GAS | 気体用製品
MC-5000Lシリーズは、SEMI に準拠した DeviceNetTM 専用のマスフローコントローラです。
◆デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワーク DeviceNetTM（ODVA）を採用。
◆通信コネクタは上と横が選択可能。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | DeviceNet(TM) マスフローコントローラ MC-5000L Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 219.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
DeviceNetTMマスフローコントローラ
■概 要
●MC-5000L シリーズは、SEMI に準拠したDeviceNetTM専用のマスフローコントローラです。
■特 長
●デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワークDeviceNetTM（ODVA）を採用
（ ODVA SEMI SIG MFC Profi le）
●通信コネクタは上と横が選択可能
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MC-5100L MC-5200L MC-5250L MC-5450L MC-5460L MC-5470L
流量（N2換算） 5～ 5,000SCCM ～ 20SLM ～ 50SLM ～ 50SLM ～ 150SLM ～ 200SLM
流量制御範囲 2～ 100% F.S.
バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ
精度 100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. 100% F.S. ～ 35% F.S. ±1.0% S.P.
25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±0.35% F.S. ±1.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S.
応答時間 １sec
必要差圧 ノーマリオープン
50～ 300kPa ( ～ 10SLM)
50～ 300kPa 100～ 300kPa ( ～ 20SLM) 100～ 300kPa ( ～ 30SLM)ノーマリクローズ 150 ～ 300kPa ( ～ 50SLM) 150 ～ 500kPa 250 ～ 500kPa 350 ～ 500kPa
100～ 300kPa ( ～ 10SLM)
200～ 300kPa ( ～ 20SLM)
耐圧 1MPa(G)
温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
使用保証温度 5～ 50℃ 0～ 80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, PCTFE, PTFE SUS316L, SUS304, テフロン ®, バイトン ®
シール材 Au
所要電源 11～ 25VDC (5VA Max.)
取付姿勢 自由
デジタルインターフェイス DeviceNetTM
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
重量 1.0kg 1.4kg
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