電動アクチュエータ モータレスタイプ

　 電動アクチュエータ 電 動 モータレス総合 ア ク チ ュ エ ー タ 　 モ Our style for new world standards. ー 私たちのスタイルが新しい基準になる。 タ レ ス 総 合 CB-055 1

装置の中の全用途、全仕様に応える。そして装置　はよりコンパクトに、効率を上げる。 これがCKDの新しいアプローチ。 対応サーボモータ EBS-L ETS/ECS/ 対応ステッピングモータ EBS-L ETS 高速、コンパクトに搬送 コンパクトに圧入、昇降 高タクト搬送に メーカー一覧表 EBR-L ETV/ECV EKS-L メーカー一覧表 EBR-L ECS 三菱電機株式会社 オリエンタルモータ―株式会社 3・517ページ 45・551ページ 457ページ デルタ電子株式会社 ミネベアミツミ株式会社 山洋電気株式会社 株式会社ダイアディックシステムズ 株式会社安川電機 ※対 応機種、容量については、各機種の 株式会社キーエンス ページを参照ください。 パナソニック株式会社 オムロン株式会社 富士電機株式会社 ファナック株式会社 株式会社デンソーウェーブ ※1 スライダタイプ ロッドタイプ スライダタイプ Bosch Rexroth AG EBS-L（ボールねじ駆動）シリーズ EBR-Lシリーズ EKS-L（ボールねじ駆動）シリーズ Rockwell Automation, Inc. SIEMENS AG ※1メタルストッパ仕様（ETS-X）のみの対応となります。 EBS-L/EBR-Lシリーズ ● 業界スタンダードモデル ● 繰返し精度±0.01mm ● 業種対応可能 汎用性 高荷重可搬 高精密 ETS/ECS EKS-Lシリーズ シリーズ ● 繰返し精度±0.01mm ● 最大可搬重量：150ｋｇ（水平） ● 加減速度2G対応 ● 繰返し精度±0.01mm ● 業種対応可能 ● 低発塵仕様ラインナップ ● 業種対応可能 高荷重可搬に 85・583ページ ロングストローク搬送に 343・399ページ 高タクト ワイドバリエーション ロングストローク ETV/ECVシリーズ スライダタイプ ETS（ボールねじ駆動）シリーズ スライダタイプ ETV（ベルト駆動）シリーズ ● 最長ストローク：3500mm ECS（ボールねじ駆動・低発塵）シリーズ ECV（ベルト駆動・低発塵）シリーズ ● 低発塵仕様ラインナップ ● 業種対応可能

高速、コンパクトに搬送 コンパクトに圧入、昇降 スライダタイプ　EBS-L（ボールねじ駆動）シリーズ ロッドタイプ　EBR-Lシリーズ 設備はより省スペースに 簡単メンテナンス 本体据付け工数削減 併設ガイドの必要性を低減 コンパクト高剛性ボディ グリース給脂口装備 本体上下面に取付穴を用意 ガイド内蔵形ロッドタイプ 負荷を支えるガイドはアウターレールを採用。 外部から直接給脂できる給脂口を装備。 上下面双方から、カバーを外さず スライダタイプのEBS-Lと同じ ボディと一体になった幅広ガイドにより 本体分解することなく、1か所からの給脂で ダイレクトに据付け可能。 ガイドを内蔵しています。 コンパクトと高剛性を同時に実現しました。 ガイドとボールねじのメンテナンスが可能です。 特に上面からの据付けとする場合に オフセットしたワークにも強い構造。 大幅な作業短縮を実現します。 従来以上のロングストロークも実現しました。 スライダ ガイドレール オフセットしたワークに対応可能 ボール EBS-Lシリーズ 従来品 静的許容モーメント 本体幅 MP MY MR 従来品 65mm 80N・ｍ 70N・ｍ 75N・ｍ EBS-05L 54mm 103N・ｍ 103N・ｍ 144N・ｍ ➡ ➡ ➡ ➡ 11mm 28％ 47％ 92％ DOWN UP UP UP

