低価格マスフローコントローラ MC-10 Series

気体用製品 低価格マスフローコントローラ ■概　要 ●MC-10 シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために 　開発された低価格のマスフローコントローラです。 ■特　長 ●ラバーシールを採用することで低価格を実現 ●流量精度は±1.0%F.S. を保証 ●10SCCM～ 50SLMまでの幅広い流量レンジに対応 ●オプションでバリアブルレンジ( VR )機能を選択することで、 　(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求め た値を3桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S.流量を変更 可能 ●バリアブルレンジ( VR )機能により、1台で複数の仕様に対応する ことで、予備品の削減が可能 ●オプションでRS-485通信機能を選択することで、デイジー チェーン接続で最大32台のマスフローコントローラの接続が 可能 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁 界のある環境でも安定した動作 VR対応表 型式名 適用ガス 適用流量範囲 (N2換算 ) 可変VR値 基準流量 01 10～ 20SCCM 0.50 ～ 1.00 10SCCM 02 20～ 50SCCM 0.60 ～ 1.50 30SCCM 03 40 ～ 100SCCM 0.50 ～ 1.25 50SCCM MC-10RC 04 80～ 200SCCM 0.50 ～ 1.25 100SCCM05 200～ 500SCCM 0.60 ～ 1.50 300SCCM 06 全般 (液化ガス不可 ) 400～ 1000SCCM 0.50 ～ 1.25 500SCCM07 800～ 2000SCCM 0.50～ 1.25 1SLM 08 2～ 5SLM 0.60 ～ 1.50 3SLM 09 4～ 10SLM 0.50 ～ 1.25 5SLM MC-11RC 10 8～ 20SLM 0.50 ～ 1.25 10SLM 11 20～ 50SLM 0.60 ～ 1.50 30SLM MC-12RC 12 100～ 150SLM 0.50 ～ 0.75 70SLM 型式名 MC-10RC MC-11RC MC-12RC 流量（N2換算） 10～5,000SCCM ～50SLM 100～150SLM 流量制御範囲 2～ 100% F.S. バルブ動作 ノーマリクローズ 精度 ±1.0% F.S. 再現性 ±0.2% F.S. 応答時間 1 sec 20%<S.P ≦ 100% 1SEC2%<S.P ≦ 20% 3SEC アナログ流量設定信号 0.1 ～ 5VDC アナログ流量出力信号 0～ 5VDC 必要差圧 50 ～ 300kPa 200～300kPa 300～500kPa 耐圧 1MPa(G) 使用保証温度 15 ～ 35℃　0～ 80% RH リークレート 1×10-8Pa・m3 / sec He 接ガス部材質 SUS316L, 磁性ステンレス , PTFE SUS316L, SUS304, PTFE シール材 バイトン ® 所要電源 +15VDC 100mA, -15VDC 150mA +15VDC 100mA, -15VDC 200mA +15VDC 150mA, -15VDC 200mA 取付姿勢 自由 アナログコネクタ Dsub 9pin バルブ方式 ソレノイドアクチュエータ 重量 1.2kg 1.7kg ホームページアドレス