EtherCAT(R) マスフローコントローラ MC-5000C Series

気体用製品 EtherCAT®マスフローコントローラ ■概　要 ●MC-5000Cシリーズは、SEMIに準拠したEtherCAT®専用のマスフローコントローラです。 ■特　長 ●デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108に準拠したEtherCAT® を採用 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 型式名 MC-5100C MC-5200C MC-5250C MC-5450C MC-5460C MC-5470C MC-5580C 流量（N2換算） 10 ～ 5,000SCCM ～ 10SLM ～ 50SLM ～ 50SLM ～ 150SLM ～ 200SLM ～ 300SLM 流量制御範囲 2～ 100% F.S. バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ 精度 100% F.S. ～ 35% F.S. 100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. ±1.0% S.P. 25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±1.0% F.S. ±2.0% F.S. ±0.35% F.S. 再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. 応答時間 １sec 必要差圧 50～ 300kPa 100 ～ 300kPa 150 ～ 300kPa 150 ～ 500kPa 250 ～ 500kPa 350 ～ 500kPa 耐圧 1MPa(G) 温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ 使用保証温度 15 ～ 35℃　0～ 80% RH 10 ～ 40℃　0～ 80% RH リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 1×10-8Pa・m3 / sec He 接ガス部材質 SUS316L, PCTFE, PTFE SUS316L, SUS304, テフロン ® シール材 Au Au, バイトン ® 所要電源 24VDC (350mA) ±3% 24VDC (350mA) ±10% 取付姿勢 自由 デジタルインターフェイス EtherCAT® バルブ方式 ピエゾアクチュエータ 重量 1.0kg 1.4kg 2.4kg ホームページアドレス