 0.030 0.025300 300CTLH220M200 200±0.0020.020 0.025 0.010 0.0100.001300 200300 300400 3000.030 0.035 0.020 0.015400 400CTLH320M300 300±0.0020.020 0.020 0.005 0.0100.001400 3000.0250.025 0.010 0.015400 400500 4000.030500 500表6 最高速度モータの種類形式と大きさ 最高速度 mm/s単軸仕様 二軸仕様 リード5mm リード10mmACサーボモータTSLH120MTSLH220MCTLH120MCTLH220M250 500TSLH320MTSLH420MCTLH320M 224 448ステッピングモータTSLH120MTSLH220MTSLH320MCTLH120MCTLH220MCTLH320M150 300備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。Ⅱ 123呼び番号と仕様の詳細Ⅱ 124TSLH…M・CTLH…M諸特性

Page 77:表8 直動案内部の仕様形式と大きさ基本動定格荷重(1)CN基本静定格荷重(1)C0N配置LmmℓmmYdmmZdmmTSLH120M 6 260 8 330 88 82 0 2TSLH220M 11 600 13 400 157 145 0 1TSLH320M 25 200 28 800 240 210 0 6TSLH420M 30 800 38 300 300 290 0 0注(1) スライドユニット1個あたりの値です。LL/2L/2ℓℓ/2 ℓ/2スライドユニット2スライドユニット4 スライドユニット3スライドユニット1XYZXZY駆動位置(Yd、Zd)000表7 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TSLH120M5 135 2810 135 28TSLH220M5 218 3010 187 29TSLH320M5 168 2710 175 25TSLH420M5 519 1010 237 8表9.1 ボールねじの仕様 1形式と大きさリードmmねじ外径mm軸方向すきまmm基本動定格荷重CN基本静定格荷重C0NTSLH120M515 07 070 12 80010 7 070 12 800TSLH220M520 08 230 17 51010 10 900 21 700TSLH320MTSLH420M525 016 700 43 50010 15 800 32 700表9.2 ボールねじの仕様 2 単位mm形式と大きさ ストローク長さ ねじ外径 全 長TSLH120M10015256150 306200 356250 406300 456TSLH220M15020370200 420250 470300 520400 620TSLH320M30025616400 716500 816TSLH420M50025916600 1 016800 1 216Ⅱ 125 Ⅱ 126TSLH…M・CTLH…M諸特性

Page 78:表10 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさストローク長さmmテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TSN・mX軸 Y軸 リード5mm リード10mm リード5mm リード10mm単軸仕様TSLH120M100 1.2 1.70.07150 1.4 1.9200 1.5 2.1250 1.7 2.3300 1.9 2.5TSLH220M150 5.1 6.90.12200 5.7 7.5250 6.3 8.1300 7.0 8.7400 8.2 10TSLH320M300 20 260.20400 23 29500 26 32TSLH420M500 30 390.22600 33 42800 39 48二軸仕様CTLH120M100 100 1.8 4.20.08200 100 2.2 4.5200 200 2.3 5.1300 200 2.7 5.5300 300 2.8 6.0CTLH220M200 200 7.8 160.12300 200 9.1 17300 300 9.3 18400 300 11 19400 400 11 21CTLH320M300 300 27 510.22 0.25400 300 30 54400 400 30 57500 400 33 60500 500 34 62備考 二軸仕様のテーブルはX軸の値を示します。Y軸の値は単軸仕様の値をご参照ください。表11.1 センサのタイミングチャート(ジャバラなし)単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C D E FTSLH120M5505 330 5.5 4.510 10 7TSLH220M5455 33014 1010 10 7 12 10TSLH320M5455 33020 1510 10 7 20 15TSLH420M5455 330 18 1510 10 7備考1. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 2. 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。CW CCWONOFF原点原点前CCWリミットメカストッパCWリミットOFFOFFBCDストローク長さ(E) (F)AⅡ 127 Ⅱ 128TSLH…M・CTLH…M諸特性センサの仕様

Page 79:TSLH120M、CTLH120MAT301AT302AT307AT308AT315AT316※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します3120 □604372061012213120 □60モータブラケット モータアタッチメントモータブラケット モータアタッチメント437206101221151515□60□503120(※10)4-M4深さ8PCD46、90°等配□60 4-5.5きり(モータアタッチメントに加工)4-M5通し(モータブラケットに加工)PCD70、90°等配4-M3深さ64-M4深さ8PCD45、90°等配4-4.5きり(モータアタッチメントに加工)4-M4深さ8(モータブラケットに加工)PCD70、90°等配□60φ8φ8φ8φ8φ35φ8φ35φ30+0.033 0φ30+0.033 0φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ36+0.039 0TSLH220M、CTLH220MAT303AT309AT310AT317※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します42304230108851088510885□7051042301515(※15)4-M5深さ10PCD70、90°等配4-M4深さ8PCD70、90°等配4-M6通しφ12φ12φ12φ5015φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ60+0.046 0TSLH420M、CTLH420MAT306AT31451254.530120140801204850.530 140120□804-M6通しPCD90、90°等配4-6きり(モータアタッチメントに加工)4-M5深さ10(モータブラケットに加工)PCD90、90°等配モータアタッチメントモータブラケットφ15φ45φ45(6)モータアタッチメントモータブラケット27152315φ15φ70+0.046 0φ70+0.046 0TSLH320M、CTLH320MAT304AT305AT311AT312AT313AT3184-M5深さ10PCD70、90°等配4-M4深さ8モータアタッチメントモータブラケットPCD70、90°等配4-M6深さ114-M6通しPCD90、90°等配4-6深さ5(モータアタッチメントに加工)4-M5通し(モータブラケットに加工)PCD90、90°等配※ 原点センサ付きの場合の カップリング挿入量を示します858585モータアタッチメントモータブラケット85(※16)1088545301084530□805108115630□805030 108510108□705104530φ1515151515261520φ44φ50φ15φ50φ15φ15φ15φ50+0.039 0φ70+0.046 0φ50+0.039 0φ70+0.046 0φ60+0.046 0表11.2 センサのタイミングチャート(ジャバラ付き)単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C D E FTSLH120M-100/J557.55 330 5 510 10 7TSLH120M-150/J562.55 330 5 510 10 7TSLH120M-200/J567.55 330 5 510 10 7TSLH120M-250/J572.55 330 5 510 10 7TSLH120M-300/J5805 330 5 510 10 7TSLH220M-150/J5655 3307510 10 7 5TSLH220M-200/J5705 3307510 10 7 5TSLH220M-250/J5805 3307510 10 7 5TSLH220M-300/J5855 3307510 10 7 5TSLH220M-400/J5955 3307510 10 7 5TSLH320M-300/J5805 330 5 510 10 7TSLH320M-400/J5905 330 5 510 10 7TSLH320M-500/J5955 330 5 510 10 7TSLH420M-500/J5905 330 5 510 10 7TSLH420M-600/J5955 330 5 510 10 7TSLH420M-800/J 5 115 5 3 30 5 5備考1. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 2. 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。ONOFF原点原点前CCWリミットメカストッパCWリミットOFFOFFCW CCWBCDストローク長さ(F)(E)AⅡ 129 Ⅱ 130TSLH…M・CTLH…Mセンサ仕様モータアタッチメントの寸法

Page 80:TSLH120M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴A質量(参考)kgTSLH120M-100 100 275 75 10TSLH120M-150 150 325 100 11TSLH120M-200 200 375 125 12TSLH120M-250 250 425 150 13TSLH120M-300 300 475 175 14注(1) AT302、AT308を選択したときは21mmになります。L 15(1)1201009080120135(35.7)4-M5深さ10 4-M5深さ10(20) S/2 135 S/2 (20)(12.5) A 100 A 12.533126.6651208-M5用穴TSLH220M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA(個数×ピッチ) nTSLH220M-150 150 400 85 8 32TSLH220M-200 200 450 110 8 34TSLH220M-250 250 500 135 8 36TSLH220M-300 300 550 160 8 38TSLH220M-400 400 650 210(2×105) 12 42(TSLH220M-500) 500 750 260(2×130) 12 47(TSLH220M-600) 600 850 310(2×155) 12 51備考 ( )内に示す呼び番号の製品をご要望の際は、 にお問い合わせください。189047(25) A 180 A 25(15) S/2 220100S/2 (15)L 151902201904-M8深さ16 4-M5深さ10n-M8用穴1201809.4Ⅱ 131 Ⅱ 132TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 81:TSLH320M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA(個数×ピッチ) nTSLH320M- 300 300 650 160 8 100TSLH320M- 400 400 750 210 8 109TSLH320M- 500 500 850 260 8 118(TSLH320M- 600) 600 950 310 8 127(TSLH320M- 800) 800 1 150 410(2×205) 12 146(TSLH320M-1000) 1 000 1 350 510(2×255) 12 164注(1) AT305を選択したときは26mmになります。AT313を選択したときは20mmになります。備考 ( )内に示す呼び番号の製品をご要望の際は、 にお問い合わせください。290190280180290320L 15(1)(15) S/2 320 S/2 (15)(25) A 280 A 256025120n-M10用穴4-M8深さ164-M10深さ2014.2TSLH420M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA(個数×ピッチ) nTSLH420M- 500 500 950 250 8 176TSLH420M- 600 600 1 050 300 8 188TSLH420M- 800 800 1 250 400(2×200) 12 212(TSLH420M-1000) 1 000 1 450 500(2×250) 12 237注(1) モータブラケットのみの寸法を示しています。AT306を選択したときは27mmになります。AT314を選択したときは23mmになります。備考 ( )内に示す呼び番号の製品をご要望の際は、 にお問い合わせください。390290280380390420L3014074(15) S/2 420 S/2 (15)35A380A(35)n-M10用穴4-M10深さ204-M10深さ2019.215(1)Ⅱ 133 Ⅱ 134TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 82:CTLH120M単位 mm呼び番号ストローク長さ S 全長 ベッド取付穴A質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYCTLH120M-1010 100 100 275 275 75 20CTLH120M-2010 200 100 375 275 125 22CTLH120M-2020 200 200 375 375 125 24CTLH120M-3020 300 200 475 375 175 26CTLH120M-3030 300 300 475 475 175 28注(1) AT302、AT308を選択したときは21mmになります。備考 上記以外のストローク長さや、異なる大きさのテーブルの組合せも可能ですので、 にお問い合わせください。12013535.735.715(1)90801001201351201265130(12.5) A 100 A 12.5LX 15(1)8-M5用穴4-M5深さ104-M5深さ106.6LYCTLH220M単位 mm呼び番号ストローク長さ S 全長 ベッド取付穴 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYA(個数×ピッチ) nCTLH220M-2020 200 200 450 450 110 8 67CTLH220M-3020 300 200 550 450 160 8 71CTLH220M-3030 300 300 550 550 160 8 76CTLH220M-4030 400 300 650 550 210(2×105) 12 80CTLH220M-4040 400 400 650 650 210(2×105) 12 84備考 上記以外のストローク長さや、異なる大きさのテーブルの組合せも可能ですので、 にお問い合わせください。1001201801904-M5深さ10n-M8穴用4-M8深さ16220190220LY151890180(25) A 180 A 25LX 159.4Ⅱ 135 Ⅱ 136TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 83:CTLH320M単位 mm呼び番号ストローク長さ S 全長 ベッド取付穴A質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYCTLH320M-3030 300 300 650 650 160 199CTLH320M-4030 400 300 750 650 210 209CTLH320M-4040 400 400 750 750 210 218CTLH320M-5040 500 400 850 750 260 227CTLH320M-5050 500 500 850 850 260 236注(1) AT305を選択したときは26mmになります。AT313を選択したときは20mmになります。備考 上記以外のストローク長さや、異なる大きさのテーブルの組合せも可能ですので、 にお問い合わせください。4-M8深さ168-M10用穴4-M10深さ20320290320LY15(1)18120240(25) A 280 A 25LX 15(1)14.2190290180280TSLH120M…/J ジャバラ付きテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS全長LE質量(参考)kgTSLH120M-100/J 85 275 27.5 13TSLH120M-150/J 125 325 32.5 14TSLH120M-200/J 165 375 37.5 15TSLH120M-250/J 205 425 42.5 16TSLH120M-300/J 240 475 50.0 17注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) AT302、AT308を選択したときは21mmになります。備考1. 立軸使用する場合にはジャバラの寸法が異なりますので、 にお問い合わせください。 2. ベッドの取付寸法については、TSLH120Mの寸法表をご参照ください150751201004-M5深さ10(1)135(35.7)(7.3) 15(2)L(2.3) E S/2 135 S/2 E (2.3)120Ⅱ 137 Ⅱ 138TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 84:TSLH220M…/J、TSLH320M…/J、TSLH420M…/J ジャバラ付きテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS全長LW H E t質量(参考)kgTSLH220M- 150/J 110 400220 90358.233TSLH220M- 200/J 150 450 40 36TSLH220M- 250/J 180 500 50 38TSLH220M- 300/J 220 550 55 40TSLH220M- 400/J 300 650 65 44(TSLH220M- 500/J) 370 750 80 49(TSLH220M- 600/J) 440 850 95 53TSLH320M- 300/J 230 650320 120509.2104TSLH320M- 400/J 310 750 60 113TSLH320M- 500/J 400 850 65 129(TSLH320M- 600/J) 480 950 75 131(TSLH320M- 800/J) 640 1 150 95 151(TSLH320M-1000/J) 800 1 350 115 169TSLH420M- 500/J 410 950420 1406010.5183TSLH420M- 600/J 500 1 050 65 195TSLH420M- 800/J 660 1 250 85 219(TSLH420M-1000/J) 830 1 450 100 244注(1) AT305を選択したときは26mmになります。AT313を選択したときは20mmになります。備考1. 立軸使用する場合にはジャバラの寸法が異なりますので、 にお問い合わせください。 2.( )内に示す呼び番号の製品をご要望の際は、 にお問い合わせください。 3. 取付寸法については、TSLH220M、TSLH320M、TSLH420Mの寸法表をご参照ください。WHWL(t) 15(1)(3.2) E S/2 W S/2 E (3.2)CTLH120M…/J ジャバラ付きテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さ S ベッド全長 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYCTLH120M-1010/J 85 85 275 275 25CTLH120M-2010/J 165 85 375 275 27CTLH120M-2020/J 165 165 375 375 29CTLH120M-3020/J 240 165 475 375 31CTLH120M-3030/J 240 240 475 475 33注(1) AT302、AT308を選択したときは21mmになります。備考1. 立軸使用する場合にはジャバラの寸法が異なりますので、 にお問い合わせください。 2. 取付寸法については、TSLH120Mの寸法表をご参照ください。LY(7.3)15(1)LX(7.3) 15(1)751501201201351004-M5深さ10Ⅱ 139 Ⅱ 140TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 85:CTLH220M…/J ジャバラ付きテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さ S ベッド全長 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYCTLH220M-2020/J 150 150 450 450 71CTLH220M-3020/J 220 150 550 450 75CTLH220M-3030/J 220 220 550 550 80CTLH220M-4030/J 300 220 650 550 84CTLH220M-4040/J 300 300 650 650 88備考1. 立軸使用する場合にはジャバラの寸法が異なりますので、 にお問い合わせください。 2. 取付寸法については、TSLH220Mの寸法表をご参照ください。LY(8.2)15LX(8.2) 1590180CTLH320M…/J ジャバラ付きテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さ S ベッド全長 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYCTLH320M-3030/J 230 230 650 650 207CTLH320M-4030/J 310 230 750 650 216CTLH320M-4040/J 310 310 750 750 226CTLH320M-5040/J 400 310 850 750 235CTLH320M-5050/J 400 400 850 850 244注(1) AT305を選択したときは26mmになります。AT313を選択したときは20mmになります。備考1. 立軸使用する場合にはジャバラの寸法が異なりますので、 にお問い合わせください。 2. 取付寸法については、TSLH320Mの寸法表をご参照ください。LY(9.2)15(1)LX 15(1)(9.2)120240Ⅱ 141 Ⅱ 142TSLH…M・CTLH…M精密位置決めテーブルLH

Page 86:TX…MCTX…MⅡ 143 Ⅱ 144TX…M・CTX…M

Page 87:高精密位置決めテーブル TX駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0005∼0.00100.003∼0.0200.0010.005∼0.011−5∼11 秒0.003∼0.008−精密ボールねじリニアローラウェイ(ローラタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵鋳鉄標準装備ヘッドスケールベッドボールねじリミットセンサYテーブルXテーブルリニアローラウェイスライドテーブルリニアエンコーダPoints1●転がり案内方式で究極の高精度テーブル高精度・高剛性な精密位置決めテーブルLHをベースに、究極の転がり案内CルーブリニアローラウェイスーパーXを組み込み、各部精度を徹底的に追求し、エアステージに迫る位置決め精度を実現した位置決めテーブルです。4●シンプルなシステム構成が可能エアステージのように駆動用のエア供給装置などは不要なので、システム構成がシンプルとなり、省スペースや装置コストの削減が可能です。2●超高精度リニアエンコーダの搭載により 高い位置決め精度と分解能を実現分解能0.016μmの超高精度リニアエンコーダから位置情報をダイレクトにフィードバックすることによりフルクローズドループ制御を構成し、ストローク全域の位置決め精度を保証しています。 3●ローラタイプ直動案内機器の採用で 究極の走行性能を実現高精度に加工・組付けされた構成部品と、転がり案内で最高レベルの走行性能を発揮するCルーブリニアローラウェイスーパーXを組み合わせているので、究極の走行精度が得られます。バリエーション形状 形式と大きさストローク長さ(mm)TX220MTX320MTX420MTX120M500400300250200150100テーブル幅寸法(mm)220320420120800600☆☆☆−−☆☆☆−−−−−☆☆☆☆☆−☆☆☆☆☆−−−−−−−−−−−−120mm220mm320mm420mmスライドテーTX・・・MCTX・・・M主な製品仕様 精 度 単位 mmⅡ 145 Ⅱ 146TX…M・CTX…M

Page 88:呼び番号の配列例(単軸仕様) 1 2 1 3 4 5 6TX 220 M - 150 / AT402 10 0形式1 Ⅱ 147ページ大きさ2 Ⅱ 147ページストローク長さ3 Ⅱ 147ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 147ページボールねじのリード5 Ⅱ 147ページリニアエンコーダの指定6 Ⅱ 147ページ呼び番号の配列例(二軸仕様) 1 2 1 3 4 5 6 7 8CTX 120 M - 30 20 / AT401 5 C 0形式1 Ⅱ 148ページ大きさ2 Ⅱ 148ページⅡ 148ページY軸ストローク長さ4X軸ストローク長さ3Ⅱ 148ページモータアタッチメントの指定5 Ⅱ 148ページボールねじのリード6 Ⅱ 148ページ組合せ方向の指定7 Ⅱ 148ページリニアエンコーダの指定8 Ⅱ 148ページTX…M:高精密位置決めテーブルTX(単軸仕様)大きさは、テーブル幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。表1に示すストローク長さから選択します。モータアタッチメントは表3より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表4に示すカップリングが本体に取付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。5:リード 5mm10:リード10mm無記号:リニアエンコーダなし0 :分解能0.0156∼0.500μm (㈱安川電機製ACサーボモータ用)1 :分解能0.1∼0.2μm (三菱電機㈱製およびパナソニック㈱製ACサーボモータ用)2 :分解能0.01∼0.05μm (三菱電機㈱製およびパナソニック㈱製ACサーボモータ用)ステッピングモータ用アタッチメントを指定する場合は、無記号としてください。分解能の詳細は最高速度の項をご参照ください。リニアエンコーダの仕様は表10をご参照ください。形式1大きさ2ストローク長さ3モータアタッチメントの指定4ボールねじのリード5リニアエンコーダの指定6CTX…M:高精密位置決めテーブルTX(二軸仕様)大きさは、テーブル幅寸法を示しています。表2に示す大きさから選択します。異なる大きさのテーブルを組み合わせることも可能です。表2に示すストローク長さから選択します。それぞれの軸のストローク長さをcm単位で表示します。X、Y軸で異なる長さを指定できます。モータアタッチメントは表3より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表4に示すカップリングが本体に取付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。5:リード 5mm10:リード10mm無記号:正方向C :逆方向正方向:X軸モータ側を手前にして、Y軸モータ側が右になる組合せの方向。逆方向:X軸モータ側を手前にして、Y軸モータ側が左になる組合せの方向。CTX220MにてY軸ストローク長さ200mmを選択した場合は無記号としてください。無記号:リニアエンコーダなし0 :分解能0.0156∼0.500μm (㈱安川電機製ACサーボモータ用)1 :分解能0.1∼0.2μm (三菱電機㈱製およびパナソニック㈱製ACサーボモータ用)2 :分解能0.01∼0.05μm (三菱電機㈱製およびパナソニック㈱製ACサーボモータ用)ステッピングモータ用アタッチメントを指定する場合は、無記号としてください。分解能の詳細は最高速度の項をご参照ください。リニアエンコーダの仕様は表10をご参照ください。形式1大きさ2X軸ストローク長さ3Y軸ストローク長さ4モータアタッチメントの指定5ボールねじのリード6組合せ方向の指定7リニアエンコーダの指定8Ⅱ 147呼び番号 Ⅱ 148TX…M・CTX…M呼び番号 呼び番号と仕様の詳細 呼び番号と仕様の詳細

Page 89:表2 大きさとテーブル幅寸法及びストローク長さ形式と大きさテーブル幅寸法mmストローク長さmmX軸 Y軸CTX120M 120100 100200 100200 200300 200CTX220M 220200 200300 200300 300400 300表3 モータアタッチメントの適用使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTX120MCTX120MTX220MCTX220MTX320M TX420MACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMAV-02 200□60AT401 − − −SGMAV-04 400 − AT402 − −SGMAV-06 550 − − AT403 −SGMAV-08 750 □80 − − − AT404三菱電機㈱ J3HF-KP23 200□60AT401 − − −HF-KP43 400 − AT402 AT403 −HF-KP73 750 □80 − − − AT404パナソニック㈱ MINAS A5MSME02 200□60AT405 − − −MSME04 400 − AT406 AT407 −MSME08 750 □80 − − − AT408ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR66□60AT409 − − −AR69 AT409 − − −AR98□85− AT411 AT412 −AR911 − AT411 AT412 −AS66□60AT410 − − −AS69 AT410 − − −AS98□85− AT411 AT412 −AS911 − AT411 AT412 −RKRK56 □60 AT410 − − −RK59 □85 − AT411 AT412 −備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表4 カップリングの形式モータアタッチメント カップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャJC×10-5kg・m2AT401 RA-30C- 8×14 ㈱酒井製作所 0.281AT402 RA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 0.847AT403 RA-35C-14×15 ㈱酒井製作所 0.847AT404 RA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 1.365AT405 RA-30C- 8×11 ㈱酒井製作所 0.281AT406 RA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 0.847AT407 RA-35C-14×15 ㈱酒井製作所 0.847AT408 RA-40C-15×19 ㈱酒井製作所 1.365AT409 RA-30C- 8×10 ㈱酒井製作所 0.281AT410 RA-30C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.281AT411 RA-35C-12×14 ㈱酒井製作所 0.847AT412 RA-35C-14×15 ㈱酒井製作所 0.847備考 カップリングの仕様は、メーカのカタログをご参照ください。表1 大きさとストローク長さ形式と大きさテーブル幅寸法mmストローク長さmmTX120M 120 100、150、200、250、300TX220M 220 150、200、250、300、400TX320M 320 300、400、500TX420M 420 500、600、800表5 精度 単位 mm形式と大きさストローク長さ 繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーション(1)テーブル運動の平行度 A姿勢精度(2)秒垂直真直度水平真直度XY運動の直角度X軸 Y軸単軸仕様TX120M100±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.005 5 0.003−1502000.004(0.008)0.006 6 0.004250300TX220M150±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.005 5 0.003−2000.004(0.008)0.006 6 0.0042503004000.005(0.013)0.007 7 0.005TX320M300±0.0005(±0.001)0.004(0.008)0.0010.006 6 0.004−400 0.005(0.013)0.007 7 0.005500TX420M500±0.0005(±0.001)0.005(0.013)0.0010.007 7 0.005−6000.006(0.016)0.008 8 0.0068000.008(0.020)0.009 9 0.008二軸仕様CTX120M100 100±0.0005(±0.001)0.005(0.007)0.001 0.008 8 0.0050.005200 1000.005(0.010)0.010200 200300 200CTX220M200 200±0.0005(±0.001)0.006(0.010)0.0010.009 9 0.0060.005300 2000.010300 300400 3000.008(0.010)0.011 11 0.008注(1) リニアエンコーダなしの時はバックラッシの値を示します。 (2) ピッチング及びヨーイングを示します。備考 ( )内はリニアエンコーダなしの時の値を示します。Ⅱ 149 Ⅱ 150TX…M・CTX…M諸特性 呼び番号と仕様の詳細

Page 90:表6 ㈱安川電機製モータ使用時の最高速度(リニアエンコーダ付きの場合)分解能μm/pulse最高速度 mm/sシリアル変換ユニット(1) リニアエンコーダリード 5mm リード 10mm0.0156 62.5 62.5JZDP-D003-000-E㈱安川電機LIP581ハイデンハイン㈱0.0312 125 1250.0625 250(224) 250(224)0.125 250(224) 500(448)0.250 250(224) 500(448)0.500 ― 500(448)注(1) シリアル変換ユニットが付属します。備考1.( )内の値はTX320M及びTX420Mに適用します。 2. 実際の最高速度は負荷条件などに応じて変わります。 3. 最高速度を変更する場合はドライバの電子ギア設定により分解能を変更してください。表7 パナソニック㈱製モータ使用時の最高速度(リニアエンコーダ付きの場合)分解能μm/pulse最高速度 mm/s リニアエンコーダ信号変換ユニット(1)リニアエンコーダリード 5mm リード 10mm0.01 26.4 26.4APE371[TTL×50]ハイデンハイン㈱ LIP581ハイデンハイン㈱0.02 52 520.04 104 1040.05 132 1320.1 250(224) 264 APE371[TTL×10]ハイデンハイン㈱0.2 250(224) 500(448)注(1) 分解能に対応するリニアエンコーダ信号変換ユニットが付属します。備考1.( )内の値はTX320M及びTX420Mに適用します。 2. 実際の最高速度は負荷条件などに応じて変わります。 3. 最高速度を変更する場合は本体に付属のリニアエンコーダ信号変換ユニットの内部スイッチにより分解能を変更してください。表8 三菱電機㈱製モータ使用時の最高速度(リニアエンコーダ付きの場合)分解能μm/pulse最高速度 mm/s リニアエンコーダ信号変換ユニット(1)リニアエンコーダリード 5mm リード 10mm0.01 40 40APE371[TTL×50]ハイデンハイン㈱ LIP581ハイデンハイン㈱0.02 80 800.04 160 1600.05 200 2000.1 250(224) 400 APE371[TTL×10]ハイデンハイン㈱0.2 250(224) 500(448)注(1) 分解能に対応するリニアエンコーダ信号変換ユニットが付属します。備考1.( )内の値はTX320M及びTX420Mに適用します。 2. 実際の最高速度は負荷条件などに応じて変わります。 3. 最高速度を変更する場合は本体に付属のリニアエンコーダ信号変換ユニットの内部スイッチにより分解能を変更してください。表9 リニアエンコーダなしの場合の最高速度モータの種類 形式と大きさ最高速度 mm/sリード 5mm リード 10mmACサーボモータTX120M250 500TX220MTX320M224 448TX420MステッピングモータTX120M150 300TX220MTX320M備考 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。表10 リニアエンコーダの仕様項 目 内 容形式 LIP581Rメーカ ハイデンハイン㈱スケール本体材質 ガラス線膨張係数 /℃ 8×10-6精度等級 μm/m ±1出力信号 正弦波信号周期 Vpp/4μm 1最大操作速度 m/s 1.2コード径 mm φ4.5コード屈曲半径 mm 50以上表11 ㈱安川電機用シリアル変換ユニットの仕様項 目 内 容メーカ ㈱安川電機形 式 JZDP-D003-000-E信号分解能 入力二相正弦波ピッチの1/256最高応答周波数 kHz 250大きさ mm 90×60×23質 量 kg 0.15表12 パナソニック㈱、三菱電機㈱用リニアエンコーダ信号変換ユニットの仕様項 目 内 容メーカ ハイデンハイン㈱形 式APE371[TTL×50]APE371[TTL×10]信号分解能 内部スイッチ設定による最高応答周波数 内部スイッチ設定による変換器部 mm 80×42×17大きさ コネクタ部 mm 48×42×17コード長さ mm 1 000質 量 kg 0.20表13 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TX120M5 254 2810 154 28TX220M5 382 3010 187 29TX320M5 536 2710 254 25TX420M5 519 1010 237 8Ⅱ 151 Ⅱ 152TX…M・CTX…M諸特性

Page 91:表15.1 ボールねじの仕様 1形式と大きさボールねじの種類リードmmねじ外径mm軸方向すきまmm基本動定格荷重CN基本静定格荷重C0NTX120M 研削ねじ515 07 070 12 80010 7 070 12 800TX220M 研削ねじ520 08 230 17 15010 10 900 21 700TX320M 研削ねじ525 016 700 43 50010 15 800 32 700TX420M 研削ねじ525 016 700 43 50010 15 800 32 700備考 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。表15.2 ボールねじの仕様 2 単位 mm形式と大きさ ストローク長さ ねじ外径 全 長TX120M10015256150 306200 356250 406300 456TX220M15020370200 420250 470300 520400 620TX320M30025616400 716500 816TX420M50025916600 1 016800 1 216 表14 直動案内部の仕様形式と大きさ基本動定格荷重(1)CN基本静定格荷重(1)C0N配置LmmℓmmYdmmZdmmTX120M 6 120 10 400 88 82 0 2TX220M 11 500 20 000 157 145 0 1TX320M 32 100 56 300 240 210 0 6TX420M 38 200 70 300 300 290 0 0注(1)スライドユニット1個当りの値です。備考 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。X YZ00駆動位置(Yd、Zd)YX0スライドユニット3スライドユニット4スライドユニット1スライドユニット2LL/2L/2ℓℓ/2 ℓ/2Z表16 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさストローク長さmmテーブルイナーシャJT×10-5kg・m2 カップリングイナーシャJC×10-5kg・m2起動トルクTSN・mX軸 Y軸リード5mmリード10mm単軸仕様TX120M100 1.3 1.80.29 0.07150 1.5 2.0200 1.6 2.2250 1.8 2.4300 2.0 2.6TX220M150 5.2 7.00.85 0.12200 5.8 7.6250 6.4 8.2300 7.1 8.8400 8.3 10TX320M300 20 260.85 0.26400 23 29500 26 32TX420M500 30 390.85 0.30600 33 42800 39 48二軸仕様CTX120M100 100 2.1 4.70.29 0.07200 100 2.4 5.1200 200 2.5 5.8300 200 2.9 6.2CTX220M200 200 8.2 16.90.85 0.13300 200 9.5 18.1300 300 9.8 19.3400 300 11.0 20.5備考 二軸仕様のテーブルは、X軸の値を示します。Y軸の値は単軸仕様のテーブルをご参照ください。Ⅱ 153 Ⅱ 154TX…M・CTX…M諸特性

Page 92:表17 センサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C E F GTX120M5L/2(1)5 35.5 4.5 6010 10 7TX220M5L/2(1)5 3 14 105810 10 7 12 10TX320M5L/2(1)5 320 15 8010 10 7TX420M5L/2(1)5 318 15 10010 10 7注(1) Ⅱ 157∼Ⅱ 162ページの寸法表をご参照ください。備考1. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 2. 二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。C W CCWABONONGC OFFOFFOFFS/2(1) S/2(1)(F)(E)原点(リニアエンコーダなし)原点(リニアエンコーダ)原点前(フォトセンサ)CCWリミット(フォトセンサ)CWリミット(フォトセンサ)メカストッパTX120M、CTX120M TX220M、CTX220MAT401 AT402AT405 AT406AT409AT410AT411TX320M TX420MAT403 AT404AT407 AT408AT412□604-5.5きり(モータアタッチメントに加工)4-M5通し(モータブラケットに加工)PCD70、90°等配43720モータブラケット モータアタッチメント6104-4.5きり(モータアタッチメントに加工)4-M4深さ8(モータブラケットに加工)PCD70、90°等配モータブラケット モータアタッチメント□6043720 6104-M4深さ8□60□503120(※9.5)1521152115φ50φ35φ8+0.039 0φ50φ35φ8+0.039 0φ36φ8+0.039 0※ 原点センサ付きの 場合のカップリング 挿入量を示しますPCD70、90°等配4230 10885φ124-M5深さ10PCD70、90°等配4230 10885φ124-M4深さ8※ 原点センサ付きの 場合のカップリング 挿入量を示します4-M6通し10885□705104230(※15)φ50φ12φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ60+0.046 01515154-M5深さ10PCD70、90°等配108854530φ154-M4深さ8PCD70、90°等配108854530φ15※ 原点センサ付きの 場合のカップリング 挿入量を示します4-M6通し10885□705104530(※12)φ15φ50φ50+0.039 0φ50+0.039 0φ60+0.046 015151514012042.530 4-M6深さ12PCD90、90°等配φ154-M5深さ10PCD90、90°等配14012042.530φ15φ70+0.046 0φ70+0.046 01515Ⅱ 155 Ⅱ 156TX…M・CTX…Mセンサの仕様 モータアタッチメントの寸法

Page 93:TX120M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA B C nTX120M-100 100 275 75 − − 8 12TX120M-150 150 325 100 − − 8 13TX120M-200 200 375 125 − − 8 14TX120M-250 250 425 150 75 75 12 16TX120M-300 300 475 175 100 75 12 17注(1) AT401、AT405に適用します。4-M5深さ104-M5深さ10n-M5用穴1201351009080120LS/2 135 S/2A 100 A 12.5120(43.2)(52.5)6.66533121521(1)(20)(20)(12.5)CBBCリニアエンコーダTX220M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA(個数×ピッチ) nTX220M-150 150 400 85 8 34TX220M-200 200 450 110 8 37TX220M-250 250 500 135 8 39TX220M-300 300 550 160 8 42TX220M-400 400 650 210(2×105) 12 47220190120190L 15(15)S/2220S/2(15)(25) A 180 A 2547902209.4184-M5深さ104-M8深さ16n-M8用穴(45)100180リニアエンコーダⅡ 157高精密位置決めテーブルTX Ⅱ 158TX…M・CTX…M

Page 94:TX320M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴A質量(参考)kgTX320M-300 300 650 160 104TX320M-400 400 750 210 115TX320M-500 500 850 260 124290320190290180280L 15(15) (15)S/2 320 S/26025A280A(25)14.2253201204-M8深さ164-M10深さ208-M10用穴(45)リニアエンコーダTX420M単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴 質量(参考)kgA(個数×ピッチ) nTX420M-500 500 950 250 8 183TX420M-600 600 1 050 300 8 197TX420M-800 800 1 250 400(2×200) 12 22319.230140420290390L280380390420(15) S/2 420 S/2 (15)7435A380A(35)4-M10深さ204-M10深さ20n-M10用穴(45)リニアエンコーダⅡ 159高精密位置決めテーブルTX Ⅱ 160TX…M・CTX…M

Page 95:CTX120M単位 mm呼び番号ストローク長さ S 全長 ベッド取付穴 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYA nCTX120M-1010 100 100 275 275 75 8 23CTX120M-2010 200 100 375 275 125 8 26CTX120M-2020 200 200 375 375 125 8 28CTX120M-3020 300 200 475 375 175 12 31注(1) AT401、AT405に適用します。備考 上記以外のストローク長さや、異なる大きさのテーブルの組合せ、ケーブルベア仕様の製作も可能ですので、 にお問い合わせください。4-M5深さ101590100n-M5用穴4-M5深さ1080120135(35.7)(35.7)120135LY21(1)120LX100100 100 7575AA 12.51521(1)13065126.6(12.5)(CTX120M-3020の場合のみ)(CTX120M-3020の場合のみ)リニアエンコーダCTX220M単位 mm呼び番号ストローク長さ S 全長 ベッド取付穴 質量(参考)kgX軸 Y軸 LXLYA(個数×ピッチ) nCTX220M-2020 200 200 450 450 110 8 73CTX220M-3020 300 200 550 450 160 8 78CTX220M-3030 300 300 550 550 160 8 83CTX220M-4030 400 300 650 550 210(2×105) 12 88備考 上記以外のストローク長さや、異なる大きさのテーブルの組合せ、ケーブルベア仕様の製作も可能ですので、 にお問い合わせください。100180120190190220220189018025 A 180 A 25LX 15474-M5深さ104-M5深さ16n-M8用穴LY9.415リニアエンコーダⅡ 161高精密位置決めテーブルTX Ⅱ 162TX…M・CTX…M

Page 96:TC…EBⅡ 163 Ⅱ 164TC…EB

Page 97:TC・・・EB駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度 Aテーブル運動の平行度 B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0020.035∼0.065−−0.008∼0.016−−0.005精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵高強度アルミニウム合金呼び番号で選択クリーン精密位置決めテーブル TCボールねじ吸引継ぎ手用管用ねじベッドエンドブラケット吸引継ぎ手用 管用ねじステンレスシートスライドテーブルサイドカバーリニアウェイモータブラケットカップリングカバーPoints1●軽量・低断面・コンパクトなクリーンテーブル軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブル。直動案内部とボールねじの最適設計により高さ寸法はTC50EBで50mm、TC60EBで54mm、TC86EBで67mmの低断面を実現しています。センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造なので、省スペース化に貢献します。2●清浄度クラス3に対応スライドテーブル内の樹脂製ローラでステンレスシートをサイドカバーに押し付け、強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。密閉空間から空気を吸引することで周辺への発じんを防ぎ、 測定方法による清浄度評価で、クラス3を実現しています。スライドテーブル案内部とボールねじには、クリーン環境用低発じんグリースCGLを封入し、発じんを抑制しています。3●高耐食性主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金とステンレス鋼(ステンレスシート)を使用しており、耐食性に優れています。Ⅱ 167ページ形状 形式50 60ベッド幅寸法(mm)86TC…EB ☆ ☆ ☆バリエーション単位 mm主な製品仕様 精 度 スライドテーブルサイドカバーステンレスシート樹脂製ローラマグネットシートパッキン パッキンサイドカバー密閉構造Ⅱ 165 Ⅱ 166TC…EB

