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マスフローコントローラ(英: mass flow controller, MFC)とは、質量流量計(質量流量を測る流量計)に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ(mass flow meter)といい、区別することがある。体積流量計では、ボイル=シャルルの法則(気体の場合)や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。
LIQUID | 液体用製品
LC-3000L シリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。 ◆ピエゾアクチュエータ...
GAS | 気体用製品
MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。◆ラバーシールを採用することで低価格を実現。◆流量精度は ±1.0%F.S...
GAS | 気体用製品
MC-3000L-TCシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。◆Max120℃の動作保証を実現。◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標...
GAS | 気体用製品
MC-5000Lシリーズは、SEMI に準拠した DeviceNetTM 専用のマスフローコントローラです。◆デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワーク DeviceNetTM(OD...
GAS | 気体用製品
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GAS | 気体用製品
MC-5000Cシリーズは、SEMI に準拠した EtherCAT専用のマスフローコントローラです。◆デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108 に準拠した EtherCATを採用。◆リンテ...
GAS | 気体用製品
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GAS | 気体用製品
MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。◆±1.0%S.P. 保証を実現。◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備...