マスフローコントローラのカタログ一覧 | Apérza Catalog（アペルザカタログ）

LIQUID | 液体用製品

LC-3000L シリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。 ◆ピエゾアクチュエータ...

GAS | 気体用製品

MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。◆ラバーシールを採用することで低価格を実現。◆流量精度は ±1.0%F.S...

GAS | 気体用製品

MC-3000L-TCシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。◆Max120℃の動作保証を実現。◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標...

GAS | 気体用製品

MC-5000Lシリーズは、SEMI に準拠した DeviceNetTM 専用のマスフローコントローラです。◆デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワーク DeviceNetTM（OD...

GAS | 気体用製品

MC-700シリーズは、本体上部に設置した3桁のロータリスイッチによりガス種、流量を変更できる機能を搭載したマスフローコントローラです。◆( 基準流量 )÷( 使用する F.S. 流...

GAS | 気体用製品

MC-5000Cシリーズは、SEMI に準拠した EtherCAT専用のマスフローコントローラです。◆デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108 に準拠した EtherCATを採用。◆リンテ...

GAS | 気体用製品

MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。◆独自の低圧損構造により、6Torr の低差圧で 10SCCM(N2) を制御可...

GAS | 気体用製品

MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。◆±1.0%S.P. 保証を実現。◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備...