高荷重可搬に ロングストローク搬送に ワイドバリエーションでどんな用途、仕様にも応える スライダタイプ ETS（ボールねじ駆動）シリーズ スライダタイプ ETV（ベルト駆動）シリーズ ECS（ボールねじ駆動・低発塵）シリーズ ECV（ベルト駆動・低発塵）シリーズ スライダタイプ　ETS/ECS/ETV/ECVシリーズ 装置スペースに合わせてカスタマイズ 豊富なモータ取付方向 ETS ECS ラインナップ 全てをカバーする 簡単メンテナンス ワイドバリエーション ボールねじ駆動5タイプ、 ストレート取付 ビルトイン取付 右側折返し取付 下側折返し取付 左側折返し取付 グリースニップル装備 ベルト駆動6タイプの ETV ECV 最大可搬質量　150ｋｇ モータ取付方向を用意。 ※形番にて選択 最大ストローク　3500mm 外部から直接給脂できる 装置の空きスペースを 最大速度　2000mm/s グリースニップルを装備。 有効活用します。 右側折返し取付 左側折返し取付 左上側折返し取付 左下側折返し取付 右上側折返し取付 右下側折返し取付 リード　2〜40mm 本体分解することなく、 ※上記絵は、ETS-10以上のサイズ ※ETS、ETVの最大範囲で記載。 1か所からの給脂でガイド とボールねじのメンテナンス 確かな原点位置出しが可能 メタルストッパ ボールねじ駆動のETS、ベルト駆動のETVをベースに が可能です。 業界の全ての用途、仕様に応えられるよう メタルストッパ装備　 ETS 各種バリエーションをそろえました。 メタルストッパを利用し、 押し当て原点位置出しをより確実に、簡単に。 更にECS、ECVで発塵を防ぐ ※ETS-06以上のサイズに対応。 簡単に、高精度に、位置検出 フルカバー＋吸引ポート スライダタイプ 原点センサ、リミットセンサをご用意 ETS Multi Axisシリーズ ETSと同じボールねじ駆動で低発塵仕様のECS、 ETVと同じベルト駆動で低発塵仕様のECVを用意。 フォトマイクロセンサにより、 用途に合わせた多軸運用に最適　 ETS 隙間の無い構造と吸引ポートにより低発塵を実現します。 簡単、高精度な位置検出が可能。 色々な形で幅広く仕様に応えます。 液晶パネル製造ライン、食品ラインに最適。 センサの取付方向も選択いただけます。 Aタイプ（X-Y軸） Gタイプ（X-Y軸サポートガイド付き） Pタイプ（X-Z軸） Fタイプ（X-Y軸） 最大可搬質量：50kg 最大可搬質量：50kg 最大可搬質量：35kg 最大可搬質量：22kg 6サイズ 2サイズ 3サイズ 3サイズ 外側センサ 外側センサドグ

二次電池対応 P4シリーズ 高タクト搬送に 二次電池製造工程に最適 EBS EBR EKS ..............................カタログNo.▶CC-1431 ETS ECS ....................................................カタログNo.▶CC-1283 ●銅系材料の使用を制限 ●低露点の超乾燥環境下でも使用可 ●オプションで防錆処理にも対応 スライダタイプ　EKS-L（ボールねじ駆動）シリーズ 標準タイプ 防錆処理対応 タクトタイム短縮 設備はより省スペースに 加減速度2Gに対応 鉄ボディで荷重・モーメントに強い構造 食品製造工程向け 従来機種よりもボールねじ径を太くすることで 鉄ボディ、U字形状のアウターレールガイドを採用。 更なる高タクト高速化を追求。 高タクトにすることで発生するモーメントにも FP1シリーズ 条件により加減速度4Gまで対応可能です。 強い構造のアクチュエータを実現。 食品業界に最適 動作時間比較（500ｍｍストローク） 1800 EBS EBR EKS ..............................カタログNo.▶CC-1430 1600 EKS-06LE-リード30 最高速度：1500mm/s ETS ECS ETV ECV ........カタログNo.▶CC-1320 1400 加減速度：2.0G ●流 路部・摺動部の潤滑油は食品用グレードNSFH1を使用 1200 1000 最高速度：1000mm/s 800 加減速度：0.5G 600 400 200 0.29sec短縮 外観部のボルトは 0 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 ステンレス材を使用 時間（sec） 食品用グレード（NSFH1） 潤滑油を使用 速度（mm/s）

電動アクチュエータ サーボモータ対応 C O N T E N T S 商品紹介 巻頭 ■ スライダタイプ（スタンダードモデル）EBS-L 3 ■ ガイド内蔵形ロッドタイプ EBR-L 45 ■ スライダタイプ（ボールねじ駆動） ETS 85 ■ ETS Multi Axis（ボールねじ駆動） 163 ■ スライダタイプ ECS 271 （ボールねじ駆動　低発塵仕様） ■ スライダタイプ（ベルト駆動） ETV 343 ■ スライダタイプ ECV 399 （ベルト駆動　低発塵仕様） ■ スライダタイプ EKS-L※ 457 （高タクト・高剛性モデル） 使用上の注意事項 686 機種選定チェックシート 708 1 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項

2 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS

EBS-L 電動アクチュエータ スライダタイプ（スタンダードモデル） サーボモータ対応 モータレス仕様 C O N T E N T S 商品紹介 巻頭 体系表 4 仕様・形番表示・外形寸法図 ・EBS-04L 8 ・EBS-05L 14 ・EBS-08L 20 ・EBS-12L 26 機種選定 32 技術資料 34 使用上の注意事項 686 機種選定チェックシート 708 3 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項

