真空ポンプ/真空部品に戻る
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LC-3000Lシリーズ
液体原料用のマスフローコントローラ
各種製造工程に欠かせない高精度を実現した液体用のマスフローコントローラです。 ...
MC-5000Lシリーズ
DeviceNetに対応したマスフローコントローラ
半導体製造に欠かせないDeviceNetに対応したマスフローコントローラです。 ODVA SEM...
MC-3000L-TCシリーズ
Max120℃耐熱のマスフローコントローラ
液体や固体を加熱し、ガス化した後に制御することが可能な、マスフローコントローラ...
MC-700シリーズ
ユーザーサイドでF.S.やガス種が変更できるマスフローコントローラ
ロータリスイッチにより手軽にF.S.流量やガス種が変更可能なバリアブル機能搭載のマ...
MC-3000Lシリーズ
高機能と高精度を誇るマスフローコントローラ
半導体製造に欠かせない高精度を実現したマスフローコントローラです。 ピエゾアク...
MC-10シリーズ
低価格と短納期を実現したマスフローコントローラ
分析装置や各種成膜装置向けに開発した低価格でありながら基本性能を備えたマスフロ...