GAS | 気体用製品
MM-3000L シリーズは、MC-3000Lシリーズをベースにした高性能のデジタルマスフローメータです。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 高性能デジタル通信マスフローメータ MM-3000L Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 129.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
高性能デジタル通信マスフローメータ
■概 要
●MM-3000L シリーズは、MC-3000L シリーズをベースにした高性能のデジタルマスフローメータです。
■特 長
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MM-3102L MM-3202L MM-3252L MM-3452L MM-3462L MM-3472L
流量（N2換算） 5～5,000SCCM ～20SLM ～50SLM ～50SLM ～150SLM ～250SLM
精度 100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. 100% F.S. ～ 35% F.S. ±1.0% S.P.
25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±0.35% F.S. ±2.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0% F.S.
アナログ流量出力信号 0～ 5VDC
使用圧力 400kPa(D) 以下
耐圧 1MPa(G)
温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
使用保証温度 5～ 50℃ 0～ 80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L SUS316L, テフロン ®, バイトン ®
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA
取付姿勢 自由
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
重量 1.0kg 1.4kg
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