EBS-L Series 体系表 体系表 適用 最大可搬質量（kg） ストローク（mm)と最高速度（mm/s)　※2 タ イ 形番 モータ 本体幅 ねじ リード 掲載 プ 容量 （mm）(mm) 水平 ページ （W） 垂直 50 mm 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950 1000 1050 1100 1150 1200 1250 1300 1350 ※1 ※3 EBS-04L※-06 6 20 5 300 mm/s 1.7秒 50 44 8 EBS-04L※-12 12 12 2 600 0.89秒 EBS-05L※-02 2 30 10 100 90 80 70 60 13.34秒 EBS-05L※-05 5 30 10 250 225 200175 150 5.35秒 100 54 14 EBS-05L※-10 10 15 5 500 450 400 350 300 2.7秒 ス ラ イ EBS-05L※-20 20 10 2.5 1000 900 800 700 600 1.39秒 ダ タ イ EBS-08L※-05 5 50 15 250 225 200 175 150 125 100 75 50 22.01秒 プ EBS-08L※-10 200 82 10 30 8 500 450 400 350 300 250 200 150 100 11.01秒 20 EBS-08L※-20 20 12 2.5 1000 900 800 700 600 500 400 300 200 5.52秒 EBS-12L※-05 5 110 33 250 225 200 175 150 140 130 120 110 100 90 80 15.63秒 EBS-12L※-10 10 88 22 500 450 400 350 325 300 275 250 225 200 175 150 8.35秒 400 120 26 EBS-12L※-20 20 40 10 1000 900 800 700 650 600 550 500 450 400 350 300 4.2秒 EBS-12L※-32 32 30 8 1600 1450 1300 1150 1050 950 850 750 650 550 450 350 3.61秒 ※1　壁掛け設置の場合は水平設置と同じ可搬質量です。 ※2　最高速度は、お客様にて取付けたモータが3000rpmの回転速度を出力できるものとした場合です。 ストロークにより最高速度の制限があります。制限を越えた速度で動かさないでください。 ※3　　は位置決め時間を示します。最長ストロークを、水平設置、最高速度、最高加減速度で動作させた場合です。 最大可搬時の数値ではありませんのでご注意ください。 4 5 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項

EBS-L Series 形番構成 スライダタイプ EBS 05 L E 02 0300 N NN M 1 N N A B C D E F G H I J Aボディサイズ Eストローク Jリミットセンサ 04 本体幅44mm 0050 50mm N 無し 05 本体幅54mm （50mm毎） B 有り 08 本体幅82mm 1250 1250mm 12 本体幅120mm I原点センサ Fブレーキ N 無し Bモータ N 無し C 有り L 無し G取付モータ仕様 M Cモータ取付方向 Y 右ページの一覧表を E ストレート取付 P ご確認ください R 右側折返し取付 F D 下側折返し取付 L 左側折返し取付 Hモータサイズ H 50W Dねじリード 1 100W 02 2mm 2 200W 05 5mm 4 400W 06 6mm 10 10mm 12 12mm 20 20mm 32 32mm ※　当 製品はアクチュエータ（及びモータ取付部品）のみのご提供であり、モータは付きません。  モータ及びドライバは、お客様にて準備・取付・調整を行ってください。 6 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS ～