Page 98:クリーン精密位置決めテーブル TC項 目測定機器測定部空気流速測定空気量測定時間内 容パーティクルカウンタ2.5m/s28.3L(1cf)48h(10min/回、1回/h)単位 個/m3清浄度クラスクラス1クラス2クラス3クラス4クラス5クラス6測定粒径0.1μm1010010001000010000010000000.2μm2242372370237002370000.3μm−101021020102001020000.5μm−4353523520352001502003001503006003406406409404485101010102020501002005020050020050050080020020040025050050050050010005605101030303030407040吸引量L/minクラス2クラス2クラス2クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3ベッド長さボールねじのリードmmストロークmm速 度mm/s清浄度クラス(JIS B 9920:2002)TC60EB300(ボールねじのリード:10mm)TC86EB640(ボールねじのリード:20mm)【測定環境】クリーンルーム内 クリーンベンチ(アクリルカバー内 クリーンエア引込み)1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値ストローク:200mm速度:500mm/s 吸引量:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)TC86EB940(ボールねじのリード:20mm)1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限ストローク:500mm速度:500mm/s 吸引量:30L/minTC50EB150(ボールねじのリード:4mm)1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク:50mm速度:200mm/s 吸引量:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)1000001000010001001010.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク:200mm速度:400mm/s 吸引量:10L/minストローク:800mm速度:560mm/s 吸引量:40L/minストローク:500mm速度:1000mm/s 吸引量:70L/minクリーンエア測定部空気流速 2.5m/s吸引ポンプへパーティクルカウンタへアクリルカバー清浄度とは、単位体積あたりの浮遊粒子の大きさ(粒子径)と個数で空気の清浄の度合いを分類したものです。 では以下に示す方法により清浄度の測定を行っています。●清浄度クラスの上限濃度(JIS B 9920 : 2002)備考 清浄度は使用環境及び運転条件により異なります。●清浄度測定結果●測定データ例[ 清浄度クラスの上限濃度グラフ ]●測定条件●試験装置概略図●試験装置外観形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB清浄度の測定について 清浄度の実測データクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限 クラス1上限 測定値測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限Ⅱ 167 Ⅱ 168TC…EB

Page 99:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6TC 50 EB 200 / AT501 8 3形式1 Ⅱ 170ページ大きさ2 Ⅱ 170ページベッド長さ3 Ⅱ 170ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 170ページボールねじのリード5 Ⅱ 170ページセンサ仕様6 Ⅱ 170ページTC…EB:クリーン精密位置決めテーブルTC大きさは、ベッド幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。表1に示すベッド長さから選択します。形式1大きさ2ベッド長さ3表1 大きさとベッド幅寸法及びベッド長さ 単位 mm形式と大きさ ベッド幅寸法 ベッド長さ(ストローク長さ)TC50EB 50 150( 50) 200(100) 250(150) 300(200) − − −TC60EB 60 150( 50) 200(100) 300(200) 400(300) 500(400) 600(500) −TC86EB 86 340(200) 440(300) 540(400) 640(500) 740(600) 840(700) 940(800)AT500:モータアタッチメントなしモータアタッチメントをご指定の場合は、表2より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・モータアタッチメントを指定すると、表3に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。・モータアタッチメントなし(AT500)の場合、カップリングは付属されません。4:リード 4mm(TC50EBに適用)5:リード 5mm(TC60EBに適用)8:リード 8mm(TC50EBに適用)10:リード10mm(TC60EB、TC86EBに適用)20:リード20mm(TC86EBに適用)0:センサなし2:センサ2個取付け(リミット)3:センサ3個取付け(リミット、原点前)4:センサ4個取付け(リミット、原点前、原点)5:センサ2個添付 (リミット)6:センサ3個添付 (リミット、原点前)7:センサ4個添付 (リミット、原点前、原点)センサ取付け(記号2、3、4)を指定した場合、センサがサイドカバー側面のセンサ取付け溝に、また、2枚の遮へい板がスライドテーブルに取り付けられます。センサ添付(記号5、6、7)を指定した場合、指定個数のセンサの他、センサ取付けねじ、ナットが添付され、2枚の遮へい板がスライドテーブルに取り付けられます。モータアタッチメントの指定4ボールねじのリード5センサ仕様6Ⅱ 169 Ⅱ 170TC…EB呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 100:表2 モータアタッチメントの適用使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTC50EB TC60EB TC86EBACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AT501 AT502 −SGMAV-A5 AT501 AT502 −SGMJV-01100− AT502 −SGMAV-01 − AT502 −SGMJV-02200 □60− − AT503SGMAV-02 − − AT503三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AT501 AT502 −HF-KP053 AT501 AT502 −HF-MP13100− AT502 −HF-KP13 − AT502 −HF-MP23200 □60− − AT503HF-KP23 − − AT503パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AT504 AT505 −MSME5A AT504 AT505 −MSMD01100− AT505 −MSME01 − AT505 −MSMD02200 □60− − AT506MSME02 − − AT506ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AT507 − −AR66 □60 − − AT508AR69 □60 − − AT508AS46 □42 AT509 − −AS66 □60 − AT510 AT511AS69 □60 − AT510 AT511RKCRKRK54・CRK54 □42 AT509 − − RK56・CRK56(1) □60 − AT510 AT511注(1)モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表3 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2AT501 XGS-19C-5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT502 XGS-19C-5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT503 XGS-30C-8×14 鍋屋バイテック会社 0.55AT504 XGS-19C-5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT505 XGS-19C-5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT506 XGS-30C-8×11 鍋屋バイテック会社 0.55AT507 XGS-19C-5× 6 鍋屋バイテック会社 0.062AT508 XGS-30C-8×10 鍋屋バイテック会社 0.55AT509 XGS-19C-5× 5 鍋屋バイテック会社 0.062AT510 XGS-19C-5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062AT511 XGS-30C-8× 8 鍋屋バイテック会社 0.55備考 カップリングの仕様は、メーカのカタログをご参照ください。表4 精度 単位 mm形式と大きさベッド長さ繰返し位置決め精度位置決め精度テーブル運動の平行度BバックラッシTC50EB150±0.0020.0350.008 0.0052002500.040300TC60EB150±0.0020.0350.0080.005200300 0.0404000.0455000.010600 0.050TC86EB340±0.0020.040 0.0080.005440 0.0450.0105400.0506400.012740 0.0558400.0650.014940 0.016表5 最高速度モータの種類 形式と大きさベッド長さmm最高速度 mm/sリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmACサーボモータTC50EB − 200 − 400 − −TC60EB − − 250 − 500 −TC86EB640以下 − − − 500 1 000740 − − − 500 1 000840 − − − 400 800940 − − − 330 660ステッピングモータTC50EB − 120 − 240 − −TC60EB − − 150 − 300 −TC86EB840以下 − − − 300 600940 − − − 300 600備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表6 許容モーメント形式と大きさ許容モーメントN・mTC50EB 5.0TC60EB 6.0TC86EB 10.0備考 すべての方向に適用します。表7 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TC50EB4 12 118 12 7TC60EB5 17 1310 17 8TC86EB10 36 1820 29 10Ⅱ 171 Ⅱ 172TC…EB呼び番号と仕様の詳細諸特性

Page 101:表11 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさベッド長さmmテーブルイナーシャ JT ×10-5kg・m2 起動トルク TS N・mリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmリード4mmリード5mmリード8mmリード10mmリード20mmTC50EB150 0.062 − 0.092 − −0.03 − 0.03 − −200 0.074 − 0.104 − −250 0.090 − 0.120 − −300 0.102 − 0.132 − −TC60EB150 − 0.14 − 0.21 −− 0.03 − 0.04 −200 − 0.20 − 0.27 −300 − 0.27 − 0.34 −400 − 0.34 − 0.41 −500 − 0.41 − 0.48 −600 − 0.49 − 0.55 −TC86EB340 − − − 0.78 1.36− − − 0.06 0.10440 − − − 0.93 1.51540 − − − 1.08 1.66640 − − − 1.23 1.81740 − − − 1.38 1.96840 − − − 1.53 2.11940 − − − 1.68 2.26表12 センサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさボールねじのリードA B C D ETC50EB4104320 7 78 5TC60EB5104320 7.5 810 5TC86EB10127.5520 11 1420 10備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。A原点原点前CCWリミットCWリミットメカストッパBCストローク長さ(E)(D)ONOFF15OFFCW CCWOFF表10 ベッドの断面2次モーメント形式と大きさ断面2次モーメント mm4 重心点emmIXIYTC50EB 1.3×1041.2×1056.4TC60EB 4.7×1043.2×1058.8TC86EB 2.0×1051.3×10613.0X軸Y軸e表9.1 ボールねじの仕様1形式と大きさリードmmねじ外径mm基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0NTC50EB482 290 3 5758 1 450 2 155TC60EB5102 730 4 41010 1 720 2 745TC86EB10123 820 6 48020 2 300 3 920表9.2 ボールねじの仕様2 単位 mm形式と大きさ ベッド長さ ねじ外径 全 長TC50EB1508192.5200 242.5250 292.5300 342.5TC60EB15010194200 244300 344400 444500 544600 644TC86EB34012395440 495540 595640 695740 795840 895940 995表8 直動案内部の定格荷重形式と大きさ基本動定格荷重 CN基本静定格荷重 C0N静定格モーメント N・mT0TXTYTC50EB 8 490 12 500 211 99.5 99.5TC60EB 12 400 17 100 354 151 151TC86EB 26 800 35 900 1 110 472 472T0TXTYⅡ 173 Ⅱ 174TC…EBセンサの仕様 諸特性

Page 102:TC50EB TC60EBAT500(アタッチメントなし)AT500(アタッチメントなし)AT501AT502AT504AT505AT507AT509AT510TC86EBAT500(アタッチメントなし)AT503AT506AT508AT5114-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M4通しPCD46、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M3通しPCD45、90°等配□40103039□4010303964-M3深さ630221012.515.54-3.4きり6.5深ざぐり深さ4□31□424-3.4きり6101721φ26φ5+0.04+0.02+0.04+0.02φ30φ23+0.04+0.02φ30+0.04+0.02φ22φ23+0.04+0.02φ26φ56221030104-M3通し4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M4通しPCD46、90°等配□4010303930+0.04+0.02φ23φ2330+0.04+0.024-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.54-M3通しPCD45、90°等配□4010303928□50□604-M4通し4-3.4きり6.5深ざぐり深さ5.51030φ36+0.05+0.025φ23825154-M4深さ85020+0.04+0.02φ37φ83.511 □604-M5通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ85020+0.05+0.01φ50φ334-M4通しPCD70、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ8□6050203.511+0.05+0.01φ50φ33+0.05+0.025φ36φ33211204-4.5きり8深ざぐり深さ74-M4通し□50□6050TC50EB単位 mmベッド長さL1全長Lストローク長さSベッド取付穴 質量(参考)kgA n150 226 50 10 3 0.9200 276 100 35 3 1.0250 326 150 27.5 4 1.1300 376 200 20 5 1.2L483043366630 4-M4深さ10S/2 83 S/236.518 L1 581313.5Rc1/8反対面にもあり(A) (n-1)×65 A2×n-M4深さ5※指定深さ以上ボルトを挿入しないで下さい53.8(57.8)50252320.335.5502-Rc1/872.437.526.54222センサ付きⅡ 175 Ⅱ 176TC…EBクリーン精密位置決めテーブルクリーンTC モータアタッチメントの寸法

Page 103:TC60EB単位 mmベッド長さL1全長Lストローク長さSベッド取付穴 質量(参考)kgA n150 225 50 30 2 1.1200 275 100 10 3 1.3300 375 200 15 4 1.7400 475 300 20 5 2.0500 575 400 25 6 2.4600 675 500 30 7 2.7備考 ステッピングモータ用モータアタッチメントはベッド下面より8mm低くなっています。30484451101034L4-M5深さ1040.517AL1 5812.54322Rc1/8反対面にもあり2×n-M6深さ7*指定深さ以上ボルトを挿入しないでください1384 S/2S/263.9302960(67.8)39.55424.52-Rc1/882.430.541.5センサ付き(A) (n-1)×90TC86EB単位 mmベッド長さL1全長Lストローク長さSベッド取付穴n質量(参考)kg340 430 200 4 3.6440 530 300 5 4.2540 630 400 6 4.8640 730 500 7 5.4740 830 600 8 6.0840 930 700 9 6.6940 1 030 800 10 7.3661265725446124-M6深さ12L53.5S/2 105 S/214.5(20)2020L1 7025Rc1/8反対面にもあり2×n-M8深さ9*指示深さ以上のボルトを挿入しないでください89.5463586(93.4)2853.5672-Rc1/810843.554.5センサ付き(n-1)×1006232Ⅱ 177 Ⅱ 178TC…EBクリーン精密位置決めテーブルクリーンTC

Page 104:TMⅡ 179 Ⅱ 180TM

Page 105:TM駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.001∼0.0020.015−−−−−−精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)内蔵なしステンレス鋼呼び番号で選択マイクロ精密位置決めテーブル TMベッドカバーセンサボールねじリニアウェイスライドテーブルアンギュラベアリングモータ極小サイズながら高精度な位置決めを実現していますので、超小型装置の位置決め機構の高精度化に最適です。また、鋼製部品にはステンレス鋼を使用しており、油分を嫌い防せい油の使用を控えたい箇所や水分の飛散する環境での使用も可能です。こんな分野におすすめします!●巻線機 など…●巻線機 など…●測定機器●測定機器●ロボット●ロボット●電子部品組立装置●電子部品組立装置●医療機器●医療機器●時計組立機●時計組立機 ●バイオ装置●バイオ装置開閉開閉テーブル仕様やすべりねじ仕様、ステンレスカバー仕様など、お客様の用途に合わせたテーブルも製作しますので、ご要望の際は にお問い合わせください。ご要望にお応えします!超小型装置の位置決め機構に最適です!特殊仕様例:開閉テーブル仕様スライドテーブル17mm20mm15mmPoints1●研削ボールねじ駆動で断面高さ20mm、幅17mmの極小位置決めテーブルテーブル案内部にレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、送り機構にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを組み込み、研削ボールねじ駆動では他に類例のない極小サイズの位置決めテーブルです。2●テーブル最高速度150mm/sを発揮ハイリードボールねじと高トルクACサーボモータを組み合わせることで、精度を落とすことなく、高速移動が可能です。3●用途に合わせたテーブル仕様が選択可能スライドテーブルの形状は、スタンダードテーブルとロングテーブルの2タイプ。ロングテーブルはスライドユニットを2個搭載したマイクロリニアウェイLを2セット並列に組み込んでいるので、モーメントや複合荷重に強い構造です。モータは、標準タイプ、高トルクタイプの2種類のACサーボモータとステッピングモータから用途に合わせて選択できます。4●オプションで超小形センサも内蔵可能外形寸法はそのままで、原点・原点前・CW・CCWの各センサの内蔵を指定することができます。バリエーション形状 形式と大きさストローク長さ(mm)TM15GTM15スタンダードテーブルロングテーブル605040302010−☆−☆−☆☆−☆− ☆−単位 mm主な製品仕様 精 度 Ⅱ 181 Ⅱ 182TM

Page 106:呼び番号の配列例 1 2 3 4 5 6 7 8TM 15 G - 50 A / T001 05 1形式1 Ⅱ 184ページ大きさ2 Ⅱ 184ページスライドテーブルの形状3 Ⅱ 184ページ有効ストローク長さ4 Ⅱ 184ページモータ付き5 Ⅱ 184ページモータの種類6 Ⅱ 184ページボールねじのリード7 Ⅱ 184ページセンサ仕様8 Ⅱ 184ページTM:マイクロ精密位置決めテーブルTM15:テーブル幅寸法 15mm無記号:スタンダードテーブル G:ロングテーブル表1に示す有効ストローク長さから選択します。形式1大きさ2スライドテーブルの形状3有効ストローク長さ4A:モータ付きT001:ACサーボモータ(標準タイプ) T002:ステッピングモータ(5相)T003:ステッピングモータ(2相)T004:ACサーボモータ(高トルクタイプ)T004を指定した場合、 7 ボールねじのリード0.5mmを指定することはできません。モータの仕様の詳細はⅡ 188ページ、Ⅱ 191ページをご参照ください。標準以外のモータを使用される場合は、 にお問い合わせください。05:リード0.5mm10:リード1.0mm15:リード1.5mmボールねじのリード0.5mmを指定した場合、 6 のT004:ACサーボモータ(高トルクタイプ)は指定できません。0:センサなし1:センサあり(反モータ側から見て右側に配置)2:センサあり(反モータ側から見て左側に配置)センサなしを指定した場合、センサの後付けはできません。センサありを指定した場合、モータ配線はセンサ配線方向と同じ方向になります。備考 樹脂製のテーブルカバーを使用していますが、ステンレス鋼製のテーブルカバーの製作も可能です。ご要望の際は、 にお問い合わせください。モータ付き5モータの種類6ボールねじのリード7センサ仕様8表1 スライドテーブルの形状と有効ストローク長さスライドテーブルの形状 有効ストローク長さ mmスタンダードテーブル 20、40、60ロングテーブル 10、30、50Ⅱ 183 Ⅱ 184TM呼び番号 呼び番号と仕様の詳細

Page 107:表7 センサのタイミングチャート原点(ステッピングモータ)原点前メカストッパ346(1) (1)ACW CCWONONOFFOFFOFFC0.226.8原点(ACサーボモータZ相)CCWリミットCWリミット単位 mm形式と大きさ ボールねじのリード A 有効ストローク長さ(1)C(参考)TM15 -200.5 0.2520 有効ストローク長さ+21 0.51.5 0.75TM15 -400.5 0.2540 有効ストローク長さ+21 0.51.5 0.75TM15 -600.5 0.2560 有効ストローク長さ+21 0.51.5 0.75TM15G-100.5 0.2510 有効ストローク長さ+0.51 0.51.5 0.75TM15G-300.5 0.2530 有効ストローク長さ+0.51 0.51.5 0.75TM15G-500.5 0.2550 有効ストローク長さ+0.51 0.51.5 0.75注(1) センサ位置は調整できません。有効ストローク長さはリミットセンサ間で確実に確保できるストローク長さを示します。備考1. センサの有無、配線方向は呼び番号で指定します。 2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。ハウジング43020-0600(日本モレックス製)ターミナル 6本43031-0010(日本モレックス製)436.5 305223210取付穴寸法(裏面)10POWERCCWLORGPORGCWLコード長さ:100mmセンサへ(コード長さ500mm)2-M3深2挿入深さ5以下のこと質量 0.017kg図1 センサアンプの外形寸法表2 精度 単位 mm形式 ボールねじのリード 繰返し位置決め精度 位置決め精度TM15 -200.5 ±0.0010.0151±0.0021.5TM15 -400.5 ±0.0010.0151±0.0021.5TM15 -600.5 ±0.0010.0151±0.0021.5TM15G-100.5 ±0.0010.0151±0.0021.5TM15G-300.5 ±0.0010.0151±0.0021.5TM15G-500.5 ±0.0010.0151±0.0021.5表3 最高速度モータの種類モータ回転数min−1最高速度 mm/sリード 0.5mm リード 1mm リード 1.5mmACサーボモータ 6 000 50 100 150ステッピングモータ 1 800 15 30 45備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表5 ボールねじの仕様 単位 mm形式と大きさ スライドテーブルの形状 ストローク ねじ外径 全 長TM15スタンダード2025440 7460 94ロング10 5430 7450 94表4 最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TM150.5 0.7 0.51.0 0.7 0.51.5 0.7 0.5TM15G0.5 1.5 0.51.0 1.5 0.51.5 1.5 0.5表6 テーブルイナーシャ、カップリングイナーシャ及び起動トルク形式と大きさテーブルイナーシャ JT×10−5kg・m2 カップリングイナーシャ JC×10−5kg・m2起動トルク TSN・mリード 0.5mm リード 1mm リード 1.5mmTM15 -20 0.00013 0.00016 0.000220.0028 0.005TM15 -40 0.00016 0.00019 0.00024TM15 -60 0.00018 0.00021 0.00026TM15G-10 0.00014 0.00019 0.00028TM15G-30 0.00016 0.00021 0.00030TM15G-50 0.00018 0.00023 0.00032Ⅱ 185 Ⅱ 186TM諸特性 センサの仕様

Page 108:マイクロ精密位置決めテーブルTMには専用のドライバが用意されており、システム構成を下表に示します。ドライバの仕様については、Ⅱ188∼Ⅱ 192ページのモータ・ドライバ仕様の項をご参照ください。ご注文の際は、下表に示す呼び番号にて別途ご指定ください。表8 システム構成●❺●❽●●❼●❾●❷ K ●❶●❸●❹●●●❾ ●❽●❷●❸●❹●❶●●●❻●システム構成●ACサーボモータ用ドライバのパラメータ設定時のシステム構成センサアンプ(1)(2)センサアンプ(1)(2)DC24V電源DC24V電源PCNo. 名称 呼び番号●❶ モータ記号T001ACサーボモータ(標準タイプ)T004ACサーボモータ(高トルクタイプ)T002ステッピングモータ(5相)T003 ステッピングモータ(2相)●❷ ドライバ TA8410N7318E936 TA8410N7318E951 TD-5M13-L eTD-24A ●❸ モータコード EU9614N□0TAE20S6-SM0□(TAE20S7-SN0□)TAE20S8-SM0□(TAE20S9-SN0□)●❹ レゾルバコード EU9615N□0 − −●❺ 通信ユニット(3) TA8433N211 − −●❻ RS232Cコード(3) EU6517N2 − −●❼ SV-NETコード(3) EU9610N20□0 − −●❽ プログラムコントローラ CTN481G●❾ ティーチングボックス TAE10M5-TB● パルス・リミットコード(4)TAE10U5-LD0□(TAE10U6-LD0□)TAE10U7-LD0□(TAE10U8-LD0□)TAE10U9-LD0□(TAE10V0-LD0□)● 電源コード お客様でご用意ください。(5) お客様でご用意ください。(6)注(1) センサなしを指定した場合、センサアンプは付属しません。 (2) DC24V電源は別途お客様でご用意ください。 (3) パラメータ設定の際に必要となりますので、ドライバのパラメータ設定の項をご参照ください。通信ユニットの仕様はⅡ 190ページのACサーボモータT001、T004用通信ユニットの仕様の項をご参照ください。 (4) CTN481G以外のプログラムコントローラをご使用になる場合には、パルス・リミットコードをお客様でご用意ください。 (5) ドライバと通信ユニットにコネクタが付属されています。Ⅱ 188∼Ⅱ 192ページのモータ・ドライバの仕様の項をご参照ください。 (6) 電源コードを直接接続してください。備考1. モータコード、パルス・リミットコードの( )内及びレゾルバコードは耐屈曲性に優れたコードです。 2. モータコード、レゾルバコード、SV-NETコード及びパルス・リミットコードのリミットコード長さは、呼び番号末尾の□にて最大3mまで1m単位で指定します。(3mの場合の例:EU9614N30、TAE10U5-LD03)3mを越える長さでご使用の場合は にお問い合わせください。 3. パルス・リミットコードのパルスコード長さは1.5mです。●ドライバのパラメータ設定ACサーボモータ用ドライバはパラメータの初期設定が必要です。パラメータ設定には通信ユニット、RS232Cコード、SV-NETコードが必要になりますので、別途ご注文ください。設定用ソフトウェアは多摩川精機㈱ホームページからダウンロードしてください。(URL:http://sv-net.tamagawa-seiki.com/download/download_menu.html)これらは複数台のドライバで共用することが可能です。お客様の条件に合わせてご注文ください。多摩川精機㈱製ACサーボモータ(RoHS指令適合品)表9 モータの仕様モータ記号モータの呼び番号電圧仕様V定格出力W定格トルクN・m瞬時最大トルクN・m定格回転数r /minモータイナーシャ JM×10−4kg・m2レゾルバ仕様pulse/rev質量kgT001 TS4861N4020E500 24 4 0.0095 0.0285 4 000 0.00064 2 048 0.05T004 TS4862N4021E500 24 6.6 0.0159 0.0477 4 000 0.00096 2 048 0.06備考 モータの回転数が4000r/minを超えるとモータのトルクは低下します。表10 モータ配線とコネクタの仕様モータ記号 T001、T004モータ側コネクタの呼び番号 相手側コネクタの呼び番号(1)ピンNo. 記号 内容 リード線の被服色A1 U モータU相 赤タブハウジング178964-3リセハウジング178289-3A2 V モータV相 白A3 W モータW相 黒B1 E フレームグランド 緑タブコンタクト175287-2リセコンタクト175218-2B2 ̶ ̶ ̶B3 ̶ ̶ ̶注(1)相手側のコネクタはお客様でご用意ください。備考 コネクタはタイコエレクトロニクスジャパン合同会社製です。表11 レゾルバ配線とコネクタの仕様モータ記号 T001、T004モータ側コネクタの呼び番号 相手側コネクタの呼び番号(1)ピンNo. 記号 内容 リード線の被服色A1 S2 信号出力 黄タブハウジング1-1318115-6リセハウジング1-1318118-6A2 S1 信号出力 赤A3 R1 励磁信号 白B1 S4 信号出力 青タブコンタクト1318112-1リセコンタクト1318108-1B2 S3 信号出力 黒B3 R2 励磁信号 橙注(1)相手側のコネクタはお客様でご用意ください。備考 コネクタはタイコエレクトロニクスジャパン合同会社製です。46.5(T001)53 (T004)102φ4φ11□14.54.84.82-M2.5深さ5Ⅱ 187 Ⅱ 188TMモータ・ドライバの仕様 システム構成

Page 109:表12 ACサーボモータT001、T004用多摩川精機㈱製ドライバ(RoHS指令適合品)No. 名称 機能●❶ CN1 駆動用電源コネクタ 駆動用電源を接続します。●❷ CN2SV-NETコネクタ パラメータ設定時にSV-NETコードで通信ユニットと接続します。制御用電源コネクタ 駆動時に制御用電源を接続します。●❸ CN3 モータコネクタ モータコードを接続します。●❹ CN5 センサコネクタ レゾルバコードを接続します。●❺CN7 I/Oコネクタパルスコードを接続します。CN8 I/Oコネクタ表13 ACサーボモータT001、T004用ドライバの仕様ドライバの呼び番号 TA8410N7318E936 TA8410N7318E951適用モータ記号 T001 T004適用モータ定格出力 4W 6.6Wフィードバック ブラシレスレゾルバ指定パルス入力方式 CW/CCW信号、パルス信号/回転方向信号指定パルス入力形態 ラインドライバ、オープンコレクタ主回路電源電圧 DC24V ±10%制御回路電源 DC24V ±10%連続出力電流 Arms 0.68 1.000最大出力電流 Arms 1.92 2.875動作温度範囲 0∼40℃保存温度範囲 −20∼85℃(凍結のないこと)使用湿度 90%以下 (結露のないこと)質量 kg 0.30備考 DC24V電源はお客様でご用意ください。表14 ACサーボモータT001、T004用ドライバの付属品名称 内容 呼び番号 備考CN1 駆動用電源コネクタレセプタクルハウジング 5557-02R日本モレックス㈱製ターミナル 5556TLCN2 制御用電源コネクタ コネクタプラグ 734-105 ワゴジャパン㈱ CN7 I/Oコネクタ ソケット HIF3BA-16D-2.54Rヒロセ電機㈱ CN8 I/Oコネクタ ソケット HIF3BA-14D-2.54RCN10 アナログモニタ用コネクタソケット DF-4DS-2Cコンタクト DF11-2428SC17.5104.5TAMAGAWASTATUSCN2SV-NETCN9BATCN5SENSORCN3MOTORCN10MONITORSVD-DWCN1POWER108116(2)357 17.5M343(15) 7531008CN8I/O 2CN7I/O 1MAC IDSV-NET DRIVERINPUT(CONT.)INPUT(DRIV.)OUTPUTDC24 VDC** V*.* A*.* A*** W RoHSTAMAGAWA SEIKI CO.,LTD. MADE IN JAPANver. A B C D E FG H K L M N O P QR S T U V W X Y ZQA PASSTYPE TA8410N****E***S/N ****** DATE ****.**運転中はヒートシンクに触れないでください。火傷の恐れがあります。装置を分解しないでください。注意危険表15 ACサーボモータT001、T004用多摩川精機㈱製通信ユニット(RoHS指令適合品)No. 名称 機能●❶ CN1 通信コネクタ SV-NETコードでドライバと接続します。●❷ CN2 電源コネクタ 電源を接続します。●❸ CN3 コネクタ RS232Cコードでパソコンと接続します。備考 通信ユニットは、ドライバのパラメータを設定する際に使用します。パラメータ設定時のシステム構成は、Ⅱ 187ページのシステム構成の項をご参照ください。表16 ACサーボモータT001、T004用通信ユニットの仕様通信ユニットの呼び番号 TA8433N211入力電源電圧DC24V ±10%(ユニット消費電流0.1A)制御電源出力電圧 DC24V ±10%通信仕様PC側 RS232Cケーブルドライバ側 SV-NETコード動作温度範囲 0∼40℃保存温度範囲 −10∼85℃(凍結のないこと)使用湿度 90%以下 (結露のないこと)質量 kg 0.2備考 DC24V電源はお客様でご用意ください。表17 ACサーボモータT001、T004用通信ユニットの付属品名称 内容 呼び番号 備考CN1 通信コネクタ コネクタプラグ 734-105ワゴジャパン㈱CN2 電源コネクタ コネクタプラグ 231-102/026-000SV-NET 通信ユニットTYPE TA8433N**S/N ******DATE ****.**TAMAGAWA SEIKI CO.,LTD. MADE IN JAPANver. A B C D E FG H K L M N O P QR S T U V W X Y ZTAMAGAWALEDCN1SV-NETCN3SW1CN4CN2POWER22512.54.5(3.2)(17) 4981004108116●❶●❸●❷Ⅱ 189 Ⅱ 190TMモータ・ドライバの仕様

Page 110:多摩川精機㈱製ステッピングモータ(RoHS指令適合品)表18 モータの仕様モータ記号モータの呼び番号基本ステップ角度励磁最大静止トルク N・m電流A/相ロータイナーシャ JM×10−4kg・m2質量(参考)kgT002 TS3682N2 0.72 0.024 0.35 0.004 0.085T003 TS3692N2 1.80 0.024 0.35 0.004 0.085表19 モータ配線とコネクタの仕様ピンNo.リード線の被服色モータ側コネクタの呼び番号 相手側コネクタの呼び番号(1)モータ記号 T002 モータ記号 T0031 青 黒ハウジング43025-0600ハウジング43020-06002 赤 未使用3 橙 青4 緑 赤ターミナル43030-0007ターミナル43031-00075 黒 橙6 未使用 緑注(1)相手側のコネクタはお客様でご用意ください。備考 コネクタは日本モレックス㈱製です。表20 ステッピングモータT002用東阪電子機器㈱製ドライバ(RoHS指令適合品)No. 名称 機能●❶ CN1 電源コネクタ 電源を接続します。●❷ CN2 I/Oコネクタ パルスコードを接続します。●❸ CN3 モータコネクタ モータコードを接続します。φ4φ15□2046.51.5107.5888 84-M2深23.52711080404.53 10410434.514●❸●❶●❷表21 ステッピングモータT002用ドライバの仕様ドライバの呼び番号 TD-5M13-L適用モータ記号 T002励磁方式 マイクロステップ 最大500分割入力方式 フォトカプラ 入力抵抗220Ω入力形式CW/CCW信号パルス信号/回転方向信号電源入力 DC15∼35V 2.5A周囲温度(使用時) 0∼40℃(凍結のないこと)周囲湿度(使用時) 85%以下(結露のないこと)質量 kg 0.17備考 電源入力はDC24Vを推奨します。電源はお客様でご用意ください。表22 ステッピングモータT002用ドライバの付属品名称呼び番号備考ハウジング コンタクトCN1 電源コネクタ EHR-2BEH-001T-P0.6 日本圧着端子製造㈱CN2 制御信号コネクタ EHR-10CN3 駆動電源コネクタ EHR-5ステッピングモータT002のトルク特性図モータ記号 モータの呼び番号 ドライバの呼び番号T002 TS3682N2 TD-5M13-Lハーフステップフルステップ0 1000 2000 3000 400000.0050.0100.0150.0200.0250.030モータ回転数 [r/min]トルク[N・m]表23 ステッピングモータT003用東阪電子機器㈱製ドライバ(RoHS指令適合品)No. 名称 機能●❶ I/Fコネクタ 電源、パルスコード、モータコードを接続します。60898.533.51522.13711.53.53.58.589395●❶表24 ステッピングモータT003用ドライバの仕様ドライバの呼び番号 eTD-24A適用モータ記号 T003 励磁方式 マイクロステップ 最大500分割入力方式 フォトカプラ 入力抵抗220Ω入力形式CW/CCW信号パルス信号/回転方向信号電源入力 DC24V±10% 3A周囲温度(使用時) 0∼40℃ (凍結のないこと)周囲湿度(使用時) 85%以下(結露のないこと)質量 kg 0.06備考 DC24V電源はお客様でご用意ください。ステッピングモータT003のトルク特性図モータ記号 モータの呼び番号 ドライバの呼び番号T003 TS3692N2 eTD-24A00.0050.0100.0150.0200.0250.0300 500 1000 1500 2000ハーフステップフルステップモータ回転数 [r/min]トルク[N・m]Ⅱ 191 Ⅱ 192TM モータ・ドライバの仕様

Page 111:TM15 ステッピングモータ仕様単位 mm形式と大きさストローク寸法 テーブル寸法 質量(参考)kg有効ストローク長さ(1)CWリミット位置C全長 L L1L2ベッド取付穴A(個数×ピッチ) nTM15 -20 20 19 115.5 69 62 50(2×25) 6 0.18TM15 -40 40 39 135.5 89 82 75(3×25) 8 0.19TM15 -60 60 59 155.5 109 102 96(4×24) 10 0.20TM15G-10 10 7.5 115.5 69 62 50(2×25) 6 0.19TM15G-30 30 27.5 135.5 89 82 75(3×25) 8 0.20TM15G-50 50 47.5 155.5 109 102 96(4×24) 10 0.21注(1) センサ位置は調整できません。有効ストローク長さはリミットセンサ間で確実に確保できるストローク長さを示します。備考 樹脂製のテーブルカバーを使用していますが、ステンレス鋼製のテーブルカバーの製作も可能です。ご要望の際は にお問い合わせください。112111121117CW CCW110.5A2.517201015L19ロングテーブル:TM15G26.5(ロングテーブル長さ)6-M2深さ415(スタンダードテーブル長さ)4-M2深さ414.8(テーブル幅)センサケーブルコード長さ:500(センサアンプへ)コード長さ:20023.8(原点位置)3(CCWリミット)□20n-M2深さ2.5以下L1L2C(CWリミット)14.8(テーブル幅)146.5TM15 ACサーボモータ仕様単位 mm形式と大きさストローク寸法 テーブル寸法 質量(1)(参考)kg有効ストローク長さ(2)CWリミット位置C全長 LL1L2ベッド取付穴T001 T004 A(個数×ピッチ) nTM15 -20 20 16 115.5 122 69 62 50(2×25) 6 0.15TM15 -40 40 36 135.5 142 89 82 75(3×25) 8 0.16TM15 -60 60 56 155.5 162 109 102 96(4×24) 10 0.17TM15G-10 10 4.5 115.5 122 69 62 50(2×25) 6 0.16TM15G-30 30 24.5 135.5 142 89 82 75(3×25) 8 0.17TM15G-50 50 44.5 155.5 162 109 102 96(4×24) 10 0.18注(1) T001を指定した場合の値です。T004を指定した場合は、0.01kg増加します。 (2) センサ位置は調整できません。有効ストローク長さはリミットセンサ間で確実に確保できるストローク長さを示します。備考 樹脂製のテーブルカバーを使用していますが、ステンレス鋼製のテーブルカバーの製作も可能です。ご要望の際は にお問い合わせください。112111121117CW CCW113.25A2.517201015L19ロングテーブル:TM15G26.5(ロングテーブル長さ)6-M2深さ415(スタンダードテーブル長さ)4-M2深さ414.8(テーブル幅)センサケーブルコード長さ:500(センサアンプへ)コード長さ:30026.8(原点位置)6(CCWリミット)□14.5n-M2深さ2.5以下L1L2C(CWリミット)14.8(テーブル幅)146.5(T001)53 (T004)Ⅱ 193マイクロ精密位置決めテーブルTM Ⅱ 194TM

Page 112:TS・CTⅡ 195 Ⅱ 196TS・CT

Page 113:TSCT精密位置決めテーブル TS・CT駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.002∼0.0030.005∼0.025−0.005∼0.0120.015∼0.030−−−精密ボールねじクロスローラウェイ内蔵なし鋳鉄呼び番号で選択スライドテーブルボールねじクロスローラウェイベッドボールねじYテーブルXテーブルセンサベッドクロスローラウェイ形状テーブル幅(mm)テーブル長さ(mm)557555 35075 125 220 310単軸仕様二軸仕様1252202605575125220260350形式CTTS☆ −−−−−− ☆−−−−− ☆−−−−− −−☆−−− −−−☆−☆ −−−−−☆ −−−−−− ☆−−−−− −☆☆−−− −−☆☆−☆ −−−−−は、ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを使用しています。Points1●高精度・コンパクトな位置決めテーブル高剛性で振動減衰性の高い鋳鉄製のスライドテーブルとベッドに、クロスローラウェイを組み込んだ、高精度・コンパクトな位置決めテーブルです。2●保持器ずれ防止機構を内蔵した安心設計直動案内機器に保持器ずれを起こさない、ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを採用しているので、立軸使用や高加減速運転でも安心して使用できます。(TS55/55、CT55/55は除く) 3●テーブル上面で直接作業する用途に最適精密に研削加工された大面積のテーブルを採用しているので、テーブル上面すべてを作業面として使用できます。バリエーションラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイの構造と特長ラックギアラックギアピニオンギア独自のラック&ピニオン構造立軸での高タクト運転でも、保持器のずれをおこしません!単位 mm主な製品仕様 精 度 Ⅱ 197 Ⅱ 198TS・CT

