LIQUID | 液体用製品
VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。
◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
◆ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。
◆Max160℃のコンパクト設計。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ピエゾアクチュエータ搭載気化器 VU-206 Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 119.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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液体用製品
ピエゾアクチュエータ搭載気化器
■概 要
●VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。
●LM-3000L シリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
■特 長
●ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
●Max160℃のコンパクト設計
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス
性が向上
型式名 VU-0206N
最大気化流量 TEOS 7g/min
H2O 0.5g/min
制御流量範囲 10 ～ 100% F.S.
キャリアガス流量 0.1-14SLM
必要差圧 50~300kPa
耐圧 1MPa(G)
バルブ動作 ノーマリオープン
最大消費電力 120V 70W
240V 70W
熱電対 K Type 1pc
推奨温調方式 PID
最高使用温度 160℃
サーマルスイッチ 180℃ ±15℃ Open
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, Ni-Co, ポリイミド
シール材 Au
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
空圧アクチュエータ動作圧 (NCタイプ ) 500～ 600kPa(G)
取付姿勢 キャリアガス入口または空圧アクチュエータ上方垂直方向
重量 1.4kg
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