EBS-L Series 取付推奨サーボモータ一覧表 取付推奨サーボモータ一覧表 記号 メーカ シリーズ 50W 100W MELSERVOJ4 HG-KR053 HG-KR13 三菱電機株式会社 MELSERVOJ5 HK-KT053W HK-KT13W M デルタ電子株式会社 ECMA-C ECMA-C1040F ECMA-C10401 山洋株式会社 SANMOTIONR R2□A04005 R2□A04010 Σ-Ⅴ SGMJV-A5 SGMJV-01 株式会社安川電機 Σ-7 SGM7J-A5 SGM7J-01 Y SV SV-□005 SV-□010 株式会社キーエンス SV2 SV2-□005 SV2-□010 MINASA5 MSMD5A MSMD01 P パナソニック株式会社 MINASA6 MSMF5A MSMF01 G5 R88M-K05030 R88M-K10030 オムロン株式会社 1S R88M-1M05030 R88M-1M10030 M ALPHA7GYS GYS500D7-□B2□ GYS101D7-□B2□ 富士電機株式会社 ALPHA7GYB － － F ファナック株式会社 βiS-B A06B-0111-B1 A06B-0112-B1 P BoschRexrothAG MSM MSM019A MSM019B RockwellAutomation,Inc. TLP TLP-A046-005-DKA□2 TLP-A046-010-DKA□2 M SIEMENSAG  　　1FK2　※1 1FK2102-0AG0 1FK2102-1AG0 記号 メーカ シリーズ 200W 400W MELSERVOJ4 HG-KR23 HG-KR43 三菱電機株式会社 MELSERVOJ5 HK-KT23W HK-KT43W M デルタ電子株式会社 ECMA-C ECMA-C10602 ECMA-C10604 山洋株式会社 SANMOTIONR R2□A06020 R2□A06040 Σ-Ⅴ SGMJV-02 SGMJV-04 株式会社安川電機 Σ-7 SGM7J-02 SGM7J-04 Y SV SV-□020 SV-□040 株式会社キーエンス SV2 SV2-□020 SV2-□040 MINASA5 MSMD02 MSMD04 パナソニック株式会社 MINASA6 MSMF02 MSMF04 P G5 R88M-K20030 R88M-K40030 オムロン株式会社 1S R88M-1M20030 R88M-1M40030 ALPHA7GYS GYS201D7-□B2□ GYS401D7-□B2□ M 富士電機株式会社 ALPHA7GYB GYB201D7-□B2□ GYB401D7-□B2□ F ファナック株式会社 βiS-B A06B-2115-B1 － P BoschRexrothAG MSM MSM031B MSM031C RockwellAutomation,Inc. TLP TLP-A070-020-DKA□2 TLP-A070-040-DKA□2 M SIEMENSAG  　　1FK2　※1 1FK2203-2AG0 1FK2203-4AG0 ※ 上記以外のモータ及び他のモータメーカ品の取付についてはお問い合わせください。 ※1　サーボモータは、輸出貿易管理令別表第1の7項（8）の規制対象品目であり、かつ仕様上も該当するものです。（2021年1月現在） 7 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項

電動アクチュエータ（モータレス仕様）　スライダタイプ EBS-04LE モータストレート取付タイプ ●サーボモータサイズ：50W　 形番表示方法 EBS 04 L E 06 0300 N NN M H N N A B C D E F G H I J Aボディサイズ Eストローク Hモータサイズ Jリミットセンサ ※1 04 本体幅44mm 0050 50mm H 50W Ｎ 無し （50mm毎） 0500 500mm I原点センサ ※1 B 有り Bモータ N 無し L 無し Fブレーキ C 有り Cモータ取付方向 N 無し メーカ 50W E ストレート取付 三菱電機株式会社 Ｍ G取付モータ仕様 デルタ電子株式会社 Ｍ M 山洋電気株式会社 Ｍ Dねじリード 取付モータ仕様 株式会社安川電機 Ｙ 06 6mm Y は右表より選択 株式会社キーエンス Ｙ 12 12mm P ください。 パナソニック株式会社 Ｐ F オムロン株式会社 Ｍ 富士電機株式会社 Ｍ ファナック株式会社　 Ｆ BoschRexrothAG Ｐ RockwellAutomation,Inc. Ｍ ※1　原点センサとリミットセンサはセットです。いずれか“無し”の場合、他方も“無し”を選択してください。 SIEMENSAG Ｍ ※　モータ形番については7ページを参 照ください。 仕様 ストロークと最高速度 （mm/s） 適用モータサイズ 50Wサーボモータ ストローク 駆動方式 ボールねじ　φ10 ねじリード 50～500 ストローク mm 50～500 6 300 ねじリード mm 6 12 12 600 最大可搬質量 kg 水平 20 12 ※ 最 高速度はお客様にて取付けたモータが3000rpmの回転速度を出力でき ※1 垂直 5 2 るものとした場合です。 　　ス トロークにより最高速度の制限があります。制限を超えた速度で動かさ 最高速度 mm/s 300 600 ないでください。 定格推力※1 N 141 71 繰返し精度 mm ±0.01 ロストモーション mm 0.1以下 静的許容荷重 Ｎ 1030 許容オーバーハング長さ 静的許容モーメント N・m MP：62　MY：62　MR：92 ※　詳細は34ページを参照ください。 使用周囲温度、湿度 0～40℃（凍結なきこと）、 35～80%RH（結露なきこと） 保存周囲温度、湿度 －10～50℃（凍結なきこと）、 35～80%RH（結露なきこと） 雰囲気 腐食性ガス、爆発性ガス、粉塵なきこと ※1　定格推力・最大可搬質量は、取付けられたモータが定格のトルクを出力で きるものとした場合の目安値です。 モーメント方向 MP MY MR 8 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS ～