Page 114:呼び番号の配列例 1 2 3 4 5CT 125 / 125 / AT602 5 SCTS :精密位置決めテーブルTS(単軸仕様)CT :精密位置決めテーブルCT(二軸仕様)表1に示すスライドテーブルの寸法から選択します。スライドテーブルの幅寸法と長さ寸法をmm単位で表示します。CT(二軸仕様)の場合は、Yテーブルの幅寸法と長さ寸法を表示します。モータアタッチメントは表2より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表3に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。形式1スライドテーブルの寸法2表1 形式と直動案内機器、スライドテーブルの寸法及びストローク長さ単位 mm形式 直動案内機器 幅寸法/長さ寸法 ストローク長さTSクロスローラウェイ 55/ 55 15ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイ75/ 75 25125/125 50125/220 120220/220 120220/310 180260/350 250CTクロスローラウェイ 55/ 55 X軸: 15、Y軸: 15ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイ75/ 75 X軸: 25、Y軸: 25125/125 X軸: 50、Y軸: 50220/220 X軸:120、Y軸:120260/350 X軸:150、Y軸:250350/350 X軸:250、Y軸:250モータアタッチメントの指定3表3 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャJC×10-5kg・m2AT601 MWSS-12- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.018AT602 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT603 MSTS-25C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT604 MSTS-25C- 6× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT605 MSTS-25C- 6× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT606 MSTS-32C-12×14 鍋屋バイテック会社 2.7AT607 MSTS-32C-11×12 鍋屋バイテック会社 2.7AT608 MSTS-19C- 6× 8 鍋屋バイテック会社 0.277AT609 MSTS-25C- 6× 8 鍋屋バイテック会社 0.71AT610 MSTS-32C-12×14 鍋屋バイテック会社 2.7備考 カップリングの仕様は、メーカのカタログをご参照ください。表2 モータアタッチメントの適用使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTS55/55TS75/75CT55/55CT75/75TS125/125TS125/220TS220/220CT125/125CT220/220TS220/310TS260/350CT260/350CT350/350ACサーボモータ㈱安川電機Σ-ⅤSGMJV-01100 □40− AT602 AT604 −SGMAV-01 − AT602 AT604 −SGMJV-02200 □60− − − AT606SGMAV-02 − − − AT606三菱電機㈱J3HF-MP13100 □40− AT602 AT604 −HF-KP13 − AT602 AT604 −HF-MP23200 □60− − − AT606HF-KP23 − − − AT606パナソニック㈱MINAS A5MSMD01100 □38− AT603 AT605 −MSME01 − AT603 AT605 −MSMD02200 □60− − − AT607MSME02 − − − AT607ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAS66 □60 − AT608 AT609 −AS69 □60 − AT608 AT609 −AS98 □85 − − − AT610AS911 □85 − − − AT610PX PX535MH □38 AT601 − − −RK・CRKRK56・CRK56(1) □60 − AT608 AT609 −RK59 □85 − − − AT610注(1) モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。形式1 Ⅱ 199ページスライドテーブルの寸法2 Ⅱ 199ページモータアタッチメントの指定3 Ⅱ 199ページボールねじのリード4 Ⅱ 200ページ特別仕様5 Ⅱ 200ページ1:リード1mm(55/55、75/75、125/125に適用します)2:リード2mm(55/55、75/75には適用しません)5:リード5mm(55/55、75/75には適用しません)無記号:標準仕様AL :アルミニウム合金製テーブル(55/55、75/75には適用しません)BE :オプションベース(55/55に適用します)LR :黒色クロム皮膜処理SC :センサ付きテーブルアルミニウム合金製テーブル:スライドテーブルとベッド及びモータブラケットをアルミニウム合金鋳物にした仕様。精度が標準仕様と異なるので注意が必要です。オプションベース :本体を下方向に取り付けるためのベースプレートを用意しています。詳細は寸法表をご参照ください。黒色クロム皮膜処理 :表面に黒色の浸透性皮膜を形成することにより、耐食性を向上させます。 スライドテーブルとベッド及びモータブラケットの表面に処理を施します。 各部品の基準面については、表面処理が取り除かれます。センサ付きテーブル :リミット、原点前、原点センサが取り付けられます。ただし、ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合、原点センサは付きません。エンコーダのC相又はZ相信号を使用してください。備考 複数の特別仕様を組み合わせて指定するときは、補助記号をアルファベット順に配列してご指定ください。ボールねじのリード4特別仕様5Ⅱ 199 Ⅱ 200TS・CT呼び番号 呼び番号と仕様の詳細

Page 115:表4 精度 単位 mm呼び番号 繰返し位置決め精度位置決め精度テーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度BXY運動の直角度(1)単軸仕様 二軸仕様TS 55/ 55 −±0.002(±0.003)0.0050.005(0.008)0.015(0.022)0.005− CT 55/ 55 0.010TS 75/ 75 CT 75/ 75 0.005(0.008)TS125/125 CT125/125TS125/220 − 0.008(0.012)TS220/220 CT220/220TS220/310 −0.015(0.025)0.008(0.012)0.020(0.030)0.008TS260/350 CT260/350− CT350/350注(1) 二軸仕様のテーブルに適用します。備考 ( )内の値は、アルミニウム合金製テーブル(特別仕様AL)の精度で標準仕様のテーブルと異なるものを示します。表5 最高速度モータの種類最高速度 mm/sリード1mm リード2mm リード5mmACサーボモータ 50 100 250ステッピングモータ 30 60 150備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表7 ボールねじの仕様 単位 mm形式と大きさ ボールねじのリード 軸名 ねじ外径 全 長単軸仕様TS 55/ 55 1 − 6 68TS 75/ 75 1 − 6 89TS125/1251 − 12 1482 − 12 1485 − 14 148TS125/2202 − 12 2695 − 14 269TS220/2202 − 14 2695 − 14 269TS220/3102 − 14 3895 − 14 389TS260/3502 − 20 4355 − 20 435二軸仕様CT 55/ 55 1 X軸、Y軸 6 68CT 75/ 75 1 X軸、Y軸 6 89CT125/1251 X軸、Y軸 12 1482 X軸、Y軸 12 1485 X軸、Y軸 14 148CT220/2202 X軸、Y軸 14 2695 X軸、Y軸 14 269CT260/3502X軸 20 330Y軸 20 4355X軸 20 330Y軸 20 435CT350/3502 X軸、Y軸 20 4355 X軸、Y軸 20 435 表8 テーブルイナーシャと起動トルク呼び番号テーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2 起動トルク TSN・mリード1mm リード2mm リード5mm単軸仕様TS 55/ 55 0.01 − − 0.03TS 75/ 75 0.01 − − 0.03TS125/125 0.20 0.23 0.55 0.07TS125/220 − 0.40 0.95 0.07TS220/220 − 0.73 1.1 0.07TS220/310 − 1.3 2.1 0.07TS260/350 − 3.8 5.6 0.07二軸仕様CT 55/ 55X軸 0.01 − −0.03Y軸 0.01 − −CT 75/ 75X軸 0.01 − −0.07Y軸 0.01 − −CT125/125X軸 0.20 0.28 0.850.07Y軸 0.20 0.23 0.55CT220/220X軸 − 0.85 1.90.07Y軸 − 0.73 1.1CT260/350X軸 − 4.6 6.80.07Y軸 − 3.8 5.6CT350/350X軸 − 4.9 8.00.07Y軸 − 4.6 5.9表6.1 TSの最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直TS 55/ 55 1 4.3 2.2TS 75/ 75 1 21 1.5TS125/1251 72 2.32 72 115 72 29TS125/2202 115 95 115 28TS220/2202 169 3.95 169 24TS220/3102 256 −5 261 19TS260/3502 310 −5 310 18備考 最大搭載質量が − になっている場合は駆動できません。表6.2 CTの最大搭載質量形式と大きさボールねじのリードmm最大搭載質量kg水平 垂直(1)CT 55/ 55 1 4.3 2.2CT 75/ 75 1 21 1.3CT125/1251 72 2.32 72 115 72 29CT220/2202 169 3.95 169 24CT260/3502 225 −5 225 18CT350/3502 286 −5 310 14注(1)Y軸が垂直に駆動する場合です。備考 最大搭載質量が − になっている場合は駆動できません。Ⅱ 201 Ⅱ 202TS・CT諸特性

Page 116:表9-1 TS(単軸仕様)のセンサのタイミングチャートC W CCWBOFFOFFONOFF原点原点前CCWリミットCWリミットD DC単位 mm呼び番号 ボールねじのリード B C DTS 55/ 55 1 1 0.7 7.5TS 75/ 75 1 1 0.7 12.5TS125/1251 1 0.7252 2 1.55 5 3 TS125/2202 2 1.5605 5 3 TS220/2202 2 1.5605 5 3 TS220/3102 2 1.5905 5 3 TS260/3502 2 1.51255 5 3 備考1. センサの取付けは、呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については、総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合、原点センサは付きません。エンコーダのC相又はZ相信号を使用してください。 4. センサの取付け位置は各形番毎に異なります。詳細は各形番の寸法表をご参照ください。表9-2 CT(二軸仕様)のセンサのタイミングチャートCWCCWCWCCWOFFOFFONONOFF原点前CCWリミットCWリミットEECBY軸X 軸OFFOFFONONOFF原点(CT75/75以外)原点(CT75/75)原点(CT75/75以外)原点(CT75/75)原点前CCWリミットCWリミットDDCB単位 mm呼び番号 ボールねじのリード B C D ECT 55/ 55 1 1 0.7 7.5 7.5CT 75/ 75 1 − 0.7 12.5 12.5CT125/1251 1 0.725 252 2 1.55 5 3CT220/2202 2 1.560 605 5 3CT260/3502 2 1.575 1255 5 3CT350/3502 2 1.5125 1255 5 3備考1. センサの取付けは、呼び番号で指定します。 2. 各センサの仕様については、総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 3. ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合、原点センサは付きません。エンコーダのC相又はZ相信号を使用してください。 4. センサの取付け位置は各形番毎に異なります。詳細は各形番の寸法表をご参照ください。Ⅱ 203 Ⅱ 204TS・CTセンサの仕様

Page 117:TS55/55、CT55/55 TS75/75、CT75/75AT601 AT601TS125/125、CT125/125 TS125/220AT602 AT602AT603 AT603AT608 AT608□38526404.5注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。□31φ22+0.033 0φ54-3.4きり□38525.5407注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。□31φ54-3.4きりφ22+0.033 0532.571052モータアタッチメントモータブラケット注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。□604-M4通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD46、90°等配φ8φ6φ30+0.033 0(7)4-M4通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD46、90°等配□60527.5108モータブラケット モータアタッチメントφ8φ671φ30+0.033 0(7)4-M3通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD45、90°等配モータアタッチメントモータブラケット□60532.5710注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。φ8φ652φ30+0.033 0(7)527.5108 4-M3通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD45、90°等配□60モータブラケット モータアタッチメントφ8φ671φ30+0.033 0(7)□50★ ★☆ ☆5232.57モータアタッチメントモータブラケット注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。□604-4.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M4通し(★印 モータブラケットに加工)2-M4深さ8(☆印 モータブラケットに加工)φ30φ652φ36+0.033 0(7)★ ★☆ ☆4-4.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M4通し(★印 モータブラケットに加工)2-M4深さ8(☆印 モータブラケットに加工)□60□50φ30φ62527.510モータブラケット モータアタッチメント71φ36+0.039 0(7)TS220/220、CT220/220 TS220/310AT602 AT604AT603 AT605AT608 AT609TS260/350 CT260/350AT606 AT606AT607 AT607AT610 AT6104-M4通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD46、90°等配□60527.510728モータブラケット モータアタッチメント注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。φ8φ6φ30+0.033 0(7)4-M4通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD46、90°等配□60モータブラケット モータアタッチメント5361325φ8φ6110φ30+0.033 0(7)527.5108 4-M3通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD45、90°等配□60モータブラケット モータアタッチメント注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。φ8φ672φ30+0.033 0(7) 4-M3通し(モータアタッチメントに加工)4-5きり通し(モータブラケットに加工)PCD45、90°等配□605361325モータブラケット モータアタッチメントφ8φ6110φ30+0.033 0(7)★ ★☆ ☆4-4.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M4通し(★印 モータブラケットに加工)2-M4深さ8(☆印 モータブラケットに加工)□60□50φ30φ62527.510モータブラケット モータアタッチメント注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。72φ36+0.039 0(7)★ ★☆ ☆4-4.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M4通し(★印 モータブラケットに加工)2-M4深さ8(☆印 モータブラケットに加工)□60□50253613モータブラケット モータアタッチメントφ30φ6110φ36+0.039 0(7)838.535□85 4-M5通しPCD70、90°等配φ12120φ50+0.039 0833.520838.535X軸Y軸□85 4-M5通しPCD70、90°等配φ12φ12100 120φ50+0.039 0φ50+0.039 04-M4通しPCD70、90°等配838.535□85φ12120φ50+0.039 04-M4通しPCD70、90°等配838.535Y軸X軸 □85φ12φ12833.520100 120φ50+0.039 0φ50+0.039 0モータアタッチメントモータブラケット☆ ☆★ ★31048.525.54-6.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M6通し(★印モータブラケットに加工)2-M6深さ12(☆印モータブラケットに加工)□85□70φ45φ12120φ60+0.046 0(8)(8)モータアタッチメントモータアタッチメントモータブラケットモータブラケット□70☆ ☆★ ★310(8)43.510.531048.525.5Y軸X軸□85 4-6.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M6通し(★印モータブラケットに加工)2-M6深さ12(☆印モータブラケットに加工)φ12φ45φ12φ45100120φ60+0.046 0φ60+0.046 0Ⅱ 205 Ⅱ 206TS・CTモータアタッチメントの寸法

Page 118:TS55/55●センサなし仕様●センサ付き仕様(65) (36)55(21.7) ストローク長さ:15mm参考質量(2):0.8kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。55 40305517.5 17.535.520(5) (12.5)45 5393012.56-M3深さ4.5(1)4-M4深さ8(ベッド取付穴)CT350/350AT606AT607AT610注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。838.535□85 4-M5通しPCD70、90°等配φ12120φ50+0.039 0□85注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。4-M4通しPCD70、90°等配838.535φ12120φ50+0.039 0120□70☆ ☆★ ★モータアタッチメントモータブラケット31048.525.5□85 4-6.5きり(モータアタッチメントに加工)2-M6通し(★印モータブラケットに加工)2-M6深さ12(☆印モータブラケットに加工)注:本図はY軸を示し、X軸は上下が逆になります。φ45φ12φ60+0.039 0(8)Ⅱ 207 Ⅱ 208TS・CT精密位置決めテーブルTS・CT モータアタッチメントの寸法

Page 119: 単位 mm呼び番号テーブル寸法ストローク長さ EY軸心高さHYLXLYHTS125/125(1) 125 125 60 50 52 31.5TS220/220 220 220 65 120 72 33.5呼び番号取付ねじ ベッド取付関係寸法参考質量(2)kgM(3) PXPYd t A1A2B1B2TS125/125(1) 6-M5深さ10 70 50 4-M5用 29.6 12.5 100 15 95 7.5TS220/220 6-M6深さ12 150 75 4-M6用 27.5 20 180 20 180 16.0注(1) モータブラケットは、テーブル上面より1.5mm高くなっています。 (2) センサの質量は含まれていません。 (3) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。TS125/125、TS220/220●センサなし仕様●センサ付き仕様LX(26)原点円板原点センサLY EYPY PYPXLXtHHY(B1) B2B1 A2A1Md(A1)注)ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合は、原点センサおよび原点円板は付きません。TS75/75●センサなし仕様●センサ付き仕様75(16.5)ストローク長さ:25mm参考質量(2):1.6kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。75 40407530 3060 7.52019.540626-M4深さ5.5(1)4-M4用(6.5)(7.5) 6.5Ⅱ 209精密位置決めテーブルTS・CT Ⅱ 210TS・CT

Page 120:CT55/55●センサなし仕様●センサ付き仕様55(46)(21.7)55 (46)(21.7)XY軸ストローク長さ:15mm参考質量(2):1.7kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。554055 40455 4515.53.53817.517.5306-M3深さ4.0(1)4-M4深さ4.5 (ベッド取付穴)29.510.538(5) 12.5(12.5) 30単位 mm呼び番号テーブル寸法ストローク長さ EY軸心高さHYLXLYHTS125/220(1) 125 220 60 120 71 31.5TS220/310 220 310 70 180 110 33.5TS260/350 260 350 100 250 120 47.5呼び番号取付ねじ ベッド取付関係寸法参考質量(2)kgM(3) PXPYd t A1A2B1B2TS125/220(1) 6-M5深さ10 70 75 4-M5用 29.6 12.5 100 20 180 11TS220/310 6-M6深さ12 150 100 4-M6用 28.5 20 180 50 210 27TS260/350 6-M6深さ12 150 125 4-M8用 45.4 22.5 215 50 250 48注(1) モータブラケットは、テーブル上面より1.5mm高くなっています。 (2) センサの質量は含まれていません。 (3) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。TS125/220、TS220/310、TS260/350●センサなし仕様●センサ付き仕様原点センサ原点円板LX(26)LY EYPy PyPXLXMB2B1dtHHY(B1) A2A1(A1)注)ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合は、原点センサおよび原点円板は付きません。Ⅱ 211精密位置決めテーブルTS・CT Ⅱ 212TS・CT

Page 121:CT75/75●センサなし仕様754030304075 405560 7.52040356-M4深さ5.5(1)4-M4深さ5.55.5(7.5) (17.5) 17.5●センサ付き仕様75(56)75 (56)XY軸ストローク長さ:25mm参考質量(2):2.0kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。CT125/125●センサなし仕様125525050706-M5深さ10(1)125 52158530.58056.54-M5用9586.5(15) (22.5) 22.58.6●センサ付き仕様125(26)125(26)原点センサ原点円板原点センサ原点円板XY軸ストローク長さ:50mm参考質量(2):7.5kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。注)ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合は、原点センサおよび原点円板は付きません。Ⅱ 213精密位置決めテーブルTS・CT Ⅱ 214TS・CT

Page 122:●TS55/55、CT55/55用オプションベース寸法9030308054-4.5きり8深ざぐり深さ4.54-4.5きり8-2.4きり4.5深ざぐり深さ5.2(TS55/55、CT55/55固定用)9015151522.522.5 45258 405 80TS55/55、CT55/55用オプションベースCT220/220、CT260/350、CT350/350●センサなし仕様MtA2PxHYLXB2B3B2 B1EXEYLYd(B1)(A1)A1PYPYHHx●センサ付き仕様(26)(26)原点センサ原点センサ原点円板原点円板(26)(3)(26)(3) 単位 mm呼び番号テーブル寸法 ストローク長さEXEY軸心高さLXLYH X軸 Y軸 HXHYCT220/220 220 220 100 120 120 72 72 31.5 68.5CT260/350 260 350 150 150 250 100 120 52.5 97.5CT350/350 350 350 150 250 250 120 120 52.5 97.5呼び番号取付ねじ ベッド取付関係寸法参考質量(2)kgM(1) PXPYd t A1A2B1B2B3CT220/220 6-M6深さ12 150 75 8-M6用 7.5 30 160 15 40 110 20CT260/350 6-M6深さ12 150 125 8-M8用 20 40 270 15 55 120 66CT350/350 6-M6深さ12 250 125 8-M8用 20 40 270 15 100 120 77注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとスライドテーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) センサの質量は含まれていません。 (3) CT220/220に適用します。センサが取り付けられた時の寸法です。注)ACサーボモータ用アタッチメントを選択した場合は、原点センサおよび原点円板は付きません。Ⅱ 215精密位置決めテーブルTS・CT Ⅱ 216TS・CT

Page 123:TSLBⅡ 217 Ⅱ 218TSLB

Page 124:TSLB精密位置決めテーブル LB駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.070∼0.100−−−0.050∼0.070−−−高張力タイミングベルトリニアウェイ(ボールタイプ)内蔵なし高強度アルミニウム合金標準装備ベッドリニアウェイタイミングベルトブリッジカバースライドテーブル1●高速・ロングストロークな位置決めテーブルスライドテーブルの送り機構に耐久性に優れた高張力スチールコード入りのタイミングベルトを組み込んだ、高速移動が可能なロングストロークタイプの位置決めテーブルです。2●軽量でロングストローク高強度アルミニウム合金製のスライドテーブルとベッドを採用し、軽量化を実現。ストローク長さは最大1200mmまでシリーズ化。3●安定した高い走行精度リニアウェイを2セット並列に組み込んでいるので、安定した高い走行性能を実現しています。Pointsバリエーション精密位置決めテーブルLとの比較形状 形式と大きさストローク長さ(mm)TSLB120TSLB170TSLB 90900800700600500400300テーブル幅寸法(mm)1201709012001000−☆−−−−☆☆☆☆☆−−−−☆☆☆☆☆☆−−−−−−90mm120mm170mm0 500 1000 1500ストローク長さ(mm) 最高速度(mm/s)170mm90mm120mm70mm90mm65mm90mm65mm120mm70mm170mm90mm単位 mm主な製品仕様 精 度 TSLB90TSL90MTSLB120TSL120MTSLB170TSL170MⅡ 219 Ⅱ 220TSLB

Page 125:呼び番号の配列例 1 2 3 4TSLB 120 - 700 / ATA01形式1 Ⅱ 222ページ大きさ2 Ⅱ 222ページストローク長さ3 Ⅱ 222ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 222ページTSLB:精密位置決めテーブルLB大きさはテーブル幅寸法を示しています。表1に示す大きさから選択します。表1に示すストローク長さから選択します。表2に示すモータアタッチメントが取り付けられます。・モータはお客様にてご用意いただきます。・表3に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。形式1大きさ2ストローク長さ3表1 大きさとテーブル幅寸法及びストローク長さ 単位 mm形式と大きさ テーブル幅寸法 ストローク長さTSLB 90 90 300、 400、 500、600TSLB120 120 600、 700、 800、900、1 000TSLB170 170 800、1 000、1 200モータアタッチメントの指定4表2 モータアタッチメントの適用使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式TSLB 90TSLB120TSLB170ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAS66 □60 ATA01 −AS69 □60 ATA01 −AS98 □85 − ATA02AS911 □85 − ATA02RKCRKRK56・CRK56(1) □60 ATA01 −RK59 □85 − ATA02注(1) モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表3 カップリングの形式形式と大きさ カップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2ATA01 MOL-32C- 8×12 鍋屋バイテック会社 1.4ATA02 MOL-40C-12×14 鍋屋バイテック会社 4.1備考 カップリングの仕様は、メーカのカタログをご参照ください。呼び番号 Ⅱ 221 Ⅱ 222TSLB呼び番号と仕様の詳細

Page 126:表7 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TSN・mTSLB 90 19 0.3TSLB120 42 0.5TSLB170 64 0.6表4 精度 単位 mm形式と大きさ ストローク長さ 繰返し位置決め精度 テーブル運動の平行度BTSLB 90300±0.0700.050400500600 0.070TSLB120 ±0.100 0.070TSLB170 ±0.100 0.070表5 最高速度と分解能形式と大きさ最高速度(1)mm/s分解能(2)mmTSLB 90TSLB120TSLB1701 500 0.1注(1) 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。 (2) モータ分割数が1000pulse/rev.のときの値です。表6 最大搭載質量形式と大きさ最大搭載質量kgTSLB 90 5TSLB120 27TSLB170 29備考 水平の場合に適用します。表8 センサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさ A C D E FTSLB 90 120 50 20 13 10TSLB120 120 50 20 8 5TSLB170 160 50 20 23 30備考 各センサの仕様については、総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。CW CCWAONOFF原点原点前CCWリミットメカストッパOFF CWリミットOFFDC(F)ストロ−ク長さ(E)Ⅱ 223 Ⅱ 224TSLB諸特性 センサの仕様

Page 127:TSLB90ATA0132.567.53261.528.5 20□504-M4深さ8φ12φ36+0.039 0TSLB120ATA013364.531 20φ12□5032.567.5 4-M4深さ8φ36+0.039 0TSLB170ATA02342 20□85□7010モータアタッチメント モータブラケット4-6.5きり(モータアタッチメントに加工)4-M6深さ12(モータブラケットに加工)φ12φ45φ60+0.046 0TSLB90単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴A質量(参考)kgTSLB90−300 300 570 160 7.0TSLB90−400 400 670 210 7.5TSLB90−500 500 770 260 8.5TSLB90−600 600 870 310 9.5(30)809060 A A 60 100L67.5358060(80) S/2 90 S/2 (100)3310 50 101.522.56510-M4用穴1204-M4深さ8Ⅱ 225 Ⅱ 226TSLB精密位置決めテーブルLB モータアタッチメントの寸法

Page 128:TSLB120単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴A質量(参考)kgTSLB120− 600 600 900 292.5 13TSLB120− 700 700 1 000 342.5 14TSLB120− 800 800 1 100 392.5 15TSLB120− 900 900 1 200 442.5 16TSLB120−1000 1 000 1 300 492.5 17(37.5) 85 A A 85 107.51403567.5108120(80) S/2 120 S/2 (100)3513 72 131.522.57010-M5用穴108854-M5深さ10LTSLB170単位 mm呼び番号ストローク長さS全長Lベッド取付穴A質量(参考)kgTSLB170− 800 800 1 200 390 27TSLB170−1000 1 000 1 400 490 31TSLB170−1200 1 200 1 600 590 34168.51015017043.5(45) 120 120 1354587.5(90) S/2 170 S/2 (140) 15 105 153029010-M6用穴1501204-M6深さ12A ALⅡ 227 Ⅱ 228TSLB精密位置決めテーブルLB

Page 129:NT(NT…V、NT…H、NT…XZ、NT…XZH)Ⅱ 229 Ⅱ 230NT

Page 130:NT繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0001∼0.0005−−−−−−−ナノリニア NT駆動直動案内機器テーブル・ベッドの材質センサリニアモータリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵炭素鋼標準装備(NT38V、NT55V、NT…Hは除く)クロスローラウェイ(ローラタイプ)ナノリニア®NTは、ムービングマグネット方式の極めて断面高さの低いリニアモータテーブルです。可動テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイ、またはクロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。また、可動ケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高い清浄度を発揮します。ナノリニア®NTは、可動子にマグネットとリニアエンコーダ用スケールを、固定子に空心コイルとリニアエンコーダ用ヘッドをコンパクトに配置した構造です。右図に示すように、マグネットとコイルヨークによって常に垂直方向に働く磁束と、コイル電流によってコイルのまわりに発生する回転磁束とにより、コイルは水平方向に力を受けます(フレミングの左手の法則)。磁束の向きに応じた方向にコイルの電流を切り換えることで、一方向の連続した推力が得られ、可動子は直線運動を持続します。電流量による加速度制御とリニアエンコーダによるフィードバックにより、移動と正確な位置決めを行います。ナノリニア NT スペック一覧25725±0.525765±0.536825±0.536865±0.5368120±0.5スタンダードタイプNT···VNT55V25 NT55V65 NT80V25 NT80V65 NT80V120形式と大きさ断面形状有効ストローク長さ mm分解能 μm定格推力 N5 5 5 5 5最大可搬質量 kg最大推力 N繰返し位置決め精度 μm551430.6100.50.1±0.530.8180.50.1±0.5500270 500270NT38V10 NT38V180.5 0.58016最高速度 mm/s501045±0.5252.510±0.570自冷:16空冷:20自冷:16空冷:2025±0.57010±0.5ピック&プレイスユニットNT···XZ高精度タイプNT···HNT80XZ4510高推力ピック&プレイスユニットNT···XZHNT90XZH2510形式と大きさ断面形状有効ストローク長さ mm分解能 μm定格推力 N− 0.1 − 0.2最大可搬質量 kg最大推力 N繰返し位置決め精度 μm25565±0.1 ±0.1NT88H655最高速度 mm/s2588X軸 Z軸 X軸 Z軸18153210185(168)16029.5260(268)29.5ナノリニア NTの動作原理単位 mm潤滑部品の内蔵テーブルの移動方向マグネットヨーク(可動子)マグネット(可動子)コイル(固定子)磁束 コイルヨーク主な製品仕様 精 度 コンパクトさを極めた先進のリニアモータテーブル NTシリーズ!3826110.50.11300270 10000.50.11300270 10000.50.11300270 10000.50.11300270 10000.50.11300270 10000.50.1 0.50.1 0.50.1 0.50.11300 800800 1300 2702700.05400NT88H250.01900.054000.0190 270 1000 1000 1000 1000270255525Ⅱ 231 Ⅱ 232NT

Page 131:12多連装のピック&プレイス機構(イメージ) スプリング方式のバランス機構●二軸駆動により、大きな推力が得られる。●左右テーブルの駆動により、テーブルの遅れや筐体のねじれを 最小限に抑えることができる。●テーブルの遅れや筐体のねじれが最小限のため、高い位置決め 精度が確保できる。●二軸同期制御システムと比較し、コストを低く抑えることがで きる。[ スタンダードタイプ ]NT…Vは、テーブル案内部に小形直動案内機器のリニアウェイLを使用し、部品点数の削減、部品形状の見直しにより、優れたコストパフォーマンスを実現したリニアモータテーブルです。シリーズ最小サイズのNT38V10は、断面高さがわずか11mm、テーブル幅38mm、全長62mmを実現。位置決め機構のさらなる小型化に貢献します。また、モーションネットワークEtherCAT対応ドライバ、及びSSCNETⅢ対応ドライバも用意しており、省配線でよりなめらかで高速、高精度な動作を実現します。PointsNT…Vコンパクト化を徹底的に追求しました。特に、シリーズ最小サイズのNT38V10は、断面高さがわずか11mm、テーブル幅38mm、全長62mmを実現。多数のテーブルを積層状態にしても占有スペースが増大せず、位置決め機構のさらなる小型化に貢献します。●超コンパクト35並列に配置された2台のNT…Vを剛体結合し、1台の専用ドライバで駆動することにより、大きな推力と安定した姿勢精度が得られます。モ ー ションネットワ ークE t h e r C A T 、SSCNETⅢ、MECHATROLINK対応のドライバもご用意していますので、省配線でより高度なシステム構築が可能です。●二軸パラレル運転●モーションネットワーク対応備考:EtherCAT は、ドイツBeckhoffAutomation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商標です。SSCNETⅢは、三菱電機㈱が開発したサーボシステム制御のためのモーションネットワーク通信です。MECHATROLINKは、オープンフィールドネットワークで、MECHATROLINK協会により管理されています。備考:二軸パラレル運転をご要望の場合は、 までお問い合わせください。4NT80Vを2台直接組合せ、特別なアタッチメントを必要とせず、低断面のXYのテーブルが簡単に構築できます。●XY二軸組合せ仕様ナノリニア NT可動テーブル固定子コイル可動子マグネットベッドリニアウェイLリニアエンコーダ用ヘッドリニアエンコーダ用スケールNT80V120NT80V65NT80V25NT55V65NT55V25NT38V10 NT38V1816801455形式と大きさ断面形状(mm)個別対応のスプリング方式のバランス機構を組み込むことで、電源遮断時などの可動テーブルの落下を防止します。NT…Vの低断面・コンパクトな特性を活かし、多連装のピック&プレイス機構などが構築できます。●立軸仕様に対応備考:立軸仕様は、個別対応品になります。お客様の使用条件に合わせてスプリングを選定しますので、 までお問い合わせください。二軸パラレル運転の特長可動テーブルスプリング382611Ⅱ 233 Ⅱ 234NT

Page 132:123[ 高精度タイプ ]NT…Hは、テーブル案内部にローラタイプのラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを使用し、1μm以下の位置決め精度と走行真直度で、高い剛性と空気静圧軸受にせまる脈動のないなめらかな作動を実現した高精度なリニアモータテーブルです。Points●高い姿勢精度●高い速度安定性●高い走行精度123[ ピック&プレイスユニット ]NT…XZは、テーブル案内部に小形直動案内機器のCルーブリニアウェイLを使用し、X軸の可動テーブルとZ軸のベッドを一体化することで、厚さ18mmの超薄型化を実現したリニアモータ駆動のピック&プレイスユニットです。位置決めプログラムを入力することにより、自由自在な運転パターンが可能で、ワークに合わせたストローク変更も簡単に対応できます。Pointsリニアモータ駆動による他に類例のない構造のピック&プレスユニットです。両軸共に光学式リニアエンコーダを搭載し、精密で高タクトな位置決めが可能です。X軸の可動テーブルとZ軸のベッドを一体化することにより、厚さ18mmの超薄化を実現。幅100mmのスペースに4台並べて設置することが可能で、省スペース配置で効率アップに貢献します。ドライバのモニタ機能を使用して、パソコンで軌道の検証を行うことが可能です。●高タクトな位置決め●超薄型・省スペース●運転モニタ機能真直度誤差 μm5位 置 mm043210-1-2-3-4605040302010-5走行真直度:1μm以下位 置 mm姿勢精度 秒300-3010 20 30 40 502520151050-5-10-15-20-2560ピッチングヨーイング姿勢精度:5秒以下0速 度 mm/s11時 間 s0 1 2 3 410.810.610.410.2109.89.69.49.2910mm/s速度安定性(測定周波数:1,000Hz):±1%以下高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置の再現性に優れています。なめらかな動作のクロスローラウェイ、コアレスムービングマグネットタイプのリニアモータ、高性能なサーボドライバにより、速度安定性がさらに向上しました。構成部品を精度よく仕上げ、組み立てることで、真直度1μm以下という高 い 走 行 精 度を実現しています。CルーブリニアウェイLリニアエンコーダ用ヘッドリニアエンコーダ用スケールベッド固定子コイル可動テーブル可動子マグネットNT…H NT…XZ見本ナノリニア NTⅡ 235 Ⅱ 236NT

Page 133:1[ 高推力ピック&プレイスユニット ]NT···XZHは、テーブル案内部に小形直動案内機器のCルーブリニアウェイLを使用し、X軸とZ軸をコンパクトに一体化した、リニアモータ駆動の高推力ピック&プレイスユニットです。リンク機構を用いて可動テーブルを駆動する方式を採用することで、リニアモータの高推力化と可動部の軽量化を両立し、タクトタイムの短縮を実現します。位置決めプログラムを入力することにより、自由自在な運転パターンが可能で、ワークに合わせたストローク変更も簡単に対応できます。PointsX軸とZ軸のモータを平面上に配置し、リンク機構を用いて可動テーブルを駆動する方式を採用することで、リニアモータの高推力化と可動部の軽量化を両立、大幅なタクトタイムの短縮を実現しました。●高推力・高タクト45多軸ユニットでありながら、可動部にケーブルのないムービングマグネット方式を採用しているので、配線の処理が容易なうえ、高いクリーン度を実現します。NT…XZと同様に、ドライバのモニタ機能を使用して、パソコンで軌道の検証を行うことが可能です。●可動部ケーブルレス●運転モニタ機能23両軸ともに光学式リニアエンコーダを搭載してフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高応答を実現します。発熱源となるコイルを固定子に集約した構造になっており、冷却や取付けベースへの放熱が容易です。空冷オプションを指定することで、さらなるタクトタイムの短縮が可能になります。●高分解能・高応答●空冷実効推力NT…XZHナノリニア NTX軸実速度Z軸実速度X軸位置決め完了信号Z軸位置決め完了信号搭載質量 :150gストローク:X軸 22mm Z軸 5mm150010005000–1500–1000–500整定時間:2ms サイクル回数:334回/分0 50 100 150 200 250 300実効推力 :X軸14.8N Z軸15.7N加減速時間:X軸24ms Z軸 9ms速度mm/s時 間 msⅡ 237 Ⅱ 238NT

Page 134:NT…Vの呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6 7 8NT 55 V 25 / 5 L SC 1形式1 Ⅱ 239ページ大きさ2 Ⅱ 239ページストローク長さ3 Ⅱ 239ページリニアエンコーダ分解能4 Ⅱ 239ページカバー5 Ⅱ 239ページケーブル引出し方向6 Ⅱ 239ページセンサの指定7 Ⅱ 239ページ仕様番号8 Ⅱ 239ページNT…V:ナノリニアNT…V38:幅寸法38mm55:幅寸法55mm80:幅寸法80mm10: 10mm(NT38Vに適用)18: 18mm(NT38Vに適用)25: 25mm(NT55V、NT80Vに適用)65: 65mm(NT55V、NT80Vに適用)120:120mm(NT80Vに適用)1 :0.1μm1F:0.1μm 高速仕様(NT55V、NT80Vに適用)1Fを選択する場合は専用ドライバADVAを使用したシステム構成が必要です。5 :0.5μm無記号:カバーなしD:カバー付き(NT38Vに適用)L:左方向R:右方向図1に示すケーブル引出し方向から選択します。(エンコーダを下側にしたときの引出し方向)無記号:センサなしSC :センサ(リミット、原点前)、センサブラケット付きNT55V、NT80Vに適用ナノリニアNT55VおよびNT80VにはADVAとSSCNETⅢ対応のMR-J3-10Bの2種類の専用ドライバが用意されており、MR-J3-10Bを使用する場合は、SCの選択が必須となります。1:仕様番号1仕様番号は1のみとなります。形式1大きさ2ストローク長さ3リニアエンコーダ分解能4カバー5ケーブル引出し方向6センサの指定7仕様番号8L:左方向 R:右方向図1 NT…Vのケーブル引出し方向NT…Hの呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5NT 88 H 65 / 05 R形式1 Ⅱ 240ページ大きさ2 Ⅱ 240ページストローク長さ3 Ⅱ 240ページリニアエンコーダ分解能4 Ⅱ 240ページケーブル引出し方向5 Ⅱ 240ページNT…H:ナノリニアNT…H88:幅寸法88mm25:25mm65:65mm01:0.01μm05:0.05μmL:左方向R:右方向図2に示す引出し方向から選択します。(エンコーダを下側にしたときの引出し方向)形式1大きさ2ストローク長さ3リニアエンコーダ分解能4ケーブル引出し方向5L:左方向 R:右方向図2 NT88Hのケーブル引出し方向呼び番号 Ⅱ 239呼び番号 Ⅱ 240NT呼び番号と仕様の詳細 呼び番号と仕様の詳細

