株式会社リンテックの製品一覧

MC-10シリーズ

低価格と短納期を実現したマスフローコントローラ

分析装置や各種成膜装置向けに開発した低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラです。ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実...

MC-3000Lシリーズ

高機能と高精度を誇るマスフローコントローラ

半導体製造に欠かせない高精度を実現したマスフローコントローラです。ピエゾアクチュエータやメタルーシールを採用することで、各種ガスや使用条件に対応しています。流量...

HXシリーズ

コンパクトでありながらMax300℃まで加熱可能なガス加熱器

各種モデルにより、Max300℃、Max300SLMまで対応可能なガス加熱器のHXシリーズです。圧力損失を極限まで低減することにより、流量制御後の配管に設置が可能です。オールメタ...

MC-700シリーズ

ユーザーサイドでF.S.やガス種が変更できるマスフローコントローラ

ロータリスイッチにより手軽にF.S.流量やガス種が変更可能なバリアブル機能搭載のマスフローコントローラです。ピエゾアクチュエータやメタルシールを採用することで、腐食性...

LC-3000Lシリーズ

液体原料用のマスフローコントローラ

各種製造工程に欠かせない高精度を実現した液体用のマスフローコントローラです。気化器と組み合わせることで液体気化供給システムとして利用可能です。ピエゾアクチュエー...

VUシリーズ

Max300℃に加熱可能な各種液体材料に対応した気化器

気化器VUシリーズは、小型モデルからMax300℃に対応したモデルまで、幅広いラインナップにより、各種液体材料の気化に対応しています。液体マスフローコントローラと組み合わせ...

MC-3000L-TCシリーズ

Max120℃耐熱のマスフローコントローラ

液体や固体を加熱し、ガス化した後に制御することが可能な、マスフローコントローラです。耐熱はMax120℃であることから、低蒸気圧の液体や固体でも使用可能です。流量精度は...

MC-5000Lシリーズ

DeviceNetに対応したマスフローコントローラ

半導体製造に欠かせないDeviceNetに対応したマスフローコントローラです。 ODVA SEMI SIG MFC Profileを採用しています。ピエゾアクチュエータやメタルーシールを採用するこ...

VFシリーズ

加熱機能にフィルタを追加したガス加熱器

0.1μmのろ過精度を誇るフィルタを内蔵した加熱ユニットです。 Max200℃まで加熱可能です。オールメタルのクリーン構造であることから、様々な流体に対応可能です。異常加熱...

LVSシリーズ

各種液体原料の気化供給制御をシステム化

各種製造工程に欠かせない液体材料を精度良く制御及び気化するためのシステム装置です。気化器を使用したモデルから、高温MFCを使用したモデルなど、用途や使用条件、液体材料...

LVC-414

バブリング濃度を自動調整するベーパコントローラ

LVC-414は、半導体ウエハの拡散工程やエピタキシャル工程などに使用される、バブリング濃度を自動調整するガス制御器です。キャリアガスとバブリングガスを同時モニタし、キャ...