EBS-04LE 外形寸法図・添付品一覧 外形寸法図　モータストレート取付 ●EBS-04LE L 80 ストロ－ク 基準位置134 10（※1） 90 10（※1） 2-φ3H7深さ4.5 ※1　メカストッパまでの作動範囲 4-M4深さ11 42.6 40 グリース給脂口 反対側同様 6 基準面 N-M4深さ10 N-φ3.4(貫通) 50 A M×100 89 5 C C 2-φ4H7深さ4 B部詳細 B P 100±0.02 21.5 ■モ－タ取付部 C-C断面（詳細） 26.5 19.1 2-M2.5 E（P.C.D.） ■原点センサ・リミットセンサ取付時 H 4-D（ねじ穴） 4 （モータ固定） H矢視 取付 D E F モータ取付用 12 モータ仕様 ボルト M　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ※　ストローク50mmの場合、 Y　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 　　センサは両側への取付が必要になります。 　　また、センサドグは両側に取付けられます。 P　50W M3 φ45 φ8 4-M3×L12 F　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ストローク記号 0050 0100 0150 0200 0250 0300 0350 0400 0450 0500 ストロ－ク(mm) 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 L 264 314 364 414 464 514 564 614 664 714 A 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 M 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 N 6 6 8 8 10 10 12 12 14 14 P 25 75 125 175 225 275 325 375 425 475 質量(kg) 1.0 1.1 1.3 1.5 1.7 1.8 2.0 2.2 2.4 2.6 添付品一覧 【モータ取付用部品】 【原点センサ、リミットセンサ】 取付モータ仕様 カップリング モータ取付用ボルト センサ サイズ 数量 メーカ 型式 添付数量 M M4 4 オムロン EE-SX674 3 Y M4 4 組付け出荷 P M3 4 ※　センサの仕様については42ページを参照ください。 F M4 4 9 44 30 基準面 0.3 21.7±0.03 52 44 36 39 21.5 35 23.5 φF φ30　+0　.03+0.008 4　+0.01　0　 2深さ4 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項

電動アクチュエータ（モータレス仕様）　スライダタイプ EBS-04L※ モータ折返し取付タイプ ●サーボモータサイズ：50W　 形番表示方法 EBS 04 L R 06 0300 N NN M H N N A B C D E F G H I J Aボディサイズ Eストローク Hモータサイズ Jリミットセンサ ※1 04 本体幅44mm 0050 50mm H 50W Ｎ 無し （50mm毎） I原点センサ ※1 B 有り Bモータ 0500 500mm N 無し L 無し Fブレーキ C 有り Cモータ取付方向 N 無し メーカ 50W R 右側折返し取付 三菱電機株式会社 Ｍ G取付モータ仕様 デルタ電子株式会社 Ｍ D 下側折返し取付 山洋電気株式会社 Ｍ L 左側折返し取付 M Y 取付モータ仕様 株式会社安川電機 Ｙ P は右表より選択 株式会社キーエンス Ｙ Dねじリード ください。 パナソニック株式会社 Ｐ 06 6mm F オムロン株式会社 Ｍ 12 12mm 富士電機株式会社 Ｍ ファナック株式会社　 Ｆ BoschRexrothAG Ｐ RockwellAutomation,Inc. Ｍ ※1　原点センサとリミットセンサはセットです。いずれか“無し”の場合、他方も“無し”を選択してください。 SIEMENSAG Ｍ ※　モータ形番については7ページを参 照ください。 仕様 ストロークと最高速度 （mm/s） 適用モータサイズ 50Wサーボモータ ストローク 駆動方式 ボールねじ　φ10 ねじリード 50～600 ストローク mm 50～500 6 300 ねじリード mm 6 12 12 600 最大可搬質量 kg 水平 20 12 ※ 最高速度はお客様にて取付けたモータが3000rpmの回転速度を出力でき ※1 垂直 5 2 るものとした場合です。 　　ス トロークにより最高速度の制限があります。制限を超えた速度で動かさ 最高速度 mm/s 300 600 ないでください。 定格推力※1 N 141 71 繰返し精度 mm ±0.01 ロストモーション mm 0.1以下 静的許容荷重 Ｎ 1030 許容オーバーハング長さ 静的許容モーメントN・m MP：62　MY：62　MR：92 使用周囲温度、湿度 0～40℃（凍結なきこと）、 ※　詳細は34ページを参照ください。 35～80%RH（結露なきこと） 保存周囲温度、湿度 －10～50℃（凍結なきこと）、 35～80%RH（結露なきこと） 雰囲気 腐食性ガス、爆発性ガス、粉塵なきこと ※1　定 格推力・最大可搬質量は、取付けられたモータが定格のトルクを出力で きるものとした場合の目安値です。 モーメント方向 MP MY MR 10 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS ～

