アライメントステージSA…DEは、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなX Y Θ 運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプ(SA…DE/S)は、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインナップした無限回転タイプ(S...
従来の1軸アクチュエータを積み重ねたXYステージとは異なり、ステージ周辺に可動するモータやケーブル類が無いため、外部からステージ上へのアクセスも行いやすく、作業エリアを限定しない自由度の高い装置設計が可能です。
NT…Vは、テーブル案内部に直動案内機器を使用した、小形で高精度なリニアモータテーブルです。 新たに開発したNT30Vは、テーブル幅30mm、断面高さは僅か8mmというシリーズ最小サイズを実現しました。 今回は、従来品のNT38Vと比較しながら、新製...