Page 135:NT…XZ、NT…XZHの呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6NT 90 XZH 25 10 / 5 CA形式1 Ⅱ 241ページ大きさ2 Ⅱ 241ページX軸ストローク長さ3 Ⅱ 241ページZ軸ストローク長さ4 Ⅱ 241ページリニアエンコーダ分解能5 Ⅱ 241ページ冷却仕様6 Ⅱ 241ページNT…XZ :ナノリニアNT…XZNT…XZH:ナノリニアNT…XZH 高推力タイプ80:Z軸幅寸法80mm(NT…XZに適用)90:Z軸幅寸法90mm(NT…XZHに適用)25:25mm(NT…XZHに適用)45:45mm(NT…XZに適用)10:10mm1 :0.1μm1F:0.1μm 高速仕様5 :0.5μm無記号:自冷CA :空冷(NT…XZHに適用)形式1大きさ2X軸ストローク長さ3Z軸ストローク長さ4リニアエンコーダ分解能5冷却仕様6表1 NT38Vの仕様・性能形式と大きさ項目NT38V10 NT38V18最大推力(1) N 3定格推力(2) N 0.6 0.8最大可搬質量 kg 0.5有効ストローク長さ mm 10 18分解能 μm 0.1 0.5 0.1 0.5最高速度 mm/s 270 500 270 500繰返し位置決め精度(3) μm ±0.5可動部質量 kg 0.036(カバー付0.040) 0.048(カバー付0.052)総質量(4) kg 0.190(カバー付0.198) 0.230(カバー付0.239)使用周囲温度・湿度 0∼40℃・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 製品本体の温度が一定の場合です。 (4) コードの質量は含んでいません。表2 NT55Vの仕様・性能形式と大きさ項目NT55V25 NT55V65最大推力(1) N 25定格推力(2) N 7最大可搬質量 kg 5有効ストローク長さ mm 25 65分解能 μm 0.1 0.5 0.1 0.5最高速度 mm/s 270 1 000 1 300 270 1 000 1 300繰返し位置決め精度(3) μm ±0.5可動部質量 kg 0.17 0.17総質量(4) kg 0.42 0.5使用周囲温度・湿度 0∼40℃・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 製品本体の温度が一定の場合です。 (4) コードの質量は含んでいません。表3 NT80Vの仕様・性能形式と大きさ項目NT80V25 NT80V65 NT80V120最大推力(1) N 36定格推力(2) N 8最大可搬質量 kg 5有効ストローク長さ mm 25 65 120分解能 μm 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5最高速度 mm/s 270 1 000 1 300 270 1 000 1 300 270 1 000 1 300繰返し位置決め精度(3) μm ±0.5可動部質量 kg 0.28 0.28 0.47総質量(4) kg 0.68 0.83 1.4使用周囲温度・湿度 0∼40℃・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 製品本体の温度が一定の場合です。 (4) コードの質量は含んでいません。呼び番号 Ⅱ 241 Ⅱ 242NT諸特性 呼び番号と仕様の詳細

Page 136:表5 NT・・・XZ、NT・・・XZHの仕様・性能形式と大きさ項目NT80XZ4510 NT90XZH2510X軸 Z軸 X軸 Z軸最大推力(1) N 50 25 70定格推力(2) N 10 2.5 自冷:16 空冷(3):20最大可搬質量 kg 0.1 0.2有効ストローク長さ mm 45 10 25 10分解能 μm 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5最高速度 mm/s 270 1 000 1 300 270 800 800 270 1 000 1 300 270 1 000 1 000繰返し位置決め精度(4) μm ±0.5 ±0.5可動部質量 kg 0.6(5) 0.12 0.38 0.35総質量(6) kg 1.6 2.8使用周囲温度・湿度 0∼40℃・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 空気流量20NL/minのときです。 (4) 製品本体の温度が一定の場合です。 (5) Z軸の可動部質量を含みます。 (6) コードの質量は含んでいません。表4 NT…Hの仕様・性能形式と大きさ項目NT88H25 NT88H65最大推力(1) N 25定格推力(2) N 5最大可搬質量 kg 5有効ストローク長さ mm 25 65分解能 μm 0.01 0.05 0.01 0.05最高速度 mm/s 90 400 90 400位置決め精度(3) μm 1繰返し位置決め精度(4) μm ±0.1運動平行度A μm 5姿勢精度(5) 秒 5垂直真直度・水平真直度 μm 1可動部質量 kg 0.7 0.9総質量(6) kg 1.6 2使用周囲温度・湿度 0∼40℃・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 周囲及び製品本体の温度が20℃の時の値です。 (4) 製品本体の温度が一定の場合です。 (5) ピッチング及びヨーイングを示します。 (6) コードの質量は含んでいません。■NT・・・Vの推力特性NT38V図3 NT38Vの推力特性00.511.522.533.50 100 200 300 400 500 600テーブルの移動速度 mm/s推力N図4 NT38Vの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。00.10.20.30.40.50.60.70.80.90 10 20 30 40 50環境温度 ℃定格推力NNT38V18NT38V10図5 NT38Vの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度500mm/sのときの推力から算出した値です。0.010.11101 10 100加速度 m/s2動的可搬質量kgNT38V10NT38V18NT55V●組合せるドライバがADVA-01NL、MR-J3の場合図6 NT55Vの推力特性推力Nテーブルの移動速度 mm/s0010203040500 1000 1500図7 NT55Vの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。00246810 20 30 40 50定格推力N環境温度 ℃図8 NT55Vの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度500mm/sのときの推力から算出した値です。動的可搬質量kg加速度 m/s210.010.111010 100NT80V●組合せるドライバがADVA-01NL、MR-J3の場合図12 NT80Vの推力特性推力Nテーブルの移動速度 mm/s0010203040500 1000 1500図13 NT80Vの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。00246810 20 30 40 50定格推力N環境温度 ℃図14 NT80Vの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度500mm/sのときの推力から算出した値です。動的可搬質量kg加速度 m/s20.010.1110NT80V120NT80V25NT80V651 10 100●組合せるドライバがADVA-R5MLの場合図9 NT55Vの推力特性推力Nテーブルの移動速度mm/s0010203040500 1000 1500NT55V65NT55V25図10 NT55Vの定格推力特備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。00246810 20 30 40 50定格推力N環境温度 ℃図11 NT55Vの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度500mm/sのときの推力から算出した値です。NT55V25NT55V65動的可搬質量kg加速度 m/s210.010.111010 100●組合せるドライバがADVA-R5MLの場合図15 NT80Vの推力特性推力Nテーブルの移動速度 mm/s0010203040500 1000 1500NT80V120NT80V65NT80V25図16 NT80Vの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。00246810 20 30 40 50定格推力N環境温度 ℃図17 NT80Vの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度500mm/sのときの推力から算出した値です。動的可搬質量kg加速度 m/s20.010.1110NT80V120NT80V65NT80V251 10 100Ⅱ 243 Ⅱ 244NT諸特性

Page 137:表6 NT55V/SC、NT80V/SCのセンサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさ A B(1) C(1) D(1) E(1)NT55V 25/SC 20 4 12.5 3 31NT55V 65/SC 40 4 32.5 3 71NT80V 25/SC 20 4 12.5 3 31NT80V 65/SC 40 4 32.5 3 71NT80V120/SC 70 4 60 5.5 131注(1) 各数値は目安であり、保証値ではありません。 詳細な寸法が必要な際は、 にお問い合わせください。備考 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。原点前センサ+方向リミットー方向リミットメカストッパ原点原点前センサ+方向リミットー方向リミットメカストッパ原点OFFOFFOFF(D)(D)(E)C CBAOFFOFFOFF(D)(D)(E)C CBANT…V/LSCの場合 NT…V/RSCの場合●NT…V、NT…XZ、NT…XZHには、センサは内蔵されていません ドライバADVAを使用したシステム構成およびNT38Vのシステム構成での原点復帰は、外部入力により行います。原点復帰動作は可動テーブルがメカストッパに接触後に反転し、原点位置にて停止します。ただし、NT55V、NT80Vは補助記号(/SC)によりリミットセンサおよび原点前センサを取り付け可能ですので、各センサを利用した原点復帰も可能です。 ドライバADVAを使用したシステム構成における±方向リミットの検出は、ドライバのソフトウェアリミット機能で行います。ドライバのパラメータによってストローク範囲の設定が可能です。なお、ソフトウェアリミット機能は位置制御モードでのみ有効で、原点復帰の完了が条件となります。速度制御モード、推力制御モードの場合は、外部センサを設置してください。■NT・・・Hの推力特性図18 NT88Hの推力特性40020025テーブルの移動速度 mm/s推力N00NT88H65NT88H25図19 NT88Hの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。20540定格推力 N環境温度 ℃00■NT・・・XZ、NT・・・XZHの推力特性●組合せるドライバがADVA-01NLの場合図20 NT…XZ、NT…XZHの推力特性1000 15005002040600NT80XZ Z軸NT80XZ X軸NT90XZH XZ軸共通80推力Nテーブルの移動速度 mm/s図21 NT…XZ、NT…XZHの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。2020 40100NT90XZH(空冷)XZ軸共通NT90XZH(自冷)NT80XZ X軸NT80XZ Z軸XZ軸共通定格推力N環境温度 ℃●組合せるドライバがADVA-R5MLの場合2020 40100NT90XZH(空冷)XZ軸共通NT90XZH(自冷)NT80XZ X軸NT80XZ Z軸XZ軸共通定格推力N環境温度 ℃図23 NT…XZ、NT…XZHの定格推力特性備考 金属製の相手部材に取り付けた場合です。1000 15005002040600NT80XZ Z軸NT80XZ X軸NT90XZH XZ軸共通80推力Nテーブルの移動速度 mm/s図22 NT…XZ、NT…XZHの推力特性Ⅱ 245 Ⅱ 246NTセンサ仕様 諸特性

Page 138:図24 NT…Hのセンサのタイミングチャート備考1. 標準システム構成での原点復帰は、ドライバの原点復帰機能(リミット反転方式)を使用します。エンコーダインターフェイスから出力されるリミット信号出力をドライバに入力する必要があります。 2. 原点前センサ出力はありません。 3. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。の場合 NT88H25/‥Rの場合原点+方向リミットー方向リミットメカストッパ原点+方向リミットー方向リミットメカストッパOFFOFFOFFOFF14141414(17)(17)(17)( 17)NT88H25/‥LNT88H65/‥Lの場合 NT88H65/‥Rの場合原点+方向リミットー方向リミットメカストッパ原点+方向リミットー方向リミットメカストッパOFFOFFOFFOFF34343434(37)(37)(37)(37)■NT38Vのシステム構成ナノリニアNT38Vは専用のドライバが用意されており、表7にシステム構成を示します。ドライバの仕様については、Ⅱ 253ページのドライバ仕様の項をご参照ください。ご注文の際は、表7に示す呼び番号にて別途ご指定ください。表7 NT38Vのシステム構成No. 名称 呼び番号●❶ ナノリニアNT…V NT38V●❷ ドライバ NCR-DCE0D3B-021D-S135●❸モータ中継コード(3m(1))TAE20T8-AM03●❹エンコーダ中継コード(1.5m(1))TAE20U8-EC●❺ パソコン接続ケーブルお客様でご用意くださいUSBケーブルAプラグ-ミニBプラグ●❻ データ編集ソフト NCR-XCR000-S135●❼ 入出力信号用コネクタ TAE20U9-CN(2)●❽ 電源コードお客様でご用意ください。●❾ 上位装置● 上位装置接続コード● DC24V電源注(1) 特殊なコード長さについては までお問い合わせください。 (2) 入出力信号用コネクタTAE20U9-CNは、住友スリーエム㈱製10136-3000PE(コネクタ)と10336-52F0-008(カバー)の組合せです。●●●❶ナノリニアNT38V●❺パソコン 接続ケーブルパソコンDC24V●❹●❸●❷ドライバ●●❻データ編集ソフト上位装置 PLC、スイッチ、センサなど●❼●❽●❾Ⅱ 247 Ⅱ 248NTシステム構成 センサ仕様

Page 139:■NT55V、NT80V、NT…XZ、NT…XZHのシステム構成 ナノリニアNT55V、NT80V、NT…XZ、NT…XZHには専用ドライバとしてADVAとMR-J3の2シリーズが用意されており、使用するドライバによって、システム構成が異なります。ADVAはパルス列仕様と高速ネットワークEtherCAT仕様の2種類を用意しており、MR-J3は高速ネットワークSSCNETⅢ仕様のみとなります。表8にドライバとテーブルの対応形式を示します。表9にADVAの呼び番号配列、表10にテーブルと適用するMR-J3の呼び番号を示します。ドライバの仕様についてはⅡ 254∼Ⅱ 256ページのドライバ仕様の項をご参照ください。 なお、MECHATROLINKに対応したドライバは個別対応品になりますので、ご要望のときは にお問い合わせください。表8 ナノリニアNT・・・V、NT…XZ、NT…XZHと適用ドライバの呼び番号ドライバの種類 適用ナノリニア形式ADVA NT55V、NT80V、NT…XZ、NT…XZHMR-J3 NT55V、NT80V備考 MR-J3は、センサ付き仕様/SCのみに適用します。表10 NT…Vと適用するMR-J3の呼び番号テーブルの呼び番号 ドライバの呼び番号NT55V 25 MR-J3-10B-MB004U713NT55V 65 MR-J3-10B-MB004U714NT80V 25 MR-J3-10B-MB004U715NT80V 65 MR-J3-10B-MB004U716NT80V120 MR-J3-10B-MB004U717備考 MR-J3-10Bは、センサ付き仕様/SCのみに適用します。●②電流電圧01NL 単相 / 三相 200VR5ML 単相 100V●④適用ナノリニア形式NT55V 25 NT55V 25NT55V 65 NT55V 65NT80V 25 NT80V 25NT80V 65 NT80V 65NT80V120 NT80V120NT80XZ-X NT80XZのX軸NT80XZ-Z NT80XZのZ軸NT90XZH NT90XZHのX軸、Z軸共用●③指令方式無記号 パルス列指令EC EtherCAT表11 ドライバADVAを使用したNT・・・Vのシステム構成No. 名称 呼び番号●❸モータ中継コード(3m)(1)TAE20V3-AM03●❹エンコーダ中継コード(2m)(1)TAE20V4-EC02●❺ パソコン接続ケーブル(3m)USB mini Bケーブルお客様でご用意ください。●❻ セットアップソフトウェアProDriveNext㈱日立産機システムのwebサイトよりダウンロードしてください。●❼ I/Oコネクタ TAE20R5-CN(2)●❽ 電源コードお客様でご用意ください。●❾ 上位装置● I/Oコネクタ接続ケーブル● センサ中継コード注(1) 特殊なコード長さについては にお問い合わせください。 (2) I/OコネクタTAE20R5-CNは、住友スリーエム㈱製10150-3000PE(コネクタ)と10350-52F0-008(カバー)の組合せです。●●●●●●❹●❸●●❻セットアップソフトウェアパソコン上位装置 PLC、スイッチ、センサなど● NT…V●❽●●❷ドライバ❺❼❾ 、❶ナノリニアACSERVOADV Series表12 ドライバADVA…ECを使用したNT・・・Vのシステム構成No. 名称 呼び番号●❸モータ中継コード(3m)(1)TAE20V3-AM03●❹エンコーダ中継コード(2m)(1)TAE20V4-EC02●❺ パソコン接続ケーブル(3m)USB mini Bケーブルお客様でご用意ください。●❻ セットアップソフトウェアProDriveNext㈱日立産機システムのwebサイトよりダウンロードしてください。●❼ I/Oコネクタ TAE20V5-CN(2)●❽ Ethernetケーブルお客様でご用意ください。●❾ 電源コード● 上位装置● I/Oコネクタ接続ケーブル● センサ中継コード注(1) 特殊なコード長さについては にお問い合わせください。 (2) I/OコネクタTAE20V5-CNは、住友スリーエム㈱製10120-3000PE(コネクタ)と10320-52F0-008(カバー)の組合せです。●❽●❼●●❹●❸上位装置 PLC、スイッチ、センサなど●❶ナノリニアNT…V●❾●❷ドライバET1ET2ACSERVOADV Series上位装置 PLCその他EtherCAT対応機器、スイッチ、センサなど●パソコン●❺●❺●❻セットアップソフトウェアパソコン●●●セットアップソフトウェアナノリニアNT55V、NT80V、NT…XZ、NT…XZHを動作させるためには、ドライバパラメータの初期設定が必要です。ドライバのパラメータ設定は、セットアップソフトウェアにて行います。また、ゲイン調整や運転状況の確認に利用できます。ドライバ本体には、セットアップソフトウェア、パソコン接続ケーブルが添付されておりません。これらは複数台のドライバで共用することが可能ですが、最低1組は必要となります。お客様の条件に合わせて別途ご注文、またはご用意ください。●モーションネットワーク対応モーションネットワークEtherCAT、SSCNET Ⅲ、MECHATROLINKに対応したドライバをラインナップしています。モーションネットワークは、パルス列指令でのパルスの周波数の制約、アナログ指令(電圧指令)でのノイズの影響、ケーブル長さによる電圧降下、温度ドリフトの影響を受けず、装置の高性能化・高精度化を実現します。また、省配線が可能で、複数のテーブルの同期システムを容易に構築できます。形式 特徴EtherCATドイツのBeckhoffが開発したリアルタイム制御を可能にしたEthenetベースのオープンネットワーク通信です。高速通信と高精度なノード間同期により装置の高性能化・高精度化を実現します。また、市販Ethernetケーブルが使用でき多様な配線形態に対応可能です。SSCNET Ⅲ三菱電機㈱が開発したサーボシステム制御のためのモーションネットワーク通信です。光ファイバーケーブルを採用しており、従来のSSCNETに比べて耐ノイズ性が向上しています。MECHATROLINKコントローラと各種コンポーネントを接続する、オープンフィールドネットワーク通信です。㈱安川電機が開発し、MECHATROLINK協会によって管理されています。専用ドライバナノリニアNT…VナノリニアNT…VナノリニアNT…V専用ドライバ専用ドライバ表9 ADVAの呼び番号ADVA – 01NL EC / NT55V25●①形式 ●② ●③ ●④Ⅱ 249 Ⅱ 250NTシステム構成

Page 140:■NT・・・Hのシステム構成 ナノリニアNT…Hには専用のドライバが用意されており、表11にシステム構成を示します。ドライバの仕様については、Ⅱ 258ページのドライバ仕様の項をご参照ください。ご注文の際は、表11に示す呼び番号にて別途ご指定ください。●データ編集ソフトナノリニアNT…Hを動作させるためには、ドライバパラメータの初期設定が必要です。ドライバのパラメータ設定は、データ編集ソフトにて行います。ドライバ本体には、データ編集ソフト、パソコン接続ケーブルが添付されておりません。これらは複数台のドライバで共用することが可能ですが、最低1組は必要となります。お客様の条件に合わせて別途ご注文ください。表11 NT・・・Hのシステム構成No. 名称 呼び番号●❶ ナノリニアNT…H NT88H●❷ ドライバ NCR-DDA0A1A-051D-T08●❸モータ中継コード(3m)(2)TAE20T8-AM03●❹エンコーダ中継コード(2m)(2)TAE20T9-EC02●❺ パソコン接続ケーブルお客様でご用意ください。USBケーブル Aプラグ-Bプラグ●❻ データ編集ソフト NCR-XCR000-S135●❼ コネクタセット TAE20U0-CN(3)●❽ 電源コードお客様でご用意ください。●❾ 上位装置● I/Oコネクタ接続ケーブル注(1) DC24V電源は別途お客様でご用意ください。 (2) 特殊なコード長さについては にお問い合わせください。 (3) コネクタセットTAE20U0-CNは、I/Oコネクタとセンサ用コネクタのセット(圧着配線済み(200mm))です。I/Oコネクタは、住友スリーエム㈱製10136-3000PE(コネクタ)と10336-52F0-008(カバー)の組合せです。センサ用コネクタは、タイコエレクトロニクスジャパン合同会社製170365-1(コンタクト)と172157-1(ハウジング)の組合せです。TB1J3srDBKDBCW(T)B2B1UVSRCN2J2J1TB2CN1VCPLC、スイッチ、センサなど上位装置DC24V電源(1)AC100V(50/60Hz) インターフェイス●❶ナノリニアNT…H●❷ドライバ●❺●❾●❽●❸●❽●❹●❼●●❻データ編集ソフトエンコーダパソコン表13 ドライバMR-J3-10Bを使用したを使用したNT・・・Vのシステム構成(SSCNETⅢ対応)No. 名称 呼び番号●❸モータ中継コード(3m)(1)TAE20U4-AM●❹エンコーダ中継コード(2m)(1)TAE20U5-EC●❺パソコン接続ケーブル(3m)MR-J3USBCBL3M●❻ セットアップソフトウェア MRZJW3-SETUP221●❼ 入出力接続用コネクタ MR-CCN1(2)●❽ 電源コードお客様でご用意ください。●❾ 上位装置(3)● SSCNETⅢ接続ケーブル● センサ中継コード注(1) 特殊なコード長さについては にお問い合わせください。 (2) 入出力接続用コネクタMR-CCN1は、住友スリーエム㈱製10120-3000VE(コネクタ)と10320-52F-008(カバー)の組合せです。 (3) 上位装置は三菱電機㈱製SSCNETⅢ対応のモーションコントローラ、位置決めユニット、DC24V電源となります。●❶ナノリニアNT…V●❷ドライバ ●❺●❾●❸●❹●❽●❽●❼●●●❻セットアップソフトウェアパソコン単相または三相AC200V(50/60Hz)上位装置DC24V電源SSCNETⅢ対応モーションコントローラ位置決めユニット表14 NT・・・XZ、NT・・・XZHのシステム構成No. 名称 数量 呼び番号●❶ ナノリニアNT…XZ、NT…XZH 1 NT80XZ4510 NT90XZH2510●❷ X軸用ドライバ 1 ADVA-01NL/NT80XZ-X ADVA-01NL/NT90XZH●❸ Z軸用ドライバ 1 ADVA-01NL/NT80XZ-Z ADVA-01NL/NT90XZH●❹ モータ中継コード(3m)(1) 2 TAE20V3-AM03●❺ エンコーダ中継コード(2m)(1) 2 TAE20V4-EC02●❻ パソコン接続ケーブル(2m) 1 USB mini Bケーブル(お客様でご用意ください。)●❼ セットアップソフトウェア 1ProDriveNext㈱日立産機システムのwebサイトよりダウンロードしてください。●❽ I/Oコネクタ 2 TAE20R5-CN(2)●❾ 電源コード −お客様でご用意ください。● 上位装置 −● I/Oコネクタ接続ケーブル −注(1) 特殊なコード長さについては、 にお問い合わせください。 (2) I/OコネクタTAE20R5-CNは、住友スリーエム㈱製10150-3000PE(コネクタ)と10350-52F0-008(カバー)の組合せです。上位装置PLC、スイッチ、センサなど●❶ナノリニアNT…XZ、NT…XZH●❼セットアップソフトウェアパソコン●❻●❺●❽●ACSERVOADV Series●❷X軸ドライバ ●❸Z軸ドライバACSERVOADV Series●❾●❽●❹●❹●❺●Ⅱ 251 Ⅱ 252NT システム構成

Page 141:■NT38V用ドライバNCRの仕様●低電圧(DC24V)仕様で、サイズ115×100×33.8mmとコンパクト設計。装置の小型化、省スペース化に貢献します。●イナーシャ・粘性摩擦の2種類のパラメータを設定し、フィードフォワードトルク制御を行うことで整定時間の短縮を実現します。●PC編集ソフトウェアは、パラメータ編集機能のほか、4chリアルタイムオシロ機能、リモート運転機能、共振周波数測定機能などを備え、機械の診断、リニアモータの立上げ・調整が容易に行えます。表15 ドライバの仕様呼び番号項目NCR-DCE0D3B-021D-S135電気的仕様入力電源方式 主電源・制御回路電源分離型電圧仕様連続:DC24V ±5% (min.22.8V∼max.25.2V)瞬時:DC21.6V∼DC28V (トルク保証範囲外)電流仕様 DC8.0A (定格出力時)連続出力電流 6.5A (rms)最大出力電流 13.0A (rms)キャリア周波数 10kHz入出力信号 入力8点、出力4点(DC12∼24V フォトカプラ絶縁)通信 USB2.0(Full Speed):1ch、RS-422Aシリアル通信:1ch機能仕様主機能 速度制御/パルス列運転、トルク制限、自己診断、正逆反転切替運転モードパルス列運転外部パルス列指令方向別パルス/方向+送りパルス/90°位相差パルス切替ラインドライバ:4MHz (4逓倍時 16MHz)相順切替、電子ギア(パルス列指令比)、指令平均化機能内部パルス列指令寸動、位置決め7点、原点復帰、加減速2点、S字加減速(指令平均化機能使用)速度制御運転アナログ指令電圧ゲイン切替、内部速度指令7点加減速時間:0∼9.999secトルク制限 パラメータ設定2点(正逆別々)サーボ性能向上機能速度ゲイン切替:3点(通常、低速、GSEL切替)、トルク指令フィルタフィードフォワード(速度、イナーシャ、粘性摩擦)、ノッチフィルタ5点制御入力信号(8点)起動、サーボオン、トルク制限、速度ゲイン選択、リセット、モード選択、指令選択、指令パルス入力禁止、指令方向反転、非常停止、内部パルス起動、原点LS、原点マーカ正方向オーバートラベル、逆方向オーバートラベル、現在位置データ出力要求正方向寸動、逆方向寸動、アラームコード出力要求、指令データ反映禁止制御出力信号(4点)レディ、アラーム、偏差範囲A・B、ブレーキ解除、速度ゼロ、マーカ出力、非常停止中、原点復帰完了モニタ機能4点の状態表示用LEDによる状態確認 PWR(緑)・RDY(緑)・RUN(緑)・ALM(赤)オプションの専用編集ソフトにて以下モニタが可能各種状態表示、アラーム表示、オシロ機能による状態表示等保護機能エンコーダ異常、磁極検出異常、過速度、過負荷、不足電圧、過電圧、過電流異常、偏差異常、DSP異常、過熱保護環境周囲温度 0∼55℃、保存:−20∼60℃周囲湿度 90%RH以下(結露のないこと)、保存:85%RH以下(結露のないこと)耐振動 0.5G(10∼50Hz)ただし、共振無き事耐衝撃 5G質量 0.41kg10021.83216.541071155■NT55V、NT80V、NT…XZ、NT…XZH用ドライバADVAの仕様●従来のパルス列指令入力に加えて高速モーションネットワークEtherCATにも対応。●インテリジェント端子で、10入力端子及び6出力端子、アナログ入力0∼±10Vの制御が可能です。●高い制御性により整定時間を短縮し、生産性の更なる向上を実現します。●セットアップソフトウェアのパラメータ設定、モニタ表示、運転トレースやオートチューニング機能などにより機械の診断やリニアモータの立ち上げ・調整が容易に行えます。表16.1 ドライバの仕様(パルス列指令仕様)呼び番号項目ADVA-R5ML ADVA-01NL基本仕様最大定格電流 1.2Arms最大瞬時電流 3.6Arms電源設備容量 0.3kVA入力電源(主回路)単相 100∼115V +10/−15% 50/60Hz ±5%単相/三相 200∼230V +10/−15% 50/60Hz ±5%入力電源(制御回路) 単相 200∼230V +10/−15% 50/60Hz ±5%保護構造(1) 開放型IP00制御方式 線間正弦波変調PWM方式制御モード 位置制御/速度制御/推力制御対応リニアスケールA、B、Z信号(ラインドライバ出力:AM26C31またはAM26LS31相当)推奨エンコーダ:LIE5シリーズ(JENA社製)リニアスケール最高周波数 20Mpps(4逓倍後)[5Mpps(原信号)]入出力関係機能速度指令/制限入力 アナログ入力:0∼±10V/最高速度(ゲイン設定可)推力指令/制限入力 アナログ入力:0∼±10V/最大推力(ゲイン設定可)位置指令入力ラインドライバ信号:20Mpps以下(4逓倍後、非絶縁入力) 2Mpps (4逓倍後、絶縁入力)①位相差2相パルス入力 ②正転/逆転方向パルス入力 ③指令パルス+符号入力①∼③のいずれかより選択 電子ギア機能使用可能接点入力信号インテリジェント端子で、10入力端子をパラメータで機能選択(DC12/24V接点信号/オープンコレクタ信号入力 内部DC24V電源供給あり)①サーボオン/②アラームリセット/③制御モード切替/④推力制限/⑤正転駆動禁止/⑥逆転駆動禁止/⑦多段速1∼3/⑧速度比例制御/⑨速度ゼロクランプ/⑩原点リミットスイッチ/⑪原点復帰/⑫パルス列入力許可/⑬偏差カウンタクリア/⑭正転信号/⑮逆転信号/⑯ゲイン切替/⑰積分クランプ/⑱電子ギア切替1、2/⑲外部トリップ(温度センサ(Temp.信号))/⑳推力バイアス/非常停止中接点出力信号インテリジェント端子で、6出力端子をパラメータで機能選択(オープンコレクタ信号出力;シンク出力)①サーボ準備完了/②アラーム/③位置決め完了/④速度到達/⑤ゼロ速度検出/⑥ブレーキ解除/⑦サーボオンアンサ/⑧推力制限中/⑨過負荷予告/⑩磁極位置推定完了/⑪速度制限中/⑫原点復帰完了/⑬DB状態/⑭FOT信号モニタ/⑮ROT信号モニタ/⑯駆動禁止中/⑰パルス列入力許可アンサ/⑱非常停止中信号モニタ出力A、B相信号出力:ラインドライバ信号出力、(出力分周比設定可)Z相信号出力:ラインドライバ/オープンコレクタ信号出力モニタ出力2ch、0∼±5V、以下の機能からパラメータにより選択速度検出値/推力指令値/速度検出値/速度偏差/位置偏差/電流値/指令パルス周波数/回生制動使用率/電子サーマル積算値/主回路電圧(PN電圧)/アナログ入力値(AI1∼4)/出力推力制限/正側推力制限/負側推力制限内部機能内蔵オペレータ 5桁数字表示器、5キー押しボタン/ディップスイッチ(モドバス通信の設定)外部オペレータ Windows XP/Vista(32bit)パソコン接続可能(USB2.0 FULL SPEED)回生制動回路 内蔵(ただし制動抵抗不付き)ダイナミックブレーキ(2) 内蔵(動作条件は設定可) 保護機能過電流、過負荷、制動抵抗器過負荷、主回路過電圧、メモリ異常、主回路不足電圧、CT異常、CPU異常1、外部トリップ(モータ温度異常)、サーボON時地絡検出、制御回路不足電圧、サーボアンプ温度異常、駆動禁止異常、パワーモジュール異常、セーフティ回路異常、緊急遮断、エンコーダ異常、アンマッチエラー、電源再投入要求、磁極位置推定異常、磁極位置推定未実行、位置偏差異常、速度偏差異常、過速度異常、瞬時停電、主回路電源異常、駆動範囲異常使用環境周囲温度/保存温度(3) 0∼55℃/−10∼70℃周囲湿度 20∼90%RH (結露しないこと)耐振動(4) 5.9m/s2(0.6G)10∼55Hz使用場所 標高1000m以下、屋内(腐食ガス、塵埃のないところ)質量 0.7kg注(1) 保護方式はJEM1030に準拠します。 (2) ダイナミックブレーキは非常停止用としてお使いください。 (3) 保存温度は輸送中の温度です。 (4) IS C60068-2-6:2010に準拠します。160150654034φ6 ( 75 ) 140(13.5)(28 )Ⅱ 253 Ⅱ 254NT ドライバ仕様

Page 142:●オートチューニング機能ADVA用セットアップソフトウェアのオートチューニング機能を使用する事により、熟練者でなくても簡単に高精度なゲイン調整をする事ができます。 〈条件〉 本体:NT55V25/05R+ADVA-01NL/NT55V25 搭載質量:200g 速度:500mm/s 位置決め完了幅:±5μm 移動距離:10mm 加減速時間:12ms●セットアップソフトウェア●ドライバパラメータの設定・参照・変更・印刷・保存を行います。●リアルタイムに運転状態及び出力状態のモニタを行うことができます。●速度、電流などをグラフ表示します。●試運転やゲインチューニングを補助します。表17 セットアップソフトウェア動作環境項 目 条 件パソコンDOS/VパソコンCPU : Pentium4 1.8G 以上ハードディスク空き容量:1GBバイト以上ディスプレイ解像度:1024×768以上推奨OSWindows VistaWindows XP SP2備考 Windows®は、Microsoft Corporationの米国及びその他の国における登録商標です図25 運転トレース機能表16.2 ドライバの仕様(EtherCAT仕様)呼び番号項目ADVA-R5MLEC ADVA-01NLEC基本仕様最大定格電流 1.2Arms最大瞬時電流 3.6Arms電源設備容量 0.3kVA入力電源(主回路)単相 100∼115V +10/−15% 50/60Hz ±5%単相/三相 200∼230V +10/−15% 50/60Hz ±5%入力電源(制御回路) 単相 200∼230V +10/−15% 50/60Hz ±5%制御方式 線間正弦波変調PWM方式制御モード 位置制御/速度制御/推力制御入出力関係機能アナログ推力制限 アナログ入力:0∼±10V/最高速度(ゲイン設定可)接点入力信号インテリジェント端子で、6入力端子をパラメータで機能選択(DC12/24V接点信号/オープンコレクタ信号入力 内部DC24V電源供給あり)①推力制限/②正転駆動禁止/③逆転駆動禁止/④速度比例制御/⑤速度ゼロクランプ/⑥原点リミットスイッチ/⑦偏差カウンタクリア/⑧ゲイン切替/⑨積分クランプ/⑩エンコーダクリア/⑪外部トリップ(温度センサ(Temp.信号))/⑫プローブ1/⑬プローブ2/⑭非常停止接点出力信号インテリジェント端子で、4出力端子をパラメータで機能選択(オープンコレクタ信号出力;シンク出力)①サーボ準備完了/②アラーム/③位置決め完了/④速度到達/⑤ゼロ速度検出/⑥ブレーキ解除/⑦サーボオンアンサ/⑧推力制限中/⑨過負荷予告/⑩アラームコード1∼7/⑪磁極位置推定完了/⑫ニア信号出力/⑬速度制限中/⑭原点復帰完了/⑮DB状態/⑯FOT信号モニタ/⑰ROT信号モニタ/⑱駆動禁止中/⑲非常停止中モニタ出力2ch、0∼±5V、以下の機能からパラメータにより選択速度検出値/推力指令値/速度指令値/速度偏差/位置偏差/電流値/回生制動使用率/電子サーマル積算値/主回路電圧(PN電圧)/アナログ入力値(AI3∼4)/出力推力制限/正側推力制限/負側推力制限内部機能内蔵オペレータ 2桁数字表示器、ディップスイッチ(EtherCATのノードアドレス設定)外部オペレータ Windows XP/Vista(32bit)パソコン接続可能(USB2.0 FULL SPEED)回生制動回路 内蔵ダイナミックブレーキ(1) 内蔵(動作条件は設定可)保護機能過電流、過負荷、制動抵抗器過負荷、主回路過電圧、メモリ異常、主回路不足電圧、CT異常、CPU異常1、外部トリップ(モータ温度異常)、サーボON時地絡検出、瞬時停電、制御回路不足電圧、サーボアンプ温度異常、主回路電源異常、駆動禁止異常、パワーモジュール異常、セーフティ回路異常、緊急遮断、エンコーダ異常、アンマッチエラー、電源再投入要求、ネットワーク通信異常、DC同期異常、磁極位置推定異常、磁極位置推定未実行、位置偏差異常、速度偏差異常、過速度異常、駆動範囲異常、不足電圧表示使用環境周囲温度/保存温度(2) 0∼55℃/−10∼70℃周囲湿度 20∼90%RH (結露しないこと)耐振動(3) 5.9m/s2(0.6G)10∼55Hz使用場所 標高1000m以下、屋内(腐食ガス、塵埃のないところ)質量 0.7kg注(1) ダイナミックブレーキは非常停止用としてお使いください。 (3) 保存温度は輸送中の温度です。 (4) IS C60068-2-6:2010に準拠します。実速度〔チューニング前〕 指令速度に対して実速度に遅れがみられ、 整定時間が約40msになっている。指令速度〔チューニング後〕 指令速度に対する実速度がほぼ一致しており、 整定時間が約1msとなっている。〔チューニング条件〕 プルダウンから簡単な 調整条件を選択するだけ。図26 オートチューニングⅡ 255 Ⅱ 256NT ドライバ仕様

