LIQUID | 液体用製品
VU-450シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。
◆ LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。
◆ VU-430Aシリーズに比べ、気化容積を大きくし、Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適。
◆ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ソレノイドアクチュエータ搭載気化器 VU-450 Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 126.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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液体用製品
ソレノイドアクチュエータ搭載気化器
■概 要
●VU-450 シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。
●LM-3000L シリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
■特 長
●ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
●VU-430Aシリーズに比べ、気化容積を大きくし、Low-k、High-k、
各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適
●ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱に
より効率よく気化
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナ
ンス性が向上
型式名 VU-0450N VU-0550N
最大気化流量 TEOS 20g/min
H2O 5g/min
制御流量範囲 10～ 100% F.S.
キャリアガス流量 01 0.8-1.5SLM
02 1.5-3SLM
03 3-6SLM
04 6-10SLM
05 10-14SLM
06 14-20SLM
07 20-40SLM
08 40-80SLM
09 80-130SLM
必要差圧 50～ 300kPa
耐圧 1MPa(G)
バルブ動作 ノーマリクローズ
最大消費電力 L1 120V, 800W
L2 240V, 800W
熱電対 K Type 1pc
推奨温調方式 PID
最高使用温度 200℃ 300℃
サーマルスイッチ 230℃ ±10℃ Open 350℃ ±9℃ Open
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接液部材質 SUS316L, Ni-Co, ポリイミド
シール材 Au
バルブ方式 ソレノイドアクチュエータ
取付姿勢 アクチュエータ上方垂直方向
重量 6kg
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