GAS | 気体用製品
MC-3000L-TCシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。
◆Max120℃の動作保証を実現。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 259.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
高温マスフローコントローラ
■概 要
●MC-3000L-TC シリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。
■特 長
●Max120℃の動作保証を実現
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MC-3102L-TC MC-3202L-TC
流量（N2換算） 10～ 5,000SCCM ～ 25SLM
流量制御範囲 2～ 100% F.S.
バルブ動作 ノーマリクローズ
精度 ±1.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S.
応答時間 １sec 3sec
アナログ流量設定信号 0～ 5VDC
アナログ流量出力信号 0～ 5VDC
必要差圧 50～ 300kPa 150 ～ 300kPa
耐圧 1MPa(G)
使用保証温度 - L：80 ～ 100℃ 0 ～ 80% RH
- H：100 ～ 120℃ 0 ～ 80% RH
ベーキング温度 150℃
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, PCTFE
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 200mA
取付姿勢 自由
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
バルブ方式 ソレノイドアクチュエータ
重量 1.2kg
* 低差圧仕様が必要な場合、ご使用条件 (ガス種、温度 ･圧力 )により流量範囲、必要差圧、応答時間が変更になりますので、別途ご相談ください。
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