Page 143:1901601805.5255152555151(75)VC124340 1356615616116866■NT55V、NT80V用ドライバMR-J3の仕様●SSCNETⅢ(高速シリアルバス)に対応。光通信方式による高速、高精度化を実現します。●アドバンスト制振制御、アダプティブフィルタⅡ、ロバスト外乱補償機能などの調整機能により機械の高性能化を実現します。●セットアップソフトウェア(MR Configurator)のパラメータ設定、モニタ表示、マシンアナライザなどにより、機械の診断、リニアモータの立上げ・調整が容易に行えます。表18 ドライバの仕様呼び番号項目MR-J3-10B-MB004U□□□主回路電源電圧・周波数 単相/三相AC200∼230V 50/60Hz許容電圧変動 単相/三相AC170∼253V許容周波数変動 ±5%以内制御回路電源電圧・周波数 単相AC200∼230V 50/60Hz許容電圧変動 単相AC170∼253V許容周波数変動 ±5%以内入力 30Wインターフェース用電源 DC24V±10%(必要電流容量:150mA)制御方式 正弦波PWM制御・電流制御方式ダイナミックブレーキ 内蔵保護機能過電流遮断、回生過電圧遮断、過負荷遮断(電子サーマル)、サーボモータ過熱保護、検出器異常保護、回生異常保護、不足電圧・瞬時停電保護、過速度保護、誤差過大保護構造 自冷、開放(IP00)環境周囲温度 0∼55℃(凍結のないこと)、保存:−20∼65℃(凍結ないこと)周囲湿度 90%RH以下(結露のないこと)、保存:90%RH以下(結露のないこと)雰囲気 屋内(直射日光が当たらないこと)、腐食性ガス・引火性ガス・オイルミスト・塵埃のないこと標高 海抜1 000m以下振動 5.9m/s2以下質量 0.8kg■NT・・・H用ドライバNCRの仕様●ドライバと位置決めユニットとを一体化し、システムの省配線、小型化を実現しました。●デジタル制御により、ドリフトレス、調整バラツキの解消、マン・マシンインターフェースの充実等、信頼性、使いやすさを追求しました。●簡易位置決め運転、パルス列運転がモード選択にて対応でき、広範な用途への適用が可能です。●トルク制御、速度制御が可能です。●直線/S字カーブ加減速、フィードフォワード、トルク指令フィルタ、停止時及び低速時ゲイン切り換え、外乱補償制御等、本格的ソフトウェアサーボにより、機械の剛性にフィットした制御が可能です。●シリアル通信にて、タッチパネル、上位コントローラ等の周辺機器との接続が可能です。●USB 2.0(Full speed)にて専用の編集ソフトとの接続が可能です。表19 ドライバの仕様呼び番号項目NCR-DDA0A1A-051D-T08基本仕様最大定格電流 1.1Arms最大瞬時電流 3.3Arms電源設備容量 0.15kVA入力電源(主回路&制御回路) 単相AC100∼115V(許容電圧変動AC90∼121V)50/60Hz±5%制御方式 3相正弦波PWM方式制御モード 位置(位置制御データ/パルス列)入出力機能指令入力パルス列指令ラインドライバ方式に対応 最高入力周波数は以下に記載①90°位相差パルス 4Mpps(4逓倍で16Mpps)②方向別パルス 4Mpps③方向+送りパルス 4Mpps速度制御運転 アナログ速度指令、内部速度指令(3点)トルク制御運転 アナログトルク指令、内部トルク指令(3点)簡易位置決め運転 手動モード/原点復帰モード/簡易位置決めモードの3つの位置決めモード接点入力信号[基本入力信号8点(初期値)]サーボオン、リセット、指令パルス入力禁止、モード選択1、モード選択2、起動、速度選択、トルク選択<以下の信号は、リモート制御又は入力信号を割付けして使用>非常停止、比例制御、アドレス指定、速度オーバーライド、偏差クリア、トルク制限、正方向オーバートラベル、逆方向オーバートラベル、など接点出力信号[基本出力信号4点(初期値)]サーボレディ、アラーム、ワーニング、位置決め完了<以下の信号は、リモート制御又は出力信号を割付け可能>トルク制限中、速度ゼロ、速度運転モード中、トルク運転モード中、簡易位置決めモード中、パルス列運転モード中、エンコーダマーカ、などエンコーダフィードバックパルス出力90 位相差パルス列出力(分周出力可能。A/B相2信号の最高出力周波数は4逓倍で20Mpps)エンコーダフィードバックパルス入力90 位相差パルス列入力(A/B相2信号の最高入力周波数は4逓倍で20Mpps)モニタ出力①アナログモニタ:2点(各種動作状態の中からパラメータで選択した2点をモニタ可能。)②USB対応専用編集ソフトにて各種モニタ可能内部機能保護機能IPM異常、過電圧、不足電圧、過速度、過負荷、回生抵抗過負荷、偏差オーバーフロー、通信異常、データ異常、CPU異常、エンコーダ異常、自動磁極検出異常、アブソエンコーダ異常等通信機能シリアル通信(RS-422A)により、各種データの送受信が可能です。USB 2.0(Full speed)により、専用編集ソフトとの接続が可能使用環境使用周囲温度/保存温度 0∼55℃/−20∼66℃使用湿度 85%RH以下(結露しないこと)耐振動 0.5G 10∼55Hz使用場所 標高1000m以下、屋内(腐食ガス、塵埃のないところ)質量 1.0kgⅡ 257 Ⅱ 258NTドライバ仕様

Page 144:■NT…XZのピック&プレイスの運転パターン例 以下にピック&プレイスの運転パターンの代表的な例を示します。表20 使用条件項目 使用条件搭載質量 g 50X軸移動量 mm 28Z軸移動量 mm 8P1・P2での静止時間 s 0.091サイクル時間 s 0.4X軸実効推力 N 8.9Z軸実効推力 N 2.50.0353mm以上垂直移動800速度mm/sX軸Z軸+8mm+28mm0.40.09−8mm−28mm0.13 0.13時間 s時間 s−4000.0150.04 0.03550g28mm8mmP1 P2P1→P2へ移動 静止時間 P2→P1へ移動 静止時間備考 速度パターン図はプログラムパターンであり、実際の動作を示したものではありません。NT38V10NT38V18NT38V10/DNT38V18/D注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。4-M2深さ2(1)4-M2用穴5820938(120)(1500)(5.5)12(原点位置)2614223826262 115.3エンコーダモータ5(1/2ストローク長さ) 5(1/2ストローク長さ)51(メカストッパ間)ケーブル引出し方向 R:右方向4-M2深さ2(1)4-M2用穴82301254(120)(1500)(5.5)16(原点位置)2614223826286115.3エンコーダモータ9(1/2ストローク長さ) 9(1/2ストローク長さ)75(メカストッパ間)ケーブル引出し方向 R:右方向4-M2深さ2(1)4-M2用穴58102.5 538(119)(1500)(6.5)27(原点位置)39.75102241263.7564 13.55.3エンコーダモータ5(1/2ストローク長さ) 5(1/2ストローク長さ)51(メカストッパ間)ケーブル引出し方向 R:右方向4-M2深さ2(1)4-M2用穴82102.5 554(119)(1500)(6.5)39(原点位置)39.75102241263.7588 13.55.3エンコーダモータ9(1/2ストローク長さ) 9(1/2ストローク長さ)75(メカストッパ間)ケーブル引出し方向 R:右方向Ⅱ 259 Ⅱ 260NTナノリニア®NT 運転パターン例

Page 145:NT55V25NT55V65注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。12.5(4.5) 111(メカストッパ間)804517.5820(原点位置)(250)(250)(1500)4-M3用穴3022.5 7512042485534-M3深さ4(1)12.5(1/2ストローク長さ)(16)141263(1/2ストローク長さ)ケーブル引出し方向R:右方向エンコーダモータリミット(4.5)32.5(1/2ストローク長さ)151(メカストッパ間)8017.5 4532.5(1/2ストローク長さ)(16)14126355303424830603020(1500)16040(原点位置)(250)(250)4-M3深さ4(1)88-M3用穴ケーブル引出し方向R:右方向エンコーダモータリミットNT80V25NT80V65NT80V120注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。備考1. 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。 2. NT80Vを組み合わせたXY二軸仕様のテーブルで、NT80V25が上軸となる仕様は、 にて組み付けて出荷します。(4.5)12.5(1/2ストローク長さ)20(原点位置)(250)(250)(1500)8-M3用穴22.5 15 45 1512045111(メカストッパ間)9 31 3112.5(1/2ストローク長さ)(16)6-M3深さ5(1)3626880161428011.5ケーブル引出し方向R:右方向エンコーダモータリミットエンコーダモータ(4.5) 151(メカストッパ間)8031 3132.5(1/2ストローク長さ) 940(原点位置)(250)(250)(1500)8-M3用穴12.511.56-M3深さ5(1)32.5(1/2ストローク長さ)3626880(16)1614245454516045ケーブル引出し方向R:右方向リミット(4.5) 271(メカストッパ間)70(原点位置)(250)(250)60 601403131313111.5(1/2ストローク長さ) 845321416(16)806862(1500)12-M3用穴27.5 45 45 45 45 45280(1/2ストローク長さ)10-M3深さ5(1)ケーブル引出し方向R:右方向エンコーダモータリミットⅡ 261ナノリニア®NT Ⅱ 262NT

Page 146:NT88H25NT88H65注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。NT80XZNT90XZH注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。エンコーダメカストッパメカストッパ843-M4深さ834776-M3深さ3(1)3.513687726.526.518510Z軸有効ストローク22.522.5X軸有効ストローク3333264-M4(250)12151554188(原点位置)76210(1400)20 18050980.259.5(原点位置)(600)(1400)8エンコーダモータモータエンコーダモータエンコーダモータエアカプラ取付口M5深さ8(空冷オプション)43.54(1300)(1400)(250)(200)90434エアカプラ取付口M5深さ82603917516.577.5160775551011 429.5292017.57.55460606010268(空冷オプション)2-M3通しメカストッパX軸有効ストローク(原点位置)メカストッパZ軸有効ストローク(原点位置)168(空冷オプション)4-M4深さ8銘 板257472(250)12.517(メカストッパ位置)(1/2ストローク長さ)モータ883829812.517(メカストッパ位置)(1/2ストローク長さ)ケーブル引出し方向10-M3深さ6(1)21.512.5 30 40 308213.54516408-M3用穴 125R:右方向15 25 45 2535mmDINレールへの2-M3用穴取付け(EN5022)483621218514.237.3318.5エンコーダインターフェイス735mmDINレールへの2-M3用穴8-M3用穴(250)(1500)883829820 40 40 40823912.5 45 45 4516025747232.5 32.513.545164037(メカストッパ位置) 3712-M3深さ6(1)(1/2ストローク長さ) (1/2ストローク長さ)取付け(EN5022)483621218514.237.3318.5ケーブル引出し方向R:右方向エンコーダインターフェイスモータ7(メカストッパ位置)Ⅱ 263ナノリニア®NT Ⅱ 264NT

Page 147:SA…DEⅡ 265 Ⅱ 266SA…DE/XSA…DE/S

Page 148:θテーブルメカストッパリニアエンコーダ用ヘッドXテーブルリニアウェイクロスローラベアリング可動子マグネットメカストッパ固定子コイル固定子コイル可動子マグネットロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ−−−−−−XY 軸:±0.0005θ 軸 :±0.5 ∼ 1.5 秒アライメントステージSA駆動テーブル・ベッドの材質センサリニアモータXY軸:リニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵炭素鋼標準装備θ 軸:クロスローラベアリング(θ軸は除く)SA・・・DE253.52.4100.50.170155.9200.50.1500270 8004002.2720度/s最大トルク0.5N·m最大トルク2.0N·m最大トルク4.0N·m有効動作角度50度有効動作角度60度有効動作角度280度定格トルク0.06N·m0.64秒5625pulse/度0.36秒10000pulse/度0.25秒14400pulse/度定格トルク0.4N·m定格トルク1.2N·m6.8400度/s12.3270度/sSA65DE/X SA120DE/X SA65DE/S SA120DE/S SA200DE/S±0.5 ±0.5 ±1.3秒 ±0.8秒 ±0.5秒15652225301202565 200120アライメントステージSA スペック一覧形式と大きさ断面形状有効ストローク長さ mm分解能 μm定格推力 N最大可搬質量 kg最大推力 N繰返し位置決め精度 μm最高速度 mm/s1●コンパクトなXYθテーブル直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。2●XYθの組み合わせが自由直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインナップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。4●高分解能・高応答高分解能リニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しました。3●薄形・コンパクトコアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。●コンパクトなXYθテ ブルPoints直動案内機器・軸受潤滑繰返し位置決め精度位置決め精度 −主な製品仕様 精 度 単位 mmリニアモータ駆動アライメント直 線Ⅱ 267 Ⅱ 268SA…DE/XSA…DE/S

Page 149:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6SA 120 DE / 5 XYS R 2形式1 Ⅱ 270ページ大きさ2 Ⅱ 270ページ分解能3 Ⅱ 270ページ軸構成4 Ⅱ 270ページ表面処理5 Ⅱ 270ページ仕様番号6 Ⅱ 270ページSA…DE:アライメントステージSA65:□ 65、φ 65120:□120、φ120200: φ2001:0.1μm5:0.5μmX軸またはXY軸のエンコーダの分解能を指定します。4 の項でS:θ軸のみを選択する場合は、分解能は無記号としてください。表1に示す軸構成から選択します。。無記号:無電解ニッケルめっきR :黒色クロム皮膜処理表面処理はテーブルとベッドの表面に施します。2:仕様番号2仕様番号は2のみとなります。形式1大きさ2分解能3軸構成4表1 軸構成と適用軸構成 SA65DE SA120DE SA200DEX :X 軸のみ ○ ○ −S :θ軸のみ ○ ○ ○XY :XY の2軸構成 ○ ○−XS :Xθ の2軸構成 ○ ○XYS :XYθの3軸構成 ○ ○表面処理5仕様番号6Ⅱ 269 Ⅱ 270SA…DE/XSA…DE/S呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 150:表2.1 仕様・性能呼び番号項目SA65DE/1X SA65DE/5X SA120DE/1X SA120DE/5X最大推力(1) N 25 70定格推力(2) N 3.5 15有効ストローク長さ mm 10 20最大可搬質量 kg 2.4 5.9分解能 μm 0.1 0.5 0.1 0.5最高速度(3) mm/s 270 500 400 800繰返し位置決め精度(4) μm ±0.5可動部質量 kg 0.17 1.2総質量(5) kg 0.35 2.5使用周囲温度・湿度 0∼40°C・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 表示の速度を超える場合については、 にお問い合わせください。 (4) 製品本体の温度が一定の場合です。 (5) コードの質量は含んでいません。表2.2 仕様・性能呼び番号項目SA65DE/S SA120DE/S SA200DE/S最大トルク(1) N・m 0.5 2.0 4.0定格トルク(2) N・m 0.06 0.4 1.2最大可搬質量 kg 2.2 6.8 12.3有効動作角度 度 50 60 280分解能秒 0.64 0.36 0.25pulse/度 5 625 10 000 14 400最高速度(3) 度/s 720 400 270繰返し位置決め精度(4) 秒 ±1.3 ±0.8 ±0.5可動部慣性モーメント kg・m20.00012 0.002 0.013総質量(5) kg 0.5 2 6使用周囲温度・湿度 0∼40°C・20∼80%RH(結露しないこと)注(1) 最大トルクの持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。 (3) 表示の速度を超える場合については、 にお問い合わせください。 (4) 製品本体の温度が一定の場合です。 (5) コードの質量は含んでいません。図1 動的可搬質量備考 θ軸の動的可搬質量は鋼の立方体として計算した値です。また、加速度はステージ外周部の値として換算しています。動的可搬質量kg0.10.011 10 100加速度 m/s2〈X(Y)軸〉101動的可搬質量kg0.10.011 10 100外周の加速度 m/s2〈θ軸〉101SA120DE/XSA65DE/XSA200DE/SSA120DE/SSA65DE/S表3.1 SA・・・DE/X(X軸)のセンサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさ A B C D E FSA65DE/X 5 2.5 1.5 3 1.5 1.5SA120DE/X 0 3 12 4 2 2備考1. 各数値は目安であり、保証値ではありません。詳細な寸法が必要な際は、 にお問い合わせください。 2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。+−原点原点前+方向リミット−方向リミットメカストッパOFFFE有効ストローク長さ+DOFFOFFCBAⅡ 271 Ⅱ 272SA…DE/XSA…DE/Sセンサ仕様 諸特性

Page 151:アライメントステージSAには専用のドライバが用意されており、表4にシステム構成を示します。ドライバの仕様については、Ⅱ 275ページのドライバ仕様の項をご参照ください。ご注文の際は、表4に示す呼び番号にて別途ご指定ください。表4 システム構成●❶形式と大きさ ●❷ドライバ●❸エンコーダコード●❹モータ中継コード●❺リミット中継コード●❻パルス・リミットコード●❼RS232CコードSA 65DE/X TDL1-1600/06L TAE20Q4-EC ― ― TAE10R6-LD TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)SA 65DE/S TDL1-1600/06S TAE2088-EC ― ― TAE10R6-LDSA 65DE/XY TDL1-1600/06L×2 TAE20Q4-EC×2 ― ― TAE10R6-LD×2TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)×2SA 65DE/XSTDL1-1600/06L+TDL1-1600/06STAE20Q4-EC+TAE2088-EC― ― TAE10R6-LD×2SA 65DE/XYSTDL1-1600/06L×2+TDL1-1600/06STAE20Q4-EC×2+TAE2088-EC― ― TAE10R6-LD×3TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)×3SA120DE/X TDL1-1600/12L TAE2088-EC ― ― TAE10R6-LD TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)SA120DE/S TDL1-1600/12S TAE2088-EC ― ― TAE10R6-LDSA120DE/XY TDL1-1600/12L×2 TAE2088-EC×2 ― ― TAE10R6-LD×2TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)×2SA120DE/XSTDL1-1600/12L+TDL1-1600/12STAE2088-EC×2 ― ― TAE10R6-LD×2SA120DE/XYSTDL1-1600/12L×2+TDL1-1600/12STAE2088-EC×3 ― ― TAE10R6-LD×3TAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)×3SA200DE/S TDL1-1600/20S TAE2088-EC TAE20K5-MC03 TAE10V7-LC03 TAE10R6-LDTAE2089-RSP(Dsub25ピン)TAE2090-RSD(Dsub 9ピン)注(1) SA65DEのXY軸には、エンコーダインターフェイスはありません。備考1. エンコーダコード、モータ中継コードおよびリミット中継コード長さは3mです。 2. パルス・リミットコード長さは1.5mです。 3. RS232Cコード長さは2mです。 4. SA…DEを複数軸で使用する際のドライバ間の軸間ケーブル❽については、 にお問い合わせください。パソコン●❶アライメントステージSA●❷ドライバエンコーダインターフェイス(1)プログラムコントローラCTN481GティーチングボックスTAE10M5-TB●❸●❸●❸●❹●❹●❹●❺●❻●❻●❻●❼●❽ ❽表3.2 SA・・・DE/S(θ軸)のセンサのタイミングチャート単位 度形式と大きさ A B C D ESA65DE/S 4 11 10 5 5SA120DE/S 3 3 6 3 3SA200DE/S 2 4 0 4 4備考1. 各数値は目安であり、保証値ではありません。詳細な寸法が必要な際は、 にお問い合わせください。 2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。OFFOFFOFF原点原点前CCWリミットCWリミットメカストッパ有効動作角+CEBADCWCCWⅡ 273 Ⅱ 274SA…DE/XSA…DE/Sセンサ仕様システム構成

Page 152:●RS232Cインターフェイスを使用したパソコンによる制御が可能です。●オプションのメイルボックス(自動実行プログラムエリア)を付加することで、パソコンなどのホスト側に負荷をかけないドライバのみの自動運転が可能です。ご要望の際は、 にお問い合わせください。●シーケンス入出力による外部機器との接続が可能で、 プログラムコントローラCTN480Gを使用したシステムを構成することができます。表5 ドライバの仕様呼び番号項目TDL1-1600(1)主電源 AC85∼110V 50/60Hz連続定格電流 0.7A瞬時最大電流 4A出力制限 電流フィードバック、オーバヒート(モータ、ドライバ)、推力制御、サーボオフ、+方向移動禁止、−方向移動禁止PWMキャリア周波数 40kHz周囲温度 0∼40°C放熱フィン温度 70°C max(過熱カット式)指令入力 +方向/−方向パルス又は位置指令パルス/方向指令又はA/B相 10MHz max(A/B相は2.5MHz)エンコーダ入力形式 2相インクリメンタルエンコーダ ラインドライバ応答速度 1.5m/s max(分解能0.5μm時)、1.0m/s max(分解能0.1μm時)シーケンス入力 サーボオン、+方向移動禁止、−方向移動禁止、ゲインロー、リセット、運転原点信号出力 原点位置、原点前位置シーケンス出力 サーボレディ、位置決め完了、アラームパラメータキー 4キー(桁選択、増、データ/パラメータ、書き込み)データ表示 LED7セグメント5桁、出力電流/パラメータ/エラーコード等パラメータ項目(不揮発メモリ) 分解能、モード、電子ギア、ゲイン、位置決め完了、電気原点、加速度フィルタ等アナログモニタ 2チャンネル(現在速度、出力電流)振動、衝撃 振動0.5G、衝撃5G 1回質量(参考) 1.2kg注(1) 小形のTDL1-1601もご用意しております。詳細については、 にお問い合わせください。180171(5)φ565651 2172160125122 3SA65DE/XSA65DE/S注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。エンコーダリミットモータコード長さ:(3000)4-M3深さ4(テーブル)(1)4-M2.5深さ4(1)コード長さ:(1450)37.5655950X軸− +408.559365153.9593 5934-M3用穴リミットモータエンコーダ(1450)ccw cwφ108-M3深さ4(1)(等分配置)φ59φ1859(76.5)4-M3用穴65593(3000)3226Ⅱ 275 Ⅱ 276SA…DE/XSA…DE/SアライメントステージSA ドライバ仕様

Page 153:SA65DE/XYSA65DE/XSSA65DE/XYS注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。備考 ケーブル長さについてはSA65DE/XおよびSA65DE/Sの寸法表をご参照ください。X軸Y軸4-M2.5深さ4(1)4-M3深さ4(テーブル)(1)5959 3365591515303.9408.53505937.5654-M3用穴X軸θ軸CCW CW4-M3深さ4(1)4-M3深さ4(1)(等分配置)φ10深さ20φ59φ184-M3用穴5959 33653722153.9(76.5)(等分配置)CCW CW4-M3深さ4(1)(等分配置)φ59φ18φ10深さ204-M3用穴65(76.5)3.915152252Y軸θ軸X軸59 593 3(等分配置)4-M3深さ4(1)SA120DE/XSA120DE/S注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。8-M4深さ6(1)X軸− +(3000)(1450)モータリミットエンコーダ100110110552512010011051051011051204-M4用穴1001010013525254120100 1088 16θ軸cwccwφ120φ90φ368-M4深さ8(1)(等分配置)(3000)(1450)エンコーダリミットモータ4-M4用穴Ⅱ 277 Ⅱ 278SA…DE/XSA…DE/SアライメントステージSA

Page 154:SA120DE/XYSA120DE/XSSA120DE/XYS注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。備考 ケーブル長さについてはSA120DE/XおよびSA120DE/Sの寸法表をご参照ください。8-M4深さ6(1)X軸11012011010055105101001101204-M4用穴5 11025255Y軸8-M4深さ8(1)(等分配置)φ36深さ25(1)φ90φ120θ軸X軸4-M4用穴881201105 5 110CCW CW16135252558-M4深さ8(1)(等分配置)φ36深さ25(1)φ90φ120θ軸Y軸4-M4用穴88120110 5 5 110CCW CW161352525255X軸SA200DE/S注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。16022040305200160 20136 32θ軸cwccwφ200φ140φ568-M5深さ10(1)(等分配置)(250)(1400)エンコーダリミットモータ4-M6用穴エンコーダインターフェイス六角穴付きボタンボルトM4推奨(添付されません)(添付されています)固定用ブラケット1421271004.5204119.216.21.22.9コネクタⅡ 279 Ⅱ 280SA…DE/XSA…DE/SアライメントステージSA

Page 155:LT(LT…CE、LT…LD、LT…H)Ⅱ 281 Ⅱ 282LT

Page 156:リニアモータテーブル LTLT繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0005∼0.0010−−−−−−−駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサリニアモータリニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵高強度アルミニウム合金呼び番号で選択リニアモータテーブルLT スペック一覧ロングストロークタイプLT···LDコンパクトタイプLT···CELT130LDG LT170LDG LT170LDV形式と大きさ断面形状有効ストローク長さ mm分解能 μm定格推力 N最大可搬質量 kg最大推力 N繰返し位置決め精度 μm1501510000.1±0.57000.5±0.520001.0±1.02000LT100CEG LT150CEG154506012000.1±0.57000.5±0.520001.0±1.02000451501527600.1±0.57000.5±0.520001.0±1.03000154506027200.1±0.57000.5±0.520001.0±1.02000451902527200.1±0.57000.5±0.520001.0±1.0300028最高速度 mm/sハイスラストタイプLT···H形式と大きさ断面形状有効ストローク長さ mm分解能 μm定格推力 N最大可搬質量 kg最大推力 N繰返し位置決め精度 μm300自冷:60空冷:75自冷:120空冷:15027100.1±0.57000.5±0.51500(2000)1500(2000)7001500(2000)1500(2000)1.0±1.0LT130H LT170H3090026700.1±0.50.5±0.51.0±1.090最高速度 mm/s単位 mmリニアモータテーブルLTは、可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み光学式リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブルです。軽量な可動テーブルと大きな推力により、高加減速・高応答な動作を可能とします。さらに、先進のサーボ技術が、高い静止安定性と速度安定性を実現しています。コンパクトタイプのLT…CE、ロングストロークタイプのLT…LD、ハイスラストタイプのLT…Hの3タイプをラインナップしており、用途に合わせて最適な形式を選択することができます。主な製品仕様 精 度 コンパクト・高推力・ロングストロークのLTシリーズ!Ⅱ 283 Ⅱ 284LT

Page 157:リニアモータテーブル LT[ コンパクトタイプ ]LT…CE13LT···CEは、テーブル案内部に小形直動案内機器のCルーブリニアウェイLを使用し、可動テーブルには軽量なアルミニウム合金を採用した、コンパクトでも大きな推力を発生するリニアモータテーブルです。PointsCルーブリニアウェイLと小形の光学式リニアエンコーダを採用し、コンパクト化を徹底追求した低断面設計。最小断面高さ30mm(LT100CE)を実現しました。リニアモータテーブルLTは、界磁コイルをもつ可動子と、C形ヨークの内側に対向して配置されたマグネットを持つ固定子で構成されています。マグネットにより常に垂直方法に働く磁束と、電流によってコイルのまわりに発生する回転磁束とにより、コイルは水平方向に力を受けます。(フレミングの左手の法則)磁束の向きに応じた方向にコイル電流を切り換えることで、一方向の連続した推力が得られ、可動子は直線運動を持続します。ハイスラストシリーズは、コイルヨークの上下対になって発生する垂直磁束のなかにコイルを高密度に配置しているので、コンパクトでありながら極めて高い推力が得られます。ダイレクトドライブと先進のサーボ技術により高い速度安定性を実現しています。●コンパクト●高い速度安定性24先進のサーボ技術により高い静止安定性を実現しています。コンパクトでも大きな推力を発生。アルミニウム合金製の軽量な可動テーブルで高加減速・高応答な位置決めを実現しました。タクトタイムの短縮に貢献します。●静止安定性●高加減速・高応答リニアモータテーブルLTの断面構造リニアモータテーブルLTの動作原理リニアエンコーダ用ヘッドコイル基板可動子コイルリニアエンコーダ用スケール原点マークCルーブリニアウェイ 可動テーブルベッドマグネットヨーク固定子マグネットCルーブリニアウェイコイルモジュール 空冷用配管 可動テーブルリニアエンコーダ用ヘッドベッドリニアエンコーダ用スケール原点マーク固定子マグネットマグネットヨークNNN SSNN SSSNSNSN SNSNSS NN SSN SS NSSNSNSNSSN NSNSNSSSSNNNNNNNNSSNNSSテーブルの移動方向テーブルの移動方向 磁束マグネット(固定子)マグネットヨーク(固定子)コイル(可動子)マグネットヨーク(固定子)マグネット(固定子)コイル(可動子)コイルヨーク(可動子)垂直磁束LT…CE、LT…LDLT…Hの構造LT…CE、LT…LDの構造LT…HⅡ 285 Ⅱ 286LT

Page 158:12リニアモータテーブル LT[ ロングストロークタイプ ]LT…LDは、テーブル案内部につなぎ仕様トラックレールのCルーブリニアウェイEを使用し、ロングストロークと高速運転を実現するリニアモータテーブルです。Points●高 速●超ロングストローク123[ ハイスラストタイプ ]LT···Hは、テーブル案内部にCルーブリニアウェイEを使用し、コンパクト性を損なうことなく、リニアモータテーブルLTの中で最も大きな推力を発揮する、重量物の精密位置決めに最適なリニアモータテーブルです。Points軽量テーブルと高推力で高加減速・高応答を実現しています。●高推力●高加減速●空 冷ダイレクトドライブにより高精度の位置決めと高速を両立しています。ロングストロークの用途で要求される高速運転にも対応。最高速度3000mm/sまでの高速運動が可能です。つなぎ仕様トラックレールのCルーブリニアウェイEを採用し、リニアモータ駆動ならではの最大2760mmのロングストロークを実現しました。(これ以上のストローク品に関しましてはにご相談ください。)モータ部の発熱を抑える冷却機構をオプション設定しています。タクトタイムの短縮を実現し、生産効率の向上に貢献します。コンパクトな形状でありながら、最大推力900Nを実現しています。重量物の精密位置決めに最適です。LT…LD LT…HⅡ 287 Ⅱ 288LT

Page 159:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6 7 8 9 10 11LT 100 CE G F - 430 / 5 D SC T2 1形式1 Ⅱ 289ページ大きさ2 Ⅱ 289ページ推力・速度の仕様3 Ⅱ 289ページ可動テーブルの形状4 Ⅱ 290ページストローク長さ5 Ⅱ 290ページ分解能6 Ⅱ 290ページ冷却仕様7 Ⅱ 290ページカバーの指定8 Ⅱ 290ページセンサの指定9 Ⅱ 290ページ可動テーブルの仕様10 Ⅱ 290ページ仕様番号11 Ⅱ 290ページLT…CE:リニアモータテーブルLT コンパクトシリーズLT…LD:リニアモータテーブルLT ロングストロークシリーズLT…H :リニアモータテーブルLT ハイスラストシリーズ100:幅寸法100mm150:幅寸法150mm(LT…CEに適用)(LT…CEに適用)130:幅寸法130mm170:幅寸法170mm(LT…LD、LT…Hに適用)(LT…LD、LT…Hに適用)G :高推力(高速)仕様V :高速仕様 各仕様の適用は表1をご参照ください。無記号形式1大きさ2推力・速度の仕様3表1 推力・速度記号の適用形 式 大きさ推力・速度の仕様G V 無記号LT…CE100 ○ − −150 ○ − −LT…LD130 ○ − −170 ○ ○ −LT…H130 − − ○170 − − ○S:標準F:フランジ付きSを選択した場合は、 8 のカバーの指定の項で、無記号を選択してください。Fを選択した場合は、 8 のカバーの指定の項で、Dを選択してください。表2に示すストローク長さから選択します。1:0.1μm5:0.5μm10:1.0μm無記号:自冷CA :空冷(LT…Hに適用)無記号:カバーなし(標準の可動テーブルに適用)D :カバー付き(フランジ付きの可動テーブルに適用)無記号:センサなしSC :センサ(リミット、原点前)、センサレール付き(LT…CEに適用)LT…LD、LT…Hはセンサを内蔵しています。 9 では無記号としてください。無記号:シングルテーブルT2 :ツインテーブル1 :仕様番号1仕様番号は1のみとなります。可動テーブルの形状4ストローク長さ5表2 ストローク長さ形式と大きさストローク長さmmLT100CEG(S,F) 200、 400、 600、 800、1 000LT100CEG(S,F)…/T2 230、 430、 630、 830LT150CEG(S,F) 400、 600、 800、1 000、1 200LT150CEG(S,F)…/T2 350、 550、 750、 950LT130LDGS 240、 720、1 200、1 680、2 160、2 640、2 760LT130LDGS…/T2 500、 980、1 460、1 940、2 420、2 540LT130LDGF 240、 720、1 200、1 680LT130LDGF…/T2 500、 980、1 460LT170LD(G,V)S 680、1 160、1 640、2 120、2 600、2 720LT170LD(G,V)S…/T2 420、 900、1 380、1 860、2 340、2 460LT170LD(G,V)F 680、1 160、1 640LT170LD(G,V)F…/T2 420、 900、1 380LT130HS 680、1 160、1 640、2 120、2 600、2 710LT130HS…T2 460、 940、1 420、1 900、2 380、2 490LT130HF 680、1 160、1 640LT130HF…T2 460、 940、1 420LT170HS 650、1 130、1 610、2 090、2 570、2 670LT170HS…T2 410、 890、1 370、1 850、2 330、2 430LT170HF 650、1 130、1 610LT170HF…T2 410、 890、1 370分解能6冷却仕様7カバーの指定8センサの指定9可動テーブルの仕様10仕様番号11Ⅱ 289 Ⅱ 290LT 呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 160:表3 LT・・・CEの性能形式と大きさ項目LT100CEG LT150CEG最大推力(1) N 150 450定格推力 N 15 60最大可搬質量 kg 15 45分解能 μm 0.1 0.5 1.0 0.1 0.5 1.0最高速度(2) mm/s 700 2 000 2 000 700 2 000 2 000繰返し位置決め精度(3) μm ±0.5 ±0.5 ±1.0 ±0.5 ±0.5 ±1.0注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 使用するコントローラの最大出力周波数によっては、この速度に達しない場合があります。 (3) 製品本体の温度が一定の場合です。表4 LT・・・LDの性能形式と大きさ項目LT130LDG LT170LDG LT170LDV最大推力(1) N 150 450 190定格推力 N 15 60 25最大可搬質量 kg 15 45 28分解能 μm 0.1 0.5 1.0 0.1 0.5 1.0 0.1 0.5 1.0最高速度(2) mm/s 700 2 000 3 000 700 2 000 2 000 700 2 000 3 000繰返し位置決め精度(3) μm ±0.5 ±0.5 ±1.0 ±0.5 ±0.5 ±1.0 ±0.5 ±0.5 ±1.0注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 使用するコントローラの最大出力周波数によっては、この速度に達しない場合があります。 (3) 製品本体の温度が一定の場合です。表5 LT・・・Hの性能形式と大きさ項目LT130H LT170H最大推力(1) N 300 900定格推力(2)自冷 N 60 120空冷(3) N 75 150最大可搬質量 kg 30 90分解能 μm 0.1 0.5 1.0 0.1 0.5 1.0最高速度(4)(5) mm/s 700 1 500(2 000) 1 500(2 000) 700 1 500(2 000) 1 500(2 000)繰返し位置決め精度(6) μm ±0.5 ±0.5 ±1.0 ±0.5 ±0.5 ±1.0注(1) 最大推力の持続時間は最大1秒です。 (2) 周囲温度が0∼25℃、鋼製架台に固定した場合です。詳細はⅡ 294ページの図11をご参照ください。 (3) 空気流量30NL/minのときです。 (4) 1500mm/sを超える速度については、 にお問い合わせください。 (5) 使用するコントローラの最大出力周波数によっては、この速度に達しない場合があります。 (6) 製品本体の温度が一定の場合です。■LT・・・CEの推力特性図1 LT100CEGの推力特性LT100CEG500 1000 1500 20001002000テーブルの移動速度 mm/s推力 N1001510.11 10 100 1000LT100CEGFLT100CEGSLT100CEG10動的可搬質量 kg加速度 m/s2図3 LT100CEGの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度1000mm/sのときの推力から算出した値です。1004510.11 10 100 1000LT150CEGFLT150CEGSLT150CEG10動的可搬質量 kg加速度 m/s2図4 LT150CEGの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度1000mm/sのときの推力から算出した値です。図2 LT150CEGの推力特性LT150CEG500 1000 1500 20002006000テーブルの移動速度 mm/s推力 N400Ⅱ 291 Ⅱ 292LT 諸特性

Page 161:■LT・・・LDの推力特性図5 LT130LDGの推力特性LT130LDG500 1500 2000 30001002000テーブルの移動速度 mm/s推力 N1000 2500図8 LT130LDの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度1000mm/sのときの推力から算出した値です。130LDGF0.11101001 10 100 1000加速度 m/s2動的可搬質量 kg15LT130LD130LDGS図7 LT170LDVの推力特性LT170LDV2000テーブルの移動速度 mm/s推力 N15010050500 1000 1500 2000 2500 3000図9 LT170LDの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度1000mm/sのときの推力から算出した値です。0.11101001 10 100 1000加速度 m/s2動的可搬質量 kg4528LT170LD170LDGF170LDGS170LDVS170LDVF図6 LT170LDGの推力特性LT170LDG500 1000 1500 20002006000テーブルの移動速度 mm/s推力 N400■LT・・・Hの推力特性LT170H500 1000 1500 200040008001000600200LT130H推力 Nテーブルの移動速度 mm/s図10 LT…Hの推力特性10.111010010 100 1000LT130HLT170H動的可搬質量 kg加速度 m/s2図12 LT…Hの動的可搬質量備考 テーブルの移動速度1000mm/sのときの推力から算出した値です。68556012075110135150LT130HLT130H/CALT170HLT170H/CA25 40環境温度 ℃定格推力 N図11 LT…Hの定格推力特性Ⅱ 293 Ⅱ 294LT 諸特性

