CAT2992.1
2軸並列に配置したボールねじアクチュエータの直線運動をXY運動に変換する機構を備えることで低断面化を実現した、IKO独自の精密位置決めXYステージです。
CAT2994
CAT2993
CAT3752_1
CAT2996
CAT2991