LIQUID | 液体用製品
VU-3000シリーズは、キャリアガスを必要としない、各種液体材料のみを気化供給することが出来る気化器です。
◆ LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。
◆Max200℃のコンパクト設計により、様々な液体材料の気化供給に最適。
◆制御された液体が加熱されたメッシュフィルタに拡散され、効率よく気化。
◆耐久性、シール性に優れたシール材を使用することで、メンテナンス性が 向上。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ノンキャリアガス気化器 VU-3000 Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 251.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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液体用製品
ノンキャリアガス気化器
■概 要
●VU-3000シリーズは、キャリアガスを必要としない、各種液体材料のみ
を気化供給することが出来る気化器です。
●LM-3000L シリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
■特 長
●制御バルブ搭載により、精密制御された液体を気化供給
●Max200℃のコンパクト設計により、様々な液体材料の気化供給に最適
●制御された液体が加熱されたメッシュフィルタに拡散され、効率よく気化
●耐久性、シール性に優れたシール材を使用することで、メンテナンス性が
向上
型式名 VU-3100N VU-3000
最大気化流量 H2O - 5g/min
TEOS 5g/min -
制御流量範囲 10-100% F.S.
必要差圧 50 ～ 300kPa 250 ～ 300kPa
耐圧 1MPa(G)
バルブ動作 ノーマリ オープン ノーマリ クローズ
最大消費電力 120V 150W Inner: 625W Outer: 417W
240V 150W Inner: 900W Outer: 600W
熱電対 K Type 1pcs K Type 2pcs
推奨温調方式 PID
最高使用温度 150℃ 200℃
サーマルスイッチ 180℃ ±10℃ Open 270℃ ±10℃ Open
リークレート 5×10-10Pa・m3 / sec He 5×10-6Pa・m3 / sec He
接液部材質 SUS316L, PEEK®, Ni-Co, PTFE SUS316L, カルレッツ ®, ポリイミド , Au
取付姿勢 コネクタ上方、配管ライン水平 空圧アクチュエータ上方、配管ライン水平
重量 600g 5kg
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