Page 162:表6.1 LT・・・CE、 LT・・・LD、 LT・・・Hのシングルテーブルのセンサのタイミングチャート原点原点前−方向リミット+方向リミットメカストッパOFFOFFOFFON(D)(D)CBAストローク長さ+−単位 mm形式と大きさ A B(1) C(1) D(1)LT100CE…/SC 34 3 5 16LT150CE…/SC 44 3 5 16LT130LD 45 3 5 10LT170LD 44 3 5 9LT130H 82 3 17 20LT170H 92 3 17 20注(1) 各数値は目安であり、保証値ではありません。詳細な寸法が必要な際は、 にお問い合わせください。備考 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。表6.2 LT・・・CE、 LT・・・LD、 LT・・・HのツインテーブルのセンサのタイミングチャートOFFOFFOFFONOFFON(D)(D)CCBBAA原点原点前−方向リミット+方向リミットメカストッパ+− +−単位 mm形式と大きさ A B(1) C(1) D(1)LT100CE…/SCT2 34 3 5 16LT150CE…/SCT2 44 3 5 16LT130LD…/T2 45 3 5 10LT170LD…/T2 44 3 5 9LT130H …/T2 82 3 17 20LT170H …/T2 92 3 17 20注(1) 各数値は目安であり、保証値ではありません。詳細な寸法が必要な際は、 にお問い合わせください。備考 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。リニアモータテーブルLTには専用のコントロールユニットが用意されており、表7にシステム構成を示します。コントロールユニットの仕様については、Ⅱ 298ページのコントロールユニット仕様の項をご参照ください。ご注文の際は、表7に示す呼び番号にて別途ご指定ください。表7 システム構成●シングルテーブルのシステム構成例●ツインテーブルのシステム構成例No. 名 称呼び番号LT・・・CE LT・・・CE/SC LT・・・LD LT・・・H●❶ リニアモータテーブル Ⅱ 299∼Ⅱ 310ページをご覧ください●❷ コントロールユニット NCD171G-L2620 NCD171G-L6820●❸ ティーチングボックス TAE1050-TB●❹ 電源コード お客様でご用意ください。●❺ モータ中継コード TAE20C8-MC□□●❻エンコーダ中継コード(1) TAE20S5-EC□□ ― ―リミット・エンコーダ中継コード ― TAE20V0-EC□□ TAE20V1-EC□□●❼ リミット分岐コード(0.1m) TAE20V2-BC●❽ 通信ケーブル(2.0m) TAE1098-RS●❾ 軸間ケーブル(1.0m) TAE1099-LC注(1) センサを装備しないLT…CEに適用します。構成例に示すリミットセンサ接続用のコードはありません。備考 モータ中継コード、エンコーダ中継コード、リミット・エンコーダ中継コード長さは、呼び番号末尾の□□にて3∼10mまで1m単位で指定します。(リミットコード部は、1.5m短くなります。)コード長さが10m未満の場合も2桁で指定します。(3mの場合の例:TAE20C8-MC03)コントロールユニット NCD171G●❷リニアモータテーブル●❶シーケンサティーチングボックス又はパソコン単相AC175∼253V50/60Hz●❸●❹●❻●❺●❽コントロールユニットNCD171GNCD171G●❷コントロールユニット●❷リニアモータテーブル●❶シーケンサ単相AC175∼253V50/60Hz●❸●❹●❻●❻●❺●❺●❽●❼●❾ティーチングボックス又はパソコンⅡ 295 Ⅱ 296LTシステム構成 センサ仕様

Page 163:●プログラムコントローラとサーボドライバをコンパクトに一体化しました。●接続コードが少なくてすみ、配線工数が大幅に削減できます。●本体を複数台使用する場合でもティーチングボックスは1台です。●外部入出力用、センサ用のDC24V電源を内蔵しています。●I/Oシーケンス機能を内蔵しているため、簡単なシステムであればシーケンサ不要です。●各種チェック機能により外部入出力の接続確認が容易です。●プログラムは理解し易い命令語で構成され、プログラム作成が容易です。●フラッシュメモリによるメモリバックアップのため電池交換不要です。●移動中の推力監視、推力制限が可能です。●ティーチングボックスを補助記憶装置として利用可能です。●多様な原点復帰方式により、センサを外付けしなくても原点復帰が可能です。●RS232Cインターフェースによりパソコンとの接続が可能です。●CEマーキング(低電圧指令、EMC指令)への適合を確認しています。●二軸パラレル運転並列に配置された2台のリニアモータテーブルLTを剛体結合し、ニ軸駆動によるパラレル運転を行うことができます。従来の一軸駆動・一軸従動方式に比較し、この二軸パラレル運転は、筐体のねじれや左右駆動軸の遅れが最小限の安定した位置決め機構を実現します。フラットパネルディスプレイ製造装置など、大きなワークの搬送や広い作業エリアが要求される検査装置に最適です。二軸パラレル運転は個別対応となります。製品仕様などの詳細については、 にお問い合わせください。駆動方式による特性比較二軸パラレル運転 一軸駆動・一軸従動方式・ニ軸を駆動するので大きな推力が得られる。・左右のテーブルの駆動により、テーブルの遅れや筐体のねじれが最小限の位置決め機構を実現。・テーブルの遅れや筐体のねじれが最小限のため、高い位置決め精度が確保できる。・ニ軸同期制御システムと比較し、コストを低く抑えることができる。・一軸の駆動のため、大きな推力を得ることができない。・駆動は一軸のみのため、従動側テーブルの遅れや筐体のねじれが生じやすい。・従動側の遅れや筐体のねじれが生じるため、位置決め精度が確保できない。 システム構成例この構成例は、 プログラムコントローラCTN481Gを上位指令装置とした、X1、X2テーブルのパラレル運転のシステム構成です。コントロールユニットNCD171GプログラムコントローラCTN481GX1テーブル用 X2テーブル用 Yテーブル用X1テーブル X2テーブルYテーブル表8 コントロールユニットの仕様呼び番号項目NCD171G-L2620 NCD171G-L6820制御仕様制御軸数 1軸適用リニアモータ LT100CE、LT150CE、LT130LD、LT170LD LT130H、LT170Hフィードバック インクリメンタルリニアエンコーダ分解能 0.1μm、0.5μm、1.0μm指令入力位置制御外部 +方向/−方向パルス、位置指令パルス/方向指令、A/B相より選択 最大5MHzプログラム ±2147483647パルス(指令最大値)速度制御 アナログ ±10V/定格速度(パラメータにより可変)分解能10V/372分割プログラム仕様入力方法 MDI、ティーチング、RS232Cによるパソコン入力指令入力方式 アブソリュート指令 又は インクリメンタル指令プログラム容量 11Kバイト(1100ステップ以上)位置決めポイント数 512ポイント機能ジャンプ、コール、繰返し、速度設定、加減速設定、タイマ制御、I/O制御、入力条件分岐、各種編集機能(作成、消去、削除、挿入など)入出力仕様入力入力点数 LS入力:3点、I/O入力:20点操作入力スタート、ストップ、非常停止、+/−方向移動手動運転、原点復帰、アラームリセット、偏差カウンタリセット、サーボ制御、割込みなど(I/O入力にパラメータで割付け)入力方式 フォトカプラ双方向入力(無電圧接点、オープンコレクタ、オープンエミッタ対応)出力出力点数 I/O出力:12点操作出力自動運転中、リミット作動、非常停止、原点復帰完了、準備完了、アラーム、位置決め完了、原点前センサ(I/O出力にパラメータで割付け)出力方式 オープンエミッタ出力(最大開閉電圧:30V 最大負荷電流:100mA)入出力用電源 DC24V±5% 500mA保護機能 過電流、過電圧、過負荷、電圧低下、エンコーダ異常、偏差異常、回生抵抗過熱、CPU異常などその他の主な機能RS232C(読取り、書込み、ダイレクト実行など)、ソフトウェアリミット、推力制限、推力監視、移動中速度変更、LS論理変更、各種チェック機能一般仕様主電源電圧 単相AC200∼230V±10%(1) 50/60Hz連続定格電流 0.6Arms 2.4Arms瞬時最大電流 4.7Arms 15.0Arms周囲温度 0∼40℃ 保存時−10∼60℃周囲湿度 35∼85%RH(結露しないこと)停電対策 フラッシュメモリ(電池交換不要)質量本体 :1.7kg 本体 :1.9kgティーチングボックス:0.5kg ティーチングボックス:0.5kg注(1) NCD171G-L2620のAC100V仕様をご要望の際は、 にお問い合わせください。TB 110(15)80(90)10(15)60(70)22284(94)66049.4160.45169.59.5216235250POWERORGSETCN1T.BOXCOM.IDCN2CN3CN4CN5PENLE.MOTORUNCD171G-L2600PLS/LMTOUTENC/LMTINRS-485DOWNUPAC100V/200V( )内の数値はNCD171G-L6820の寸法を示します。●CEマーキングについてコントロールユニットのCEマーキングは、次の評価規格への適合の確認によるものです。低電圧指令:EN50178EMC指令 :EN55011 Gr1 ClassA、EN61000-6-2EMC指令の適合は当社が選定したシステム構成において確認しています。実際の機械・装置に組み込んだ状態においては、配線や設置条件などが異なることが考えられますので、機械・装置でのEMC指令への適合については、LTを組み込んだ最終機械・装置での測定が必要となります。Ⅱ 297 Ⅱ 298LTシステム構成コントロールユニット仕様

Page 164:LT100CEGS シングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT100CEGS− 200 200 420 50 320 10 4.90.58LT100CEGS− 400 400 620 30 560 16 6.9LT100CEGS− 600 600 820 50 720 20 9.0LT100CEGS− 800 800 1 020 30 960 26 11.1LT100CEGS−1000 1 000 1 220 50 1 120 30 13.1注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。(200)Nリミット3024.5(14) 9213 16 168モータエンコーダ(1350)S(ストローク)1624-M4深さ7(1)n-M4用穴492LK(取付穴:80ピッチ)10080LT100CEGS/T2 ツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT100CEGS−230/T2 230 620 30 560 16 7.50.58LT100CEGS−430/T2 430 820 50 720 20 9.6LT100CEGS−630/T2 630 1 020 30 960 26 11.7LT100CEGS−830/T2 830 1 220 50 1 120 30 13.7注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。92 92(200)Nリミット3024.5(14)1008モータ13 16 16162 1624-M4深さ7(1) 4-M4深さ7(1)(1350)エンコーダ8080S+53n-M4用穴LK(取付穴:80ピッチ)924LT100CEGF/D カバー付きシングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT100CEGF− 200/D 200 420 50 320 10 5.60.93LT100CEGF− 400/D 400 620 30 560 16 7.8LT100CEGF− 600/D 600 820 50 720 20 10.0LT100CEGF− 800/D 800 1 020 30 960 26 12.2LT100CEGF−1000/D 1 000 1 220 50 1 120 30 14.4注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。(200)リミット5024.5(14)1001151058エンコーダ13 16 16NL92K(取付穴:80ピッチ)S(ストローク)1624-M4深さ8n-M4用穴924モータ(1350)LT100CEGF/DT2 カバー付きツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT100CEGF−230/DT2 230 620 30 560 16 8.70.93LT100CEGF−430/DT2 430 820 50 720 20 10.9LT100CEGF−630/DT2 630 1 020 30 960 26 13.2LT100CEGF−830/DT2 830 1 220 50 1 120 30 15.4注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。リミット(200)N5024.5(14)1001158モータエンコーダ (1350)16 16134-M4深さ8 4-M4深さ8162 16210510592 9292LK(取付穴:80ピッチ)S+53n-M4用穴4Ⅱ 299リニアモータテーブルLT Ⅱ 300LT

Page 165:LT150CEGS シングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT150CEGS− 400 400 720 60 600 14 12.41.5LT150CEGS− 600 600 920 60 800 18 15.5LT150CEGS− 800 800 1 120 60 1 000 22 18.6LT150CEGS−1000 1 000 1 320 60 1 200 26 21.6LT150CEGS−1200 1 200 1 520 60 1 400 30 24.7注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。(14)150モータ8エンコーダ(1200)23 16 242100804-M5深さ7(1) 4-M4深さ7S(ストローク) 16n-M5用穴1405N14092リミット (200)4023.5K(取付穴:100ピッチ)L(1)LT150CEGS/T2 ツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT150CEGS−350/T2 350 920 60 800 18 17.01.5LT150CEGS−550/T2 550 1 120 60 1 000 22 20.1LT150CEGS−750/T2 750 1 320 60 1 200 26 23.1LT150CEGS−950/T2 950 1 520 60 1 400 30 26.2注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。リミット (200)4023.5(14)150N1409214092LK(取付穴:100ピッチ)1008010014080n-M5用穴23 16モータエンコーダ (1200)84-M5深さ7(1) 4-M5深さ7(1)4-M4深さ7 4-M4深さ7(1)S+5242 242 1635(1)LT150CEGF/D カバー付きシングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT150CEGF− 400/D 400 720 60 600 14 14.82.4LT150CEGF− 600/D 600 920 60 800 18 18.1LT150CEGF− 800/D 800 1 120 60 1 000 22 21.5LT150CEGF−1000/D 1 000 1 320 60 1 200 26 24.8LT150CEGF−1200/D 1 200 1 520 60 1 400 30 28.2注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。リミット6523.5(14)1508モータエンコーダ23 16(1200)242(200)N14092K(取付穴:100ピッチ)L14051684-M5深さ104-M4深さ8155S(ストローク)n-M5用穴16LT150CEGF/DT2 カバー付きツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT150CEGF−350/DT2 350 920 60 800 18 20.52.4LT150CEGF−550/DT2 550 1120 60 1000 22 23.9LT150CEGF−750/DT2 750 1320 60 1200 26 27.3LT150CEGF−950/DT2 950 1520 60 1400 30 30.6注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。備考 寸法図中の破線部は、センサ付き仕様/SCを示しています。(200)リミット6523.51681551508モータエンコーダ(14)N1409214092LK(取付穴:100ピッチ)n-M5用穴1554-M5深さ104-M4深さ84-M5深さ104-M4深さ8S+53242 242(1200)23 16 161405Ⅱ 301リニアモータテーブルLT Ⅱ 302LT

Page 166:LT130LDGS シングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130LDGS− 240 240 520 80 360 8 7.61.7LT130LDGS− 720 720 1 000 80 840 16 13.5LT130LDGS−1200 1 200 1 480 80 1320 24 19.4LT130LDGS−1680 1 680 1 960 80 1800 32 25.3LT130LDGS−2160 2 160 2 440 80 2280 40 31.2LT130LDGS−2640 2 640 2 920 80 2760 48 37.1LT130LDGS−2760 2 760 3 040 80 2880 50 38.6注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1050N1030リミット(200)120200LK(取付穴:120ピッチ)87.5 51S(ストローク) 101205n-M4用穴4-M5深さ9(1)433.513036100+−LT130LDGS/T2 ツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130LDGS− 500/T2 500 1000 80 840 16 15.21.7LT130LDGS− 980/T2 980 1480 80 1320 24 21.1LT130LDGS−1460/T2 1460 1960 80 1800 32 27.0LT130LDGS−1940/T2 1940 2440 80 2280 40 32.9LT130LDGS−2420/T2 2420 2920 80 2760 48 38.8LT130LDGS−2540/T2 2540 3040 80 2880 50 40.3注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。5010130363.5 4330 10N120200(200)リミット 87.5 514-M5深さ9(1)LK(取付穴:120ピッチ)S(ストローク)+10 1012020010087.5 514-M5深さ9(1)510n-M4用穴+− +−100120LT130LDGF/D カバー付きシングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130LDGF− 240/D 240 520 80 360 8 8.32.0LT130LDGF− 720/D 720 1 000 80 840 16 14.6LT130LDGF−1200/D 1 200 1 480 80 1 320 24 20.9LT130LDGF−1680/D 1 680 1 960 80 1 800 32 27.2注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。6510N10301202001304318.5(200)リミット4-M5深さ10 n-M4用穴K(取付穴:120ピッチ)L10S(ストローク)120513043.51453687.5 51+−LT130LDGF/DT2 カバー付きツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130LDGF− 500/DT2 500 1 000 80 840 16 16.62.0LT130LDGF− 980/DT2 980 1 480 80 1 320 24 22.8LT130LDGF−1460/DT2 1 460 1 960 80 1 800 32 29.1注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。106513043.518.5 4336145リミットN1030 S(ストローク)+1020012020012010K(取付穴:120ピッチ)L10n-M4用穴1204-M5深さ104-M5深さ10587.5 5187.5 51130130(200)−+ +−Ⅱ 303リニアモータテーブルLT Ⅱ 304LT

Page 167:LT170LDGS シングルテーブル・高推力仕様LT170LDVS シングルテーブル・高速仕様単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170LDGS− 680LT170LDVS− 680 680 1 000 100 800 12 22.62.5LT170LDGS−1160LT170LDVS−1160 1 160 1 480 100 1 280 18 32.7LT170LDGS−1640LT170LDVS−1640 1 640 1 960 100 1 760 24 42.7LT170LDGS−2120LT170LDVS−2120 2 120 2 440 100 2 240 30 52.8LT170LDGS−2600LT170LDVS−2600 2 600 2 920 100 2 720 36 62.9LT170LDGS−2720LT170LDVS−2720 2 720 3 040 80 2 880 38 65.4注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1355170368.5 43 リミット(200)30 9NL160242K(取付穴:160ピッチ)S(ストローク) 95160n-M5用穴+−125115.5 514-M6深さ9(1)LT170LDGS/T2 ツインテーブル・高推力仕様LT170LDVS/T2 ツインテーブル・高速仕様単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170LDGS− 420/T2LT170LDVS− 420/T2 420 1 000 100 800 12 25.12.5LT170LDGS− 900/T2LT170LDVS− 900/T2 900 1 480 100 1 280 18 35.2LT170LDGS−1380/T2LT170LDVS−1380/T2 1 380 1 960 100 1 760 24 45.2LT170LDGS−1860/T2LT170LDVS−1860/T2 1 860 2 440 100 2 240 30 55.3LT170LDGS−2340/T2LT170LDVS−2340/T2 2 340 2 920 100 2 720 36 65.4LT170LDGS−2460/T2LT170LDVS−2460/T2 2 460 3 040 80 2 880 38 67.9注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。5513170368.5 43 リミット(200)115.5 51125N30160242LK(取付穴:160ピッチ)S(ストローク)+8 10160242 951604-M6深さ9(1)4-M6深さ9(1)n-M5用穴− +− +51115.59125LT170LDGF/D カバー付きシングルテーブル・高推力仕様LT170LDVF/D カバー付きシングルテーブル・高速仕様単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170LDGF− 680/DLT170LDVF− 680/D680 1 000 100 800 12 24.02.8LT170LDGF−1160/DLT170LDVF−1160/D1 160 1 480 100 1 280 18 34.6LT170LDGF−1640/DLT170LDVF−1640/D1 640 1 960 100 1 760 24 45.2注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。701317043.523.5 433618530 9N170(200)リミット115.5 514-M6深さ12− +160242LK(取付穴:160ピッチ)S(ストローク) 91605n-M5用穴LT170LDGF/DT2 カバー付きツインテーブル・高推力仕様LT170LDVF/DT2 カバー付きツインテーブル・高速仕様単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170LDGF− 420/DT2LT170LDVF− 420/DT2420 1 000 100 800 12 26.92.8LT170LDGF− 900/DT2LT170LDVF− 900/DT2900 1 480 100 1 280 18 37.5LT170LDGF−1380/DT2LT170LDVF−1380/DT21 380 1 960 100 1 760 24 48.0注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1317043.523.5 433670185(200)リミット30 9N242160170− + − +LK(取付穴:160ピッチ)S(ストローク)+8 10 242160916054-M6深さ12n-M5用穴51115.54-M6深さ1217051115.5Ⅱ 305リニアモータテーブルLT Ⅱ 306LT

Page 168:LT130HS シングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130HS− 680 680 1 010 85 840 16 15.62.5LT130HS−1160 1 160 1 490 85 1 320 24 21.7LT130HS−1640 1 640 1 970 85 1 800 32 27.8LT130HS−2120 2 120 2 450 85 2 280 40 33.9LT130HS−2600 2 600 2 930 85 2 760 48 40.0LT130HS−2710 2 710 3 040 80 2 880 50 41.4注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。5510(49)3 50(150)2045N1002001204-M5深さ10(1) n-M4用穴20SK(取付穴:120ピッチ)L76621205130リミットLT130HS/T2 ツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130HS− 460/T2 460 1 010 85 840 16 18.12.5LT130HS− 940/T2 940 1 490 85 1 320 24 24.2LT130HS−1420/T2 1 420 1 970 85 1 800 32 30.3LT130HS−1900/T2 1 900 2 450 85 2 280 40 36.4LT130HS−2380/T2 2 380 2 930 85 2 760 48 42.5LT130HS−2490/T2 2 490 3 040 80 2 880 50 43.9注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。5510130(49)3 50 62 76 62 76N45 20 2001202001204-M5深さ10(1) 4-M5深さ10(1)Aテーブル BテーブルLK(取付穴:120ピッチ)10 S+10 20n-M4用穴1205(150)100100リミットLT130HF/D カバー付きシングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130HF− 680/D 680 1 010 85 840 16 15.92.9LT130HF−1160/D 1 160 1 490 85 1320 24 22.0LT130HF−1640/D 1 640 1 970 85 1800 32 28.1注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。2045N145(49)130130(56)(150)3 50リミット766220SLK(取付穴:120ピッチ)4-M5深さ10 n-M4用穴12057010200120LT130HF/DT2 カバー付きツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT130HF− 460/DT2 460 1 010 85 840 16 18.82.9LT130HF− 940/DT2 940 1 490 85 1 320 24 24.9LT130HF−1420/DT2 1 420 1 970 85 1 800 32 31.0注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1070130(56)3 50(49)(150)14545 20N120200 10130リミット62 764-M5深さ1062 76130S+10120200 20n-M4用穴K(取付穴:120ピッチ)L51204-M5深さ10Ⅱ 307リニアモータテーブルLT Ⅱ 308LT

Page 169:LT170HS シングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170HS− 650 650 1 020 110 800 12 25.14.0LT170HS−1130 1 130 1 500 110 1 280 18 34.9LT170HS−1610 1 610 1 980 110 1 760 24 44.6LT170HS−2090 2 090 2 460 110 2 240 30 54.4LT170HS−2570 2 570 2 940 110 2 720 36 64.1LT170HS−2670 2 670 3 040 80 2 880 38 66.4注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。6313170(49)(150)509.522020 2055NL70 70S1605n-M5用穴6-M6深さ12(1)7672135リミットK(取付穴:160ピッチ)LT170HS/T2 ツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(2)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170HS− 410/T2 410 1 020 110 800 12 29.14.0LT170HS− 890/T2 890 1 500 110 1280 18 38.9LT170HS−1370/T2 1 370 1 980 110 1760 24 48.6LT170HS−1850/T2 1 850 2 460 110 2240 30 58.4LT170HS−2330/T2 2 330 2 940 110 2720 36 68.1LT170HS−2430/T2 2 430 3 040 80 2880 38 70.4注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1363170(49)509.5135135220 102055N70 7022070 70LK(取付穴:160ピッチ)リミット(150)72 76 72 76Aテーブル BテーブルS+106-M6深さ12(1) 6-M6深さ12(1)n-M5用穴201605LT170HF/D カバー付きシングルテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170HF− 650/D 650 1 020 110 800 12 25.54.4LT170HF−1130/D 1 130 1 500 110 1 280 18 35.2LT170HF−1610/D 1 610 1 980 110 1 760 24 45.0注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。7813170(56)185(49)(150)9.5 50リミット6-M6深さ121702055N7070220 S 20LK(取付穴:160ピッチ)1605n-M5用穴72 76LT170HF/DT2 カバー付きツインテーブル単位 mm呼び番号ストローク長さS(1)全長Lベッド取付穴 テーブル総質量kg可動部質量kgN K nLT170HF− 410/DT2 410 1 020 110 800 12 29.94.4LT170HF− 890/DT2 890 1 500 110 1 280 18 39.6LT170HF−1370/DT2 1 370 1 980 110 1 760 24 49.4注(1) この他のストローク長さについては にお問い合わせください。1378(56)55 20N9.5 5070 7022070 70220L170170Aテーブル(49)185(150)n-M5用穴20Bテーブル10 S+10K(取付穴:160ピッチ)6-M6深さ12リミット72 76 72 7616056-M6深さ12170Ⅱ 309リニアモータテーブルLT Ⅱ 310LT

Page 170:RTⅡ 311 Ⅱ 312RT

Page 171:RTロータリテーブル RT駆動軸受潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ± 3±20−−−−−−DDモータクロスローラベアリング内蔵なし高硬度アルミニウム合金呼び番号で選択上面テーブル遮へいシールセンサ遮へい板ベッドPoints1●バックラッシやロストモーションのない 回転位置決めテーブルDDモータと高分解能の光学式エンコーダ、クロスローラベアリングで構成された、バックラッシやロストモーションのない高速・高精度な回転位置決めテーブルです。2●高速・高精度な位置決めが可能DDサーボアクチュエータを採用することで、最高回転数2.5s-1、繰返し位置決め精度±3秒の高速回転と高精度を両立しています。3●高分解能光学式エンコーダにより 微小回転位置決めが可能エンコーダは、2,621,440分割の超高分解能。最小回転角度は約0.5秒で、微小な回転位置決め用途に対応できます。4●コンパクトでなめらかな回転あらゆる方向に対して高い剛性を発揮するクロスローラベアリングを採用しているので、低断面・高剛性・高精度を実現。回転によるテーブル上面の振れも小さく、なめらかな作動です。●RTの動作原理形状 形式と大きさ 回転範囲テーブルの直径(mm)RT158A2バリエーションφ158 360度エンドレスセンサ・上面テーブル付きRT158A2/SCT単位 秒主な製品仕様 精 度 ステータ・コアロータ・コアコイルマグネットφ158φ158423φ15860(59)φ158Ⅱ 313 Ⅱ 314RT

Page 172:呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5RT 158 A2 / SCT 045 - DR24形式1 Ⅱ 315ページ大きさ2 Ⅱ 315ページセンサ仕様3 Ⅱ 315ページリミット位置の指定4 Ⅱ 315ページ専用ドライバの指定5 Ⅱ 315ページRT…A2:ロータリテーブルRT158:テーブルの直径158mm無記号:センサなしMT :センサなし・上面テーブル付きSCT :センサ付き・上面テーブル付き000:遮へいシール添付015:± 15 、030:± 30 、045:± 45 、060:± 60075:± 75 、090:± 90 、105:±105 、120:±120135:±135 、150:±150リミットセンサの動作位置を指定します。遮へいシール添付(000を指定)は、お客様で遮へいシールを必要な角度だけ切り取って、リミットの位置を調整していただきます。 の項でセンサなし(無記号又はMT)を指定した場合は、無記号としてください。DR24:専用ドライバを添付(ドライバⅠ/O電源 DC24V仕様)DR5 :専用ドライバを添付(ドライバⅠ/O電源 DC 5V仕様)形式1大きさ2センサ仕様3リミット位置の指定43専用ドライバの指定5表1 モータ仕様形式と大きさ項目RT158A2回転範囲 360度エンドレス最大トルク N・m 4最高回転数 s−12.5耐荷重 N 100エンコーダ分割数(1) pulse/rev. 2,621,440回転部のイナーシャ kg・m25.5×10−3センサ付き・上面テーブル付き 8.5×10−3注(1) UD1BG3ドライバとの組合せ時の値を示します。■トルク・速度特性図1 トルク特性0123451.0 1.5 2.0 2.50.5回転数 s−1出力トルク N・m表2 精度形式と大きさ項目RT158A2繰返し位置決め精度(1)(2) 秒 ±3位置決め精度(1)(2) 秒 ±20テーブル上面の振れ(3) mm 0.010注(1) UD1BG3ドライバとの組合せ時の値を示します。 (2) DDモータ単体の理論値を示します。 (3) 上面テーブルの有無を問わず、全てのRT158A2に適用します。Ⅱ 315 Ⅱ 316RT呼び番号と仕様の詳細 呼び番号 諸特性

Page 173:図2 センサのタイミングチャートCCW CW(1.5°)OFFOFFONOFF原点前リミット原点b b備考1. センサの取付けは、呼び番号で指定します。 2. 原点センサは付いていません。エンコーダのZ相信号を使用してください。 3. 各センサの仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 4. 原点位置は、±1.5度の範囲内で設定しますので、コントローラのソフトで位置補正を行ってください。表3 遮へいシールの寸法単位 度呼び番号遮へいシールの角度シール角度aリミット位置b RT158A2/SCT000(1) − −RT158A2/SCT015 290 15RT158A2/SCT030 260 30RT158A2/SCT045 230 45RT158A2/SCT060 200 60RT158A2/SCT075 170 75RT158A2/SCT090 140 90RT158A2/SCT105 110 105RT158A2/SCT120 80 120RT158A2/SCT135 50 135RT158A2/SCT150 20 150注(1) お客様で遮へいシールを必要な角度だけ切り取って、リミット位置を調整していただきます。備考 リミット位置を指定した場合、必要角度の遮へいシールが遮へい板に貼り付けられます。bab遮へいシ−ルⅡ 317 Ⅱ 318RTセンサ仕様

Page 174:表4 横河電機(株)製専用ドライバの仕様 UD1BG3-004N-1AB-1SA-N/CN UD1BG3-004N-1AB-1SB-N/CN単位 mmドライバ形 式DC24V仕様 UD1BG3-004N-1AB-1SA-N/CNDC 5V仕様 UD1BG3-004N-1AB-1SB-N/CN指令パルス入力方式 PLS/SIGN、UP/DOWN、A/B指令パルス入力形態 差動入力最大入力周波数 2MHz保護回路エンコーダ異常、過電圧、過電流、母線電圧低下、主電源断、過負荷、回生故障検出、速度過大、位置偏差過大、ハードオーバトラベル電源電圧 単相 AC100∼115V −15%∼10% 50/60Hz最大消費電力 1.3kVA周囲温度(使用時) 0∼50 C周囲湿度(使用時) 20∼90%RH質量(参考) 1.2kg備考1. 適用するモータコードの形式はTAE20K7-RM□□、エンコーダコードの形式はTAE20K8-RE□□です。コード長さは、形式末尾の□□にて1∼20mまで1m単位で指定します。(3mの場合の例:TAE20K7-RM03) 2. DC24V仕様の専用ドライバは、 プログラムコントローラと組み合わせて使用することができます。ご要望の際は、 にお問い合わせください。4-M4(80) 150±1195±1(195)185±0.5(160) (60)50±0.2460±1取付寸法RT158A2質量 3.3kg センサ、上面テーブル付きテーブルの寸法質量 4.5kg12038.7−0.02−0.069014016052-M4通しエンコーダ用 モータ用4-M6用穴6-M4深さ614016034(15)4237.7(H7深5)(等分配置)φ25貫通φ146φ158φ13614016034(15)120140160(59)607.75238.74-M6用穴6-M4深さ8(50)(H7深さ5)100φ194(等分配置)φ25貫通φ146φ158エンコーダ用リミット用 モータ用Ⅱ 319 Ⅱ 320RTロータリテーブルRT 電装システム

Page 175:ATⅡ 321 Ⅱ 322AT

Page 176:ATアライメントテーブル AT繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±1−−−−−−−テーブルクロスローラベアリングベッド駆動潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)内蔵なし炭素鋼標準装備クロスローラベアリングバリエーションアライメントテーブルATの駆動機構形状 形式と大きさAT200AT300AT120テーブルの直径(mm)200300120動作角度範囲(度)±10± 5アライメントテーブルATを使用した多軸構成例テーブル中央からの距離 L 単位 mm呼び番号AT300AT200AT120L186130100テーブルの直径テーブルの直径1●直線運動を回転運動に変換する回転位置決めテーブルリニアウェイとボールねじを組み合わせたローテータ機構を用いて、直線運動を回転運動に変換することにより、精密な角度補正が可能な位置決めテーブルです。高剛性な鋼製テーブルとベッドを使用し、テーブルを支える軸受にクロスローラベアリングを組み込みました。2●低断面設計で高剛性あらゆる方向に対して高い剛性を発揮するクロスローラベアリングを採用しているので、低断面・高剛性・高精度を実現しています。ATは、ボールねじの駆動によってテーブルの外周面と連結されたローテータを直線方向にストロークさせることにより駆動します。ローテータが移動することによって変化するテーブル中央からの距離Lと角度を調整するために、ローテータの内部にはテーブルの角度に合わせて従動する直線および回転運動機構が組み込まれています。したがって、ATは、ローテータを同一のピッチで移動させてもテーブルの回転角度は位置によって異なり、等速で移動させても回転速度は一定になりません。3●繰返し位置決め精度は±1秒直線運動を円運動に変換するローテータは、リニアウェイLと精密ボールねじの組合せによって正確に案内されているので、±1秒の高い繰返し位置決め精度を実現しています。4●多軸構成のアライメントテーブル として使用可能精密位置決めテーブルLHのスライドテーブルの上に設置し、高さ寸法の低いXY-θ多軸位置決め機構を構成することができます。Points単位 秒主な製品仕様 精 度 直動案内機器・軸受Ⅱ 323 Ⅱ 324AT

Page 177:呼び番号の配列例 1 2 3 AT 120 / AT701形式1 Ⅱ 326ページ大きさ2 Ⅱ 326ページモータアタッチメントの指定3 Ⅱ 326ページAT:アライメントテーブルAT120:テーブルの直径120mm200:テーブルの直径200mm300:テーブルの直径300mmモータアタッチメントは表1より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表2に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されますが、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。形式1大きさ2モータアタッチメントの指定3表1 モータアタッチメントの適用使用モータの形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WAT120AT200AT300ACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AT701 −SGMAV-A5 AT701 −SGMJV-01100AT701 AT702SGMAV-01 AT701 AT702三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AT701 −HF-KP053 AT701 −HF-MP13100AT701 AT702HF-KP13 AT701 AT702パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AT703 −MSME5A AT703 −MSMD01100AT703 AT704MSME01 AT703 AT704ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AT705 −AR66 □60 − AT706AR69 □60 − AT706AS46 □42 AT707 −AS66 □60 − AT708AS69 □60 − AT708RKCRKRK54・CRK54 □42 AT707 − RK56・CRK56(1) □60 − AT708注(1) モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表2 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2AT701 MSTS-16-5×8 鍋屋バイテック会社 0.084AT702 UA-25C-8×8 ㈱酒井製作所 0.290AT703 MSTS-16-5×8 鍋屋バイテック会社 0.084AT704 UA-25C-8×8 ㈱酒井製作所 0.290AT705 MSTS-16-5×6 鍋屋バイテック会社 0.084AT706 MSTS-25C-8×10 鍋屋バイテック会社 0.71AT707 MSTS-16-5×5 鍋屋バイテック会社 0.084AT708 MSTS-25C-8×8 鍋屋バイテック会社 0.71備考 カップリングの仕様は、各メーカのカタログをご参照ください。呼び番号 Ⅱ 325 Ⅱ 326AT呼び番号と仕様の詳細

Page 178:表4 諸特性項目大きさボールねじのリードmmローテータの分解能μm動作角度範囲度繰返し位置決め精度秒耐荷重Nテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TSN・mAT1201 1(1) ± 5±1100 0.012 0.03AT200 300 0.014 0.03AT300 2 2(1) ±10 500 0.18 0.04注(1)モータの分割数が1000pulse/revのときの値です。図1 センサのタイミングチャートCCWリミットCWリミットOFF OFF動作角度範囲モータ側CCW CW■XY-θ多軸位置決め機構の構成アライメントテーブルATは、単軸仕様・多軸仕様の 精密位置決めテーブルと組み合わせることで、簡単にXY-θ多軸位置決め機構を構成することができます。組立高さが低くコンパクトで高精度な位置決めが可能なので、精密測定器・検査機・組立器などのアライメント用テーブルとして使用することができます。表5 多軸位置決め機構の構成例多軸位置決め機構の外観アライメントテーブルATに組み合わせる精密位置決めテーブルの形式ストローク長さ mmX軸 Y軸精密位置決めテーブルTS・CT単軸仕様TS125/125 50TS125/220 120TS220/220 120TS220/310 180TS260/350 250二軸仕様CT125/125 50 50CT220/220 120 120CT260/350 150 250CT350/350 250 250精密位置決めテーブルLH単軸仕様TSLH120M100、150200250300TSLH220M150200、250、300400TSLH320M300400、500TSLH420M500600800二軸仕様CTLH120M100 100200 100200 200300 200300 300CTLH220M200 200300 200300 300400 300400 400CTLH320M300 300400 300400 400500 400500 500表3 ボールねじの仕様 単位 mm形式と大きさ ねじ外径 全 長AT120 6 103.5AT200 6 103.5AT300 10 183 表5 最大搭載質量形式と大きさ最大搭載質量kgAT120 22AT200 12AT300 44備考 水平・垂直いずれの場合にも適用します。Ⅱ 327 Ⅱ 328AT諸特性 センサ仕様 組合せ例

Page 179:AT120質量 4.4kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとテーブルの回転性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) ( )内の寸法はAT701、AT703に適用します。95112951161771149.51515950貫通4-M6通し(等分配置)4-M6用穴φ30φ100φ120(1)5(20)(2)Ⅱ 329 Ⅱ 330ATアライメントテーブルAT AT120、AT200AT701AT703AT705AT707φ5φ22φ302-3.5きり6.5深ざぐり深さ12.5反対面より加工(★印部)4-M3深さ6PCD45、90°等配4-M4深さ8PCD46、90°等配2248.5□312060721.55.548.522602036.55.548.52260 0.050φ5φ22φ30 0.050φ5φ22 0.0330201036.55.51018☆☆★★2-3.5きり6.5深ざぐり深さ1.5反対面より加工(☆印部)AT300AT702AT704AT706AT7084-M4深さ8PCD46、90°等配311730623181φ831174-M3深さ6PCD45、90°等配30623181φ84-M4深さ10□503062318143117φ8φ30121212φ36 0.0390φ30 0.0330φ30 0.0330モータアタッチメントの寸法

