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◆加熱フィルタ VF Series
VFシリーズは、気化システム後方に設置することでパーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。
・0.1 μ m のろ過精度。
・Max200℃の加熱に対応。
・オールメタルのクリーン構造。
・異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵。
◆温度調節ユニットTCU Series
TCUシリーズは、気化器や熱交換器、供給タンクや配管ヒータなどの温度調整を行うユニットです。
・電子温度調節器と SSR を内蔵。
・異常温度上昇が発生した場合は自動で電源供給を遮断することで温度上昇を防止。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 加熱フィルタ VF Series / 温度調節ユニット TCU Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 231Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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加熱フィルタ
型式名 VF-0201N
圧力損失 1.33kPa (500SCCM N2)
■概 要 耐圧 1MPa(G)
●VFシリーズは、気化システム後方に設置することでパーティク 最大消費電力 120V 400W
ルやミストを除去する加熱フィルタです。 240V 400W
特 長 熱電対 K Type 1pc■ 推奨温調方式 PID
●0.1μ mのろ過精度 最高使用温度 200℃
●Max200℃の加熱に対応 サーマルスイッチ 230℃ ±10℃ Open
●オールメタルのクリーン構造 リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
●異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 接ガス部材質 SUS316L取付姿勢 自由
重量 4.0kg
温度調節ユニット
■概 要
●TCUシリーズは、気化器や熱交換器、供給タンクや配管ヒータ 型式名 TCU-3-1 TCU-3-2 TCU-3-2S
などの温度調整を行うユニットです。 温度制御 1系統 2系統独立 2系統連動定格電源電圧 AC100 ～ 240V 50/60Hz
■特 長 最大消費電力 33VA 40VA
●電子温度調節器とSSRを内蔵 使用温度範囲 0～ 50℃ 25～ 70% RH
●異常温度上昇が発生した場合は自動で電源供給を遮断することで 重量 3.5kg 3.7kg
温度上昇を防止 適用機種 HX-0100CHX-0050A, HX-0020, VU-0206N, HX-0300C
VU-0450N, VF-0201N VU-0430N
VU-3000N
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