EBS-04L※ 外形寸法図・添付品一覧 外形寸法図　モータ右側折返し取付 ●EBS-04LR L 80 ストロ－ク 116 10（※1） 90 10（※1） 2-φ3H7深さ4.5 4-M4深さ11 ※1　メカストッパまでの作動範囲 40 42.6 グリース給脂口 反対側同様 6 基準面 44 31 55 99 N-M4深さ10 N-φ3.4(貫通) 50 A M×100 71 5 C B部詳細 C 2-φ4H7深さ4 B P 100±0.02 ■モ－タ取付部 21.5 C-C断面（詳細） φE（P.C.D.） ■原点センサ・リミットセンサ取付時 H 4-D（ねじ穴） （モータ固定） 4.5 27.5 H矢視 取付 D E F モータ取付用 12 モータ仕様 ボルト M　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ※　ストローク50mmの場合、 Y　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 　　センサは両側への取付が必要になります。 　　また、センサドグは両側に取付けられます。 P　50W M3 φ45 φ8 4-M3×L12 F　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ストローク記号 0050 0100 0150 0200 0250 0300 0350 0400 0450 0500 ストロ－ク(mm) 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 L 246 296 346 396 446 496 546 596 646 696 A 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 M 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 N 6 6 8 8 10 10 12 12 14 14 P 25 75 125 175 225 275 325 375 425 475 質量(kg) 1.0 1.2 1.4 1.7 1.8 1.9 2.1 2.3 2.5 2.7 添付品一覧 【モータ取付用部品】 【原点センサ、リミットセンサ】 取付モータ仕様 タイミングベルト、 モータ取付用ボルト センサ プーリ サイズ 数量 メーカ 型式 添付数量 M M4 4 オムロン EE-SX674 3 Y M4 4 添付出荷 P M3 4 ※　センサの仕様については42ページを参照ください。 F M4 4 11 44 30 基準面 0.3 21.7±0.03 2 43 44 52 36 39 21.5 35 23.5 4　+0.012　0　 深さ4 φF φ30　+0+0　.05.01 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項 45°

EBS-04L※ 外形寸法図　モータ下側折返し取付 ●EBS-04LD L 80 ストロ－ク 116 10（※1） 90 10（※1） 2-φ3H7深さ4.5 4-M4深さ11 ※1　メカストッパまでの作動範囲 42.6 40 グリース給脂口 反対側同様 6 基準面 43 N-M4深さ10 44 N-φ3.4(貫通) 50 A M×100 171 5 C C φ4H7深さ4 B部詳細 B モータ全長は126mm以内のこと P 21.5 ■モ－タ取付部 C-C断面（詳細） φE（P.C.D.） ■原点センサ・リミットセンサ取付時 H 4-D（ねじ穴） （モータ固定） 4.5 27.5 H矢視 取付 D E F モータ取付用 12 モータ仕様 ボルト M　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ※　ストローク50mmの場合、 Y　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 　　センサは両側への取付が必要になります。 　　また、センサドグは両側に取付けられます。 P　50W M3 φ45 φ8 4-M3×L12 F　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ストローク記号 0050 0100 0150 0200 0250 0300 0350 0400 0450 0500 ストロ－ク(mm) 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 L 246 296 346 396 446 496 546 596 646 696 A 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 M 0 0 1 1 2 2 3 3 4 4 N 4 4 6 6 8 8 10 10 12 12 P 25 75 125 175 225 275 325 375 425 475 質量(kg) 1.0 1.2 1.4 1.7 1.8 1.9 2.1 2.3 2.5 2.7 添付品一覧 【モータ取付用部品】 【原点センサ、リミットセンサ】 取付モータ仕様 タイミングベルト、 モータ取付用ボルト センサ プーリ サイズ 数量 メーカ 型式 添付数量 M M4 4 オムロン EE-SX674 3 Y M4 4 添付出荷 P M3 4 ※　センサの仕様については42ページを参照ください。 F M4 4 12 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS 44 30 基準面 0.3 21.7±0.03 29.5 53.5 52 105.5 44 36 39 21.5 35 23.5 4　+0　.012　0 深さ4 φF φ30　+0.05+0　.01 45°

EBS-04L※ 外形寸法図・添付品一覧 外形寸法図　モータ左側折返し取付 ●EBS-04LL L 80 ストロ－ク 116 10（※1） 90 10（※1） 2-φ3H7深さ4.5 4-M4深さ11 ※1　メカストッパまでの作動範囲 42.6 40 グリース給脂口 反対側同様 6 基準面 31 44 55 99 N-M4深さ10 N-φ3.4(貫通) 50 A M×100 71 C 5 C B B部詳細 P 100±0.02 2-φ4H7深さ4 21.5 C-C断面（詳細） ■モ－タ取付部 φE（P.C ■原点センサ・リミットセンサ取付時 .D.） H 4-D（ねじ穴） （モータ固定） 4.5 27.5 12 H矢視 取付 モータ仕様 D E F モータ取付用 ボルト M　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ※　ストローク50mmの場合、 　　センサは両側への取付が必要になります。 Y　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 　　また、センサドグは両側に取付けられます。 P　50W M3 φ45 φ8 4-M3×L12 F　50W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ストローク記号 0050 0100 0150 0200 0250 0300 0350 0400 0450 0500 ストロ－ク(mm) 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 L 246 296 346 396 446 496 546 596 646 696 A 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 M 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 N 6 6 8 8 10 10 12 12 14 14 P 25 75 125 175 225 275 325 375 425 475 質量(kg) 1.0 1.2 1.4 1.7 1.8 1.9 2.1 2.3 2.5 2.7 添付品一覧 【モータ取付用部品】 【原点センサ、リミットセンサ】 取付モータ仕様 タイミングベルト、 モータ取付用ボルト センサ プーリ サイズ 数量 メーカ 型式 添付数量 M M4 4 オムロン EE-SX674 3 Y M4 4 添付出荷 P M3 4 ※　セ ンサの仕様については42ページを参照ください。 F M4 4 13 44 2 52 43 基準面 0.3 21.7±0.03 21.5 39 30 44 36 35 23.5 4　+0　.012　0 深さ4 φF φ30　+0.05+0　.01 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項 45°