Page 180:AT200質量 9.9kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとテーブルの回転性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。 (2) ( )内の寸法はAT701、AT703に適用します。1601801595049.52329(14)(2)160180241貫通4-M6通し(等分配置)φ68φ180φ200(1)4-M6用穴AT300質量 21.0kg注(1) 取付けねじのねじ込み深さが長すぎるとテーブルの回転性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。22024013121065641112220248330貫通6-M8通し(等分配置)(1)φ130φ270φ3004-M8用穴Ⅱ 331 Ⅱ 332ATアライメントテーブルAT

Page 181:AMⅡ 333 Ⅱ 334AM

Page 182:AMアライメントモジュール AM駆動潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0020.020−−0.008−−0.003精密ボールねじリニアウェイ(ボールタイプ)内蔵なし炭素鋼標準装備モータブラケットクロスローラベアリングセンサトラックレールリニアウェイボールねじPoints1●多彩な動作を実現する 位置決めモジュール精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。3●用途に合わせたステージを 自由に設計可能様々なステージとベースにアライメントモジュールAMを組み合わせ、用途に合わせたアライメントステージが自由に設計できます。2●高さ調整が不要高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しています。各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、アライメントステージが構成できます。クロスローラベアリング●□2000クラスの大型ステージも対応!バリエーションアライメントステージの構成例と動作原理形状 形式と大きさ ストローク長さ(mm)AM25大きさW × L × H(mm)86×130× 47 30AM40 120×180× 78 30AM60 220×290×110 90AM86 350×390×148 120LHW単位 mm主な製品仕様 精 度 直動案内機器・軸受ステージ構成例アライメントモジュールAM2000mm2000mmⅡ 335 Ⅱ 336AM

Page 183:呼び番号の配列例 1 2 3 4 5AM 40-30 / AT802 G 4形式1 Ⅱ 337ページ大きさとストローク長さ2 Ⅱ 337ページモータアタッチメントの指定3 Ⅱ 337ページボールねじの種類及び有無4 Ⅱ 338ページボールねじのリード5 Ⅱ 338ページAM:アライメントモジュールAM25- 30:幅寸法25mm ストローク長さ 30mm、高さ寸法 47mm40- 30:幅寸法40mm ストローク長さ 30mm、高さ寸法 78mm60- 90:幅寸法60mm ストローク長さ 90mm、高さ寸法110mm86-120:幅寸法86mm ストローク長さ120mm、高さ寸法148mmAT800:モータアタッチメントなしモータアタッチメントをご指定の場合は、表1より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・モータアタッチメントを指定すると表2に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。・モータアタッチメントなし(AT800)の場合、カップリングは付属しません。形式1大きさとストローク長さ2モータアタッチメントの指定3表1 モータアタッチメントの適用使用モータフランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WAM25 AM40 AM60 AM86ACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMMV-A2 20□25AT801 − − −SGMMV-A3 30 AT801 − − −SGMJV-A550□40− AT802 − −SGMAV-A5 − AT802 − −SGMJV-01100− AT802 AT803 −SGMAV-01 − AT802 AT803 −SGMAV-C2 150 − − AT803 −SGMJV-02200□60− − − AT804SGMAV-02 − − − AT804SGMJV-04400− − − AT805SGMAV-04 − − − AT805三菱電機㈱J2-JrHC-AQ023 20□28AT806 − − −HC-AQ033 30 AT806 − − −J3HF-MP05350□40− AT802 − −HF-KP053 − AT802 − −HF-MP13100− AT802 AT803 −HF-KP13 − AT802 AT803 −HF-MP23200□60− − − AT804HF-KP23 − − − AT804HF-MP43400− − − AT805HF-KP43 − − − AT805パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38− AT807 − −MSME5A − AT807 − −MSMD01100− AT807 AT808 −MSME01 − AT807 AT808 −MSMD02200□60− − − AT809MSME02 − − − AT809MSMD04400− − − AT810MSME04 − − − AT810備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。表2 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2AT801 UA-15C- 5× 5 ㈱酒井製作所 0.024AT802 UA-20C- 5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT803 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.290AT804 UA-30C-10×14 ㈱酒井製作所 0.603AT805 UA-35C-10×14 ㈱酒井製作所 1.34AT806 UA-15C- 5× 6 ㈱酒井製作所 0.024AT807 UA-20C- 5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT808 UA-25C- 8× 8 ㈱酒井製作所 0.290AT809 UA-30C-10×11 ㈱酒井製作所 0.603AT810 UA-35C-10×14 ㈱酒井製作所 1.34備考 カップリングの詳細仕様は、メーカのカタログをご参照ください。G:研削ボールねじN:ボールねじなしNを選択した場合、 3 はAT800を指定し 5 は無記号としてください。4:リード4mm(AM25、AM40に適用します)5:リード5mm(AM60、AM86に適用します)ボールねじの種類及び有無4ボールねじのリード5Ⅱ 337 Ⅱ 338AM 呼び番号と仕様の詳細 呼び番号

Page 184:表5 最高速度形式と大きさボールねじのリードmm最高速度mm/sAM254 200AM40AM605 250AM86備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表4 高さ寸法 単位 mm形式と大きさ モジュール高さ寸法 高さ寸法の許容差AM25 47±0.010AM40 78AM60 110AM86 148備考 上下軸が直交し、かつ、各軸の直動案内部がストローク中央にある状態での、設置面からモジュール上面中央までの値です。表3 精度 単位 mm形式と大きさストローク長さ(1)トラックレール長さ繰返し位置決め精度(1)位置決め精度(1)運動の平行度Bバックラッシ(1)AM25 30 130±0.002 0.020 0.008 0.003AM40 30 180AM60 90 290AM86 120 390注(1) ボールねじなし仕様には適用しません。表8 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさテーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TSN・mAM25 0.028 0.02AM40 0.08 0.04AM60 0.59 0.09AM86 4.97 0.13表6 ボールねじの仕様 単位 mm形式と大きさ ねじ外径 全 長AM25- 30 6 146AM40- 30 8 158AM60- 90 12 263AM86-120 20 359表9 センサのタイミングチャート単位 mm形式と大きさ A B C D E FAM25 90 4 2 15 8 46.4AM40 90 4 2 15 8 48.5AM60 133 5 3 45 16 117.6AM86 155 5 3 60 8 135注(1) 原点はストローク中心です。A(1)CWリミットセンサCCWリミットセンサ原点前センサ反モータ側 モータ側メカストッパOFFOFFOFF原点(エンコ−ダC相) ONCDストロ−ク長さ (E)(F)B表7 最大搭載質量形式と大きさ最大搭載質量kg水平 垂直AM25 11 4.6AM40 39 10AM60 88 13AM86 210 23Ⅱ 339 Ⅱ 340AMセンサ仕様 諸特性 基準位置 X運動 Y運動XY運動 中心基準角度補正 任意位置基準角度補正動作仕様例 AMを組み合わせることにより、下記のようなテーブル構成が可能です。また組み付けて納入することも可能ですので、ご要望の際は にお問い合わせください。

Page 185:AM25AT800(アタッチメントなし)AT801AT8064+0.04+0.02171763251526.3□252-3.4きりPCD283.53□302-M2.5通しPCD336-2.9きり1720φ5φ16+0.04+0.02+0.04+0.02φ13φ20φ13φ205454AM40AT800(アタッチメントなし)AT802AT80710302210 4030666 9104-M3通しPCD45、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.56104-M3通し4-M4通しPCD46、90°等配4-3.4きり6.5深ざぐり深さ6.5□4030□4030+0.04+0.02φ5φ26φ23+0.04+0.02φ30φ23+0.04+0.02φ306 9AM60AT800(アタッチメントなし)AT803AT808251550(58)202039.54-M4深さ8□604-M4通しPCD46、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ4.520508 884-M3通しPCD45、90°等配4-4.5きり8深ざぐり深さ4.5□602050+0.04+0.02φ30φ27+0.04+0.02φ30φ27+0.04+0.02φ32φ88 8AM86AT800(アタッチメントなし)AT804AT805AT809AT81088884-M4通し2050(84)2549.582913131313134-4.5きり8深ざぐり深さ7.5854-M5深さ10PCD70、90°等配4 5020604-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M4深さ8PCD70、90°等配854 50206044-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M5深さ10PCD70、90°等配855020604-4.5きり8深ざぐり深さ7.54-M4深さ8PCD70、90°等配485502060+0.04+0.02φ50+0.04+0.02φ39φ34+0.04+0.02φ50φ39+0.04+0.02φ50φ34+0.04+0.02φ50φ39φ10Ⅱ 341 Ⅱ 342AMモータアタッチメントの寸法

Page 186:AM25 モータアタッチメントなし・ボールねじ付き質量 0.6kg73.55-M3通し1515158615131635 35 351301651.5(24)(1.6)(31)(24)50.31.59 824.9(46.4)2×3-2.9きり4.8深ざぐり深さ1.6±0.01047AM25 ボールねじなし質量 0.4kg2×3-2.9きり4.8深ざぐり深さ1.61515158615131.53535353.571305-M3通し59 824.9±0.01047(24) (24)(31)(14)(40)(40)(14)(1.6)AM40 モータアタッチメントなし・ボールねじ付き質量 2.0kg1050501203-M4深さ87.51518628.5560 60 301802×3-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.140(25) (70) (25)±0.01078(1.9)18 11AM40 ボールねじなし質量 1.5kg5050101207.51560 60 3018052×3-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.1(25) (25)(20) (55.25) (55.25) (18)(1.9)(70)18 11403-M4深さ8±0.01078Ⅱ 343アライメントモジュールAM Ⅱ 344AM

Page 187:AM60 モータアタッチメントなし・ボールねじ付き質量 6kg105050505022011.523298426100 100 352902×3-5.5きり9.5深ざぐり深さ5.428 1660(59) (59)(102) ±0.010110(2.6)5-M6深さ12AM60 ボールねじなし質量 5kg505050220501011.5236100 100 3529028 1660 2×3-3.5きり9.5深ざぐり深さ5.4±0.010110(59) (59)(32) (42)(81.8) (81.8)(2.6)(102)5-M6深さ12AM86 モータアタッチメントなし・ボールねじ付き質量 17kg357070707035017343988100 3539049.52×4-7きり11深ざぐり深さ74686(99) (152) (99)±0.01014820(6)1001005-M8深さ16AM86 ボールねじなし質量 15kg707070703535017348100100100 3539011深ざぐり深さ746 20865-M8深さ162×4-7きり(99) (152) (99)(32) (19)(110.5) (110.5)(6)±0.010148Ⅱ 345アライメントモジュールAM Ⅱ 346AM

Page 188:TZTZⅡ 347 Ⅱ 348

Page 189:TZTZ精密昇降テーブル TZ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0010.0050.001−−−−−テーブルリニアローラウェイ、リニアウェイモータブラケットベッドセンサくさびボールねじ駆動テーブル・ベッドの材質センサ精密ボールねじリニアローラウェイ(ローラタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵アルミ押出材(アルマイト)標準装備精密昇降テーブルTZプラス精密位置決めテーブルCTX軸Y軸Z軸TZ120とCT125/125の組合せリニアウェイ(ボールタイプ)(TZ…H、TZ…X)Points1●コンパクトな精密昇降テーブル独自のくさび機構を採用した、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めを行う昇降テーブルです。2●用途で選べる2タイプ・2サイズローラタイプの直動案内機器を組み込んだ高精度・高剛性タイプと、コストパフォーマンスに優れたスタンダードタイプの2タイプに、それぞれテーブル寸法□120mmと□200mmをラインナップ。2種類のくさび減速比が用意されており、最大ストローク24mmの上下方向の位置決めが可能です。3●リニアエンコーダの取付けで1ランク上の位置決めが可能オプションでリニアエンコーダ付きを指定し、フルクローズドループ制御を行うことで、さらに高精度な位置決めが実現できます。4●センサ標準装備リミットセンサ、原点・原点前センサを標準装備。センサを本体内部にコンパクトに内蔵しているので、機械・装置への組込みが容易です。5●多軸構成のZ軸として使用可能精密位置決めテーブルのスライドテーブルの上に設置し、多軸テーブルのZ軸位置決め機構として使用できます。精密昇降テーブルTZを使用したXYZ位置決めテーブルの組合せ例バリエーション形状 形式と大きさ 直動案内機器の形式 くさび減速比ボールタイプローラタイプボールタイプローラタイプTZ120 -4TZ120X-2TZ120X-4TZ200H-2TZ200H-4TZ200X-2TZ200X-4TZ120 -2テーブル幅寸法(mm)□1201:21:41:21:41:21:41:21:4□200単位 mm主な製品仕様 精 度 潤滑部品の内蔵直動案内機器Ⅱ 349 Ⅱ 350

Page 190:TZ呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6TZ 120 X - 2 / AT901 Y1 1形式1 Ⅱ 351ページ大きさ2 Ⅱ 351ページくさび3 Ⅱ 351ページモータアタッチメントの指定4 Ⅱ 351ページリニアエンコーダの指定5 Ⅱ 351ページリニアエンコーダ取付け方向6 Ⅱ 351ページTZ :精密昇降テーブル (大きさ120に適用します)TZ…H:精密昇降テーブル (大きさ200に適用します)TZ…X:精密昇降テーブル 高精度・高剛性タイプ (大きさ120・200に適用します)120:テーブルの幅寸法 □120mm200:テーブルの幅寸法 □200mm2:くさび減速比 1:24:くさび減速比 1:4ボールねじの送り量に対する上下方向の移動量の減速比を示します。モータアタッチメントは表1より選択します。・モータはお客様にてご用意いただきます。・ご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。・表2に示すカップリングが本体に取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってください。・ACサーボモータ用のアタッチメントを指定した場合、原点センサは付きません。無記号:リニアエンコーダなしリニアエンコーダをご指定の場合は表3をご参照ください。・リニアエンコーダ付きは、TZ…HおよびTZ…XのACサーボモータの場合のみ適用します。適用する形式とモータアタッチメントについては、表1をご参照ください。無記号:反モータ側から見て右側に配置1 :反モータ側から見て左側に配置・リニアエンコーダの取付け方向とセンサコードの引き出し方向は同一です。形式1大きさ2くさび3モータアタッチメントの指定4リニアエンコーダの指定5リニアエンコーダ取付け方向6表1 モータアタッチメントの適用モータ形式フランジ角mmモータアタッチメント種類 メーカ シリーズ 形式定格出力WTZ120TZ120XTZ200HTZ200XACサーボモータ㈱安川電機 Σ-ⅤSGMJV-A550□40AT901 −SGMAV-A5 AT901 −SGMJV-01100AT901 AT902SGMAV-01 AT901 AT902SGMAV-C2 150 − AT902三菱電機㈱ J3HF-MP05350□40AT901 −HF-KP053 AT901 −HF-MP13100AT901 AT902HF-KP13 AT901 AT902パナソニック㈱ MINAS A5MSMD5A50□38AT903 −MSME5A AT903 −MSMD01100AT903 AT904MSME01 AT903 AT904ステッピングモータオリエンタルモーター㈱αステップAR46 □42 AT905 −AR66 □60 − AT906AR69 □60 − AT906AS46 □42 AT907 −AS66 □60 − AT908AS69 □60 − AT908RKCRKRK54・CRK54 □42 AT907 −RK56・CRK56(1) □60 − AT908注(1)モータ出力軸外径φ8に適用します。備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。呼び番号と仕様の詳細 表2 カップリングの形式モータアタッチメントカップリングの形式 メーカカップリングのイナーシャ JC×10-5kg・m2AT901 UA-20C-5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT902 UA-25C-8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT903 UA-20C-5× 8 ㈱酒井製作所 0.086AT904 UA-25C-8× 8 ㈱酒井製作所 0.29AT905 UA-20C-5× 6 ㈱酒井製作所 0.086AT906 UA-25C-8×10 ㈱酒井製作所 0.29AT907 UA-20C-5× 5 ㈱酒井製作所 0.086AT908 UA-25C-8× 8 ㈱酒井製作所 0.29備考 カップリングの仕様は、メーカのカタログをご参照ください。表3 リニアエンコーダの形式対象形式項 目TZ120X TZ200H、TZ200Xリニアエンコーダの指定記号 Y1 J1 P1 Y2 J2 P2対応ドライバのメーカ ㈱安川電機 三菱電機㈱ パナソニック㈱ ㈱安川電機 三菱電機㈱ パナソニック㈱メーカ レニショー㈱ レニショー㈱リニアエンコーダヘッド T1031-30A RGH20B30L00A RGH20Y30D33Aリニアエンコーダ A-9705-0004 A-9660-0080インターフェース Ti0000A00V Ti0200A04A −リファレンスマーク − A-9561-0065呼び番号 Ⅱ 351 Ⅱ 352

Page 191:TZ表4 仕様形式と大きさ くさび減速比ボールねじのリードmm分解能(1)μm/pulseストローク長さmm耐荷重NTZ120 -2 1:242 10200TZ120 -4 1:4 1 5TZ120X-2 1:22.0(0.1)10TZ120X-4 1:41.0(0.1)5TZ200H-2 1:252.5(0.1)24400TZ200H-4 1:41.25(0.1)12TZ200X-2 1:22.5(0.1)24TZ200X-4 1:41.25(0.1)12注(1) モータの分割数が1000pulse/revの時の値を示します。備考 ( )内はリニアエンコーダ付きで、三菱電機㈱製J3シリーズまたはパナソニック㈱製MINAS A5のシステムを選択した時の値を示します。㈱安川電機製ΣVのシステムを選択した場合は、0.078125μm/pulseになります。表5 精度 単位 mm形式と大きさ くさび減速比繰返し位置決め精度位置決め精度 ロストモーションテーブル昇降時の平行度テーブル昇降時の直角度TZ120 -2 1:2±0.001 − − − −TZ120 -4 1:4TZ120X-2 1:2±0.001−(0.005)0.001 0.010 0.010TZ120X-4 1:4TZ200H-2 1:2±0.001−(0.005)− − −TZ200H-4 1:4TZ200X-2 1:2±0.001−(0.005)0.001 0.010 0.010TZ200X-4 1:4備考 ( )内はリニアエンコーダ付きの時の値を示します。表6 最高速度形式と大きさ くさび減速比ボールねじのリードmm最高速度mm/sACサーボモータ ステッピングモータTZ120 -2 1:24100 60TZ120 -4 1:4 50 30TZ120X-2 1:2 100 60TZ120X-4 1:4 50 30TZ200H-2 1:25125 75TZ200H-4 1:4 62.5 37.5TZ200X-2 1:2 125 75TZ200X-4 1:4 62.5 37.5備考 実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。表9 テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさくさび減速比テーブルイナーシャ JT×10-5kg・m2起動トルク TSN・mTZ120 -2 1:2 0.076 0.03TZ120 -4 1:4 0.061 0.02TZ120X-2 1:2 0.076 0.03TZ120X-4 1:4 0.064 0.02TZ200H-2 1:2 0.581 0.07TZ200H-4 1:4 0.473 0.06TZ200X-2 1:2 0.581 0.07TZ200X-4 1:4 0.473 0.06表8 ボールねじの仕様 単位 mm形式と大きさ ねじ外径 全 長TZ120 8 105TZ120X 8 168TZ200H 12 215TZ200X 12 215表7 最大搭載質量 形式と大きさ くさび減速比最大搭載質量kg水平 垂直TZ1201:2 36 101:4 36 10TZ120X1:2 94 101:4 146 10TZ200H1:2 109 91:4 109 10TZ200X1:2 147 91:4 160 10Ⅱ 353 Ⅱ 354諸特性 表10 センサのタイミングチャート単位 mm呼び番号 A B C DTZ120 -2TZ120X-21 1 1 1TZ120 -4TZ120X-40.5 0.5 0.5 0.5TZ200H-2TZ200X-21.5 1 2.5 1TZ200H-4TZ200X-40.75 0.5 1.25 0.5CDストロ−ク長さABHminストロ−ク長さ上下方向位置メカストッパCCWリミットCWリミット原点前原点 ONOFFOFFOFFCWCCWセンサ仕様

Page 192:TZTZ120、TZ120XAT901AT903AT905AT90742931104-M4通しPCD46、90°等配□40φ5φ23φ303.54-M3通しPCD45、90°等配4293110□403.5φ5φ235642931104-3.4きり6.5深ざぐり深さ3.3反対面より加工□31φ5+0.04+0.02φ30+0.04+0.02φ22+0.04+0.02TZ200H、TZ200XAT902AT904AT906AT908φ27φ84-M4通しPCD46、90°等配□60833154□608φ27φ833154 4-M3通しPCD45、90°等配□50483315φ27φ8□604-M4通しφ30+0.04+0.02φ30+0.04+0.02φ36+0.04+0.02TZ120単位 mm呼び番号 くさび減速比質量(参考)kgベッド取付穴ストローク長さSHmin(CWリミット位置)Hmax(CCWリミット位置)TZ120-2 1:2 3.8 93 103 10TZ120-4 1:4 3.4 84.5 89.5 58020120(126)80 201201442346 910HminHmaxS(23) 70 483410071144-M5用穴4-M5深さ7.5Ⅱ 355 Ⅱ 356精密昇降テーブルTZ モータアタッチメントの寸法

Page 193:TZTZ120X リニアエンコーダなし単位 mm呼び番号 くさび減速比質量(参考)kgベッド取付穴ストローク長さSHmin(CWリミット位置)Hmax(CCWリミット位置)TZ120X-2 1:2 3.8 93 103 10TZ120X-4 1:4 3.4 84.5 89.5 58020120(126)80 20120 32153 46 914HminHmax(23) 70 57311004-M5用穴4-M5深さ7.5S7114TZ120X リニアエンコーダ付き単位 mm呼び番号 くさび減速比質量(参考)kgベッド取付穴ストローク長さSHmin(CWリミット位置)Hmax(CCWリミット位置)TZ120X-2/F 1:2 4.5 93 103 10TZ120X-4/F 1:4 4.1 84.5 89.5 58020(89)120(126)20 8280 20120 32153 46 914HminHmax(23) 70 57311004-M5用穴4-M5深さ7.5S1147Ⅱ 357 Ⅱ 358精密昇降テーブルTZ

Page 194:TZTZ200H、TZ200X リニアエンコーダなし単位 mm呼び番号 くさび減速比質量(参考)kgベッド取付穴ストローク長さSHmin(CWリミット位置)Hmax(CCWリミット位置)TZ200H-2 1:2 13.2 146 170 24TZ200H-4 1:4 12.2 132 144 12TZ200X-2 1:2 13.3 146 170 24TZ200X-4 1:4 12.3 132 144 1216020200(206)160 20200 41242 54 818HminHmaxS(24) 150 66421504-M6用穴4-M6深さ1219422TZ200H、TZ200X リニアエンコーダ付き単位 mm呼び番号 くさび減速比質量(参考)kgベッド取付穴ストローク長さSHmin(CWリミット位置)Hmax(CCWリミット位置)TZ200H-2/F 1:2 14.2 146 170 24TZ200H-4/F 1:4 13.2 132 144 12TZ200X-2/F 1:2 14.3 146 170 24TZ200X-4/F 1:4 13.3 132 144 121944-M6用穴4-M6深さ1216020200(135)30 126160 20200 41242 54 818HminHmaxS(24) 150 664215022(206)Ⅱ 359 Ⅱ 360精密昇降テーブルTZ

Page 195:CTN481GⅡ 361 Ⅱ 362

Page 196:CTN481G(RoHS指令適合品)プログラムコントローラは、高機能に加え操作性を重視した位置決め制御用のコントローラで、CTN481Gは、従来製品CTN480Gとの互換性を確保したうえで、新たな機能を追加したハイエンドモデルです。従来製品CTN480Gと外観寸法、取付寸法、コネクタ仕様が同一のため、CTN480Gからそのまま置き換えが可能です。ドライバとの接続コードについては、従来製品CTN480G用のコードがそのまま使用可能です。詳細は にお問い合わせください。①最大10000ステップまでのプログラム入力が可能な超高機能タイプ②最大8MHzの高速パルス出力で高速、高分解能制御の両立を実現③4軸直線補間・2軸円弧補間機能を標準装備④リニアエンコーダによる位置補正制御に対応⑤市販のUSBメモリによるデータの保存、移動が可能⑥I/Oシーケンス機能、タイマ、カウンタ、演算機能の内蔵により、シーケンサ不要で簡単にシステムを構成可能⑦USB1.1インターフェース標準装備により、パソコンからの専用コマンドによるデータ編集や、コントローラ操作、ダイレクト実行が可能⑧㈱安川電機、パナソニック㈱、三菱電機㈱のアブソリュートエンコーダ対応により、 装置立上げ時の原点復帰動作が不要⑨同期制御機能により、任意の2軸の同時実行・停止が可能(ガントリー機構の制御が可能)⑩マルチタスク機能により、最大5本までのプログラムを同時実行可能⑪あらかじめ位置決め補正データを入力しておくことで、位置決め精度補正制御が可能⑫軸専用入出力機能により、ドライバとの配線・制御が容易⑬RS485接続により最大コントローラ4台接続(16軸制御)が可能⑭RS422インターフェースの標準装備により、市販のLANケーブルを使用することで、タッチパネル、もしくはシーケンサとのデータ通信による省配線接続が可能⑮オプションユニットを接続することにより、MECHATROLINK、SSCNET、EtherCATを用いた省配線システムに対応可能(対応予定)表1 機能・性能形式項目CTN481G指令パルス出力仕様制御軸数 4軸(同時実行可能)最大指令値 ±2147483647パルス(符号付き32ビット長)最大出力周波数 8MHz加減速時間 0∼65.533sec(直線・サイクロイド・S字加減速)出力方式 CW/CCWパルス、方向指令/正逆パルス、90°位相差パルスプログラム仕様入力方法 MDI、ティーチング、USBによるパソコン入力指令入力方式 アブソリュート指令 又は インクリメンタル指令プログラム容量 10000ステップ機能ジャンプ、コール、繰返し、四則演算、論理演算、速度設定、加減速設定、タイマ制御、I/O制御、入力条件分岐、各種編集機能(作成、消去、削除、挿入、コピーなど)入出力仕様入力入力点数LS入力 16点専用入力 16点汎用入力 20点(80点拡張可能)スタート、ストップ、非常停止、正・逆手動運転、原点復帰、現在位置リセット、割込み、位置決め完了、ドライバアラーム入力など(汎用入力にてパラメータで選択割付け)入力方式 フォトカプラ入力(無電圧接点 又は オープンコレクタ対応)出力出力点数専用出力 28点汎用出力 20点(80点拡張可能)操作出力自動運転中、リミットセンサ検出、非常停止、パルス出力中、原点復帰完了、サーボオン、ドライバアラームリセット、比例制御、偏差カウンタクリアなど(汎用出力にてパラメータで選択割付け可能)出力方式 オープンコレクタ出力(DC30V 100mA MAX)入出力用電源I/O用 DC24V 4 Aリミット用 DC24V 100mA外部機器との通信USB1.1(コネクタ:Mini-Bタイプ)RS422 (コネクタ:RJ–45タイプ)データ保存 USB1.1(コネクタ:Aタイプ)その他の主な機能USBシリアル通信(データ読取り、書込み、ダイレクト実行など)、市販USBメモリによるプログラムの保存・移動、リニアスケールによる位置補正、バックラッシ補正、ソフトウェアリミット、リミットセンサ信号論理変更、4軸直線補間、2軸円弧補間、チェック機能(I/Oモニタ、リミットセンサモニタ、停止条件モニタ)などティーチングボックス CTN481G表2 一般仕様形式項目CTN481G電源電圧 DC24V ±10%最大消費電流 4.5A周囲温度 0∼50℃ 保存時−10∼60℃周囲湿度 20∼85%RH(結露なし)停電対策 フラッシュメモリ質量(参考)本体 :1.2kgティーチングボックス:0.5kgI/O増設ユニット :0.4kg備考 専用ティーチングボックス(別売)の形番は、TAE10M5-TBです。表3 CTN481G付属品一覧種類 形式 数量 備考I/Oコネクタ10150-3000PE(プラグ)1住友スリーエム㈱10350-52Y0-008(カバー)1電源コネクタ XW4B-03B1-H1 1 オムロン㈱リンクコネクタ4832.1310 2 Schurter AGCFS1/4C101J(終端抵抗)1 KOA㈱DINレール取付け部品DRT-1 1 ㈱タカチ電機工業バインド M3×4(取付ビス)4 ―表4 オプション品種類 形式 備考ティーチングボックス TAE10M5-TBI/O増設ユニット TAE10M6-KB入力40点、出力40点拡張(最大2台増設)MECHATROLINK通信ユニット対応予定SSCNET 通信ユニットEtherCAT通信ユニット●CTN481G外形図DC24VTBFG- S1LINKIDALMRUNPWR75551751851154160CTN481GProgram Controller︵︶︵︶︵︶︵︶RS422USBDATA4−φ4.5機能・性能Ⅱ 363 Ⅱ 364プログラムコントローラ プログラムコントローラ|CTN

Page 197:Ⅲ 1総 合 解 説Ⅲ 2

Page 198:精密位置決めテーブルの選定q精密位置決めテーブルの選定 精密位置決めテーブルの選定は、要求される条件に対して、関連深い事項を重点的に考慮します。一般的な選定手順を以下に示します。使用条件の確認1 ●使用するストローク長さ●取付けスペース(高さ、幅、長さ)●取付方向●荷重の大きさと方向●運転パターン●使用環境要求精度の確認2 ●位置決め精度●繰返し位置決め精度●テーブル運動の平行度A、B●真直度●直角度モータの仮選定4 ●モータの種類と大きさテーブル形式の仮選定3 ●スライドテーブルの送り機構●大きさ●ストローク長さ●軸数最高速度と分解能の検討5 ●ボールねじのリード●モータの最高回転数●エンコーダ仕様運転パターンの検討6 ●限界加速時間●実効トルク●イナーシャ●位置決め時間システムの検討7 ●コントローラの選定●センサの有無●接続コード●外部機器とのインターフェイス最終確認8 ●使用条件の再確認●価格・納期●追加工●特殊テーブル精密位置決めテーブルの特性シリーズ 形 式ストローク長さmm繰返し位置決め精度位置決め精度精密位置決めテーブルTE精密位置決めテーブルTU精密位置決めテーブルL精密位置決めテーブルLH高精密位置決めテーブルTXクリーン精密位置決めテーブルTCマイクロ精密位置決めテーブルTM精密位置決めテーブルTS・CT精密位置決めテーブルLBナノリニア®NTアライメントステージSAリニアモータテーブルLTアライメントモジュールAMボールねじACサーボステッピングCルーブボールねじボールねじタイミングベルトTE···BTUTSL···MTSLH···MCTLH···MTX···MCTX···MTC…EBTMTSCTTSLBNT···V、XZ、XZHNT···HSA···DE/XLT···CELT···LDLT···HAM50 ∼30 ∼50 ∼100 ∼100 ∼100 ∼100 ∼50 ∼10 ∼25 ∼15 ∼300 ∼10 ∼25 ∼10 ∼200 ∼240 ∼460 ∼30 ∼8001 4001 000800500800400800 602502501 200120 65201 2002 7602 710120○○○○○◎◎○○○○△△◎△△△△○送り機構CルーブボールねじACサーボ・ステッピングACサーボ・ステッピングボールねじ ACサーボ・ステッピングACリニアサーボモータ直動案内機器センサ装備適用モータ 用 途選択標準装備選択標準装備Cルーブ内蔵U字形トラックレールリニアウェイU字形トラックレールリニアウェイCルーブリニアウェイ 2本並列CルーブリニアローラウェイスーパーX 2本並列Cルーブ内蔵U字形トラックレールリニアウェイリニアウェイ 2本並列ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイクロスローラウェイリニアウェイ 2本並列Cルーブリニアウェイ リニアウェイ 2本並列ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイCルーブリニアウェイ 2本並列U字形トラックレールリニアウェイ組立機、加工機、測定器組立機、加工機、測定器組立機、加工機、測定器精密加工機、精密測定器工作機、組立機精密加工機、精密測定器工作機、組立機半導体関連装置、液晶関連装置精密測定器、組立装置精密測定器、プローバ画像処理装置、露光装置高速搬送、パレットチェンジャ半導体関連装置、医療機器半導体関連装置、精密測定器半導体関連装置、医療機器半導体関連装置、高速搬送装置半導体関連装置、液晶関連装置○○○○○◎◎○○○○△◎◎◎◎◎◎○高速性○○○○○○○○△△△◎◎○○◎◎◎○剛 性○○○◎◎◎◎△△△△○△○△△○○○決 定再検討Ⅲ 3 Ⅲ 4

Page 199:精密位置決めテーブルの選定w精密位置決めテーブルの 大きさ 精密位置決めテーブルの ストローク長さグラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。精密位置決めテーブルの形式と大きさテーブルの幅寸法 mm0 100 200 300 400 500TE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MTX120MTX220MTX320MTX420MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS·CTTSLBNT···VNT···HNT80XZNT90XZHSA···DELTATAMグラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。●棒グラフの長さは、標準化されているストローク長さの範囲を示します。精密位置決めテーブルの形式と大きさストローク長さ mmTE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MTX120MTX220MTX320MTX420MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS·CTTSLBNT···VNT···HNT80XZNT90XZHSA···DELTAM500 1 000 1 500 2 000 2 500 3 0000Ⅲ 5 Ⅲ 6

Page 200:精密位置決めテーブルの 繰返し位置決め精度 精密位置決めテーブルの 位置決め精度グラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。●ボールねじ駆動の形式は、研削ボールねじを選択した場合の値を示しています。●2つ以上の値が示されている形式は、ストローク長さなどによって値が異なることを意味しています。●TUは、スタンダードテーブルの値を示しています。●CTLH···M、CTX···M、CTは、二軸仕様のテーブルです。●SA···DEは、X軸の値を示しています。精密位置決めテーブルの形式と大きさ精密位置決めテーブルの形式と大きさ繰返し位置決め精度 μm0 ±80 ±100±60±40±20±6±5±4±3±2±1TE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MCTLH120MCTLH220MCTLH320MTX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS·CTTSLBNT···VNT···HNT80XZNT90XZHSA···DELTAMグラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。●ボールねじ駆動の形式は、研削ボールねじを選択した場合の値を示しています。●2つ以上の値が示されている形式は、ストローク長さなどによって値が異なることを意味しています。●TUは、スタンダードテーブルの値を示しています。●CTLH···M、CTX···M、CTは、二軸仕様のテーブルです。位置決め精度 μm0TE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MCTLH120MCTLH220MCTLH320MTX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS·CTTSLBNT···VNT···HNT80XZNT90XZHSA···DELTAM10 20 30 40 50 60 70精密位置決めテーブルの選定eⅢ 7 Ⅲ 8

Page 201:精密位置決めテーブルの 最高速度 精密位置決めテーブルの 搭載質量グラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。●ボールねじ駆動の形式は、選択できる最長のボールねじリードでの値を示しています。●上段はACサーボモータ、下段はステッピングモータ仕様の値を示しています。●ボールねじ駆動の形式は、ストローク長さによってはボールねじの許容回転数により制限される場合があります。精密位置決めテーブルの形式と大きさ最高速度 mm/s精密位置決めテーブルの選定rグラフの見方●グラフの値は目安ですので、詳細については形式別解説をご参照ください。●LT、NT···V、NT···H、NT···XZ、NT···XZH、SA···DEの値は、最大可搬質量を示しています。精密位置決めテーブルの形式と大きさ最大搭載質量 kg0TE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MTX120MTX220MTX320MTX420MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS·CTTSLB90TSLB120TSLB170NT38VNT55VNT80VNT88HNT80XZNT90XZHSA65DESA120DELT100CEGLT150CEGLT130LDGLT170LDGLT170LDVLT130HLT170HAM25AM40AM60AM86500 1 000 1 500 2 000 2 500 3 000 3 500 0TE50BTE60BTE86BTU25TU30TU40TU50TU60TU86TU100TU130TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220MTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420MTX120MTX220MTX320MTX420MTC50EBTC60EBTC86EBTM15TS・CTTSLBNT···VNT···HNT80XZNT90XZHSA65DESA120DESA200DELT100CEGLT150CEGLT130LDGLT170LDGLT170LDVLT130HLT170HAT120AT200AT300AM25AM40AM60AM86100 200 300 400 500 600Ⅲ 9 Ⅲ 10

Page 202:Ⅲ 11 Ⅲ 12 精度 精密位置決めテーブルの精度規格は形式によって異なり、その測定方法を以下に示します。また、ご要望により動特性試験など使用条件に合わせたモデル試験も行っていますので、 にお問い合わせください。精密位置決めテーブルには、各形式の精度規格に関する検査成績表又は検査合格証が添付されています。繰返し位置決め精度任意の一点に同じ方向から位置決めを7回繰り返して停止位置を測定し、読みの最大差の1/2を求めます。この測定を原則としてストローク長さの中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。最大差の1/2に±を付けて表します。位置決め精度基準位置から一定方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で実際に移動した距離と移動すべき距離との差を測定し、それらのストローク長さ内における最大差を絶対値で表示します。テーブル運動の平行度Aスライドテーブルの運動と平面(精密位置決めテーブル取付面)との平行度(インジケータ定置)をいいます。●スライドテーブル長さよりストロークが短い場合精密位置決めテーブルを取付けた定盤上にテストインジケータを固定し、スライドテーブル上にはストレートエッジを置き、その中央にテストインジケータを当てます。X方向およびY方向のストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。●スライドテーブル長さよりストロークが長い場合精密位置決めテーブルを取り付けた定盤上にインジケータを固定し、スライドテーブル上にはストレートエッジを置きその中央にテストインジケータを当てます。X方向およびY方向のストローク中において、テーブルの長さ分ずつテーブルを移動させながら、ストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。ℓ1ℓ2ℓ7測定値ℓ1、ℓ2、…ℓ7の最大差の1/2測定間隔移動距離 L⊿L⊿L=(実際に移動した距離)−(移動距離の指令値)基準位置XYテーブル運動の平行度Bスライドテーブルの運動と平面(テーブル取付面)との平行度(インジケータ移動)をいいます。スライドテーブル中央にインジケータを固定し、精密位置決めテーブルを取り付けた定盤上にテストインジケータを当て、X方向及びY方向のストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。真直度直線であるべきスライドテーブルの運動が、理想直線から狂っている程度をいいます。・水平真直度:スライドテーブルの移動軸の左右(水平)方向の動き。・垂直真直度:スライドテーブルの移動軸の上下(垂直)方向の動き。テストバーとインジケータ又はレーザ真直度測定システムで測定します。測定値を互いに平行な二つの直線で、その間隔が最小になるようにはさんだ時の両直線の間隔で表します。XY運動の直角度X軸とY軸の運動の直角度をいいます。スライドテーブル上に直角定規をどちらかの移動軸方向を基準に定置し、基準の移動軸と直角にテストインジケータを当て、その軸のストローク長さ内の読みの最大差を測定値とします。バックラッシスライドテーブルに送りをかけて、わずか動かしたときのテストインジケータの読みを基準とし、更にその状態から送り装置によらずに、スライドテーブルを同方向に所定の荷重で動かし、荷重を抜いた時に基準値との差を求めます。この測定をストローク長さの中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。ロストモーションまず一つの位置について正の向きで位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ1)。次に同じ向きに指令を与えて移動させ、その位置から負の向きに同一の指令を与えて移動させて負の向きでの位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ1′)。更に負の向きに指令を与えて移動させ、その位置から正の向きに同一の指令を与えて移動させて正の向きでの位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ2)。以下この動作および測定を繰り返し、正および負の向きでの、それぞれ7回の位置決めの停止位置の平均値の差を求めます。この測定を動きの中央およびほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。ロストモーションの測定値 = |17(ℓ1+ℓ2+…ℓ7)−17(ℓ1′+ℓ2′+…+ℓ7′)|max真直度⊿XYℓ1′ℓ2′ℓ3′ℓ1ℓ2ℓ3

Page 203:定格荷重と寿命Ⅲ 13 Ⅲ 14搭載質量・可搬質量・耐荷重 テーブル昇降時の平行度の測定テーブルの最下段(Hmin)の位置において、テーブルの取り付け面を基準に、テーブル上面の測定ポイントE点でインジケータを0に合わせ、その値を基準に残りの8ポイント(A∼I)の高さを測定します。テーブルを上昇させて、中段(Hmid)、上段(Hmax)においても、同様の測定を行い、下段、中段、上段における同一ポイントの測定値の最大差をそれぞれ求めます。全9ポイントにおける最大差の最大値をテーブル昇降時の平行度とします。測定値が表のような場合、各ポイントの最大差の最大値はH点の6μmとなります。結果として、このテーブルの昇降時の平行度は6μmとなります。テーブル昇降時の直角度の測定テーブル昇降時の直角定規に対する直角性をテーブル昇降時の直角度とします。テーブルの下段(Hmin)において、直角定規に対して、インジケータを0に合わせます。その状態でテーブルの下段(Hmin)から、上段(Hmax)までストロークさせたときのピックテストの振れの最大差をテーブル昇降時の直角度とします。(テーブルストローク時の真直度成分を含みます。)直角定規はテーブルの端面から10mmの位置に設置し、ボールねじの軸方向と軸に直角な方向の2方向について測定を行い、2つの値の最大値をテーブル昇降時の直角度とします。A B CD E FG H I【上段】【中段】【下段】【測定方法】【測定ポイント】【テーブル昇降時の平行度の計算例】測定ポイント測定値(μm)下段 中段 上段 最大差A 1 2 1 1B 2 −1 3 4C 3 4 5 2D 4 2 1 3E 0 0 0 0F −1 2 3 4G −2 3 3 5H −3 2 3 6I −4 −2 −4 2【軸方向の測定】(X方向)【軸に直角な方向の測定】(Y方向) ■最大搭載質量最大搭載質量とは下記①②③を満足する質量で、TE…B、TU、TSL…M、TSLH…M、TX…M、TC…EB、TM、TS・CT、TSLB、AT、AM、TZ、TZ…Xに設定されています。搭載する質量の位置(長さ寸法L、高さ寸法H)によって値が異なりますが、(L、H)=(0、0)にて計算しています。①各形式・大きさの最高速度、加減速時間0.2sで連続運転した時に、使用している直動案内機器、ボールねじまたは支持ベアリングの定格寿命が18000時間になる質量。②原則として加速度0.3Gが得られる質量。③使用している直動案内機器の基本静定格荷重を基準に算出した質量。なお、算出される数値は、大きさ・ボールねじの仕様・スライドテーブルの長さ・ストローク長さ等様々な条件により異なります。各形式の諸特性に記載した数値はそれぞれの大きさごとの代表的で最も過酷な条件での数値を示します。詳細数値が必要な場合は、 にお問い合わせください。■最大可般質量最大可般質量とは、必要な加速度が得られる最大質量をいい、直線運動の場合は加速度0.5G、回転運動の場合は外周の加速度0.5Gが得られる鋼の立方体の最大質量となります。使用するモータの推力(トルク)特性により制限され、搭載質量が大きくなるにつれて、限界加速時間は長くなります。リニアモータ駆動の形式(LT、NT…V、NT…H、NT…XZ、NT…XZH)及びダイレクトドライブの形式(SA…DE)に適用し、基準の移動形式における加速度と可搬質量の関係を示した動的可搬質量が設定されています。■耐荷重耐荷重とは、水平使用した時に機能上・性能上支障なく使用することができる静的な最大荷重をいいます。RTに設定されています。図1 搭載質量の位置LH搭載質量W( 0 , 0 )

Page 204:Ⅲ 15 Ⅲ 16運転パターンの検討 最高速度と分解能 ■最高速度精密位置決めテーブルの最高速度は、次の式によって定義されています。ボールねじ駆動の形式は、ストローク長さの違いによるボールねじの許容回転数によって制限されます。タイミングベルト駆動の場合は、モータの最高回転数を900(min-1)としています。詳細は各形式の諸特性の項をご参照ください。リニアモータ駆動の形式は、最高速度が決まっていますので、各形式の諸特性の項をご参照ください。実際の位置決め時間を求めるには、加減速時間やストローク長さなどの条件による運転パターンを検討する必要があります。運転パターンの検討の項をご参照ください。■分解能分解能とは精密位置決めテーブルが可能な最小送り量をいい、次の式によって求めることができます。リニアモータ駆動の形式は分解能が決まっていますので、各形式の諸特性の項をご参照ください。ボールねじ駆動最高速度(mm/s)=ボールねじのリード(mm)×ボールねじの許容回転数(min-1)60タイミングベルト駆動最高速度(mm/s)=プーリのピッチ径×π(mm)×モータの最高回転数(min-1) 60(プーリのピッチ径×π=100mm)ボールねじ駆動分解能(mm/pulse)= ボールねじのリード(mm) モータ1回転の分割数(pulse)タイミングベルト駆動分解能(mm/pulse)= プーリのピッチ径×π(mm) モータ1回転の分割数(pulse)(プーリのピッチ径×π=100mm)■位置決め時間の算出精密位置決めテーブルが実際に移動する時の位置決め時間は、次の式によって算出することができます。高精度な位置決めが要求される用途においては、定速移動時間や加減速時間のほかに、指令パルス入力が完了してからテーブルが完全に位置決めポイントに停止するまでの整定時間や機械装置の振動減衰時間などを考慮する必要があります。長距離の位置決めここでいう長距離とは、加減速時間を考慮しても十分定速移動時間がある距離のことです。L1 ta+tbt= + +td V1 2 ここに、t:位置決め時間 sta、tb:加減速時間 stc:定速移動時間 std:整定時間 sL1:移動距離 mmV1:移動速度(設定速度) mm/s短距離の位置決めここでいう短距離とは、定速移動に達するまでに減速してしまうような、定速移動時間のない距離のことです。L2 ta +tbt= + +td V2 2 ここに、t:位置決め時間 sta、tb:加減速時間 std:整定時間 sL2:移動距離 mmV1:設定速度 mm/sV2:移動速度 mm/sテーブルの動き移動指令時間移動距離 L1ta tcttb tdV1速度テーブルの動き移動指令時間tattb tdV2V1速度移動距離 L2

Page 205:Ⅲ 17 Ⅲ 18運転パターンの検討 ■限界加速時間の算出精密位置決めテーブルが駆動するときに必要なトルク(推力)は、加速時に最も大きくなります。この加速に要するトルク(推力)は、モータの出力トルク(リニアモータの推力)によって制限されます。したがって、テーブルを水平使用する場合の限界加速時間は、次の式によって算出されます。ボールねじ駆動・タイミングベルト駆動の場合T0 :起動トルク N・mμ :転がり案内部の摩擦係数(0.01)W :搭載質量 kgℓ :ボールねじのリード mr :プーリのピッチ半径(0.0159m)η :効率 0.9JT :テーブルイナーシャ kg・m2JM :モータイナーシャ kg・m2JC :カップリングイナーシャJL :搭載質量のイナーシャ kg・m2N :モータ回転数 min-1ta :加速時間 sg :重力加速度(9.8m/s2)TM :モータの出力トルク N・m・ステッピングモータの場合は、回転数Nにおける出力トルクです。・ACサーボモータの場合は、回転数Nにおける(瞬時)最大トルクです。k :安全係数(ACサーボモータ :1.3)(ステッピングモータ:1.5∼2)くさび減速比:1:2の時 0.5 :1:4の時 0.25R0 :テーブル中心から搭載物の重心までの距離 mL :テーブル中心からローテータまでの距離 m●負荷トルク TLℓ TL=T0+μWg・ [N・m]……ボールねじ駆動2πηℓ TL=T0+(Wg×くさび減速比)・ [N・m]…TZに適用2πηr TL=T0+μWg・ [N・m]……タイミングベルト駆動η●加速トルク Ta2πN Ta=(JT+JM+JC+JL)・ [N・m]60taℓ JL=W・( )2[kg・m2]………ボールねじ駆動2πℓ JL=W・( )2×くさび減速比2[kg・m2]……TZに適用2π JL=W・r2[kg・m2]………タイミングベルト駆動●加速に要するトルク TP TP=TL+Ta[N・m] (TP×k<TM)●限界加速時間 ta2πN k ta=(JT+JM+JC+JL)・ ・ [s] 60 TM−TL[ATの場合]●負荷トルク TLℓ TL=T0+μWg・2πη●搭載質量のイナーシャ JLℓ・R0 JL=W・( )22πL●ローテータまでの距離 L形式 ℓ[m] L[m]AT120A 0.001 0.100AT200A 0.001 0.130AT300A 0.002 0.186リニアモータ駆動の場合[LT…CE、LT…LDの場合][LT…Hの場合][NT38Vの場合][NT55V、NT80Vの場合][NT80XZの場合][NT90XZHの場合][NT88Hの場合]●加速による力 FaV Fa=(WL+WT)・ [N] ta ●加速に要する推力 FP FP=Fa+FL[N]●限界加速時間 ta(WL+WT)・V・k ta= [s] FM−FL μ :転がり案内部の摩擦係数 (0.01)WT:可動部質量 kgWL:搭載質量 kgFR :走行抵抗 N(LT130H:20N)(LT170H:40N)Fc :コード引回し抵抗(1) N(LTシリーズ:約1.0N)(NTシリーズ:なし)FM :リニアモータの推力 N(移動速度Vにおける最大推力)ta :加速時間 sV :移動速度 m/sg :重力加速度 9.8m/s2k :安全係数(1.3)注(1) コード引回し抵抗は、コードの質量や引回し方法によって変動します。想定される抵抗値を用いて計算してください。注(2) 垂直軸はスプリングによるバランス機構を想定し、ストローク範囲の中央付近で釣り合った点から±5mmストロークさせる場合の抵抗値を示します。 実際の計算においては、スプリングの取付位置やストローク量に応じて異なりますので、実機による確認を行ってください。●転がり案内部の摩擦抵抗 Ff Ff=μ(WL+WT)g[N] ただしFfの最小値は次の値とする。 LT100CEの時 2.5N LT150CEの時 5.0N LT130LDの時 6.0N LT170LDの時 6.0N●走行抵抗による力 FL FL=Ff+Fc[N]●走行抵抗 FR LT130H:20N LT170H:40N●速度係数 fV●走行抵抗による力 FL FL=fV・FR+Fc[N]移動速度 V[m/s] LT130H LT170H0.5以下 10.5を超え1.0以下 1.51.0を超え1.5以下 2.25●走行抵抗による力 FL FL=0.25N●走行抵抗による力 FL FL=1.5N●走行抵抗による力 FL 水平軸:FL=1.5N 垂直軸:FL=0.5N(2)●走行抵抗による力 FL 水平軸:FL=2.0N 垂直軸:FL=2.0N(2)●走行抵抗による力 FL FL=0.5N

Page 206:Ⅲ 19 Ⅲ 20運転パターンの検討 ダイレクトドライブ(SA…DE)の場合WT:可動部質量 kgWL:搭載質量 kgFc :コード引回し抵抗(1) NFM :リニアモータの推力 N(移動速度Vにおける最大推力)ta :加速時間 sV :移動速度 m/sk :安全係数(1.3)注(1) コード引回し抵抗は、コードの質量や引回し方法によって変動します。想定される抵抗値を用いて計算してください。JL :積載物慣性モーメント kg・m2JT :可動部慣性モーメント kg・m2Mc:コード引回し抵抗(1) N・mMM:アライメントステージのトルク N・mta :加速時間 sR :移動速度 rad/sk :安全係数(1.3)注(1) θ軸可動部にコードはありませんので、積載物がコードを引回さない場合にはコード引回し抵抗は0としてください。積載物慣性モーメントは以下に示す計算式を参考に算出してください。[SA…DE/X(Y)の場合]●転がり案内部の摩擦抵抗 Ff Ff は次の値とする。 SA65DE/Xの時 0.5N SA120DE/Xの時 3.0N●走行抵抗による力 FL FL=Ff+Fc[N]●加速による力 FaV Fa=(WL+WT)・ [N] ta ●加速に要する推力 FP FP=Fa+FL[N]●限界加速時間 ta(WL+WT)・V・k ta= [s] FM−FL [SA…DE/Sの場合]●転がり案内部の摩擦抵抗 Mf Mfは次の値とする SA65DE/Sの時 0.03N・m SA120DE/Sの時 0.1N・m SA200DE/Sの時 0.2N・m●回転抵抗によるトルク ML ML=Mf+Mc[N]●加速によるトルク MaR Ma=(JL+JT)・ [N・m]ta●加速に要するトルク MP MP=Ma+ML[N・m]●限界加速時間 ta(JL+JT)・R・k ta= [s] MM−ML 慣性モーメントの計算 p:密度 m:質量円 柱 四角柱 オフセット回転1JL= ・π・p・t・r421= ・m・r221JL= ・p・a・b・c・(a2+b2)121= ・m・(a2+b2)12JL′=JL+m・r32JL′:回転中心からの慣性モーメントJL: 重心を中心に回転するときの慣性モーメントrta bcr3■実効トルク・実効推力の算出精密位置決めテーブルが駆動するときは、加減速時に大きなトルク(推力)を要するため、ACサーボモータを使用する場合及びリニアモータ駆動の場合、運転パターンの稼働率によっては、実効トルク(実効推力)がモータの定格トルク(定格推力)より大きくなることがあります。この状態で運転を続けますと、モータが過熱、焼付きをおこすおそれがありますので、実効トルク(実効推力)がモータの定格トルク(定格推力)より小さいことを確認してください。テーブルの運転パターンによる実効トルク(実効推力)は、次の式により算出されます。モータの定格トルク(定格推力)が、実効トルク(実効推力)より大きければ、その運転パターンでの連続運転が可能です。ACサーボモータを使用する場合●実効トルク Trms Trms= [N・m] リニアモータ駆動の場合●実効推力 Frms Frms= [N] ダイレクトドライブ(SA…DE)場合●実効推力(SA…DE/X(Y)に適用) Frms Frms= [N] ●実効トルク(SA…DE/Sに適用) Mrms Mrms= [N・m] 時間時間1サイクル時間 ttaTa(Fa)TP(FP)TL(FL)tc taV速度トルク(推力)TP2×ta+(TP−2×TL)2×ta+TL2×tctFP2×ta+(FP−2×FL)2×ta+FL2×tct時間時間1サイクル時間 ttaFa(Ma)FP(MP)FL(ML)tc taV速度(回転速度)推力(トルク)FP2×ta+(FP−2×FL)2×ta+FL2×tctMP2×ta+(MP−2×ML)2×ta+ML2×tct

Page 207:Ⅲ 21 Ⅲ 22運転パターンの検討 ■運転パターンの検討例ACサーボモータを使用する場合●使用条件取付方向 水平使用搭載質量 W 30kgストローク長さ L 300mm移動速度(設定速度) V 300mm/s加減速時間 ta 0.2s定速移動時間 tc 0.8s1サイクル時間 t 2.0s●位置決めテーブルの仮選定TU60S49/AT103G10S03を仮選定。基本仕様ボールねじのリード ℓ 10mmストローク長さ 300mm最高速度 500mm/s起動トルク TS 0.08N・mテーブルイナーシャ JT 0.93×10-5kg・m2カップリングイナーシャ JC 0.290×10-5kg・m2●モータの仕様使用ACサーボモータ SGMAV-01A定格トルク 0.318N・mモータイナーシャ JM 0.380×10-5kg・m2時間sストローク長さ時間s2.00.2 0.8 0.2TaTPTL速度 mm/s300300mmトルク N.m●加速に要するトルクの算出・負荷トルク TLℓTL=TS+μWg・2πη0.01 =0.08+0.01×30×9.8×2×π×0.9 ≒0.09N・m ・加速トルク TaℓJL=W・( )22π0.01 =30×( )2≒7.60×10-5kg・m22×π60 60N=V× =0.3× =1800min-1ℓ 0.012πNTa=(JT+JM+JC+JL)・60ta2×π×1800 =(0.93+0.380+0.290+7.60)×10-5× 60×0.2 ≒0.09N・m・加速に要するトルク TPTP=TL+Ta=0.09+0.09=0.18N・mここで、TP×k(安全係数)がモータの出力トルクTMより小さいことを確認します。この値を超える場合は、最高速度や加減速時間の再検討を行ってください。検討中の運転パターンでは、以下のように出力トルクTMより小さい値となります。TM=0.318×3≒0.95N・mTP×k=0.18×1.3=0.23N・m<TM●実効トルクの検討・実効トルク Trms Trms= = ≒0.09N mモータの定格トルクは、実効トルクTrmsより大きいので、検討中の運転パターンでの連続使用が可能と判断できます。TP2×ta+(TP−2×TL)2×ta+TL2×tct0.232×0.2+(0.23−2×0.09)2×0.2+0.092×0.82.0リニアモータ駆動の場合リニアモーターテーブルの稼働率によっては実効推力が定格推力を超え、モータの過熱、焼付きにより故障やけがの原因となる可能性があります。運転前には必ず実効推力が定格推力以下であることをご確認ください。以下にLT170HSを使用した場合の運転パターンの検討例を示します。Ⅱ 294ページの動的可搬質量のグラフから搭載質量と加速度を考慮して下記のような運転パターンを仮設定します。設定項目形式 LT170HS(自冷)可動部質量 WT 4.0kgⅡ 309ページ参照テーブル仕様 移動速度Vにおける最大推力FM 約550NⅡ 294ページ参照走行抵抗 FR 限界加速時間の算出項[LT…Hの場合]参照速度係数 fV搭載質量 WL 30kg移動距離 L 1.2m移動速度(設定速度) V 1.5m/sta 0.3s時間 tc 0.5st 2.5sコード引回し抵抗Fc 1.0N想定値です安全係数 k 1.3環境温度 30℃時間時間tta tc taFaFPFLL速度推力VSTEP1 加速に要する推力の計算①走行抵抗による力 FLFL=fV×FR+Fc=2.25×40+1=91N②加速による力 FaVFa=(WL+WT)・ta1.5=(30+4.0)× =170N0.3③加速に要する推力 FPFP=Fa+FL=170+91=261Nここで、FP×k(安全係数)がⅡ 294ページの推力特性カーブ以下であることを確認してください。この値を超える場合は、運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。例題のパターンでは以下のとおり推力特性カーブ以下であることがわかります。1.5m/s時の最大推力FM=約550NFP×k=261×1.3=339.3N<FMSTEP2 実効推力の検討・実効推力 Frmsは以下のように求められます。 Frms= = ≒103Nここで、Frmsが定格推力以下であることを確認してください。定格推力を超える場合は運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。(LT…Hは環境温度により推力特性が変化するため、定格推力特性の図をご参照ください。)例題のパターンでは環境温度30℃の時の定格推力は約117Nであるため、103N<117N(定格推力)となり連続運転が可能と判断できます。FP2×ta+(FP−2×FL)2×ta+FL2×tct2612×0.3+(261−2×91)2×0.3+912×0.52.5

Page 208:Ⅲ 23 Ⅲ 24 運転パターンの検討アライメントステージSAの場合アライメントステージSAの稼働率によっては実効推力が定格推力を超え(もしくは実効トルクが定格トルクを超え)、モータの過熱、焼付きにより故障やけがの原因となる可能性があります。運転前には必ず実効推力が定格推力以下であること(もしくは実効トルクが定格トルク以下であること)をご確認ください。以下にアライメントステージSA120DE/XYSを使用した場合の運転パターンの検討例を示します。限界加速時間を考慮して下記のような運転パターンを仮設定します。設定項目テーブルの形式 SA120DE/XYS積載質量 WL 5.0kg積載物慣性モーメント JL 1.0×10-2kg・m2X軸運転パターン可動部質量 WT 5.9kg設定ストローク L 0.01m最高速度 V 0.1m/s加減速時間 ta 0.05s等速移動時間 tc 0.05sサイクル時間 t 0.4sコード引回し抵抗 Fc 1.0NY軸運転パターン可動部質量 WT 3.4kg設定ストローク L 0.01m最高速度 V 0.1m/s加減速時間 ta 0.05s等速移動時間 tc 0.05sサイクル時間 t 0.4sコード引回し抵抗 Fc 1.0Nθ軸運転パターン可動部慣性モーメント JT 2.0×10-3kg・m2設定動作角度 L0.1πrad18°最高速度 Rπrad/s180°/s加減速時間 ta 0.05s等速移動時間 tc 0.05sサイクル時間 t 0.4sコード引回し抵抗 Mc 0.0N・m安全係数 k 1.3STEP1 X軸の加速に要する推力の計算①走行抵抗による力 FLFL=Ff+Fc=3.0+1.0=4.0N②加速による力 FaVFa=(WL+WT)・ta0.1=(5.0+5.9)× =21.8N0.05③加速に要する推力 FPFP=Fa+FL=21.8+4.0=25.8Nここで、FP×k(安全係数)がⅡ-271ページの最大推力以下であることを確認してください。この値を超える場合は、運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。例題のパターンでは以下のとおり最大推力以下であることがわかります。SA120DE/Xの最大推力FM=70NFP×k=25.8×1.3=33.54N<FMSTEP2 実効推力の検討・実効推力 Frmsは以下のように求められます。Frms= = ≒11.17Nここで、Frmsが定格推力以下であることを確認してください。定格推力を超える場合は運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。例題のパターンでは連続運転が可能と判断できます。時間tta tc ta速度VFP2×ta+(FP−2×FL)2×ta+FL2×tct25.82×0.05+(25.8−2×4.0)2×0.05+4.02×0.050.4STEP3 Y軸の加速に要する推力・実効推力の検討X軸と同様の計算を行います。運転パターンが同じ場合には可動部質量が小さい分Y軸の方が条件は軽くなるので、本例では省略します。STEP4 θ軸の加速に要するトルクの検討①回転抵抗によるトルク MLML=Mf+Mc=0.1+0.0=0.1N・m②加速によるトルク MaRMa=(JL+JT)・ taπ=(0.01+0.02)× ≒0.754N・m0.05③加速に要するトルク MPMP=Ma+ML=0.754+0.1=0.854N・mここで、MP×k(安全係数)がⅡ-271ページの最大トルク以下であることを確認してください。この値を超える場合は、運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。例題のパターンでは以下のとおり最大トルク以下であることがわかります。SA120DE/Sの最大トルクMM=2.0N・mMP×k=0.854×1.3≒1.11N・m<MMSTEP5 実効トルクの検討・実効トルク Mrmsは以下のように求められます。 Mrms= = ≒0.38N・mここで、Mrmsが定格トルク以下であることを確認してください。定格トルクを超える場合は運転パターンの最高速度や加減速時間等の再検討を行ってください。例題のパターンでは連続運転が可能と判断できます。※注意 積載物が回転中心からオフセットしている場合には、XY軸の加減速がθ軸へのトルク負荷となるため、注意が必要です。MP2×ta+(MP−2×ML)2×ta+ML2×tct0.8542×0.05+(0.854−2×0.1)2×0.05+0.12×0.050.4

Page 209:Ⅲ 25 Ⅲ 26 センサ仕様 精密位置決めテーブルには、オーバーラン防止用のCW・CCWリミットセンサと機械原点検出用の原点前・原点センサがあります。テーブルの形式によって、これらのセンサが標準装備されているものと呼び番号で取付けを指定するものがあります。精密位置決めテーブルに使用されているセンサの種類を表1に、各センサの仕様を表2∼表4に示します。NT・・・V、RT、TMのコネクタ仕様は表5.1∼5.3を参照願います。その他の各テーブルは、バラ線仕様となっておりますので、センサ出力のコネクタおよびその相手側のコネクタはお客様にてご用意願います。センサのタイミングチャートについては、各形式のセンサ仕様の項をご参照ください。なお特別の記載がない限りセンサ位置は微調整可能となっておりますので、調整はお客様にて行ってください。表1 センサの種類CW CCWCCWリミット原点前原点CWリミットバラ線仕様のシースには信号名(ORG、PORG、CW、CCW)を刻印したマークチューブが挿入されますセンサテーブルの形式CWリミット CCWリミット 原点前(PORG) 原点(ORG)TE…B(1) 近接センサ 近接センサ 近接センサ 近接センサTU(1) 近接センサ 近接センサ 近接センサ 近接センサTSL…M 近接センサ 近接センサ 近接センサ フォトセンサ④(2)TSLH…M・CTLH…M フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ④(2)TX…M・CTX…M フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ④(2)TC…EB(1) 近接センサ 近接センサ 近接センサ 近接センサ(5)TM(1)(4) 磁気センサ(5) 磁気センサ(5) 磁気センサ(5) 磁気センサ(5)TS・CT(1)TS55/55・CT55/55 マイクロスイッチ(6) マイクロスイッチ(6) 近接センサ フォトセンサ③TS75/75 フォトセンサ① フォトセンサ① フォトセンサ① フォトセンサ①CT75/75 フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ③(5) フォトセンサ③(5)上記以外 フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ②(2)TSLB 近接センサ 近接センサ 近接センサ 近接センサLT…CE(1) 近接センサ(3) 近接センサ(3) 近接センサ(3) エンコーダ(3)(5)LT…LD 内部センサ(3)(5) 内部センサ(3)(5) 内部センサ(3)(5) エンコーダ(3)(5)LT…H 近接センサ(3)(5) 近接センサ(3)(5) 近接センサ(3)(5) エンコーダ(3)(5)NT…V(1) 近接センサ 近接センサ 近接センサ エンコーダ(3)(5)RT(1) フォトセンサ③ フォトセンサ③ フォトセンサ③ エンコーダ(3)(5)AT 近接センサ(5) 近接センサ(5) − −AM 近接センサ 近接センサ 近接センサ −(2)SA…DE 内部センサ(3)(5) 内部センサ(3)(5) 内部センサ(3)(5) エンコーダ(3)(5)TZ 近接センサ(5) 近接センサ(5) 近接センサ(5) 近接センサ(2)(5)注(1) センサの取り付けは呼び番号で指定します。他の形式は標準装備されています。 (2) ACサーボモータ用アタッチメントまたはリニアエンコーダ付きを選択された場合、原点センサは付きません。お客様にて取り付けるACサーボモータまたはリニアエンコーダのC相又はZ相信号を使用してください。AMの場合は、ACサーボモータのみの選択になります。 (3) 適用する専用コントロールユニット又は専用ドライバから各信号が出力されます。 (4) テーブル内部にセンサが内蔵されており、専用センサアンプから各信号が出力されます。ACサーボモータを使用する場合、原点信号はエンコーダのC相を使用してください。 (5) センサ位置は微調整できません。 (6) 基板に内蔵されています。表2 フォトセンサの仕様センサ項目リミット、原点前、原点①PM-L24②PM-K54③PM-T54④PM-L54メーカー パナソニック電工SUNX㈱形状(mm)出力コネクタの形式(1)−CN-14H-C1(リード線長さ1m)またはCN-14H-C3(リード線長さ3m)電源電圧 DC5∼24V ±10%消費電流 15mA以下出力NPNトランジスタ オープンコレクタ・最大流入電流:50mA・印加電圧 :30VDC以下・残留電圧 :流入電流50mAにて0.7V以下 16mAにて0.4V以下出力動作 入光時ON/OFF 選択式(2)動作表示 朱色LED(入光時点灯)回路図注(1) 適用する形式に応じて選択されます。 (2) CT75/75については、CWリミット及びCCWリミットはOUT1(黒)を使用し、原点前及び原点はOUT2(白)を使用してください。それ以外の形式は全てOUT1(黒)を使用してください。備考1. センサコードはお客様で配線してください。 2. リード線はテーブル端から少なくとも200mm以上出ています。実際の長さはストローク長さによって異なります。1210.513.422.225.4713.722.22615.514.526主回路VCC (茶)OUT1 (黒)OUT2 (白)GND (青)

Page 210:Ⅲ 27 Ⅲ 28センサ仕様 表4 磁気センサの仕様センサ項目リミット、原点前 原点電源電圧 DC12∼24V ±10%消費電流(1) 65mA以下出力(2)NPNトランジスタ オープンコレクタ・最大流入電流:12mA以下・印加電圧 :DC36V以下・残留電圧 :流入電流12mAにて1.7V以下 流入電流 4mAにて1.1V以下出力動作 接近時OFF 接近時ON動作表示CWリミット :黄色LED(検出時点灯)CCWリミット:赤色LED(検出時点灯)原点前 :赤色LED(検出時点灯)赤色LED(検出時点灯)回路図注(1) センサアンプを含めたシステム全体の消費電流です。 (2) 1回路あたりの出力です。主回路VCCOUTGND表3 近接センサの仕様対象形番項目TZ以外 TZ120、TZ200H、TZ200X TZ120Xメーカ アズビル㈱ オムロン㈱形式原点前APM-D3B1-017APM-D3B1F-019APM-D3B1F-020APM-D3B1F-019 E2S-W14 1MCWリミット APM-D3B1-017APM-D3B1-018APM-D3B1-017 E2S-W14 1MCCWリミット APM-D3B1F-019 E2S-W14 1M原点 APM-D3A1-013 APM-D3A1-013 E2S-W13B 1M形状 mm電源電圧 DC12∼24V ±10%消費電流 10mA以下 13mA以下出力NPNオープンコレクタ・最大流入電流:30mA以下(抵抗負荷)・印加電圧 :DC26.4V以下・残留電圧 :流入電流30mAにて1V以下NPNオープンコレクタ・最大流入電流:50mA・印加電圧 :DC30V以下・残留電圧 :流入電流50mAにて1V以下出力動作原点前 近接時OFFリミット 近接時OFF原点 近接時ON動作表示原点前 橙色LED(検出時消灯)リミット 橙色LED(検出時消灯)原点 橙色LED(検出時点灯)回路図備考 1.センサコードはお客様で配線してください(NT…V/SCは除く)。2.リード線はテーブル端から少なくとも200mm以上出ています。実際の長さはストローク長さによって異なります。253.9 149 10.187.560.72検出面中心M2.5用穴1912.65.55.52.9検出面主回路VCC (茶)OUT (黒)GND (青)表5.3 コネクタ仕様(TM用)ピンNo.信号名使用コネクタ(日本モレックス㈱製)センサ側 相手側1 原点ハウジング43020-0600ターミナル43031-0010ハウジング43025-0600ターミナル43030-00072 原点前3 CWリミット4 CCWリミット5 電源入力6 GND備考1. 相手側コネクタはお客様にてご用意ください。 2. ACサーボモータを使用する場合、原点信号はエンコーダのC相またはZ相を使用してください。表5.2 コネクタ仕様(RT158A2)ピンNo.信号名使用コネクタ(タイコエレクトロニクスジャパン合同会社製)センサ側 相手側1 ―ハウジング172160-1接触子170365-1ハウジング172168-1接触子170363-12 原点前3 CWリミット4 CCWリミット5 電源入力6 GND備考 相手側コネクタはお客様にてご用意ください。表5.1 コネクタ仕様(NT55V/SC、NT80V/SC)ピンNo.信号名使用コネクタ(日本モレックス㈱製)センサ側 相手側1 ―ハウジング1625-12R1ターミナル1855TLハウジング1625-12P1ターミナル1854TL2 原点前3 +方向リミット4 −方向リミット5 ―6 ―7 電源入力(原点前用)8 GND(原点前用)9 電源入力(+方向リミット用)10 GND(+方向リミット用)11 電源入力(−方向リミット用)12 GND(−方向リミット用)備考 相手側コネクタはお客様にてご用意ください。

Page 211:Ⅲ 29 Ⅲ 30取付け 使用上の注意 ■取付面の加工精度精密位置決めテーブルの精度や性能は、相手取付面の精度により影響を受けます。したがって、要求する運動性能や位置決め精度などの使用条件に応じて、取付面の加工精度を考慮する必要があります。表6に一般的な使用条件のときの相手取付面の平面度の目安を示します。また、テーブルが取り付けられる架台は大きな反力を受けますので、架台の剛性にも十分配慮してください。表6 取付面の精度 単位 μm形式 取付面の平面度NT…H 5TXTM8TS・CTNT…VNT…XZNT…XZHSA…DE10TSLH…M 15TE…BTUTSL…MTC…EBLTAM30TSLB 50■固定ねじの締付トルク精密位置決めテーブルを固定するための一般的な締付トルクを表7に示します。急加速や急減速が頻繁に加わる場合やモーメントが負荷する場合には、表の値の1.3倍程度のトルクで締め付けることを推奨します。また、振動や衝撃がなく高い精度が必要なときは、表の値よりも小さなトルクで締め付け、ねじの緩み止めのために接着剤を併用することを推奨します。表7 ねじの締付トルク 単位 N・mねじの呼びめねじ部材鋼アルミニウム合金ヘリサートありM2 ×0.4 0.31M3 ×0.5 1.7M4 ×0.7 4.0M5 ×0.8 7.9 鋼の数値の約60% 鋼の数値の約80%M6 ×1 13.3M8 ×1.25 32.0M10×1.25 62.7注(1) NT…Vの締付トルクは1.1N・mを推奨します。■安全上の注意・接地端子は、必ず接地(第3種接地)してください。感電、火災の原因となります。・機器に表示された電源電圧以外では使用しないでください。火災、故障の原因となります。・濡れた手で電装品類にさわらないでください。感電の原因となります。・コードは、無理に曲げたり、ねじったり、ひっぱったり、加熱したり、重いものをのせたりしないでください。感電、火災の原因となります。・テーブルの運転中は、開口部に指などを入れないでください。けがの原因となります。・テーブルの運転中は、可動部に触れないでください。けがの原因となります。・電装部のカバーを外す時は、必ず電源を切り電源プラグを抜いてください。感電の原因となります。・電源を切った後5分間は端子に触れないでください。残留電圧により感電の原因となります。・接続端子を着脱する時は、必ず電源を切り、電源プラグを抜いてから行ってください。感電や火災の原因となります。■使用上の注意・精密位置決めテーブルは精密機械ですので、過大な荷重や衝撃を与えますと、精度低下や部品破損などの原因となりますので、取扱いには十分注意してください。・テーブル取付面には、ごみや有害な突起などがないことを確認してください。・水、油、粉じんなどがかからない清浄な環境でご使用ください。・精密位置決めテーブルに組み込まれている直動案内機器とボールねじにはグリースが塗布されていますので、内部にごみなどの混入のないように防じんを行ってください。もし、ごみが混入してしまった場合には汚れたグリースを十分除去し、清浄なグリースを再塗布してください。・精密位置決めテーブルの潤滑は、使用条件によって異なりますが、一般的には6ヶ月ごとに、長い距離を常に往復運動する用途などでは3ヶ月ごとに古いグリースを拭き取り、清浄なグリースを再塗布してください。なお、Cルーブを内蔵した精密位置決めテーブルは、長期間のメンテナンスフリーを実現した製品で、直動案内機器やボールねじに不可欠であった潤滑のための給油機構や給油工数が不要になり、維持コストを大幅に削減することができます。・精密位置決めテーブルは高精度な加工及び組立調整を行っていますので、分解や改造などはしないでください。・リニアモータ駆動の製品は、内部に強力な磁石を有しています。磁性体を近づけると吸引される恐れがありますのでご注意ください。また、磁気の影響を受けやすい装置の近くでご使用になる場合には にお問い合わせください。・リニアモータ駆動の製品は、駆動させるためにはコントロールユニットまたはドライバのパラメータ設定が必要です。駆動モータに合わせたパラメータ設定を確実に行ってください。・リニアモータテーブルLTシリーズは、移動するテーブルにはモータコード等が接続されますので、本体の設置スペース以外にコードを取り回すためのスペースの確保が必要となります。なお、コードの取り回しは走行抵抗の増加や無理な力が加わることがないように余裕をもった曲率で行ってください。◎製品の外観・仕様等は改良のため予告なしに変更することがあります。

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Page 213:直動案内機器は、地球環境の負荷を低減する管理システム ISO 14001、及び品質向上のための管理システム ISO 9001に裏打ちされた品質レベルで生産されております。当カタログに掲載している標準品は、欧州RoHS指令6物質に適合しています。●●Ⅳ 20Ⅳ 19

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