電動アクチュエータ（モータレス仕様）　スライダタイプ EBS-05LE モータストレート取付タイプ ●サーボモータサイズ：100W　 形番表示方法 EBS 05 L E 02 0300 N NN M 1 N N A B C D E F G H I J Aボディサイズ Eストローク Hモータサイズ Jリミットセンサ ※1 05 本体幅54mm 0050 50mm 1 100W Ｎ 無し （50mm毎） B 有り Bモータ 0800 800mm I原点センサ ※1 N 無し L 無し Fブレーキ C 有り メーカ 100W 三菱電機株式会社 Ｍ Cモータ取付方向 N 無し デルタ電子株式会社 Ｍ E ストレート取付 山洋電気株式会社 Ｍ G取付モータ仕様 株式会社安川電機 Ｙ Dねじリード M 株式会社キーエンス Ｙ Y 取付モータ仕様 パナソニック株式会社 Ｐ 02 2mm は右表より選択 オムロン株式会社 Ｍ 05 5mm P ください。 F 富士電機株式会社 Ｍ 10 10mm ファナック株式会社 　 Ｆ 20 20mm Bosch Rexroth AG Ｐ Rockwell Automation,Inc. Ｍ SIEMENS AG Ｍ ※1　 原点センサとリミットセンサはセットです。いずれかが“無し”の場合、他方も“無し”を選択してください。 ※　 モータ形番については、7ページを 参照ください。 仕様 ストロークと最高速度 （mm/s） 適用モータサイズ 100W サーボモータ ストローク 駆動方式 ボールねじ　φ12 ねじリード 50～600 650 700 750 800 ストローク mm 50～800 2 100 90 80 70 60 ねじリード mm 2 5 10 20 5 250 225 200 175 150 最大可搬質量 kg 水平 30 30 15 10 10 500 450 400 350 300 ※1 垂直 10 10 5 2.5 20 1000 900 800 700 600 最高速度 mm/s 100 250 500 1000 ※ 最 高速度はお客様にて取付けたモータが3000rpmの回転速度を出力でき 定格推力※1 N 854 341 170 85 るものとした場合です。 繰返し精度 mm 　　 ストロークにより最高速度の制限があります。制限を超えた速度で動かさ ±0.01 ないでください。 ロストモーション mm 0.1以下 静的許容荷重 Ｎ 1168 静的許容モーメント N・m MP：103　MY：103　MR：144 使用周囲温度、湿度 0～40℃（凍結なきこと）、 許容オーバーハング長さ 35～80%RH（結露なきこと） 保存周囲温度、湿度 －10～50℃（凍結なきこと）、 35～80%RH（結露なきこと） ※　詳細は34ページを参照ください。 雰囲気 腐食性ガス、爆発性ガス、粉塵なきこと ※1　定 格推力・最大可搬質量は、取付けられたモータが定格のトルクを出力で きるものとした場合の目安値です。 モーメント方向 MP MY MR 14 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS ～

EBS-05LE 外形寸法図・添付品一覧 外形寸法図　モータストレート取付 ●EBS-05LE L 79.5 ストロ－ク 基準位置141 10（※1） 116 10（※1） 2-φ3H7深さ6 ※1　メカストッパまでの作動範囲 4-M5深さ11 52 グリース給脂口 52.5 反対側同様 4 基準面 N-M5深さ13 N-φ4.4(貫通) 50 A M×100 95.5 7 C C 2-φ5H7深さ6 B部詳細 B P 100±0.02 ■モ－タ取付部 21.5 27.1 C-C断面（詳細） 19.7 2-M2.5 E（P.C.D.） ■原点センサ・リミットセンサ取付時 H 4-D（ねじ穴） （モータ固定） H矢視 取付 D E F モータ取付用 モータ仕様 ボルト 11 M　100W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ※　ストローク50mmの場合、 　　センサは両側への取付が必要になります。 Y　100W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 　　また、センサドグは両側に取付けられます。 P　100W M3 φ45 φ8 4-M3×L12 F　100W M4 φ46 φ8 4-M4×L12 ストローク記号 0050 0100 0150 0200 0250 0300 0350 0400 0450 0500 0550 0600 0650 0700 0750 0800 ストロ－ク(mm) 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 L 270.5 320.5 370.5 420.5 470.5 520.5 570.5 620.5 670.5 720.5 770.5 820.5 870.5 920.5 970.5 1020.5 A 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 25 75 M 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 6 6 7 7 8 8 N 6 6 8 8 10 10 12 12 14 14 16 16 18 18 20 20 P 25 75 125 175 225 275 325 375 425 475 525 575 625 675 725 775 質量(kg) 1.8 1.9 2.1 2.2 2.4 2.5 2.7 2.8 3.0 3.1 3.2 3.4 3.5 3.7 3.8 4.0 添付品一覧 【モータ取付用部品】 【原点センサ、リミットセンサ】 取付モータ仕様 カップリング モータ取付用ボルト メーカ 型式 添付数量 サイズ 数量 オムロン EE-SX674 3 M M4 4 ※　 センサの仕様については42ページを参照ください。 Y 組付け出荷 M4 4 P M3 4 F M4 4 15 38 基準面 0.3 60 26.7±0.03 54 54 45 45 28.5 42 27.7 φF φ30　+0.03+0　.008 5　+0　.012　0 深さ6 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 ステッピングモータ対応 使用上の EBS EBR ETS ETS Multi Axis ECS ETV ECV EKS EBS EBR ETS ECS 注意事項 45°

電動アクチュエータ（モータレス仕様）　スライダタイプ EBS-05L※ モータ折返し取付タイプ ●サーボモータサイズ：100W　 形番表示方法 EBS 05 L R 02 0300 N NN M 1 N N A B C D E F G H I J Aボディサイズ Eストローク Hモータサイズ Jリミットセンサ ※1 05 本体幅54mm 0050 50mm 1 100W Ｎ 無し （50mm毎） B 有り Bモータ 0800 800mm I原点センサ ※1 L 無し N 無し Fブレーキ C 有り メーカ 100W Cモータ取付方向 N 無し 三菱電機株式会社 Ｍ R 右側折返し取付 デルタ電子株式会社 Ｍ 山洋電気株式会社 Ｍ D 下側折返し取付 G取付モータ仕様 株式会社安川電機 Ｙ L 左側折返し取付 M 株式会社キーエンス Ｙ Y 取付モータ仕様 パナソニック株式会社 Ｐ Dねじリード P は右表より選択 オムロン株式会社 Ｍ 02 2mm ください。 F 富士電機株式会社 Ｍ 05 5mm ファナック株式会社 　 Ｆ 10 10mm Bosch Rexroth AG Ｐ 20 20mm Rockwell Automation,Inc. Ｍ SIEMENS AG Ｍ ※1　原 点センサとリミットセンサはセットです。いずれかが“無し”の場合、他方も“無し”を選択してください。 ※　 モータ形番については、7ページを 参照ください。 仕様 ストロークと最高速度 （mm/s） 適用モータサイズ 100W サーボモータ ストローク 駆動方式 ボールねじ　φ12 リード 50～600 650 700 750 800 ストローク mm 50～800 2 100 90 80 70 60 ねじリード 2 5 10 20 5 250 225 200 175 150 水平 30 30 15 10 最大可搬質量 kg 10 500 450 400 350 300 垂直 10 10 5 2.5 20 1000 900 800 700 600 最高速度 mm/s 100 250 500 1000 ※ 最高速度はお客様にて取付けたモータが3000rpmの回転速度を出力でき 定格推力　※1 N 854 341 170 85 るものとした場合です。 　　 ストロークにより最高速度の制限があります。制限を超えた速度で動かさ 繰返し精度 mm ±0.01 ないでください。 ロストモーション mm 0.1以下 静的許容荷重 Ｎ 1168 静的許容モーメントN・m MP：103　MY：103　MR：144 使用周囲温度、湿度 0～40℃（凍結なきこと）、 許容オーバーハング長さ 35～80%RH（結露なきこと） 保存周囲温度、湿度 －10～50℃（凍結なきこと）、 35～80%RH（結露なきこと） ※　詳細は34ページを参照ください。 雰囲気 腐食性ガス、爆発性ガス、粉塵なきこと ※1　定 格推力・最大可搬質量は、取付けられたモータが定格のトルクを出力で きるものとした場合の目安値です。 モーメント方向 MP MY MR 16 使用上の ステッピングモータ対応 サ　ー　ボ　モ　ー　タ　対　応 注意事項 ECS ETS EBR EBS EKS ECV ETV ECS ETS Multi Axis ETS EBR EBS ～